JP2008003187A - 高分子液晶膜の加工方法、光学素子および光ヘッド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板1の上に、配向膜2および高分子液晶膜3を形成する。次いで、第1の保護膜4および第1のレジスト5を形成した後、第1のレジスト5をマスクとして、第1の保護膜4と高分子液晶膜3をエッチングする。これを繰り返すことにより、高分子液晶膜3を階段形状に加工する。第1の保護膜4は、ポリイミド膜または有機シロキサン膜とすることができる。
【選択図】図2
Description
前記高分子液晶膜の上に、有機材料を主成分とする保護膜を形成する第2の工程と、
前記保護膜の上に所定の形状のレジストを形成する第3の工程と、
前記レジストをマスクとして、前記保護膜と前記高分子液晶膜をエッチングする第4の工程とを有し、
前記第2の工程から前記第4の工程までを繰り返して、前記高分子液晶膜を階段形状に加工する高分子液晶膜の加工方法に関する。
前記第2の工程から前記第5の工程までを繰り返して、前記高分子液晶膜を階段形状に加工するものとすることができる。
前記高分子液晶膜は、前記配向膜の上に形成されるものとすることができる。
図1〜図8を用いて、本発明による高分子液晶膜の加工方法について説明する。高分子液晶膜は、光学異方性を有する膜であり、より詳しくは、屈折率に関して異方性を有する膜である。
(1)200℃以下、より好ましくは、150℃以下の温度で成膜できること、
(2)レジストを現像する際に用いられるアルカリに対して耐性があること、
(3)高分子液晶膜に大きなダメージを与えずに除去できること
が求められる。
−Ph−(CH2)2−Ph−
−Ph−OCO−Ph−
−Ph−Cy−
−Ph−OCO−Cy−
−Ph−Ph−Ph−
−Ph−Ph−Cy−
−Ph−COO−Ph−OCO−Ph−
−Ph−COO−Ph−OCO−Cy−
−Nh−Ph−
−Nh−OCO−Ph−
−Nh−OCO−Cy−
−An−Ph−
−An−OCO−Ph−
−An−OCO−Cy−
−Ph−Ph−Ph−Cy−
−Ph−Ph−Cy−Cy−
−Ph−Cy−Ph−Ph−
CH2=CH−COO−Ph−Ph−n-C3H7
CH2=CH−COO−Cy−Cy−CN
CH2=CH−COO−Cy−Cy−n-C3H7
CH2=CCH3−COO−Ph−Ph−CN
CH2=CH−COO−(CH2)3−Ph−Ph−CN
CH2=CH−COO−(CH2)3−O−Ph−Ph−CN
CH2=CH−COO−Ph−OCO−Ph−n-C3H7
CH2=CCH3−COO−Ph−OCO−Ph−n-C3H7
CH2=CH−COO−Ph−OCO−Cy−n-C3H7
CH2=CH−COO−(CH2)3−O−Cy−Cy−n-C3H7
CH2=CH−COO−Ph−OCO−Ph−n-C5H11
CH2=CH−COO−Nh−OCO−Cy−n-C4H9
CH2=CH−COO−Ph−Cy−Ph−n-C3H7
CH2=CH−COO−Ph−Ph−Cy−n-C3H7
CH2=CH−COO−Nh−OCO−Cy−Cy−n-C4H9
CH2=CH−COO−Cy−OCO−Cy−Ph−Cy−n-C3H7
CH2=CH−COO−(CH2)6−O−Ph−Cy−Ph(CH3)−Ph−n-C3H7
(但し、−Ph(CH3)−は、1位または4位以外の位置の水素原子がメチル基で置換されている。)
CH2=CH−COO−(CH2)6−O−Ph−Cy−Ph−Ph−F
CH2=CH−COO−(CH2)6−O−Ph−Cy−Ph−PhF−F
(但し、−PhF−Fは、末端がフッ素原子であって、1位または4位以外の位置の水素原子がフッ素原子で置換されている。)
CH2=CH−COO−Ph−Ph−OCO−CH=CH2
CH2=CH−COO−(CH2)6−O−Ph−COO−Ph−OCO−Ph−O−(CH2)6−OCO−CH=CH2
実施の形態1で述べた高分子液晶膜の加工方法を用いて、光学素子を作製することができる。光学素子としては、階段状のバイナリブレーズ型の回折格子や液晶レンズ素子などが挙げられる。
まず、直径が5インチで、厚さが0.525mmである石英基板を2枚準備した。次いで、これらの石英基板の上に、それぞれポリイミド配向膜を形成した。そして、配向膜に対して、それぞれラビング法による水平配向処理を行った。さらに、これらの石英基板の一方に対して離型処理を行った。
実施例と同様にして、石英基板の上に、配向処理が施された配向膜と、高分子液晶膜とを順に形成した。高分子液晶膜の厚さは、実施例と同様に3μmであった。
2,102 配向膜
3,103 高分子液晶膜
4 第1の保護膜
5,105 第1のレジスト
6 第2の保護膜
7,107 第2のレジスト
104 第1のSiO2膜
106 第2のSiO2膜
108 突起部
11 回折格子
12 第1の透明基板
13 第2の透明基板
14 第1の低反射膜
15 第1の配向膜
16 高分子液晶膜
17 第2の低反射膜
18 等方性充填材
21 光ヘッド装置
22 半導体レーザ
23 対物レンズ
24 光ディスク
25 受光素子
Claims (6)
- 配向処理された透明基板の上に高分子液晶膜を形成する第1の工程と、
前記高分子液晶膜の上に、有機材料を主成分とする保護膜を形成する第2の工程と、
前記保護膜の上に所定の形状のレジストを形成する第3の工程と、
前記レジストをマスクとして、前記保護膜と前記高分子液晶膜をエッチングする第4の工程とを有し、
前記第2の工程から前記第4の工程までを繰り返して、前記高分子液晶膜を階段形状に加工する高分子液晶膜の加工方法。 - 前記第4の工程の後に、前記レジストおよび前記保護膜を除去する第5の工程をさらに有し、
前記第2の工程から前記第5の工程までを繰り返して、前記高分子液晶膜を階段形状に加工する請求項1に記載の高分子液晶膜の加工方法。 - 前記透明基板の上には、配向処理された配向膜が形成されていて、
前記高分子液晶膜は、前記配向膜の上に形成される請求項1または2に記載の高分子液晶膜の加工方法。 - 前記保護膜はポリイミド膜または有機シロキサン膜である請求項1〜3のいずれか1項に記載の高分子液晶膜の加工方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法を用いて加工された高分子液晶膜を有する光学素子。
- 請求項5に記載の光学素子を有する光ヘッド装置。
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JP2004069977A (ja) * | 2002-08-06 | 2004-03-04 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子および光ヘッド装置 |
JP2004219977A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-08-05 | Asahi Glass Co Ltd | 位相補正素子および光ヘッド装置 |
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