JP2007519522A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 多孔質膜を含む物品であって、ここで前記膜の表面は、膜表面に付着している１又は複数の単量体の重合により親水性になるよう修飾されており、前記表面修飾膜の相対的極性相互作用特性及び非極性相互作用特性が、前記修飾膜と接触している液体から微細気泡を除去することを特徴とする、前記物品。
2. 表面修飾膜が、分解に対して機械的に安定である、請求項１に記載の物品。
3. 膜の相対的極性及び非極性相互作用特性が、修飾表面のアミド及びメチレン部分の濃度により調節される、請求項１に記載の物品。
4. 修飾膜が、濾過装置に組み込まれている、請求項１に記載の物品。
5. 重合性多孔質膜基材を含む複合多孔質膜であって、ここで前記重合性多孔質膜基材は約０．００５〜約０．０５ミクロンの孔を有し、前記基材はアミド基で修飾された表面を有しており、前記アミド基は重合性組成物に由来し、前記重合性組成物は多孔質基材の表面に付着している１又は複数のアミド単量体を含み、前記多孔質基材の表面でインシトゥで重合していることを特徴とする、前記複合多孔質膜。
6. 重合性組成物が、Ｎ，Ｎ−メチルビスアクリルアミド（ＭＢＡＭ）、ジメチルアクリルアミド（ＤＭＡＭ）、又は約１：０〜約１：４のＭＢＡＭ／ＤＭＡＭ重量比のこれらの組合せを含む、請求項５に記載の複合多孔質膜。
7. 重合性組成物が、開始剤を含む、請求項５に記載の複合多孔質膜。
8. 基材が、超高分子量ポリエチレンである、請求項５に記載の複合多孔質膜。
9. 基材が、ポリテトラフルオロエチレンである、請求項５に記載の複合多孔質膜。
10. ５０ｐｓｉを超える平均ＩＰＡ泡立ち点を有する、請求項５に記載の複合多孔質膜。
11. メチレン基に対するアミド基の比が、膜の極性及び非極性相互作用特性を調節する、請求項５に記載の複合多孔質膜。
12. 液体から微細気泡を除去する方法であって、前記液体を、約０．０１〜０．０３ミクロンの平均ポアサイズを有し、第一の重合体で形成されている複合多孔質膜基材で濾過する工程を含み、ここで前記基材は、架橋された第二の重合体により直接表面全体が被覆されており、前記架橋された第二の重合体は、遊離基開始剤及びジメチルアクリルアミド（ＤＭＡＭ）が場合によって混合されたＮ，Ｎ−メチルビスアクリルアミド（ＭＢＡＭ）を含む単量体組成物を用いてインシトゥで重合される単量体から形成され、前記単量体組成物は前記基材上でインシトゥで架橋され、前記複合多孔質膜は多孔質膜基材と本質的に同じ多孔質構造を有することを特徴とする、前記方法。
13. 第一の重合体が超高分子量ポリエチレンである、請求項１２に記載の方法。
14. 第一の重合体がポリテトラフルオロエチレンである、請求項１２に記載の方法。
15. 液体が、酸性トップ反射防止コーティング液である、請求項１２に記載の方法。
16. 液体が、界面活性剤を含有する、請求項１２に記載の方法。
17. 液体が、フッ素重合体を含有する、請求項１６に記載の方法。
18. 液体が、フッ素重合体及び界面活性剤を含有する、請求項１６に記載の方法。
19. 界面活性剤が、フッ素化界面活性剤である、請求項１６に記載の方法。
20. 界面活性剤が、フッ素化界面活性剤である、請求項１８に記載の方法。
21. 液体から微細気泡を除去する方法であって、前記液体を多孔質膜で濾過する工程を含み、ここで前記多孔質膜は、膜の極性及び非極性相互作用特性を調節するようなアミド基のメチレン基に対する比を有することを特徴とする、前記方法。
22. 液体を回転ウエハー上に塗布する段階をさらに含む、請求項２１に記載の方法。