JP2008001948A - 硬質皮膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の硬質皮膜は、基材表面に形成される硬質皮膜であって、相互に異なる2種以上の膜がそれぞれ1層または2層以上で積層されると共に、各層は下記(1)式で示される膜である。
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(1)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す]
【選択図】なし
Description
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(1)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す]
M(C1-yNy)…(2)
但し、0≦y≦1.0
[Mは、周期律表第4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al、SiおよびBから選択される少なくとも1種の元素を示す;yは原子比を示す]
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(3)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す]
M(C1-yNy)…(4)
但し、0≦y≦1.0
[Mは、周期律表第4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al、SiおよびBから選択される少なくとも1種の元素を示す;yは原子比を示す]
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(1)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す]
M(C1-yNy)…(2)
但し、0≦y≦1.0
[Mは、周期律表第4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al、SiおよびBから選択される少なくとも1種の元素を示す;yは原子比を示す]
前記図1に示した装置(AIP装置)のカソードに、各種合金若しくは金属からなるターゲットを配置し、回転する回転盤2に被処理体5として、超合金製チップおよび摺動試験用のディスク(SKD11製:φ55mm×5mm厚み、片面鏡面研磨)を取り付け、チャンバー1内を真空状態にした。その後チャンバー1内に配置されたヒーター7a〜7dで被処理体5の温度を500℃に加熱し、窒素ガス(C含有膜の場合には、N2−CH4の混合ガス)を導入してチャンバー1内の圧力を2.66Paにして、アーク放電を開始し、基材(被処理体5)の表面に下記表1に示した各種積層型硬質皮膜(A層およびB層を積層単位とする硬質皮膜)を膜厚約5μm(5000nm)程度に形成した。このとき、積層型の硬質皮膜にする手段については、前述した(1)〜(3)のいずれかによって制御を行った。
試験方法 :ベーンオンディスク
ディスク :上記によって得られた各種皮膜をコーティングしたディスク
ベーン :SKD11 先端半径10R 硬度HRC52
垂直荷重 :400N
摺動速度 :0.1m/s
雰囲気温度:500℃
摺動距離 :500m
評価項目 :摩擦係数、ディスク、ベーンの摩耗量
前記図1に示した装置(AIP装置)のカソードに、各種合金若しくは金属からなるターゲットを配置し、回転する回転盤2に被処理体5として、超合金製チップおよび摺動試験用のディスク(SKD11製:φ55mm×5mm厚み、片面鏡面研磨)と取り付け、チャンバー1内を真空状態にした。その後チャンバー1内に配置されたヒーター(図示せず)で被処理体5の温度を500℃に加熱し、窒素ガス(C含有膜の場合には、N2−CH4の混合ガス)を導入してチャンバー内の部圧力を2.66Paにして、アーク放電を開始し、基材(被処理体5)の表面に下記表2に示すようなCr含有下地層を形成し、その上に各種の硬質皮膜(前記表1に示した試料No.3〜23)を形成した。
試験方法 :ベーンオンディスク
ディスク :上記によって得られた各種皮膜をコーティングしたディスク
ベーン :SKD11 先端半径10R 硬度HRC52
垂直荷重 :500N
摺動速度 :0.1m/s
雰囲気温度:400℃
摺動距離 :1000m
評価項目 :摩擦係数、ディスク、ベーンの摩耗量
試験方法 :スクラッチ試験
圧子 :ダイヤモンド先端半径:200μmR
荷重 :最大200N
荷重増加速速度:100N/分
スクラッチ速度:10mm/分
評価項目 :光学顕微鏡(200倍)で確認できる皮膜隔離点の垂直荷重(N)が
高い方が、皮膜の密着性が良好であることを示している。
2 回転盤
3 回転テーブル
5 被処理体(基材)
6a,6b,6c,6d アーク蒸発源
7a,7b,7c,7d ヒータ
8a,8b,8c,8d アーク電源
9a,9b,9c,9d マスフローコントローラー
10 バイアス電源
Claims (7)
- 基材表面に形成される硬質皮膜であって、相互に異なる2種以上の膜がそれぞれ1層または2層以上で積層されると共に、各層は下記(1)式で示される膜であることを特徴とする硬質皮膜。
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(1)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す] - 前記(1)式におけるxの値が相互に異なる2種以上の膜が、それぞれ1層または2層以上で積層されたものである請求項1に記載の硬質被膜。
- 下記(2)式で示され、且つ膜厚が5μm以上である膜が、基板表面に下地層として形成されたものである請求項1または2に記載の硬質皮膜。
M(C1-yNy)…(2)
但し、0≦y≦1.0
[Mは、周期律表第4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al、SiおよびBから選択される少なくとも1種の元素を示す;yは原子比を示す] - 前記Mとして少なくともCrを含み、且つ元素M中に占めるCrの原子比が0.3以上である請求項3に記載の硬質皮膜。
- 基材表面に形成される硬質皮膜であって、下記(3)式で示される膜と、下記(4)式で示される膜が、それぞれ1層または2層以上で積層されたものであることを特徴とする硬質皮膜。
(Al1-a-b-cVaSibBc)(C1-xNx)…(3)
但し、0.27≦a≦0.9、0≦b+c≦0.2、0.1≦x≦1.0
[式中の添字は、互いに独立した原子比を示す]
M(C1-yNy)…(4)
但し、0≦y≦1.0
[Mは、周期律表第4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al、SiおよびBから選択される少なくとも1種の元素を示す;yは原子比を示す] - 前記(4)式で示され、且つ膜厚が5μm以上である膜が、基板表面に下地層として形成されたものである請求項5に記載の硬質皮膜。
- 前記下地層中のMとして少なくともCrを含み、且つ元素M中に占めるCrの原子比が0.3以上である請求項6に記載の硬質皮膜。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105803393A (zh) * | 2016-03-25 | 2016-07-27 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种强韧耐磨涂层及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005262388A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2005271106A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 被覆切削工具 |
JP2006026783A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
-
2006
- 2006-06-22 JP JP2006173031A patent/JP4718382B2/ja active Active
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JP2005271106A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 被覆切削工具 |
JP2006026783A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105803393A (zh) * | 2016-03-25 | 2016-07-27 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种强韧耐磨涂层及其制备方法 |
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