JP2008009838A - バルブの制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バルブが全開状態から全閉状態に移行するまでに要する閉止時間を所定の値で除した単位時間およびこの単位時間を更に複数の時間間隔に等分割したサンプリング時間を用いて単位時間毎にバルブの開度設定値を求め、この求めた単位時間毎の開度設定値に等比数列を順次かけて得られる値を単位時間毎にそれぞれ順次加えて単位時間毎のバルブの開度設定値とし、更にこの単位時間毎のバルブの開度設定値をサンプリング時間で等分割して、このサンプリング時間毎にサーボアンプに与える開度設定値を求める。
【選択図】図1
Description
サーボバルブ2は、図7にその概略構成を示すように流体の流量等を調整する弁の役割を担うスプール(制御対象3)、電磁力によってスプールを駆動操作するボイスコイル(操作部4)およびボイスコイルによって駆動・操作されたスプールの制御量を検出して主フィードバック信号を出力するLDVT(差圧変圧器:開度検出部5)を備えて構成される。
本発明は、このような従来の問題点を解決すべくなされたもので、その目的とするところは、流路系に過大な圧力が過渡的に加わることなく、制御目標値である弁の開度に到達する時間を適切にするバルブの制御装置を提供することにある。
前記バルブは、該バルブの開度を検出する開度検出部を備え、
前記サーボアンプは、前記開度検出部が検出した前記バルブの開度と前記コントローラから与えられた前記開度設定値との偏差を零にする開度信号を生成して前記バルブの開度を制御する開度制御部を備え、
前記コントローラは、前記バルブが全開状態から全閉状態に移行するまでに要する閉止時間を所定の値で除した単位時間およびこの単位時間を更に複数の時間間隔に等分割したサンプリング時間をそれぞれ保持するパラメータ保持部と、前記単位時間毎に前記バルブの開度設定値を求め、この求めた単位時間毎の開度設定値に等比数列を順次かけて得られる値を前記単位時間毎にそれぞれ順次加えて前記単位時間毎のバルブの開度設定値とし、更にこの単位時間毎のバルブの開度設定値を前記サンプリング時間で等分割して、このサンプリング時間毎に前記サーボアンプに与える前記開度設定値を求める開度演算部と
を備えることを特徴としている。
さて、図1において2は、図示しない所定の配管に介挿されて、その開度によりこの配管に流れる流体(例えば、油)の流量を調整するバルブである。このバルブ2には、バルブ2の開度を制御するサーボアンプ(開度制御部)10が接続されている。そして20は、このサーボアンプ10に接続されて、サーボアンプ(開度制御部)10にバルブ2の開度を調整する開度設定値を与えるコントローラである。
概略的には上述のように構成された本発明の一実施形態に係るバルブの制御装置の作動について、図2および図3に示すフローチャートを参照しながら説明する。
まず時刻t1においてコントローラ20は、サーボアンプ10に対して開度設定値Vstに対してV1だけ高い電圧を印加する。このV1は、上述したステップS8において開度演算部24が出力するステップ電圧である。このステップ電圧は、前述した単位時間Tu毎のサンプリングタイムTsに従って出力される。すると制御遅れΔtを伴いながら圧力が上昇してP1になる。このときの圧力変化は、ステップ電圧を印加された時点で、オーバシュートやオーバダンピングした応答を示す。目標圧力値Pspを100%としたとき、以後、開度演算部24は、その圧力のN%(N<100)の判定圧力値Pdになるまでサーボアンプ10にステップ状の開度設定値Vstを印加する。この図では、時刻t1〜t3の期間が相当する。ちなみにサンプリング時間毎の開度設定値の変化は、それぞれ等しく、この図では、V1=V2=V3となる。一方、圧力の変化量は、内圧の上昇ともに減少するのでP1<P2<P3となる。
かくして本発明のバルブの制御装置は、コントローラ20がバルブ2を制御するサーボアンプ10に対して出力する開度設定値を所定の単位時間毎に分割して、例えば(1/2)、(1/4)、(1/8)・・・(1/2)n・・・というような等比数列を開度設定値Vstにかけて得られる値を単位時間Tu毎にそれぞれ順次加えて単位時間Tu毎のバルブ2の開度設定値を求め、更に開度演算部24にて単位時間毎に所定のサンプリング時間で細分した開度設定値Vstを求めてサーボアンプ10を介してバルブ2に開度信号を与えているので管路内における圧力変化を滑らかにすることができる。
また、本発明のバルブの制御装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えることが可能である。
3 制御対象
4 操作部
5 開度検出部
10 サーボアンプ
11 設定部
12 比較部
13 調節部
20 コントローラ
21 圧力検出部
22 圧力判定部
23 パラメータ保持部
24 開度演算部
Claims (3)
- 所定の配管に介挿されて、その開度によりこの配管に流れる流体の流量を調整するバルブと、
このバルブに接続されて、該バルブの開度を制御するサーボアンプと、
このサーボアンプに接続されて、該サーボアンプに前記バルブの開度を調整する開度設定値を与えるコントローラと
を具備するバルブの制御装置であって、
前記バルブは、該バルブの開度を検出する開度検出部を備え、
前記サーボアンプは、前記開度検出部が検出した前記バルブの開度と前記コントローラから与えられた前記開度設定値との偏差を零にする開度信号を生成して前記バルブの開度を制御する開度制御部を備え、
前記コントローラは、前記バルブが全開状態から全閉状態に移行するまでに要する閉止時間を所定の値で除した単位時間およびこの単位時間を更に複数の時間間隔に等分割したサンプリング時間をそれぞれ保持するパラメータ保持部と、
前記単位時間毎に前記バルブの開度設定値を求め、この求めた単位時間毎の開度設定値に等比数列を順次かけて得られる値を前記単位時間毎にそれぞれ順次加えて前記単位時間毎のバルブの開度設定値とし、更にこの単位時間毎のバルブの開度設定値を前記サンプリング時間で等分割して、このサンプリング時間毎に前記サーボアンプに与える前記開度設定値を求める開度演算部と
を備えることを特徴とするバルブの制御装置。 - 前記パラメータ保持部は、更に前記圧力判定部が検出した圧力が安定するに要する圧力安定時間を保持し、
前記コントローラは、更に前記バルブの上流側の前記配管内に取り付けられて、この配管内の圧力を検出する圧力検出部と、
この圧力検出部が検出した前記配管内の圧力が所定の圧力値を超えているか否かを判定する圧力判定部を具備し、
前記開度演算部は、前記圧力判定部が所定の圧力を超えていると判定したとき、前記サンプリング時間に変えて前記圧力安定時間を用いて前記開度設定値を求めることを特徴とする請求項1に記載のバルブの制御装置。 - 前記開度演算部は、前記圧力判定部が前記配管内の圧力が所定の圧力を超えていると判定した際、前記サーボアンプに前記開度設定値を与える前後の前記圧力の差圧を求め、この差圧が所定の圧力範囲内にあるとき、前記サーボアンプに前回の単位時間において出力した開度設定値と同一の開度設定値を更に加える一方、前記差圧が所定の圧力値を超えているとき、前回の単位時間において出力した開度設定値の1/2の開度設定値を更に加えて前記サーボアンプに与えることを特徴とするバルブの制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006181194A JP4699948B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | バルブの制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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