JP2007518275A - 光センサを実装するための方法 - Google Patents

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Abstract

センサICが電気的に接続される第1のQFNタイプのリードフレームを含む画像センサ装置。第2のリードフレームがレンズを保持するために設置されている。第3のリードフレームが、レンズからICを適当に分離するために第1および第2のリードフレーム間に位置する。リードフレーム・パネルを使用することにより、複数のセンサ装置が同時に組み立てられる。

Description

本発明は、画像および光センサに関し、特に、光センサを実装するための方法および結果として得られるパッケージ化されたセンサ製品に関する。
デジタル・カメラ、カムコーダ、オーディオ・プレーヤ等のような小型で高性能な工業および消費者電子製品が今まで絶えず求められてきた。このような小型化および機能の改善は、半導体回路およびウェハの設計および製造の進歩によるものである。また、電子製品での光および画像センサの使用も著しく増大してきている。このようなセンサ装置は、種々の方法で実装される。例えば、セラミック・リードレス・チップ・キャリア内の光センサは、高い光学的品質を有するが、大きなパッケージ形状係数でもある。ウェハ・レベルのパッケージは、小さな形状係数を有し、高い光学的品質を有するが、非常にコストが高い。画像センサは、また、成形クワッド・フラット・パック(QFP)として入手することができる。QFPはコストは安価で、光学的品質が低く、パッケージ形状係数が大きい。さらに、光センサの画像の中心を光学的レンズの光軸に正確に整合することも、正しいガラス高さの分離を行うことも両方とも重要なことである。
パッケージ形状係数が小さく、コストが安価で、光学的品質が高いパッケージ化された画像センサを提供するのは望ましいことである。
本発明は、標準高密度アレイ・フォーマット、クワッド・フラット・ノーリード(QFN)組立インフラストラクチャをベースとするニア・チップ・スケール・パッケージのコストが安価で、光学的品質が高い画像センサ装置を提供する。組立高さおよび一意の機械構造設計の許容誤差が厳しいので、金型キャビティ高さとの寸法マッチングが正確になる。パッケージ化されたセンサ装置は、内部リードフレーム・パネルを、センサの焦点距離を制御するための正確な高さの分離目標として使用している。レンズはテープによりそれ自身のリードフレーム・パネルに取り付けられる。テープは樹脂滲みを防止する。テープは、レンズをクリーンな状態に維持し、成形後の清掃を容易にする。
より詳細に説明すると、一実施形態の場合には、本発明は、複数のリード・フィンガで囲まれた中央ダイ受け領域を有する第1のリードフレームと、第1のリードフレームのダイ受け領域内に配置されるセンサ集積回路(IC)を含む画像センサ装置を提供する。ICは、活性領域および周辺ボンディング・パッド領域を含む第1の面を有する。周辺ボンディング・パッド領域は、複数のボンディング・パッドを含む。複数のワイヤが、各ICボンディング・パッドおよび第1のリードフレームの対応するリードフレームのリード・フィンガにワイヤボンドされ、それによりICおよび第1のリードフレームが電気的に接続する。中央レンズ受け領域を有する第2のリードフレームも設置されている。透明レンズは、第2のリードフレームの中央レンズ受け領域内に配置されていて、第2のリードフレームは、レンズがICの活性領域上に配置されるように第1のリードフレーム上に位置する。レンズをICに固定するために、透明接着剤が、ICの活性領域上に配置される。モールド化合物が、第1および第2のリードフレーム間およびワイヤボンド上に射出される。画像センサ装置の組立中、第3のリードフレームは、ICの能動面とレンズとの間の間隔を調整するために、第1および第2のリードフレーム間に位置する。
他の実施形態の場合には、本発明は、光センサを実装するための方法を提供する。この方法は、
複数の第1のリードフレームを含む第1のリードフレーム・パネルを供給するステップであって、第1のリードフレームそれぞれが中央ダイ受け領域を囲んでいる複数のリード・フィンガを有するステップと、
第1のリードフレーム・パネルの第1の側面上に第1のテープを貼付するステップと、
それぞれが第1の面と第2の面を有し、第1の面が活性領域および周辺ボンディング・パッド領域を有し、周辺ボンディング・パッド領域が複数のボンディング・パッドを含む複数のセンサ集積回路(IC)を供給するステップと、
第1のリードフレーム・パネルの第1のリードフレームの各ダイ受け領域内に複数のICを設置するステップであって、ICの第2の面が、第1のテープによりダイ受け領域内に固定されるステップと、
ICの各ICボンディング・パッドおよび第1のリードフレームの対応するリードフレームのリード・フィンガを、ワイヤボンディングを介して複数のワイヤと電気的に接続し、それによりICと第1のリードフレームとを電気的に接続するステップと、
それぞれが中央レンズ受け領域を有する複数の第2のリードフレームを有する第2のリードフレーム・パネルを供給するステップと、
第2のリードフレーム・パネルの第1の側面上に第2のテープを貼付するステップと、
第2のリードフレームの各レンズ受け領域内に透明レンズを設置するステップであって、第2のテープによりレンズがレンズ受け領域内に固定されるステップと、
ICの各活性領域上に透明接着剤の塊を置くステップと、
第3のリードフレーム・パネルを供給するステップと、
第1および第2のリードフレーム・パネルの第2の側面間に第3のリードフレーム・パネルを設置するステップと、
接着剤の塊により各ICが対応するレンズに取り付けられるように、第1および第2のリードフレーム・パネルを相互の方向に押し付けるステップと、
モールド化合物がボンディング・パッドおよびワイヤをカバーするように、第1および第2のリードフレーム・パネル間にモールド化合物を射出するステップと、
第1および第2のリードフレーム・パネルの第1の側面からテープを除去するステップと、
パネルからリードフレームを分離し、それにより個々のデバイスを形成するステップとを含む。
添付の図面を参照しながら、本発明の上記要約および下記の詳細な説明を読めば、本発明をよりよく理解することができるだろう。本発明を説明するために、図面に本発明の好ましい実施形態を示す。しかし、本発明は、図の正確な配置および手段に限定されないことを理解されたい。
添付の図面に関連して以下に説明する詳細な説明は、本発明の現在の好ましい実施形態を説明するためのものであって、本発明を実行することができる唯一の形式を示すものではない。本発明の精神および範囲内に含まれるいくつかの実施形態により、同じまたは等価の機能を達成することができることを理解されたい。
図面のいくつかの部材は見やすくするために拡大してあり、図面およびその要素は、必ずしも正確な縮尺ではない。しかし、通常の当業者であれば、このような詳細を容易に理解することができるだろう。図面全体を通して、類似の要素には類似の参照番号がつけてある。
図1を参照すると、この図は、本発明によるパッケージ化された光センサ装置10の拡大頂面斜視図である。好適には、センサ装置10は、QFN(クワッド・フラット・ノーリード)タイプのパッケージであることが好ましい。QFNタイプのパッケージが好ましい理由は、形状係数が小さく、プロファイルが低く、組立コストが安価だからである。センサ装置10は、第2のリードフレーム16内に取り付けられているレンズ14を通して見ることができる、センサ集積回路(IC)12を含む。図2は、光センサ装置10の拡大底面斜視図である。この図は、IC12の底面および第1のリードフレーム20のリード・フィンガ18を示す(図3参照)。パッケージ化されたデバイス10は、矩形または角形であり、レンズ14は、一般的に円形をしている。しかし、デバイス10およびレンズはこのような形に限定されない。何故なら、パッケージの形およびレンズの形を変えることができるからである。
図3〜図11は、センサ装置10を実装するための工程の種々のステップを示す。図3は、複数の第1のリードフレーム20を有する第1のリードフレーム・パネル22の斜視図である。センサ装置10を実装する工程の第1のステップは、第1のリードフレーム・パネル22を供給することである。図の実施形態の場合には、第1のリードフレーム・パネル22は、第1のリードフレーム20の3つの5×5マトリックスを含む。しかし、リードフレーム・パネル22は、もっと多くのまたはもっと少ない数のリードフレーム20を含むことができる。第1のリードフレーム・パネル22の外周または縁部は、以下にさらに詳細に説明するように、第1のリードフレーム・パネルを他のリードフレーム・パネル22と整合するために使用する複数の間に間隔を有する孔部24を含む。個々の各第1のリードフレーム20は、中央ダイ受け領域28を囲んでいる複数のリード・フィンガ18(図4)を備える。リード・フィンガ18は、ダイ受け領域28の方向に向かって接続バー30から内側に延びる。他の実施形態の場合には、第1のリードフレーム20は、IC12を保持するためのフラッグ部材を含むことができる。第1のリードフレーム・パネル22は、銅のような金属から形成され、第1のリードフレーム20は、当業者であれば周知のように、パンチング、スタンピングまたはエッチングにより形成される。
図3は、第1のリードフレーム・パネル22の第1の側面上への第1のテープ32の貼付ステップを示す。第1のテープ32は、当業者であれば周知のタイプのもので、第1のリードフレーム・パネル22が接着する1つの面上に接着剤が塗布されている。第1のテープ32を第1のリードフレーム・パネル22の第1の面に貼付した後で、センサIC12が第1のリードフレーム・パネル22の第1のリードフレーム20のダイ受け領域28内に設置される。各IC12は、第1の面と第2の面を有する。第1の面は、活性領域と周辺ボンディング・パッド領域を有する。周辺ボンディング・パッド領域は、複数のボンディング・パッドを含む。好適には、センサIC12は、当業者であれば周知であり、市販されているタイプのCMOSセンサ装置であることが好ましい。IC12の厚さすなわち高さは約15ミルである。各IC12は、受光すなわち活性領域を含む他に、A/D変換器およびDSPまたは算術タイプの演算を行うためのロジック領域のような回路およびロジックを含む。IC12は、IC12の第2の面(底面)が第1のテープ32に接着し、そのためIC12が第1のテープ32によりダイ受け領域28内に固定されるようにダイ受け領域28内に固定される。製造の際のリードフレーム位置許容誤差についての正確で厳密な制御機能を利用することにより、IC12を第1のリードフレーム20のダイ受け領域28内に正確に位置決めすることができる。
図4は、ダイ受け領域28内に固定されているセンサIC12を示す拡大斜視図である。複数のワイヤ34が各ICボンディング・パッドおよびリード・フィンガ18の対応するリード・フィンガにワイヤボンドされ、それによりIC12およびリードフレーム22が電気的に接続する。ワイヤボンディングは、従来の方法により行われる。当業者であれば周知の任意の導電性金属または金属の組合わせを、ワイヤ34を形成するために使用することができる。適当なボンド・ワイヤは、通常、銅または金のような導電性金属を含んでいて、細いワイヤ(直径50μm未満)または太いワイヤ(直径50μmを超える)であってもよい。現在の好ましい実施形態の場合には、ワイヤ34は金からできている細いワイヤである。IC12をワイヤボンディングを介して第1のリードフレーム20に電気的に接続した後で、透明接着剤の塊36がIC12の活性領域上に配置される。接着剤の塊36は、硬化前は液体の形をしている透明エポキシを含むことができる。接着剤の塊36は、任意の分配システムによりセンサの活性領域上に置くことができる。
図5は、光センサ装置10を形成するために使用する第2のリードフレーム・パネル38の斜視図である。第2のリードフレーム・パネル38は、複数の第2のリードフレーム16を含む。第2のリードフレーム・パネル38および第2のリードフレーム16は、それぞれ、第1のリードフレーム・パネル22および第1のリードフレーム20とマッチするような大きさおよび形状を有する。それ故、図の実施形態の場合には、第2のリードフレーム・パネル38は、第2のリードフレーム16の3つの5×5マトリックスを含む。また、第1のリードフレーム・パネル22のように、第2のリードフレーム・パネル38は、銅のような金属であってもよく、プレス、スタンピングまたはエッチングにより形成することができる。第2の各リードフレーム16は、中央レンズ受け領域40を含む領域を有する(図6)。第2のリードフレームは、領域接続バー42を介して接続される。好適には、第2のリードフレーム・パネル38は、その周辺に沿って複数の間に間隔を有する孔部44を含むことが好ましい。図5は、その第1の側面上に置かれた第2のテープ46を含む第2のリードフレーム・パネル38を示す。図面中、第2のテープ46は、第2のリードフレーム・パネル38の下面上に位置する。
図6は、第2のリードフレーム・パネル38の第2のリードフレーム16のレンズ受け領域40内にレンズ14を置くステップの拡大斜視図である。レンズ14は、透明プラスチックまたはガラスであってもよい。好適には、レンズ14は、反射しない光学品位のガラスであり、約15〜16ミルの厚さを有することが好ましい。レンズ14は、必要に応じて、光をフィルタリングする種々の材料でコーティングすることができる。レンズ14は、第2のテープ46の表面上の接着剤によりレンズ受け領域40内に固定される。第1のリードフレーム20のように、製造の際にリードフレームの位置の許容誤差を正確で厳密に制御することができるので、レンズ14を第2のリードフレーム16内に正確に設置することができる。
図7Aを参照すると、この図は、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38間に、第3のリードフレーム・パネル50を置くステップを示す斜視図である。より詳細に説明すると、第3のリードフレーム・パネル50は、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38の第2の側面間に置かれる。次に、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38は、各IC12が接着剤の塊36により、レンズ14の対応するレンズに取り付けられるように相互に押し付けられる。さらに、押し付け動作により、IC12の表面上に接着剤の塊36が確実に均一に拡がる。第3のリードフレーム・パネル50は、IC12からレンズ14を正確に分離する働きをする。
図7Bは、第3のリードフレーム・パネル50のA−A線に沿って切断した断面図である。第3のリードフレーム・パネル50は、縁部52および中央部54を含む。中央部54は、以下に説明するように、モールド化合物を第1および第2のリードフレーム・パネル22および38の間、およびボンド・ワイヤ34の周囲に射出することができるようにする目的で、高さを低くするためにすでにエッチングされている。第3のリードフレーム・パネル50も、複数の間に間隔を有する孔部56を含む。好適には、第1、第2および第3のリードフレーム・パネル22、38および50は、すべて同じ材料からできていて、そのため同じCTE(熱膨張係数)を有することが好ましい。現在の好ましい実施形態の場合には、3つのリードフレーム・パネル22、38および50は、スタンピングしたまたはエッチングした銅からできている。
図8は、リードフレーム・パネル整合ステップを示す拡大斜視図である。このステップにおいては、第1、第2および第3のリードフレーム・パネル22、38および50は、各リードフレーム・パネルの孔部24、44および56内に挿入した案内ピン58により整合している。各リードフレーム・パネルの孔部24、44および56は、各パネルの周囲の同じ位置に位置していて、パネルを正確に整合することができる。IC12およびレンズ14の両方を非常に正確に設置すると同時にパネルを正確に整合することにより、各IC12の中心とレンズ14の光軸が正確に整合するが、これは画像センサ装置を組み立てる際に非常に重要なことである。当業者であれば周知のように、レンズの光軸とセンサ画像円の中心が整合しないことが欠陥の主要な原因であり、そのため光センサの生産の際にロスが生じる。IC12およびレンズ14の両方を収容するためにリードフレームを使用しているので、本発明を使用すれば、非常に正確な設置を行うことができ、そのため整合精度が改善する。レンズ14をIC12の活性領域に接着する接着剤の塊36を硬化するために、熱硬化処理を行うことができる。
図9は、本発明による光センサを実装するための工程の成形ステップを示す。上下の型60および62は、それぞれ第2および第1のリードフレーム・パネル38および22上に置かれる。次に、モールド化合物64が、モールド化合物64がICのボンディング・パッド66、ボンド・ワイヤ34およびリード・フィンガ18の一部をカバーするように、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38間に射出される。すでに説明したように、第3のリードフレーム・パネル50は、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38を分離し、IC12から所定の距離のところにレンズ14を維持する働きをする。マトリックス周囲のデバイスの場合には、この分離は第3のリードフレーム・パネル50の硬質の縁部により維持される。マトリックスの中央のユニットの場合には、射出成形工程中、射出されたモールド化合物は、中央ユニットが分離するように、第1および第2の各リードフレーム20および16を押して分離する。典型的なプラスチックIC実装工程の場合、モールド化合物射出圧力は、5トン以上で、これによりモールド化合物は確実に密にパックされる。
モールド化合物64を射出し硬化した後で、第1および第2のテープ32および46が、第1および第2のリードフレーム・パネル22および38の第1の面から除去される。第1および第2のテープ32および46は、手動でまたは市販の装置で除去することができる。図10は、第1のリードフレーム・パネル22からの第1のテープ32の除去を示す。第2のテープ46も同じ方法で除去される。次に、形成されたデバイスのマトリックスが、図11の個々のデバイスを形成するためにダイシングされる。ダイシングは、当業者であれば周知のように、鋸により行うことができる。図9は、リードフレームをカットすることができる鎖線70の位置を示す。一実施形態の場合には、画像センサ装置10の全部の高さは約40ミルである。レンズ14および透明接着剤の塊36により、光はセンサIC12の活性領域を通過し、その上に入射することができる。レンズ14は第2のテープ46によりカバーされていて、レンズ上に樹脂滲みは生じない。しかし、レンズ14上に何らかの樹脂滲みが生じた場合には、そのような樹脂を除去するために後で水ジェット清掃を行うことができる。第2のテープ46も、レンズ14の潜在的な表面の掻き傷を防止する。
図示し説明するために、本発明の好ましい実施形態について説明してきたが、この説明は全部を網羅するものでもなく、本発明を開示の形に制限するものでもない。当業者であれば、本発明の広義のコンセプトから逸脱することなしに、上記実施形態を種々に変更することができることを理解することができるだろう。それ故、本発明は、開示の特定の実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲に記載する本発明の精神および範囲に入る種々の修正をカバーすることを理解されたい。
本発明による光センサ装置の拡大頂面斜視図。 図1の光センサ装置の拡大底面斜視図。 本発明による光センサ装置を形成するために使用する第1のリードフレーム・パネルの斜視図。 本発明の方法による、第1のリードフレームに画像センサICを取り付ける工程、第1のリードフレームにICをワイヤボンドする工程、およびICの活性領域に接着剤を塗布する工程を示す拡大斜視図。 本発明による光センサ装置を形成するために使用する第2のリードフレーム・パネルの斜視図。 本発明の方法による図5の第2のリードフレーム・パネルの第2のリードフレーム内にレンズを設置する工程の拡大斜視図。 本発明の方法による第1および第2のリードフレーム・パネルの間に第3のリードフレーム・パネルを設置する工程を示す斜視図。 図7Aの第3のリードフレームの断面図。 本発明の方法によるリードフレーム・パネル整合工程を示す拡大斜視図。 本発明の方法による成形工程を示す非常に大きく拡大した断面図。 本発明の方法によるテープ除去工程を示す斜視図。 本発明の方法によるダイシング工程を示す斜視図。

Claims (13)

  1. 光センサを実装するための方法であって、
    複数の第1のリードフレームを含む第1のリードフレーム・パネルを供給するステップであって、各第1のリードフレームが中央ダイ受け領域を囲んでいる複数のリード・フィンガを有するステップと、
    前記第1のリードフレーム・パネルの第1の側面上に第1のテープを貼付するステップと、
    複数のセンサ集積回路(IC)を供給するステップであって、各ICが第1の面と第2の面を有し、前記第1の面が活性領域および周辺ボンディング・パッド領域を有し、前記周辺ボンディング・パッド領域が複数のボンディング・パッドを含むステップと、
    前記第1のリードフレーム・パネルの第1のリードフレームの各ダイ受け領域内に前記複数のICを設置するステップであって、前記ICの第2の面が、前記第1のテープにより前記ダイ受け領域内に固定されるステップと、
    前記ICの各ICボンディング・パッドおよび前記第1のリードフレームの対応するリードフレームのリード・フィンガを、ワイヤボンディングを介して複数のワイヤと電気的に接続し、それにより前記ICと前記第1のリードフレームを電気的に接続するステップと、
    複数の第2のリードフレームを有する第2のリードフレーム・パネルを供給するステップであって、前記各第2のリードフレームが中央レンズ受け領域を有するステップと、
    前記第2のリードフレーム・パネルの第1の側面上に第2のテープを貼付するステップと、
    前記第2のリードフレームの各レンズ受け領域内に透明レンズを設置するステップであって、前記第2のテープにより前記レンズが前記レンズ受け領域内に固定されるステップと、
    前記ICの各活性領域上に透明接着剤の塊を置くステップと、
    第3のリードフレーム・パネルを供給するステップと、
    前記第1および第2のリードフレーム・パネルの第2の側面間に前記第3のリードフレーム・パネルを設置するステップと、
    前記接着剤の塊により前記各ICが前記レンズの対応するレンズに取り付けられるように、前記第1および第2のリードフレーム・パネルを相互の方向に押し付けるステップと、
    モールド化合物が前記ボンディング・パッドおよび前記ワイヤをカバーするように、前記第1および第2のリードフレーム・パネル間に前記モールド化合物を射出するステップと、
    前記第1および第2のリードフレーム・パネルの第1の側面から前記テープを除去するステップと、
    前記パネルから前記リードフレームを分離し、それにより個々のデバイスを形成するステップとを含む方法。
  2. 前記分離ステップが、鋸により前記リードフレーム・パネルを個々のパネルにするステップを含む請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  3. 前記形成された個々のデバイスが、QFNタイプのデバイスである請求項2に記載の光センサを実装するための方法。
  4. 前記第1、第2および第3のリードフレーム・パネルの縁部に沿って位置する孔部内に挿入された少なくとも1つの整合ピンにより、前記第1、第2および第3のリードフレーム・パネルを整合するステップをさらに含む請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  5. 前記第3のリードフレームの少なくとも1つの側面が、前記モールド化合物を前記第1および第2のリードフレーム・パネルの間に射出できるようにするために、その一部がエッチングされる請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  6. 前記レンズがガラスからなる請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  7. 前記第2のテープが、前記レンズを樹脂滲みから保護する請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  8. 前記第3のリードフレーム・パネルの高さが、前記ICおよびその各レンズの焦点距離により決まる請求項1に記載の光センサを実装するための方法。
  9. 画像センサ装置であって、
    複数のリード・フィンガにより囲まれている中央ダイ受け領域を有する第1のリードフレームと、
    前記第1のリードフレームのダイ受け領域内に配置されていて、活性領域および周辺ボンディング・パッド領域を含む第1の面を有し、前記周辺ボンディング・パッド領域が複数のボンディング・パッドを含むセンサ集積回路(IC)と、
    前記各ICボンディング・パッドおよび前記第1のリードフレームの対応するリードフレームのリード・フィンガにワイヤボンドされていて、それにより前記ICおよび前記第1のリードフレームを電気的に接続する複数のワイヤと、
    中央レンズ受け領域を有する第2のリードフレームと、
    前記第2のリードフレームの前記中央レンズ受け領域内に配置される透明レンズであって、前記第2のリードフレームが、前記レンズが前記ICの活性領域上に配置されるように、前記第1のリードフレーム上に位置している透明レンズと、
    前記ICに前記レンズを固定する前記ICの活性領域上に配置される透明接着剤と、
    前記第1および第2のリードフレーム間および前記ワイヤボンド上に射出されるモールド化合物であって、前記画像センサ装置の組立中、第3のリードフレームが、前記ICの能動面と前記レンズの間の間隔を調整するために、前記第1および第2のリードフレーム間に位置するモールド化合物とを備える画像センサ装置。
  10. 前記透明接着剤が、透明エポキシを含む請求項9に記載の画像センサ装置。
  11. 前記第1、第2および第3のリードフレームが銅からできている請求項9に記載の画像センサ装置。
  12. 前記レンズがガラスからできている請求項9に記載の画像センサ装置。
  13. 前記第1のリードフレームがQFNタイプである請求項9に記載の画像センサ装置。
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