JP2007516497A - データ事前設定の方法。 - Google Patents

Abstract

【課題】 データ事前設定の方法。
【解決手段】 データ事前設定機能を実行するように、処理部材に組み合わされたＡＰＣシステムを使用する方法は、開示される。ＡＰＣシステムは、オペレーショナルソフトウェアを備えたＡＰＣコンピュータと、このＡＰＣコンピュータに接続されたデータベースと、ＧＵＩとを備え、処理部材は、ツールと、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを備えている。ＡＰＣシステムが動作するとき、ＡＰＣシステムは、処理部材からデータを収集し、収集されたデータをデータベースに保存する。ＡＰＣ故障が起こるとき、データ回復（データ事前設定）は実行され得る。いくつかの履歴データが失われているとき、データ回復（データ事前設定）は、実行され得る。
【選択図】

Description

この国際出願は、２００３年５月３０日出願の米国仮出願番号第６０／４７４，２２６号に基づく優先権によるものであり、および出願日の利益を主張するものであり、それの内容は、その全体において本願明細書に引用したものとする。

本発明は、半導体処理システムのデータの管理に、および、特にデータ事前設定技術（ｄａｔａ ｐｒｅ−ｐｏｐｕｌａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ）を使用してデータを管理する方法に関連する。

半導体またはディスプレイ製造などのようなプラズマ処理のさまざまな段階を通して、臨界のプロセスパラメータは、かなり変化することがあり得る。プロセス条件は、好ましくない結果を生じている臨界のプロセスパラメータの最もわずかな変化をさせるオーバータイムを変更する。エッチングガスの組成もしくは圧力、プロセスチャンバ、またはウェーハ温度の小さい変化は、容易に生じ得る。

何らかの与えられた時間でのこれらプロセスパラメータの測定およびモニタすることは、有用なデータを蓄積し、分析することを可能とする。プロセスコントロールのフィードバックは、プロセスパラメータを調整するかまたは特定のプロセス材料の生存性（ｖｉａｂｉｌｉｔｙ）を決定するように使用されることがあり得る。しかしながら、多くの場合、プロセス特性の悪化を反映しているプロセスデータの変化は、表示されたプロセスデータを単に参照することによっては検出され得ない。プロセスの初期段階の異常および特性悪化を検出することは、困難であり、多くの場合、高度プロセスコントロール（ａｄｖａｎｃｅｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｏｎｔｒｏｌ：ＡＰＣ）によるパターン認識と同様に、それは、故障の検出および予測を得るのに必要であり得る。

多くの場合、処理ツール（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｔｏｏｌ）は、ＡＰＣシステムに接続されておらず、処理ツールのデータは、適切に使用されない。

したがって、プロセスコントロールシステムを操作する方法を提供することは、本発明の目的であり、このプロセスコントロールシステムは、オペレーショナルソフトウェアを備えたコンピュータと、このコンピュータに組み合わされたデータベースと、ＧＵＩとを有するシステムを、ツールと、処理モジュール（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｍｏｄｕｌｅ）と、センサとのうちの少なくとも１つを有する処理部材（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｅｌｅｍｅｎｔ）に組み合わされることと、処理部材からデータを収集し、収集されたデータをデータベースに保存するシステムを操作することと、プロセスコントロール故障が起こったときを決定することと、データベースと、データ回復コンポーネントを含むプロセスコントロールソフトウェアとを備えた第２のコンピュータが処理部材に組み合わされ、データ回復を実行することと、を具備する。

図１は、本発明の１つの実施形態に係る半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの典型的なブロックダイヤグラムを示す。図示された実施形態において、半導体製造環境１００は、少なくとも１つの半導体処理ツール１１０と、少なくとも１つの処理モジュール１２０と、センサ１３０と、センサインタフェース１３５と、ＡＰＣシステム１０５とを有する。ＡＰＣシステム１０５は、インタフェースサーバ（ＩＳ）１５０と、ＡＰＣサーバ１６０と、クライアントワークステーション１７０と、ＧＵＩコンポーネント１８０と、データベース１９０とを備えることができる。１つの実施形態において、ＩＳ１５０は、「ハブ（Ｈｕｂ）」として見られる得るリアルタイムメモリーデータベースを含むことができる。

図示された実施形態において、単一のツール１１０は、単一の処理モジュール１２０を伴って示されるが、しかし、これは本発明に対して、必要なものではない。ＡＰＣシステム１０５は、１つ以上の処理モジュールを有するクラスターツールを含む多くの処理ツールとインタフェースすることができる。例えば、ツールおよび処理モジュールは、エッチング、堆積、拡散、クリーニング、測定、研磨、現像、移送（ｔｒａｎｓｆｅｒ）、保存（ｓｔｏｒａｇｅ）、ローディング、アンローディング、および他の半導体の関連したプロセスを実行するように使用されることができる。

１つの実施形態において、処理ツール１１０は、ツール１１０上で動作し、イベント情報を提供し得るソフトウェアプロセスであり得るツールエージェント（図示せず）と、コンテキスト情報と、ツールプロセスとデータ収集を同期させるように使用されるスタートストップタイミングコマンドを含むことができる。また、ＡＰＣシステム１０５は、ツールエージェントへの接続を提供するように使用され得るソフトウェアプロセスであり得るエージェントクライアント（図示せず）を含むことができる。

１つの実施形態において、ＩＳ１５０は、ソケットを使用して通信する。例えば、インタフェースは、ＴＣＰ／ＩＰソケット通信を使用して実施されることができる。あらゆる通信の前に、ソケットは、決められる。そして、メッセージは、文字列（ｓｔｒｉｎｇ）として送られる。メッセージが送られたあと、ソケットは、キャンセルされる。代わりとして、インタフェースは、分散されたメッセージハブ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｍｅｓｓａｇｅ Ｈｕｂ：ＤＭＨ）クライアントクラスのような特別なクラスを使用するＣ／Ｃ＋＋コードまたはＣ／Ｃ＋＋プロセスで広がった（ｅｘｔｅｎｄｅｄ）ＴＣＬプロセスとして構築されることができる。この場合、ソケット接続を介しプロセス／ツールイベントを収集するロジックは、ＩＳ１５０のテーブル内にイベントおよびそれらのコンテキストデータをテーブルに挿入するように修正され得る。

ツールエージェントは、ＡＰＣシステムにイベントおよびコンテキスト情報を提供するようにメッセージを送ることができる。例えば、ツールエージェントは、ロットのスタート／ストップメッセージ、バッチのスタート／ストップメッセージ、ウェーハのスタート／ストップメッセージ、レシピのスタート／ストップメッセージ、およびプロセスのスタート／ストップメッセージを送ることができる加えて、ツールエージェントは、セットポイントデータを送り、および／または受け、並びにメンテナンスカウンタデータを送り、および／または受けるように使用されることができる。

処理ツールが内部センサを有するときに、このデータは、ＩＳ１５０およびＡＰＣサーバ１６０に送信されることができる。データファイルは、このデータを転送するように使用されることができる。例えば、いくつかの処理ツールは、作成時にツールで圧縮されるトレースファイルを作成することができる。圧縮および／または非圧縮ファイルは、転送されることができる。トレースファイルが処理ツールにおいて作成されるときに、トレースデータは、終点検出（ｅｎｄ ｐｏｉｎｔ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ：ＥＰＤ）データを含むこともあり、または含まないこともあり得る。トレースデータは、プロセスについて重要な情報を提供する。ウェーハの処理が完了されたあと、トレースデータは、アップデートされ、そして転送されることができる。トレースファイルは、各々のプロセスに対し適当なディレクトリへ転送される。１つの実施形態において、ツールトレースデータ、メンテナンスデータ、およびＥＰＤデータは、処理ツール１１０から得られることができる。

図１において、単一の処理モジュールが示されるが、しかしこれは、本発明に対して、必要なものではない。半導体処理システム１００は、多くの処理ツールを備え、それら処理ツールは、それらと関係した処理モジュールおよび独立した処理モジュールの多くを有する。ＡＰＣシステム１０５は、処理ツールと、処理モジュールと、センサとを含むプロセスから、データを収集し、提供し、処理し、保存し、および表示することができる。

処理モジュール１２０は、ＩＤ、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのようなデータを使用して特定されることができ、このデータは、データベースに保存されることができる。新しい処理モジュールが構成されるときに、この種のデータは、ＧＵＩコンポーネント１８０のモジュールコンフィグレーション画面を使用して提供されることができる。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロン株式会社からの次のモジュールタイプをサポートすることができる：Ｕｎｉｔｙ ＳＣＣＭチャンバ、Ｕｎｉｔｙ ＤＲＭ酸化物チャンバ、Ｔｅｌｉｕｓ ＤＲＭ酸化物チャンバ、Ｔｅｌｉｕｓ ＳＣＣＭ酸化物チャンバおよび／またはＴｅｌｉｕｓ ＳＣＣＭポリチャンバ。代わりとして、ＡＰＣシステムは、他のチャンバをサポートすることができる。

図示された実施形態において、単一のセンサ１３０は、関連した処理モジュールとともに示されるが、しかしこれは、本発明に対して、必要なものではない。多くのセンサは、ツールおよび／または処理モジュールに組み合わされ得る。例えば、センサ１３０は、ＯＥＳセンサと、ＶＩＰセンサと、アナログセンサと、デジタルプローブを含む半導体プロセスセンサの他のタイプとであり得る。ＡＰＣシステムは、種々のセンサからのデータを収集し、処理し、保存し、表示し、出力するように使用され得るデータ管理アプリケーション（ｄａｔａ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ）を有することができる。

ＡＰＣシステムにおいて、センサデータは、外部および内部の両方のソースによって提供されることができる。外部ソースは、外部のデータレコーダタイプを使用して定められることができ、データレコーダオブジェクトは、各々の外部ソースに割り当てられることができ、状態変数表現（ｓｔａｔｅ ｖａｒｉａｂｌｅ ｒｅｐｒｅｓｅｎｔａｔｉｏｎ）は、使用されることができる。

センサ構成情報は、センサタイプおよびセンサインスタンスパラメータを組み合わせる。センサタイプは、センサの機能に対応する総称用語である。センサインスタンスは、特定の処理モジュールおよびツール上の特定のセンサに、センサタイプを組み合わせる。少なくとも１つのセンサインスタンスは、ツールに取り付けられる各々の物理的なセンサに対して構成される。

例えば、ＯＥＳセンサは、センサの１つのタイプであり得て、ＶＩプローブは、センサの他のタイプであり得て、およびアナログセンサは、センサの異なるタイプであり得る。加えて、センサの追加の汎用的なタイプ、およびセンサの追加の特殊なタイプであり得る。センサタイプは、ランタイムにセンサの特定の種類をセットアップするのに必要である変数の全てを含む。これらの変数は、静的であり得るか（このタイプの全てのセンサは、同じ値を有する）、インスタンスによって設定可能（ｃｏｎｆｉｇｕｒａｂｌｅ）であり得るか（センサタイプの各々のインスタンスは、独特な値を有することができる）、または、データ情報収集計画（ｄａｔａ ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎ ｐｌａｎ）によって、動的に設定可能であり得る（センサがランタイムに作動するたびに、それは、異なる値を与えられることができる）。

「インスタンスによって設定可能な」変数は、センサ／プローブＩＰアドレスであり得る。このアドレスは、インスタンスによって変化するが（各々のプロセスチャンバに対して）、しかしランｔｏラン（ｆｒｏｍ ｒｕｎ ｔｏ ｒｕｎ）では変化しない。「データ情報収集計画によって設定可能な」変数は、調波周波数（ｈａｒｍｏｎｉｃ ｆｒｅｑｕｅｎｃｉｅｓ）のリストであり得る。これらは、コンテキスト情報に基づいて各々のウェーハに対して異なって構成されることができる。例えば、ウェーハコンテキスト情報は、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、スタート時間および／または終了時間を含むことができる。同じセンサタイプの多くのインスタンスは、あり得る。センサインスタンスは、ハードウェアの特定の部分に対応し、センサタイプをツールおよび／または処理モジュール（チャンバ）に接続する。換言すれば、センサタイプは、一般的であり、センサインスタンスは、特定なものである。

ＡＰＣシステム１０５は、スタートアップ、セットアップ、シャットダウン、およびセンサ１３０からのデータの収集に対して作成された複数の方法を含み得るレコーダアプリケーションを有することができる。１つのケースにおいて、プローブのために使用される、単一周波数モードのための１つと、複数周波数モードのための１つとの２つのレコーダは、あり得る。グローバルな状態変数は、レコーダの現在状態の情報を得続けるように使用されることができ、この状態は、アイドル状態で、準備状態で、および記録されている状態であり得る。

例えば、レコーダアプリケーションは、レシピスタートイベントによってトリガーされ得るスタートレコーダ方法を含むことができる。また、レコーダアプリケーションは、ｗａｆｅｒ―ｉｎイベントのようなスタートイベントによってトリガーされることができるセンサセットアップ方法を含むことができる。さらにまた、レコーダアプリケーションは、ｗａｆｅｒ―ｏｕｔイベントの結果として、コールされることができる終了記録方法を含むことができる。

ＡＰＣシステム１０５は、また、センサ１３０からのデータを処理するデータ管理アプリケーションを含むことができる。例えば、Ｃ言語で書かれたダイナミックロード可能なライブラリ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｌｏａｄａｂｌｅ Ｌｉｂｒａｒｙ：ＤＬＬ）機能は、センサ１３０からのデータを解析し、それを出力ファイルにプリントすることに適した書式に整える（ｆｏｒｍａｔ）ように使用することができる。ＤＬＬ機能は、パラメータとしてセンサから文字列をとることができ、第２のアーギュメントとして印刷可能な（タブで区切られた）文字列を返すことができる。

図１に示すように、センサインタフェース１３５は、センサ１３０と、ＡＰＣシステム１０５との間のインタフェースを提供するように使用されることができる。例えば、ＡＰＣシステム１０５は、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサインタフェース１３５に接続されることができ、センサインタフェース１３５は、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサ１３０に接続されることができる。また、センサインタフェース１３５は、プロトコル変換器、メディアコンバータ、およびデータバッファとして働くことができる。加えて、センサインタフェース１３５は、データ収集、ｐｅｅｒ―ｔｏ―ｐｅｅｒ通信、およびＩ／Ｏスキャンのようなリアルタイム機能を提供することができる。代わりとして、センサインタフェース１３５は、省かれ得て、センサ１３０は、ＡＰＣシステム１０５に直接組み合わされることができる。

センサ１３０は、静的な（ｓｔａｔｉｃ）または動的な（ｄｙｎａｍｉｃ）センサであり得る。例えば、動的なＶＩセンサは、データ情報収集計画によって提供されたパラメータを使用して、ランタイムで決められた、その周波数レンジ、サンプリング間隔、スケーリング、トリガー、および／またはオフセットされた情報を有することができる。センサ１３０は、静的であり得て、および／または動的であり得るアナログセンサであり得る。例えば、アナログセンサは、ＥＳＣ電圧、マッチャーパラメータ、ガスパラメータ、流量、圧力、温度、ＲＦパラメータ、および／または他のプロセスの関連したデータに対してデータを提供するように使用されることができる。センサ１３０は、ＶＩＰプローブ、ＯＥＳセンサ、アナログセンサ、ディジタルセンサ、および／または半導体プロセスセンサの少なくとも１つであり得る。

１つの実施形態において、センサインタフェースは、データポイントを生のデータファイルに書き込むことができる。例えば、ＩＳ１５０は、データ収集を始めるようにセンサインタフェースにスタートコマンドを送ることができ、ファイルをクローズさせるように、ストップコマンドを送ることができる。ＩＳ１５０は、それで、センサデータファイルを読み込み、そして解析することができ、データを処理し、そしてインメモリデータテーブル内に、データ値を記録する（ｐｏｓｔ）ことができる。

代わりとして、センサインタフェースは、ＩＳ１５０にリアルタイムのデータを流し込んでもよい。スイッチは、センサインタフェースがファイルをディスクに書き込むことを許可するように提供されてもよい。センサインタフェースは、また、ファイルを読み込み、オフライン処理および解析に対してＩＳ１５０にデータポイントを流し込む方法を提供することができる。

図１に示すように、ＡＰＣシステム１０５は、データベース１９０を有することができる。ツールからの生データおよびトレースデータは、データベース１９０のファイルとして保存されることができる。データ量は、プロセスが実行され、処理ツールが動かされる周波数と同様に、ユーザによって構成されたデータ情報収集計画に依存する。処理ツール、処理チャンバ、センサ、およびＡＰＣシステムから得られるデータは、テーブルに保存される。

１つの実施形態において、テーブルは、信頼性の高い記憶装置（ｐｅｒｓｉｓｔｅｎｔ ｓｔｏｒａｇｅ）として、インメモリテーブルとしてのＩＳ１５０内に、およびデータベース１９０内に実装される（ｉｍｐｌｅｍｅｎｔｅｄ）ことができる。テーブルにデータを記録（ｐｏｓｔ）するのと同様に、ＩＳ１５０は、列および行作成のための構造化検索言語（Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ Ｑｕｅｒｙ Ｌａｎｇｕａｇｅ：ＳＱＬ）を使用することができる。テーブルは、データベース１９０の持続的なテーブル（ｐｅｒｓｉｓｔｅｎｔ ｔａｂｌｅｓ）において複製されることができ（すなわち、ＤＢ２は、使用されることができる）、同じＳＱＬ文を使用して設定される（ｐｏｐｕｌａｔｅｄ）ことができる。

図示された実施形態において、ＩＳ１５０は、インメモリリアルタイムデータベースおよびサブスクリプションサーバの両方であり得る。例えば、クライアントプロセスは、リレーショナルデータテーブルのよく知られているプログラミングモデルでＳＱＬを使用してデータベース機能を実行することが可能である。加えて、ＩＳ１５０は、それらの選択基準を満たすデータが挿入されるか、アップデートされるか、または削除されるときはいつでもクライアントソフトウェアが非同期通知を受けるデータサブスクリプションサービスを提供することができる。サブスクリプションは、どのテーブルの列が関連するか、およびどのくらいの行選択基準が今後のデータ変化通知にフィルターをかけるように使用されるか特定するように、ＳＱＬ選択文（ＳＱＬ ｓｅｌｅｃｔ ｓｔａｔｅｍｅｎｔ）の全出力（ｆｕｌｌ ｐｏｗｅｒ）を使用する。

ＩＳ１５０は、データベースおよびサブスクリプションサーバの両方であるので、クライアントは、それらが初期化されるときに、「同期（ｓｙｎｃｈｒｏｎｉｚｅｄ）」サブスクリプションを既存のテーブルデータにオープンすることができる。ＩＳ１５０は、マーシャリングイベントに対しパブリッシュ／サブスクライブメカニズムと、インメモリデータテーブルと、管理（ｓｕｐｅｒｖｉｓｏｒｙ）ロジックとを介してデータ同期を、システムを介してアラームを提供する。ＩＳ１５０は、ソケットを含んでいる技術をベースとした、いくつかのメッセージＴＣＰ／ＩＰ、ＵＤＰ、およびパブリッシュ／サブスクライブを提供する。

例えば、ＩＳ１５０アーキテクチャは、リアルタイムデータ管理およびサブスクリプション機能を提供することができる多重データハブ（すなわちＳＱＬデータベース）を使用することができる。アプリケーションモジュールおよびユーザーインタフェースは、データハブに情報をアクセスし、アップデートするように、ＳＱＬメッセージを使用する。リレーショナルデータベースにランタイムデータを記録することに関連するパーフォーマンス限界のために、ランタイムデータは、ＩＳ１５０によって管理されるインメモリデータテーブルに記録される。これらのテーブルの内容は、ウエハ処理終了で、リレーショナルデータベースに記録されることができる。

図１に示された実施形態において、単一のクライアントワークステーション１７０は示されるが、しかしこれは、本発明に対して必要なものではない。ＡＰＣシステム１０５は、複数のクライアントワークステーション１７０をサポートすることができる。１つの実施形態において、クライアントワークステーション１７０は、ユーザに、ツール、チャンバ、およびセンサ状況を含む状況を見ることと、プロセス状況を見ることと、履歴データを見ることと、モデリングおよび／またはチャート作成（ｃｈａｒｔｉｎｇ）機能（ｆｕｎｃｔｉｏｎ）を実行することとを許す。

ＡＰＣシステムは、データベース１９０と、ＡＰＣシステムとを含むことができ、毎日、前日に処理されたウェーハランをデータベース１９０に保存されたファイルにアーカイブする。ＡＰＣデータベース１９０のデータは、チャートにすること、および／または解析計画実行のために使用されることができる。例えば、このファイルは、各々のウェーハに対する生データと、各々のウェーハおよび各々のロットに対するサマリデータと、ウェーハに関係したツールデータおよびアラームイベントとを含むことができる。全てのプロセスランに対するデータは、特定の日に対応するｚｉｐファイルを使用してデータベース１９０のアーカイブディレクトリに保存されることができる。これらのアーカイブファイルは、ＡＰＣサーバ１６０から、クライアントワークステーション１７０に、またはネットワークを使用して他のコンピュータに、または携帯型メディア上へコピーされることができる。

図１に示された実施形態において、ＡＰＣシステム１０５は、ＩＳ１５０と、クライアントワークステーション１７０と、ＧＵＩコンポーネント１８０と、データベース１９０とに組み合わされることができるＡＰＣサーバ１６０を含むことができるが、しかしこれは、本発明に対して必要なものではない。ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのツール関連のアプリケーションと、少なくとも１つのモジュール関連のアプリケーションと、少なくとも１つのセンサ関連のアプリケーションと、少なくとも１つのＩＳ関連のアプリケーションと、少なくとも１つのデータベース関連のアプリケーションと、少なくとも１つのＧＵＩ関連のアプリケーションとを含んでいる多くのアプリケーションを有することができる。

ＡＰＣサーバ１６０は、多重処理ツールをサポートし、ツールと、処理モジュールと、センサと、プローブとからデータを収集し同期させ、データベースにデータを保存し、ユーザに存在するチャートを見せるようにし、および／または故障検出を提供する、少なくとも１つのコンピュータおよびソフトウェアを有している。ＡＰＣサーバは、オンラインシステム構成と、オンラインロットｔｏロット故障検出と、オンラインウェハｔｏウェハ故障検出と、オンラインデータベース管理とを許し、および／または履歴データに基づくモデルを使用してサマリデータの多変量解析（ｍｕｌｔｉｖａｒｉａｔｅ ａｎａｌｙｓｉｓ）を実行する。

例えば、ＡＰＣサーバ１６０は、最低３ＧＢのディスクスペース残量と、少なくとも１．２ＧＨｚのＣＰＵ（デュアルプロセッサ）と、最低５１２ＭｂＲＡＭ（実メモリ）と、ＲＡＩＤ５の構成における１２０ＧＢのＳＣＳＩハードディスクと、２倍のＲＡＭサイズがある最低ディスクキャッシュと、インストールされたＷｉｎｄｏｗｓ（登録商標）２０００サーバソフトウェアと、マイクロソフトＩｎｔｅｒｎｅｔ Ｅｘｐｌｏｒｅｒと、ＴＣＰ／ＩＰネットワークプロトコールと、少なくとも２枚のネットワークカードを有することができる。

ＡＰＣシステム１０５は、センサからの生データを含んでいるファイルと、ツールからのトレースデータを含んでいるファイルとを保存する少なくとも１つの記憶機器を有することができる。これらのファイルが適切に管理（すなわち、定期的に削除される）されない場合、記憶機器は、ディスク容量が尽きることがあり得て、新しいデータを収集するのを中止され得る。ＡＰＣシステム１０５は、ユーザが以前のファイルを削除することを許し、それによってデータ収集が間断なく続けることができるように、ディスクスペースを自由にするデータ管理アプリケーションを有することができる。ＡＰＣシステム１０５は、システムを操作するように使用される複数のテーブルを含むことができ、これらのテーブルは、データベース１９０において保存されることができる。加えて、他のコンピュータ（図示せず）、例えば現場のまたは現場から離れたコンピュータ／ワークステーションおよび／またはホストは、データ／チャート表示、ＳＰＣチャート作成、ＥＰＤ解析および／またはファイルアクセスのような機能を、１つか又は多くのツールに対し提供するようにネットワーク化されることができる。

図１に示すように、ＡＰＣシステム１０５は、ＧＵＩコンポーネント１８０を有することができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、ＡＰＣサーバ１６０上、クライアントワークステーション１７０上、およびツール１１０上のアプリケーションとして動作することができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステムユーザができる限りほとんど入力せずに、所望の構成と、データ収集と、モニタリングと、モデリングと、トラブルシューティング作業とを遂行することを可能にする。ＧＵＩ設計は、半導体製造装置（ＳＥＭＩドラフトドキュメント＃２７８３Ｂ）に対してのＳＥＭＩヒューマンインタフェース基準によって、およびＳＥＭＡＴＥＣＨ戦略的セルコントローラ（Ｓｔｒａｔｅｇｉｃ Ｃｅｌｌ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：ＳＣＣ）ユーザーインタフェーススタイルガイド１．０（テクノロジートランスファ９２０６１１７９Ａ−ＥＮＧ）によって対応することができる。当業者は、ＧＵＩスクリーンがｌｅｆｔ−ｔｏ−ｒｉｇｈｔ選択タブ構造および／またはｒｉｇｈｔ−ｔｏ−ｌｅｆｔ構造、ｂｏｔｔｏｍ―ｔｏ―ｔｏｐ構造、ｔｏｐ―ｔｏ―ｂｏｔｔｏｍ構造、または組合せ構造を有することができると認識する。別の形態として、ＧＵＩ設計は、マイクロソフトＧＵＩ標準（マイクロソフト株式会社、レドモンド、ワシントン州）に従うことができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステム１０５と、ユーザとの間のインタラクションの手段を提供する。ＧＵＩが開始するときに、ユーザーＩＤ（ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）と、パスワードとを確証するログオンスクリーンは示されることができ、最初のセキュリティレベルを提供する。望ましく、ユーザは、ログオンする前にセキュリティアプリケーションを使用して登録されることができる。ユーザーＩＤのデータベースチェックは、利用できるＧＵＩ機能を合理化（ｓｔｒｅａｍｌｉｎｅ）する認可レベル（ａｕｔｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ ｌｅｖｅｌ）を示す。ユーザが許可されない選択項目は、異なって表示されることができるか、または利用できなくなることができる。セキュリティシステムも、ユーザが既存のパスワードを変えることを許可する。例えば、ログオンスクリーンは、ＮｅｔｓｃａｐｅまたはＩｎｔｅｒｎｅｔ Ｅｘｐｌｏｒｅｒのようなブラウザツールから開かれることができる。ユーザは、ログオン欄にユーザーＩＤと、パスワードとを入れることができる。

１つ以上のＧＵＩスクリーンは、スクリーンの上部に沿って位置づけられたタイトルパネルと、ユーザ情報を表示する情報パネルと、スクリーン下部のコントロールパネルとを含むことができる。ＧＵＩは、サマリデータおよびトレースデータのプロットを作成し、そして見ることができ、最近のウェーハに基づいた状況を、リアルタイムに表すウェブスクリーンを示すことができ、アラームログを見ること、および／またはシステムを設定することができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、ツール状況および処理モジュール状況を見ることと、選択されたウェーハに対するサマリーおよび生（トレース）パラメータデータのｘ―ｙチャートを作成し、編集することと、ツールアラームログを見ることと、データをデータベースにまたは出力ファイルに書き込むための条件を特定するデータ情報収集計画を設定することと、統計的プロセスコントロール（ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｏｎｔｒｏｌ：ＳＰＣ）のチャート作成、モデリングおよび表計算プログラムにファイルを入力することと、特定のウェーハに対するプロセス情報を詳述するウェーハレポートおよびどれだけのデータがデータベースに現在保存されているかについて詳述するデータベース保存レポートを作成することと、プロセスパラメータのＳＰＣチャートを作成し、そして編集し、および電子メール警告を生成するＳＰＣアラームを設定することと、故障検出のための多変量主成分分析（Ｐｒｉｎｃｉｐａｌ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ Ａｎａｌｙｓｉｓ：ＰＣＡ）モデルを動かすことと、および／または、ＡＰＣコントローラに関する問題を解決し、そして問題を報告するために診断スクリーンを見ることとをユーザに許可するインタフェースの使用を容易に提供する。

加えて、正規ユーザおよび管理者は、システム構成およびセンサセットアップパラメータを修正するようにＧＵＩスクリーンを使用することができる。オフラインのワークステーションで、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ユーザーフレンドリーなスクリーンでユーザに、故障検出のための多変量ＰＣＡモデルを展開することを提供する。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、ユーザに、処理ツールと、処理モジュールと、センサと、および／またはＡＰＣシステムとを設定するのを許可する構成コンポーネント（ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）を有することができる。例えば、ＧＵＩ設定画面（ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ ｓｃｒｅｅｎｓ）は、処理ツールと、処理モジュールと、センサと、センサインスタンスと、モジュール休止（ｐａｕｓｅ）と、アラームとのうちの少なくとも１つに対し提供されることができる。コンフィギュレーションデータは、属性データベーステーブルにおいて保存されることができ、インスタレーションでデフォルトにセットアップされることができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツールと、処理モジュールと、センサと、および／またはＡＰＣシステムとに対する現在の状態を示す状況コンポーネントを有することができる。加えて、状況コンポーネントは、システムに関連し、プロセスに関連したデータを、１つ以上の異なるタイプのチャートを使用してユーザに示すチャート作成コンポーネントを有することができる。

ＧＵＩコンポーネントは、データを収集し、保存し、および分析するように使用される戦略（ｓｔｒａｔｅｇｉｅｓ）と計画とを作成し、編集し、および／または表示するためのデータ管理者コンポーネントを有することができる。

また、ＧＵＩコンポーネント１８０は、リアルタイムオペレーショナルコンポーネントを有することができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、バックグラウンドタスクに組み合わせることが出来、共用システム論理（ｓｈａｒｅｄ ｓｙｓｔｅｍ ｌｏｇｉｃ）は、バックグラウンドタスクと、ＧＵＩコンポーネントとの両方によって使用される共通の機能を提供することができる。共用論理は、ＧＵＩコンポーネントへの戻り値がバックグラウンドタスクに戻されるものと同じであることを保証するように使用されることができる。さらにまた、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣファイル管理ＧＵＩコンポーネントと、セキュリティコンポーネントとを有することができる。

処理部材１４０’およびコンピュータ１４５は、また、図１に示される。処理部材１４０’は、処理ツールと、処理モジュールと、センサと、他のデータジェネレータとのうちの少なくとも１つを有することができる。コンピュータ１４５は、データ管理アプリケーションと、ＧＵＩアプリケーションとを備えているポータブルコンピュータであり得る。コンピュータ１４５は、双方向インタフェース１４２を使用して処理部材１４０’に組み合わされることができる。

１つのケースにおいて、処理部材１４０’は、ユーザが履歴データが回復することを望む処理ツールであり得る。例えば、ユーザは、履歴データをコンピュータ１４５上のデータベースへ転送し、および／またはコピーすることができ、それによって、以前、ツールに取得されたデータは、回復される。

コンピュータ１４５がＡＰＣシステム１０５に接続することができないときに、コンピュータ１４５は、データ記憶デバイスとして役立つことができる。例えば、コンピュータ１４５は、少なくとも１つの記憶装置を有する携帯ユニットであり得て、およびコンピュータ１４５は、東京エレクトロンからの、Ｉｎｇｅｎｉｏ（登録商標）ソフトウェアのようなオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。１つのケースにおいて、オペレーショナルソフトウェアは、設定手段と、データ管理手段と、ＧＵＩ手段と、故障管理手段と、トラブルシューティング手段（問題解決手段）とのうちの少なくとも１つを備えている。また、設定ＧＵＩスクリーンは、コンピュータと、処理部材との間のインタフェースを設定するように、および処理部材（すなわちツール、モジュール、センサなど）に対するデバイス型式を決定するように使用され、データ管理ＧＵＩスクリーンは、収集するデータの量およびタイプを決定し、どのように、およびどこに収集されたデータを保存するかを決定するように使用されることができる。さらにまた、故障管理ＧＵＩスクリーンは、ユーザに故障条件を知らせるように使用されることができる。代わりとして、コンピュータは、あとで、収集されたデータをＡＰＣシステムへ転送するように、ＡＰＣシステムに組み合わされることができる。

コンピュータ１４５が処理部材およびＡＰＣシステム１０５に組み合わされることができるときに、コンピュータ１４５は、データ変換デバイスとして役立つことができ、処理部材１４０’からＡＰＣシステム１０５へ履歴データを転送することができる。例えば、コンピュータ１４５は、少なくとも１つの記憶装置を有する携帯ユニットであり得て、コンピュータ１４５は、東京エレクトロンからの、Ｉｎｇｅｎｉｏ（登録商標）ソフトウェアのようなオペレーショナルソフトウェアを備えることができ、オペレーショナルソフトウェアは、設定手段と、データ管理手段と、ＧＵＩ手段と、故障管理手段と、トラブルシューティング手段とのうちの少なくとも１つを備えることができる。

１つのケースにおいて、設定ＧＵＩスクリーンは、コンピュータと、処理部材との間のインターフェースを設定し、コンピュータと、ＡＰＣシステムとの間のインターフェースを設定し、および処理部材（すなわちツール、モジュール、センサなど）に対するデバイス型式を決定するように使用されることができる。また、データ管理者ＧＵＩスクリーンは、収集するデータの量およびタイプを決定し、どのように、およびどこに収集されたデータを保存するかを決定するように使用されることができる。さらにまた、故障管理ＧＵＩスクリーンは、ユーザに故障条件を知らせるように使用されることができる。代わりとして、コンピュータは、収集されたデータを保存することができ、あとで収集されたデータをＡＰＣシステムへ転送することができる。

加えて、ユーザは、処理部材の問題を解決するように収集されたデータを調査することができる。例えば、コンピュータおよび関連ソフトウェアは、処理ツール、処理モジュール、およびセンサと関連した生産問題を解決するための携帯用の診断ツールとして、使用されることができる。蓄積されたデータは、オーバータイムでの単一の処理部材の動作を調査するのと同様に、２つ以上の処理部材の動作を比較するように使用されることができる。

処理部材が東京エレクトロンからのクラスターツールであるときに、コンピュータおよび関連ソフトウェアは、接続されたツールからトレースおよびプロセスファイルを読み込む能力を提供することができ、１つ以上のデータベースを事前設定（ｐｒｅ−ｐｏｐｕｌａｔｅ）することができる。例えば、コンピュータは、クラスターツールに組み合わされることができ、何らかの追加データを収集する前、トレースおよびプロセスファイルを含む履歴データと関係したデータベースをコンピュータで事前設定することができる。また、コンピュータは、クラスターツールに組み合わされることができ、処理部材が何らかの追加データを収集するのを許可する前、トレースおよびプロセスファイルを含んでいる履歴データと関係したデータベースをコンピュータで事前設定する。加えて、コンピュータは、処理部材と関係したデータベースに組み合わされることができる。あたかもそれらがコンピュータと関連するＡＰＣシステムソフトウェアによって直接収集されたかのように、このようにデータベースに事前設定されたプロセスランは、現れる。加えて、あたかもツールデータがコンピュータと関連するＡＰＣシステムソフトウェアによって直接収集されたかのように、データベースに事前設定されたツールデータは、現れる。このように、コンピュータおよび関連ソフトウェアは、多重ツールからデータを取得し、そして結合するように使用されることができる。

データ回復を実行する１つの方法は、コンピュータを既存の処理部材に組み合わせることを備えることができる。例えば、処理部材は、東京エレクトロンからのクラスターツールであり得て、コンピュータは、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データ、トレースの情報、およびプロセスファイルは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、チャート作成およびＳＰＣ解析に利用できる。事前設定オペレーションの間、自動設定機能は使用可能であり得て、この機能を可能にすることは、適格なパラメータにＳＰＣチャートの事前設定を許可する。ユーザは、各々のＳＰＣチャートを見ることができ、通知（ｎｏｔｉｆｉｃａｔｉｏｎｓ）および介入（ｉｎｔｅｒｖｅｎｔｉｏｎｓ）のためのマニュアルの制限を決めることができる。

トラブルシューティング機能を実行する方法は、コンピュータを、故障している処理部材に組み合わせることを備えることができる。例えば、処理部材は、東京エレクトロンからのクラスターツールであり得て、コンピュータは、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データ、トレースの情報およびプロセスファイルは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、チャート作成および問題を解決することに利用できる。ユーザは、ツールの動作の変化がいつ発生したかを判断するように、履歴トレースファイルをより最近のトレースファイルと比較することができる。

データ回復を実行する他の方法は、サーバを多くの既存の処理部材に組み合わせることを備えることができる。例えば、処理部材は、東京エレクトロンからのクラスターツールであり得て、サーバは、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。ユーザが特定のツールを選択し、および「事前設定」機能を選択するときに、この特定のツールからデータは、回復されることができる。加えて、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。各々のツールに対する履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送されることができ、チャート作成およびＳＰＣ解析に利用できるようにされ得る。事前設定オペレーションの間、自動設定機能は、使用可能であることができ、この機能を使用可能とすることは、特定のツールの適格なパラメータに対するＳＰＣチャートの事前設定を許可する。ユーザは、各々のＳＰＣチャートを見ることができ、通知および介入に対するマニュアルの制限を決めることができる。データは、オーバータイムでの単一のツールのオペレーションと同様に、異なるツールのオペレーションを比較するように使用されることができる。

バックアップ機能を実行する方法は、コンピュータを限られた記憶容量を有する処理部材に組み合わせることを備えることができる。例えば、処理部材は、東京エレクトロンからのクラスターツールであり得て、ツールは、その内部ハードディスク上の履歴ログファイルに対して限られた保管能力を有することができる。ユーザは定期的にツールデータを、それが保管限界のために失われないように、アーカイブすることができ、そして、これは、メンテナンスオペレーションの間に、されることができる。コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を備えたオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶとき、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは少なくとも１つのデータベースへ転送され、アーカイブ保管（ａｒｃｈｉｖａｌ ｓｔｏｒａｇｅ）を提供することと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

ＡＰＣシステム故障が起こったあと、データ回復手順は実行されることができ、データは、一定量の時間の間、ＡＰＣデータベースにおいて保存されない。１つのケースにおいて、ＡＰＣシステム故障は、ＡＰＣシステムが、ツール、処理モジュール、および／またはセンサから一時的に切断される切断問題を有し得る。例えば、ＡＰＣシステムは、例えば東京エレクトロンからのＡＰＣシステムで、ツールは、クラスターツールで、例えば東京エレクトロンからのものであり得る。仮にＡＰＣシステムがしばらくの間、ツールから切断された場合、ツールは、通常通りにウェーハを処理し続け、そしてデータをツールのハードディスク上のファイルに保存する。しかしながら、ＡＰＣシステムが接続されていないので、データは、ＡＰＣデータベースには保存されない。もしＡＰＣシステムが短い期間の後、再接続されることができるならば、ＡＰＣシステムは、ツールのハードディスクに保存されたデータが調べられ、失われたデータがＡＰＣデータベースへ転送されるデータ回復手順を実行することができる。もしＡＰＣシステムが短い期間の後、再接続されることができないならば、コンピュータは、有線接続と、イントラネット接続と、インターネット接続とのうちの少なくとも１つを使用してツールに接続されることができる。コンピュータは、内部記憶装置を有する携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を備えたオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶとき、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。回復されたデータは、内部記憶装置へ転送されることができ、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップすっるように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

他の例では、処理部材は、統合化計測学（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ：ＩＭ）モジュールであり得て、ＩＭモジュールは、その内部ハードディスク上の履歴ログファイルに対して制限された保管能力を有することができる。ユーザは、定期的に計測学データを、それが保管限界のために失われないように、アーカイブすることができ、そして、これは、メンテナンスオペレーションの間に、されることができる。コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を備えたオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶとき、ＩＭモジュールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

加えて、処理部材は、センサであり得て、センサは、その内部ハードディスク上の履歴ログファイルに対して制限された保管能力を有することができる。ユーザは、定期的にセンサデータを、それが保管限界のために失われないように、アーカイブすることができ、そしてこれは、メンテナンスオペレーションの間に、されることができる。コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を備えたオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。ユーザが「事前設定」機能を選択するとき、センサからデータは、回復されることができ、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

「事前設定」機能は、「失われたデータ」問題を解決し、履歴記録の空隙に埋めるように使用されることができる。

図２は、本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する方法のフローを示す。手順２００は、２１０にてスタートする。２２０において、ＡＰＣシステムは、ツールと、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを備えることができる少なくとも１つの処理部材に組み合わされることができる。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロンからのＡＰＣシステムであり得て、処理部材は、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができる。また、ＡＰＣシステムは、オペレーショナルソフトウェアを含むＡＰＣコンピュータと、ＡＰＣコンピュータに組み合わされたデータベースと、ＧＵＩとを有することができる。

２３０において、ＡＰＣシステムは、動作することができ、そこにおいてＡＰＣシステムは、処理部材からデータを収集し、そして収集されたデータをデータベースに保存する。例えば、データ情報収集計画は、作成されることができ、そして実行されることができる。

２４０において、問合せ（ｑｕｅｒｙ）は、ＡＰＣ故障が起こるか決定するように実行される。もし故障が起こらなかったならば、手順２００は、２３０へ分岐する。もし故障が起こったならば、手順２００は、２５０に続く。

２５０において、データ回復プロセスは、実行される。データ回復は、多くの異なるプロセスを使用して実行されることができる。例えば、第２のコンピュータは、故障が起こるときに、ＡＰＣシステムに接続された処理システムに組み合わせられることができる。第２のコンピュータは、第２のコンピュータが処理システムに組み合わせられるときに、起動されるデータ回復コンポーネントを含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。データ回復コンポーネントは、処理システムに保存された履歴データを調べて、そして第２のコンピュータに組み合わせられたデータベースに少なくとも一部の履歴データを転送する「事前設定」機能を備えることができる。

１つのケースにおいて、コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。処理システムは、クラスターツール、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができ、コンピュータは、有線接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能選ぶときに、クラスターツールからのデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップされるように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

他のケースにおいて、コンピュータは、第２のＡＰＣコンピュータであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を有するオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。処理システムは、クラスターツール、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができ、第２のＡＰＣコンピュータは、イーサネット（登録商標）接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからのデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

図３は、本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する他の方法のフローを示す。手順３００は、３１０にてスタートする。３２０において、ＡＰＣシステムは、ツールと、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを有する少なくとも１つの処理システムに組み合わせられることができる。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロンからのＡＰＣシステムであり得て、処理システムは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができる。また、ＡＰＣシステムは、オペレーショナルソフトウェアを含むＡＰＣコンピュータと、ＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースと、ＧＵＩとを有することができる。

３３０において、ＡＰＣシステムは、動作することができ、そこにおいてＡＰＣシステムは、処理システムからデータを収集し、そして収集されたデータをデータベースに保存する。例えば、データ情報収集計画は、作成されることができ、そして実行されることができる。

３４０において、問合せは、履歴データの一部がデータベースから失われているか決定するように実行される。もし履歴データが完全であるならば、手順３００は、３３０へ分岐する。もし履歴データの一部がデータベースから失われているならば、手順３００は、３５０へ続く。

３５０において、データ回復プロセスは、実行される。データ回復は、多くの異なるプロセスを使用して実行されることができる。例えば、ＡＰＣコンピュータ／システムは、しばらくの間ＡＰＣシステムから切断された処理システムに組み合わせられることができる。ＡＰＣコンピュータ／システムは、ＡＰＣコンピュータ／システムが処理システムに組み合わせられるときに、起動するデータ回復コンポーネントを含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。データ回復コンポーネントは、処理システムに保存された履歴データを調べ、そして履歴データの少なくとも一部をＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースに転送する「事前設定」機能を備えることができる。

１つのケースにおいて、コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを有することができる。処理システムは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができ、コンピュータは、有線接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

他のケースにおいて、コンピュータは、ネットワーク上のＡＰＣコンピュータであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを有することができる。処理システムは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができ、第２のＡＰＣコンピュータは、イーサネット（登録商標）接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

図４は、本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する他の方法のフローを示す。手順４００は、４１０にてスタートする。４２０において、ＡＰＣシステムは、少なくとも１つの処理モジュールと、少なくとも１つのセンサとを備えたクラスターツールであり得る少なくとも１つの処理ツールに組み合わせられることができる。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロンからのＡＰＣシステムであり得て、処理ツールは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができる。また、ＡＰＣシステムは、オペレーショナルソフトウェアを含むＡＰＣコンピュータと、ＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースと、ＧＵＩとを備えることができる。

４３０において、ＡＰＣシステムは、動作することができ、データベースは、処理ツールからの履歴データで事前設定される。例えば、ＡＰＣシステムは、事前設定機能を含むデータ情報収集計画を実行することができる。データ情報収集計画の実行中に、ＡＰＣシステムは、処理ツールから履歴データを収集することができ、そして収集されたデータをデータベースに保存する。

データ事前設定は、多くの異なるプロセスを使用して実行されることができる。例えば、ＡＰＣコンピュータ／システムは、以前ＡＰＣシステムに接続していなかった処理ツールに組み合わせられることができる。ＡＰＣコンピュータ／システムは、ＡＰＣコンピュータ／システムが処理ツールに組み合わせられるときに、起動するデータ事前設定コンポーネントを含むオペレーショナルソフトウェアを備えることができる。事前設定機能は、処理ツールに保存された履歴データを調べ、そしてＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースに、履歴データの少なくとも一部を転送する。

１つのケースにおいて、コンピュータは、携帯ユニットであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。処理ツールは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからのものを含むことができ、コンピュータは、有線接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。履歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

他のケースにおいて、コンピュータは、ネットワーク上のＡＰＣコンピュータであり得て、東京エレクトロンからの、「事前設定」機能を含むオペレーショナルソフトウェアを含むことができる。処理ツールは、クラスターツールを、例えば東京エレクトロンからものを含むことができ、第２のＡＰＣコンピュータは、イーサネット（登録商標）接続を使用してツールに組み合わせられることができる。ユーザが「事前設定」機能を選ぶときに、クラスターツールからデータは、回復され、ユーザは、回復過程において使用する期間を特定することができる。歴データは、少なくとも１つのデータベースへ転送され、長期保管を提供するのと同様に、ツールデータをバックアップするように使用されることができるアーカイバルファイルは、作成されることができる。

コンピュータおよび処理部材がネットワーク化されて、そしてインターネットアドレスを有するときに、コンピュータは、インターネットプロトコルを使用して処理部材に組み合わせられることができる。代わりとして、イントラネットプロトコルは、使用されることができる。他の場合には、コンピュータは、光ファイバまたは他の配線手段を使用して、処理ツールに組み合わせられることができる。

ＡＰＣシステムが処理部材に組み合わせられるときに、設定手順は、どの処理部材が特定されるかについて実行されることができる。例えば、処理部材がクラスターツールであるときに、クラスターツールに組み合わせられた処理モジュールおよびセンサは、特定される。設定手順は、ＡＰＣシステムによって実行されるデータ情報収集計画の部分であり得る。

データ事前設定機能は、コンテキストに基づくものであり得る。コンテキストデータは、構成情報と、ユーザ提供情報とを含むことができる。例えば、ユーザ供給情報は、グラフィックユーザーインターフェース（ＧＵＩ）を使用して決定されることができる。データ事前設定機能が時間に基づくときに、データ回復計画は、第１の時から第２の時まで履歴データを回復するように設定されることができる。一方のケースにおいて、時間は、ＡＰＣシステムによって自動的に決定されることができ、他方のケースでは、ユーザは、ＧＵＩスクリーンを使用して時間を決定することができる。

また、コンテキストデータは、ソフトウェアバージョン情報を含むことができる。この場合、ＡＰＣシステムは、処理部材がＡＰＣソフトウェアの旧バージョンによって動作している異なるコンピュータに組み合わせられた期間を決定し、そしてＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアの旧バージョンを使用して得られた履歴データでデータベースを事前設定する。加えて、コンテキストデータは、ウェーハ情報を含むことができる。例えば、データ事前設定機能がウェーハに基づいてされるときに、データ回復計画は、多くのウェーハに対する履歴データを回復するように設定されることができる。

本発明の多数の修正および変更は、上記の教示を考慮し可能である。従って、添付の請求の範囲内で、本発明は、ここに特に記載されているより別な方法で実施されることがあり得ると理解されるものである。

本発明の１つの実施形態に係る半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの典型的なブロックダイヤグラムを示す図である。 本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する方法のフローを示す図である。 本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する他の方法のフローを示す図である。 本発明の実施形態に係るＡＰＣシステムを操作する追加の方法のフローを示す図である。

Claims (36)

1. プロセスコントロールシステムを操作する方法であって、
   オペレーショナルソフトウェアを含むコンピュータと、ＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースと、ＧＵＩとを備えたシステムを、ツールと、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを備えた処理部材に組み合わせることと、
   この処理部材からデータを収集し、そして収集されたデータを前記データベースに保存するように前記システムを操作することと、
   プロセスコントロール故障が起こったときを決定することと、
   データ回復を実行することとを具備し、
   データベースと、データ回復コンポーネントを含むプロセスコントロールソフトウェアとを備えた第２のコンピュータが前記処理部材に組み合わされている、方法。
2. 前記システムを操作することは、東京エレクトロン社からのＡＰＣソフトウェアをインストールすることを有している請求項１に記載の方法。
3. 前記第２のコンピュータは、インターネットプロトコルを使用して前記処理部材に組み合わせられ、
   この第２のＡＰＣコンピュータと、この処理部材とがインターネットアドレスを有している、請求項１に記載の方法。
4. 前記第２のコンピュータは、ポータブルコンピュータである請求項３に記載の方法。
5. 前記データ回復コンポーネントは、前記第２のコンピュータのデータベースが前記処理部材によって保存された履歴データの少なくとも一部で事前設定される事前設定機能を備えている請求項１に記載の方法。
6. 前記データ回復コンポーネントは、第１の時から第２の時までの履歴データで前記第２のコンピュータのデータベースを事前設定するように構成されている請求項５に記載の方法。
7. 前記第１の時は、最も古い履歴データを使用して決定され、前記第２の時は、最も新しい履歴データを使用して決定される請求項６に記載の方法。
8. 前記処理部材は、前記処理部材が前記ＡＰＣシステムに接続させていない期間中に、得られた履歴データを備えている請求項５に記載の方法。
9. 前記処理部材は、アップデート期間中に、得られた履歴データであって、
   前記アップデートは、前記処理部材がＡＰＣソフトウェアの旧バージョンで動作しているコンピュータに組み合わせられた期間であり、前記履歴データは、ＡＰＣソフトウェアの旧バージョンを使用して得られたデータである、請求項５に記載の方法。
10. 前記処理部材は、この処理部材が常設のデータベースに接続していなかった期間であるバックアップ期間中に得られた履歴データを有している請求項５に記載の方法。
11. 前記データ回復コンポーネントは、少なくとも１枚のウェーハに対する履歴データで前記第２のコンピュータのデータベースを事前設定するように構成されている請求項５に記載の方法。
12. 前記データ回復コンポーネントは、少なくとも１つのウエーハロットに対する履歴データで前記第２のコンピュータのデータベースを事前設定するように構成されている請求項５に記載の方法。
13. 前記データ回復コンポーネントは、コンテキストに基づくものである請求項１に記載の方法。
14. 前記データ回復コンポーネントは、データ情報収集計画の部分である請求項１に記載の方法。
15. ＡＰＣシステムを操作する方法であって、
    オペレーショナルソフトウェアを含むＡＰＣコンピュータと、このＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースと、ＧＵＩとを備えたＡＰＣシステムを、ツールと、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを備えた処理システムに組み合わせることと、
    この処理システムから履歴データを収集し、この履歴データを前記データベースに保存するように構成されたＡＰＣシステムを操作することと、
    前記履歴データの一部が前記データベースにすでに保存されていないときに、データ事前設定機能を実行することとを具備した方法。
16. 前記ＡＰＣシステムを操作することは、東京エレクトロン社からのＡＰＣソフトウェアをインストールすることを有している請求項１５に記載の方法。
17. データベースと、データ事前設定コンポーネントを含むＡＰＣソフトウェアとを有した第２のＡＰＣコンピュータを処理部材に組み合わせることをさらに具備する請求項１５に記載の方法。
18. 前記第２のＡＰＣコンピュータは、インターネットプロトコルを使用して前記処理部材に組み合わせられ、
    このコンピュータと、この処理部材とは、インターネットアドレスを有している請求項１７に記載の方法。
19. 前記第２のＡＰＣコンピュータは、ポータブルコンピュータである請求項１７に記載の方法。
20. 前記履歴データの一部は、第１の時と、第２の時とを使用して決定される請求項１５に記載の方法。
21. 前記第１の時は、最も古い履歴データを使用して決定され、前記第２の時は、最も新しい履歴データを使用して決定される請求項２０に記載の方法。
22. 前記履歴データの一部は、前記処理システムが前記ＡＰＣシステムに接続させていない期間中に、前記処理システムによって保存された履歴データである請求項１５に記載の方法。
23. 前記履歴データの一部は、アップデート期間中に、前記処理システムによって保存された履歴データであって、
    前記アップデート期間は、前記処理システムがＡＰＣソフトウェアの旧バージョンで動作しているコンピュータに組み合わせられた期間であり、前記履歴データは、ＡＰＣソフトウェアの旧バージョンを使用して得られたデータである、請求項１５に記載の方法。
24. 前記履歴データの一部は、少なくとも１枚のウェーハに対する、前記処理システムによって保存された履歴データである請求項１５に記載の方法。
25. 前記履歴データの一部は、少なくとも１つのウエーハロットに対する、前記処理システムによって保存された履歴データである請求項１５に記載の方法。
26. ＡＰＣシステムを操作する方法であって、
    オペレーショナルソフトウェアを含むＡＰＣコンピュータと、このＡＰＣコンピュータに組み合わせられたデータベースと、ＧＵＩとを備えたＡＰＣシステムを、処理モジュールと、センサとのうちの少なくとも１つを備えた処理ツールに組み合わせることと、
    この処理ツールからの履歴データでデータベースを事前設定することとを具備し、
    前記ＡＰＣシステムが、すでにデータベースにはない履歴データの一部を決定し、このデータベースに前記一部を保存するように構成されている、方法。
27. 前記ＡＰＣシステムは、東京エレクトロンからのＡＰＣソフトウェアである請求項２６に記載の方法。
28. データベースと、データ事前設定コンポーネントを含むＡＰＣソフトウェアとを有した第２のＡＰＣコンピュータを、前記処理ツールに組み合わせることを、さらに具備する請求項２６に記載の方法。
29. 前記第２のＡＰＣコンピュータは、インターネットプロトコルを使用して前記処理部材に組み合わせられ、
    このコンピュータと、この処理部材とは、インターネットアドレスを有している請求項２８に記載の方法。
30. 前記第２のＡＰＣコンピュータは、ポータブルコンピュータである請求項２８に記載の方法。
31. 前記履歴データの一部は、第１の時と、第２の時とを使用して決定される請求項２６に記載の方法。
32. 前記第１の時は、最も古い履歴データを使用して決定され、前記第２の時は、最も新しい履歴データを使用して決定される請求項３１に記載の方法。
33. 前記履歴データの一部は、前記処理ツールが前記ＡＰＣシステムに接続させていない期間中に、前記処理ツールによって保存された履歴データである請求項２６に記載の方法。
34. 前記履歴データの一部は、アップデート期間中に、処理システムによって保存された履歴データであって、
    前記アップデート期間は、前記処理ツールがＡＰＣソフトウェアの旧バージョンで動作しているコンピュータに組み合わせられた期間であり、前記履歴データは、ＡＰＣソフトウェアの旧バージョンを使用して得られたデータである、請求項２６に記載の方法。
35. 前記履歴データの一部は、少なくとも１枚のウェーハに対する、処理システムによって保存された履歴データである請求項２６に記載の方法。
36. 前記履歴データの一部は、少なくとも１つのウエーハロットに対する、処理システムによって保存された履歴データである請求項２６に記載の方法。

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