TWI283817B

TWI283817B - Method of operating a process control system and method of operating an advanced process control system

Info

Publication number: TWI283817B
Application number: TW093113064A
Authority: TW
Inventors: James E Willis; Satoshi Harada; Edward C Hume Iii; James Klekotka
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2003-05-30
Filing date: 2004-05-10
Publication date: 2007-07-11
Also published as: WO2004109410A2; CN1795422A; WO2004109410A3; KR20060023980A; TW200426628A; US20040243256A1; JP2007516497A; KR101030104B1; CN100582977C; US7437199B2

Description

1283817 五、發明說明⑴ ^ ^— -- 一、【發明所屬之技術領域】本發明係關於一半導體處理系巍中之資料管理，尤其是關於使用資料預填充技術來管理資料的方法。二、【先在例階段中，會隨著時之最細微力、處理不論值的資料參數或決形下，反示之處理报難偵測取得故障未連接至使用。前技術】如半導體或臨界處理參間以及臨界的變更進而室或晶圓溫何時，此等並加以分析定某些特定應處理特性貧料而被偵得出來，而檢測及預測一APC系統顯示器製造等之整個電漿處理之各種數可呈現非常不同的變化。處理狀況處理參數產生之不想要的結果而引起產生變化。在蝕刻氣體的組成或壓度中均可輕易產生細微的變更。處：參數之測量及監控均可累積有價制的成果可用來調整該處理 :化ϊί之可行性。然而，在許多情心化之處理資料的變更測出來。處理之早期一去藉甶顯 t £ ^ , &乏I期異常及特性惡化吊*籍由一南級處理控制以及圖形辨識。但往往η ^ . 佐一處理工具並 ’而該處理工具中的資貝料亦未正確地三、【發明内容】因此，本發明之一目的就是為了提供一制糸統的方法，該處理控制系統包含：i將A、卞一處理指一處理元件，其中該系統包含—電腦·，·、§亥系統耦合至电細該電腦則包含操个 1283817 五、發明說明（2) ，體、-搞=，該電腦的資料庫以及一GUI (圖形使用者 "面），而該處理元件則包含至少一 ΐ:感ί器等其中之-1操作該系統，其中該系統收集 =自》亥：理 '件的資料並將該收集的資料儲存在該資料庫中；3.決定一處理控制故障何時發生；4.並執行資其中一第二電腦係耦合至該處理元件，該第二電腦包含一資料庫以及含有-資料回復元件之處理控制軟體四、【實施方式】顯示一示範性之方塊圖，說明根據本發明之一施例中處於一半導辦制、生Λ 實施例中，丰壤境之一APC系統。在所描述的工具110、至小处理系統100包含至少一個半導體處理工^ 10至夕一個處理模組120、感測器13〇、面135以及APC系統105。Apc系琢利器介 (IS) 150、APC伺服田气 1〇5可包含介面伺服器 18〇以及資料庫19〇，眘\用戶端工作站170、GUI元件 ^ Α 叶單1 90在一實施例中，IS150可僉合滿盔一集線裔的即時記憶體資料庫。 ·、、、在該描述之實施例中，一單一工且口理模組1 20同時顯干，徊太旅η0 4 /、 0係與一皁一處彳π π咖^ ^颂但本發明並不需要如此。iMPC系絲 105可與數個處理工具 ΘΑ%系統一個或多個；^裡抬/ 该數個處理工具則包含具有處二叢集：具。舉例來說，該工具以及光、顯影、Ξ; 二:f散、潔淨、測量、抛處理。R储存、負載、卸載以及其他半導體相關第8頁 1283817 —-— 五、發明說明（3) 在一實施例中，處理工具11 0可包含一工具代理（未，示），其可以是一在工具110上執行之軟體處理，並可提供事件資訊、前後資料資訊以及開始-結束時間指令以便用來與該工具處理同步取得資料。且，APC系統/of可包含一代.理客戶（未顯示），其可為一用以提供一連接至該工具代理的軟體處理。在一實施例中，IS1 5 0使用插塞來溝通。舉例來說，該介面可使用TCP/IP插塞溝通來裝設。在每次溝通前均需先建立一插塞。之後訊息便可以一字串來傳迸。在訊息傳送完畢之後，該插塞便取消。選擇性地，一介面亦可^構成一延伸自C/C + +碼之TCL程序，或一使用一特殊等級之 C/C + +，例如一分散訊息集線器（DMH )之客戶端。在此種十月況下’該透過該插塞連接所收集之程序/工具事件的邏輯操作便可修改成將該事件及其前後資料加入位於1315〇内的表中。 ' 該工具代理可發送訊息以提供事件及前後資料資訊予該APC系統。例如，該工具代理可發送批開始/結束訊息、批次開始/結束訊息、晶圓開始/結束訊息、處^開始束訊息以及處理開始/結束訊息。除此之外，該工具代理亦可用來發送/或接收設定點資料及發送/或接收維護器資料。 β 。當一程序工具包含内部感測器時，此項資料便可傳送至該IS 150以及APC伺服器160。資料檔案便可用來傳送此項資料。例如，某些處理工具在檔案產生時便可建立追蹤

1283817 五、發明說明（4) 檔案而壓縮在該工具内。壓縮及/或解壓換。當追蹤槽案在程序工具中建立時，誃 '案係可轉含或不包含終端偵測（EpD )資料。該追1蹤資料便可包處理的重要資訊。該追蹤資料在一晶圓之料提供了該已更新及傳送。追蹤檔案便被傳送至每一=處理完成後便錄。在一實施例中，工具追蹤資料、维=理之適當的目料均可由一處理工具U〇中取得。，、遵貝料以及EPD資在圖1中顯示出一單一處理模組，但要者該：導體處理系統1。〇可包含任意數之‘理：：需數；ΓΪ;模K及獨立處理模組。臓系、、充j收集棱供、處理、儲存以及顯示來自虛理模組以及感測器相關處理之資料。八、地處理模組120可使用例如ID、模組型態、及維濩計數器等資料來識別，π此項資料可儲存至二庫中。—當建構一新處理模組時，此类員的資料便可利用一位於GUI兀件180中之模組構成螢幕來提供。例如，該紗c 統可支援下列來自東京威力科創股份有限公司（T〇k 、 Electron Limited)的模組類型：一 Unity SCCM 處理室、一 Unity DRM氧化處理室、一 TeUus DRM氧化處理室、一 Telius SCCM氧化處理室以及/或一 TeHus sccm p〇iy處理室。選擇性地，該APC系統亦可支援其他處理室。在所說明之實施例中，一單一感測器丨3〇係與一相關處理模組-起顯示’但本發明並不需I。任意數之感測器均可耦合至工具及/或處理模組。例如，感測器丨3〇可包含

1283817 五、發明說明（5) '— ----------- 一 0 E S感測器、一 v I p威測、之包含數位探斜之车篓_二、一類比感測器以及其他類型資料管理應用，其可用來：：感測器。該APC系統可包含出來自各種感測/器的資料。集、處理、儲存、顯示以及輸内部ί :PC提糸二器資料可同時藉由外部來源及器型態;而-資料^ 使用狀態可變表示法。了β又疋至母一外部來源·’並可 =器構成貝讯結曰了感測器類型以及感測器實例參數。一感測器類型係關於該感測器功能之統稱名詞。一感測益實例則將該感測器類型搭配一特定處理模組及工具上 ^特定感測器。為連揍至一工具的每一實體感測器設置至少一感測器實例。。，例來說，一OES感測器可以是一種感測器；_VI探針 ^可是另一種感測器，而一類比感測器則可是一種不同型 ^的感測器。此外，可有另外之通稱類型的感測器以及另 —之特疋型態之感測器。一感測器類型包含執行時所須設定一特定感測器類型之所有變數。這些變數可以是固定的 ^所有此類的感測器均具有相同的值），或是隨著實例而 ^動（該感測器類型的每一實例均具有一獨特的值），或 ^ f據一資料收集計晝而隨機變動（每次該感測器啟動執行守’均給予一不同的值）。 —「依實例而變動」的變數可以是該感測器/探針的 1 p位址。此位址隨著實例而變動（對每一處理室而言）但

1283817 五、發明說明（6) 並不會因每次執行而變動。而一「依資料收集計畫」而變動的變數則可以是一諧波頻率的清單。這些均可根據該前，資^資訊而對每一晶圓做不同的構成。例如，晶圓前後貝料貧訊可包含工具ID、模組id、槽孔id、處方ID、卡匣 ID三開始時間及/或結束時間。相同感測器類型可有許多，只例。一感測器實例係關於一種特定的硬體並將一感測二類型連接至该工具及/或處理模組（處理室）。換句話說，一感測器類型為一統稱，而一感測器實例則是特定的。 , 該APC系統1 05可包含一記錄器應用，其可包含複數個方法用以啟動、設定、關閉以及自感測器丨3 〇收集資料。在一例中，一探針可使用兩個記錄器，一個設定為單頻模式而另一個則设為多頻模式。一總體狀態變數可用來追蹤該記錄器之目前狀態，而該狀態可為閒置、就緒以及記錄中。舉例來說’ 一記錄器應用可包含一開啟記錄器方法，其可藉由一處方啟動事件而觸發。且，該記錄器應用可包含一感測器設定方法，其可藉由例如一晶圓移入事件的啟動事件來觸發。且，該記錄器應用亦可包含一結束記錄方法，其可稱之為一晶圓移出事件的結果。該APC系統1 05亦可包含一資料管理應用，用以處理來自感測器1 30的資料。例如，一以C語言寫成之可動態載入程式館（DLL )功能可用來分析來自感測器1 3 0的資料，並將其格式化成適合列印至輸出檔的格式。該DLL功能可將

HE 第12頁 1283817 五、發明說明（7) 來自該感測為之一字串招ϋ JL· ^JL 、，〜士油子甲硯為一參數，並將該可列印（限定定位）之子串傳回當成一第二參數。… 如圖1所示’感測器介面i ^^ 1 30以及該APC系統i。5之間：k位於感測器透過一網際網路或區域網路Μ、拿歹1如，AP^系統105可、、 X L A肩路而連接至感測器介面1 3 5，而感測器介面1 35亦可透過一網際網路或區域網路而連接至，測tin且」感測器介面135可當作一通訊協定轉換器、媒體轉換器以及資料緩衝器。此外，感測 3 可提供及時功能’例如資料取得、同級間通信以及ι/〇掃猫。選擇性地，感測器1 3 5也可丰昤，接麵合至APC系統105。了去除而使该感測器130直 &感測器130可以是靜態或動態的感測器。例士"一動怨V I感測器可利用一資料收集計晝所提供之來時建立其頻率範圍、採檨F n ’ 在订〜午二固採樣Q間、分級尺度、觸發以及/或 ^ ιΓ ί測器130可以是一靜態及/或動態之類比感 =益:例如’類比感測器可用以提供ESC電壓、匹配器參卢乳體參數、流動率、壓力、溫度、RF參數以及/或其 =處理相關之-貝料。感測器13()可包含至少νιρ探針、〇es 2測器、類比感測器、數位感測器以及感測器等其中之一。卞等耀^埋私次t 一貝訑例中，一感測器介面可將該資料點寫入-原 ’IS15〇可傳送一啟動指令至該感測面以啟動-貝料取得’並可傳送一停止指關閉。IS150便可讀取並分析該感測器資料播案、處理該

第13頁 1283817 五、發明說明（8) ' ------ 項資料並將該資料值登入該内部記憶體資料表中。選擇性地’該感測H介面亦可即時將該資料流入 IS15〇。一開關可使該感測器介面將該檀案寫入磁該感測器介面亦可提供-方法，彡可閱讀將料點流入該I S1 5 0以便離線處理及分析。柯乂貝如圖1所示，APC系統1 0 5可白人一次也丨由，Λ Λ 料以及來自該工具之追蹤資料岣貝牵、。原始資資料庫19。卜該資料的數量4取V二棺#^ 料收集計晝，以及處理執行和處理於:且使:用者莖所建構的資該處理工具、胃處理室、該感等的頻率。由的資料均儲存在表單中。及該Apq統所取得在一實施例中，該等表單可設於該IS15G内，並可以持續儲存° ^體表單的方式中。該IS15"使用結構化並將資料登人料表單中。料建置攔與列 (例如：可使用DB2 )中之持績矣⑽"複製至賣料庫19〇 SQL敘述來填充。、、、、早内，並可使用相同的在所描述之實即時資料庫以及一訂閱伺服同時為-内部記憶體 SQL以及相關資料表單之近似1 ’客端處理能夠使用能。此外，該IS1 5 0可提供一杳^ 、式來執行資料庫功客端軟體在符合他們選擇條閱服務的功能’使該可收到異步通知。訂閱係# ffl ζΛΤ貢枓新粍、更新或删除喊設定有興趣之表單攔位以及選擇敘述之全部功能來及所使用之列選擇條件來過濾带

1283817 五、發明說明（9) 來可能之資料變更通知。口由於1 S 1 5 0同時是一資料庫以及一訂閱伺服器，客戶

$在現有表單資料初始化時開啟「同步」訂閱。該IS15Q 糸透過一發佈/訂閱機制、内部記憶體表單以及透過該系、先之用以編列事件及警示之監督邏輯而提供資料之同步化。次例如’該I s 1 5 0結構可使用多個資料集線器（例如SQL 貝料庫）以提供及時資料管理及訂閱的功能。應用模組以 ^使用^介面均可使用SQL訊息來存取並更新該資料集線器中的貢訊。由於將執行時間資料登錄至該相關資料庫的相關執行限制’執行時間資料便登錄至由該丨s丨5 〇管理之内部記憶體資料表單中。這些表單之内容便可在該晶圓處理結束後登錄至該相關資料庫中。如圖1所描述之實施例中，係顯示一單一客戶端工作站170但本發明並不需要。該Apc系統1〇5可支援複數個客戶端工作站170。在一實施例中，該客戶端工作站17〇可讓使用者觀看包含工具、處理室以及感測器狀況等現況；也可觀看處理現況；也可觀看歷史資料；並可執行模型化以及 /或製圖功能。该APC系統可包含一資料庫丨9〇，而該Apc系統則可每天將前一天執行之晶圓資料儲存至資料庫丨9 〇中的檔案。儲存在該A P C資料庫1 9 0中的資料可用來製圖以及/或執行分析計晝。例如，此檔案可包含每一晶圓之初始資料、每一晶圓及每一批之彙總資料、工具資料以及與該晶圓相關

$ 15頁 1283817 五、發明說明（10) 之警示事件。該處理執行之所有資料均可使用對應至每一特定日期之壓縮檔案來儲存在資料庫190之歸檔目錄中。這些歸檔檔案便可由該APC伺服器16〇中複製下來後傳送至一客戶端工作站170或其他使用網路之電腦或可攜式媒介中〇如圖1所說明之實施例中，APC系統105可包含一耦合於IS15 0之APC伺服器160、客戶端工作站17〇、GUI元件18〇以及資料庫1 9 0 ’但本發明並不需要。該APC伺服器1 6 〇可包含數個應用，其中包含至少一個工具相關應用，至少一個模組相關應用，至少一個感測器相關應用，至少一個【s 相關應用，至少一個資料庫相關應用以及至少一個GUI相關應用。該APC伺服器1 60包含至少一個電腦以及軟體，其可支援多數個處理工具；收集並同步化來自工具、處理模組、感測器以及探針的資料；將資料儲存在資料庫中並讓使用者觀看現有圖形；以及/或提供故障檢測。該APC伺服器可線上系統組態、連線每一批次故障檢測、連線每一晶圓故障檢測、連線資料庫管理，以及/或使用根據歷史資料之模型來執行彙總資料之多變數分析。例如，APC伺服器160可包含一最小3GB可用磁碟空間、至少1· 2GHz CPU (雙處理器）、一最小512Mb RAM (實體記憶體）、一RAID5結構之120 GB SCSI硬碟、一兩倍於該RAM大小之最小磁碟高速緩衝記憶體、安裝W i ndows 2000伺服器軟體、微軟網際網路探險家、TCP/IP網路通訊

第16頁 1283817 五、發明說明（11) 協定以及至少兩個網路卡。 APC系統105可包含至少—個儲存裝置，其中儲存含有 ^自感測器之原始資料的檔案以及含有來自該工具的追艰為料的檀案。若此等槽荦未瘦矣| A , 队、伯系木左文善的官理（例如經常性刪 2)，該儲存裝置的磁碟空間將报快用馨而停止收的 -貝料。該APCS統1G5可包含-f料管理剌，其可讓使用者删除較舊的檔案，藉此而釋放出磁碟空間，資料的收集。該APC系統105亦可包含複數個表I，其= 以運作該系統，而此等表單則儲存在資料庫19〇中。此外’其他電腦（未顯示），例如現場或外地的電腦工作站以及/或主機，均可透過網路連線而提供一或多工具之

如資料/圖表觀看、SPC繪圖：、EPD分析以及/或槽案存取J 功能。 ^ 如圖1所示，該APC系統105可包含一GUI元件18〇。如，GU I το件可如同一應用般地在該Apc伺服器j β 〇、戶端工作站170以及工具11〇上執行。令 GUI元件180可使一APC系統使用者在輸入最少資料的情況下執行所需結構、資料收集、監卜模型化以及疑難排解等任務。該GIH設計可與半導體製造設備（semi難 ;:文獻編號# 2783B )之SEMI人類介面標準以及SEMTE【略單元控制（SCC)使用者介面類型指南U (技術移轉 9206m9A-ENG)相容。熟f該項技#者應可辨識出^ 螢幕可包含一由左至右選擇鍵結構以及/或一由右至左結1 構、-由下至上結構、-由上至下結才冓，或一組合結構。

1283817 五、發明說明（12) 選擇性地，該GUI設計可與微軟GUI標準（微軟公司， Redmond，WA )相容。 GUI元件180提供該APC系統105與使用者之間互動的工具。當該GUI啟動時，一登入的螢幕可驗證該使用者的身份並顯示出密碼，如此提供一第一階段的安全性。a人 $地’使用者％可在登入之前利用—安全性應用程^而登錄。使用者驗證之資料庫確認可顯示一權限階級，效率的運用現有之GUI功能。對於未經授權之項則可有不同的顯示或是沒有該等選項。該可讓使用者來變更現有的密碼。例如，該登入螢例如網景瀏覽胃或網際網路探險家等潘】覽器I4來開=。使用者則可在登入攔位裡填入使用者ID以及密碼。一或更多GUI螢幕可包含一沿著兮 … 板、一資訊面板以顯干佶用去次“以幕上4的主題面顯不使用者資訊以及一位於琴馨复庇都 ^ ^ f，J Φ ^ ° ^G u 1 ^ ^ ^ ^ m ^ t f 料的圖點，並顯示在網路螢幕上於一曰貝狀況，並可觀看警示記錄及、日日圓以及即時的 GH元㈣。提：=二裝設該系統。具狀況以及處理模組狀況；產生並讓使用者觀看工及原始（追蹤）參數資料χ ，選疋晶圓之彙總裝資料收集計晝並設定將資V寫圖=看資；錄;安情況;將檔案輸入至統計處理控制器二;if i輸出檔案的以及表格程式中；產生晶圓報告，）衣圖、模型化理資訊；以及資料庫儲存報主 I砰述特定晶圓之處仔報σ s羊述哪些資料最近被儲； 1283817

至該資料庫；產生並編輯處^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 子郵#慾千6^Dr敬一 ^ ^默之圖，並ά疋產生電 ^ J ^ .、吾不；執行多變數主成分分析（PC A )模白，ΑΡΓ批J ^測；以及/或觀看檢測螢幕以便疑難排解並向該APC控制者回報問題。诉辟且此外，經授權的传用去β # TW? & 扪便用考及管理者可利用GUI螢幕來修爻系:“構以及感測器設定參數。利用一離線工作站， % #凡《件280便可提供容易使用的螢幕來發展用於故障檢測的多變數PCA模型。該GUI元件180可包含一構成元件，其可讓使用者安裝地理工具、處理模組、感測器以及/或該Apc系統。例如，巧1構成螢幕可包含一處理工具、一處理模組、一感測器、一感測态貫例、一模組暫停器以及一警示器等至少其中之一。構成資料可儲存在一屬性的資料^表單中，並可在安裝時設定預設值。忒GUI元件1 80可包含一狀態元件，用以顯示處理工具、處理模組、感測器以及/或該ApC系統的目前狀態。此外，該狀態元件可包含一製圖元件，其可以一或多種圖表型態來呈現給使用者系統相關以及處理相關的資料。該GUI元件180可包含一資料管理者元件，用以產生、編輯、以及/或觀看用以收集、儲存以及分析資料的策略及計畫。且’ GUI兀件1 80可包含—即時操作元件。例如，一 GUI元件可耦合至一背景任務，而所共享之系統邏輯可提供由該背景任務及該GUI元件兩者均使用之共同功能性。

第19頁 1283817 五、發明說明（14) —-- 共享邏輯可用以確保回傳至該⑶I元件的值與傳回至該背景任務的值相同。且，該GUI元件18〇可包含一APC ^其理GUI元件以及一安全性元件。細系吕圖1中亦顯示出處理元件140,以及電腦145。處理元件 140’可包含一處理工具、處理模組、感測器以及其他資料產生器等至少其中一項。電腦145可包含一可攜式電腦，其中包含資料管理應用以及GUI應用。電腦145可耦合至使用一雙向介面142之處理元件140，。在一例中，處理元件14〇,可以是一處理工具，其具有一使用者想回復之歷史資料。例如，一使用者可在該電腦 145上傳送及/或複製該歷史資料至一資料庫，藉此該工具原先所需之資料便已回復。當該電腦145無法連接至該APc系統105時，電腦145可用來當作一資料儲存裝置。例如，電腦丨4 5可以是一具有至少一圮憶體裝置之可攜式單元，而電腦丨4 5可包含例如來自東京威力科創股份有限公司之Ingenl〇軟體的操作軟體。在一例中，該操作軟體可包含一安裝工具、一資料管理工具、一 GUI工具、一故障管理工具以及一疑難排解工具等至少其中之一。且，安裝GUI螢幕可用來安裝介於該電腦以及該處理元件之間的介面，以及決定用於該處理元件的裝置型態（也就是工具、模組、感測器等等），而資料管理G U I螢幕可用來決定欲收集的資料數量及型態，以及決定如何儲存該收集之資料及儲存於何處。且，故障管理GUI螢幕可用來通知一使用者故障情況。選擇性地，該

1283817 五、發明說明（15)

電腦可在較晚的時機耦合至該APC系統以便傳送該收隼到的資料至該APC系統。 ^ J 當電細145可耦合至該處理元件以及該Ap 時，電腦1 4 5可用办a仏 τ ^ 1 υ 〇 -杜々 μ 來當作一資料傳送裝置並將來自該處理二一歷史資料傳送至該APC系統105。例如，電腦 ^二二=二具有至少一記憶體裝置之可攜式單元，而電

Zect二nWl如來1東京威力科創股份有限公司（Tokyo 勹人一 ^肢 ngenl0軟體的操作軟體，而該操作軟體可 —女裝工具、一資料管理工具、一GUI工一管理工f以及一疑難排解工具等至少其中之一。故户早 ^ i ^中，安裝GUI螢幕可用來安裝介於該電腦以及 i i間的入之間的介面，且可安裝介於該電腦與該apc系魷θ工呈”面，以及決定用於該處理元件的裝置型態（也可ΐ來i三模組、感測器等等）。且，資料管理gui螢幕該收集的資料數量及型態’以及決定如何儲存來通知一佶及儲存於何處。且，故障管理gui螢幕可用收隼到沾次用者故障情況。選擇性地，該電腦可先儲存該 ’、的貝料而在較晚的時機傳送至該APC系統。理元—使用者可觀看該收集到的資料以便排解該處一、、難。例如，該電腦以及相關的軟體可用來合作二等2 =具，用以排ΐ處理：具、處理模組以：感更多個声的生產問題。該累積的資料可用來比較兩個或元件的元件的操作，亦可用來調查一超時之單一處理

1283817 五、發明說明（16) 當該處理元件是一來自東京威力科創股份有限公司的叢集工具時，該電腦以及其相關之軟體便可提供讀取追蹤及處理來自一連接工具之檔案的能力並可預先填充至一或多個資料庫中。例如，該電腦可輕合至該叢集工具並可預先將連接於該電腦的一資料庫填充以包含收集任何新増資料前的追蹤及處理檔案之該歷史資料。且該電腦可輪|至該叢集工具，並可預先將連接於該電腦的一資料庫填充以包含在讓該處理元件收集任何新增資料前的追蹤及處理伊案之該歷史資料。此外，該電腦可耦合至一與該處理元; 相連之一資料庫。如此執行該預先填充於該資料庫之該處理運作’看起來便如同由連接於該電腦的該人？(：系統軟體直接收集而來。此外，該預先填充於該資料庫中之該工具資料，看起來便如同由連接於該電腦的該Apc系統軟體、接收集而來。依此方式，該電腦以及其相連取得並合併來自於多工具的資料。 ^體便τ用來

1283817 五、發明說明（17) 功能便使SPC製圖之合適參數得看每一個SPC圖表並建立通知八預先填充。使用者可觀 -執行疑難排除功能的方法'入的手動限制。故障處理元件。例如，誃 I包含將一電腦耦合至一科創股份有限公司的叢^兀牛可以是一來自東京威力不威力科創股份有限公司之入古: = J匕3來自粟軟體。者 ^ m ^ ^ 3有預先填充」功能的操作私篮。虽一使用者選揠钤「隹工呈沾吹射你释4 預先填充」功能時，來自該叢，八的1料便已回復，而該使用者則可指定回復處理所 4用的時段。該歷史資料以及追蹤及處理檔案内的資訊係傳送至至少一個資料庫，並可用於製圖以及SPC分析。一使用者可比較歷史追蹤檔案以及更近的追縱檔案以決定該工具之操作何時變更。一用以執行資料回復之另一方法可包含經一伺服器耦合至數個現有處理元件。例如，該等處理元件可以是來自東京威力科創股份有限公司的叢集工具，而該伺服器可包含來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能的操作軟體。當使用者選擇一特定工具並選擇該「預先填充」功能時，來自該特定工具的資料便已回復。此外，该使用者更可指定回復處理所使用的時段。母一工具之該歷史資料係傳送至至少一個資料康，並可用於製圖以及 SPC分析。在該預先填充操作中，〆自動安裝功能便已啟動’而啟動此功能便使用於一特定工具之SPC製圖之合適參數得以預先填充。使用者可觀看每一個SPC圖表並建立通知及介入的手動限制。該資料 < 用於比較不同工具間的

1283817 五、發明說明（18)

操作以及一簟一和成 Q -早超時工具的操作。執行備份功能的t、、土 1 ^ 有限儲存容量的處ί¥ - f可包§將一電腦耦合至一具有自東不威力科創股份有限公司乂疋-來用以儲存在其内部硬磾 2 m具，而該工具具有使用者可定期儲存該：具；有限儲存容量。容量的限制而遺失，％ b " 匕°亥資料便不會因儲存電腦可以是一u此：工作可在維護操作時進行。該份有限公司之含有'「預2埴：包含一來自東京威力科創股用者選擇該「iL真Γϋ力！的操作軟體。當-使便已回復，而缔蚀田土」此夸來自§亥叢集工具的資料該歷史資料係；送至至處理所使用的時段。則可用來備份該工具資；且==容：產生之储存槽案且資料系統故障發生之後進行，丰又時間未儲存入該Ap(：資料該APC系統故障可包含一遠接ψ 1中，暫時盥-工且斷問題’其中該APC系統係；八、處理楔組以及/或感測器中斷連接。例如，一例如來自東京威力科創股份有限公司的APc系统，工ΐ可以是一例如來自東京威力科創股份有限公司勺叢集卜、。若該APC系統已經一段時間中斷與該工具的連接，該工具繼續正常處理晶圓且將資料儲存在該工且之硬碟中的檔案内。然而，由於該APC系統並未連接，故並無資料儲存在該APC資料庫内。若該APC系統在短期之内可以恢復連接，該APC系統便可在偵測到儲存在該工具硬碟

1283817 五、發明說明（19) 中的資料處執行一資料回該APC資料庫。若該apc系腦便可利用一硬線連接、連接等至少其中之一來連有内部儲存裝置之可攜式科創股份有限公司之含有當一使用者選擇該「預先的資料便已回復，而該使時段。該回復的資料可傳儲存檔案則可用來備份該在另一例中，該處理組’而該IM模組在其内部存歷史記錄檔案。一使用不因儲存限制而遺失，而行。邊電腦可以是一可攜力科創股份有限公司之含體。當一使用者選擇該「 =t資料便已回復，而該杜，段。該歷史資料係傳 4存檔案則可用來備份該此外，該處理元件可 :::碟中具有有限儲存，可定期儲存該感測而此存檔工作可在維復程序統無法一區域接至該單元，「預先填充」用者則送至該工具資元件可硬碟中者可定此存檔式單元有「預預先填使用者送至至工具資以是一容量用器資料修操作，而將遺在短期内網路連接工具。該且可包含填充」功功能時，可指定回内部儲存料且提供以是一積具有有限期儲存該工作可在，且可包先填充」充」功能則可指定少一個資料且提供感測器，以儲存歷以使其不時進行。漏的資料傳送至恢復連以及^一電腦可一來自能的操來自該復處理裝置，長期儲體計量儲存容計量資維修操含一來功能的時，來回復處料庫，長期儲而該感史記錄因儲存該電腦接，一電網際網路以是一具東京威力作軟體。叢集工具所使用的而產生之存。 (IΜ )模量用以儲料以使其作時進自東京威操作軟自該I Μ模理所使用而產生之存。測器在其檔案。一限制而遺可以是一 1283817 五、發明說明（20) 可攜式單元’且可包含一來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能的操作軟體。當一使用者選擇該「預先填充」功能時，來自該感測器的資料便可回復，而該使用者則可指定回復處理所使用的時段。該歷史資料係傳运至^少一個資料庫，而產生之儲存檔案則可用來備份該工具資料且提供長期儲存。該「預先填充」功能解決了「遺失資料」的問題且可用來填補歷史紀錄中的缺口。圖/2顯示一流程，說明根據本發明之一實施例中操作了八？(：系統的方法。程序2〇()開始於21()。在22()中，該人1^ 系統可耦合至至少一個處理元件，其包含一工具、一理模，以及一感測器等至少其中之一。例如，該系統可以是二來自東京威力科創股份有限公司的APC系統，而該處理元件可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司的叢集工具。且，該APC系統可包含一APC電腦，其包含操作軟體、一耦合至該APC電腦之資料庫以及一GUI。在23 0中，遠A PC系統可以操作，其中該Apc系統自該處理元件收集資料並將該收集到的資料儲存在該資料庫中。例如，可以產生一資料收集計晝並加以執行。在240中，係執行一詢問以決定是否_Apc故障發生。若故障並未發生，該程序20 0便分岔至23〇。若故程序20 0則接續至2 5 0。 & 在25 0中，係執行一資料回復處理。資料回復可利用數個不同處理來執行。例如，一第二電腦在故障發生時玎

^mm 第26頁 1283817 五、發明說明（21) 耦合至該連接至該APC系統的處理系統。該第二電腦可包含操作軟體，其包含一資料回復元件並使其在該第二電腦耦合至該處理系統時啟動。該資料回復元件可包含一「預先填充」功能，其可檢視儲存在該處理系統内的歷史資料並傳送至少一部份之歷史資料至一耦合於該第二電腦的資料庫。在一例中，該電腦可以是一可攜式單元，且可包含一來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能的操作軟體。該處理系統可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司之叢集工具，該電腦可利用一硬線連接而輕合至該工具。當一使用者選擇該「預先填充」功能時，來自該叢集工具的資料便可回復，而該使用者則可指定回復處理所使用的時段。該歷史資料係傳送至至少一個資料庫，而產生之儲存檔案則可用來備份該工具資料且提供長期儲存。在另一例中，該電腦可包含一來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能的操作軟體。該處理系統可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司之叢集^ 具’而該第二APC電腦可利用一乙太網路連接而耦合至該工具。當一使用者選擇該「預先填充」功能時，來自該/叢集工具的資料便可回復，而該使用者則可指定回復處^所使用的時段。該歷史資料係傳送至至少一個資料庫，而生之儲存檔案則可用來備份該工具資料且提供長期儲存圖3顯示一流程，説明根據本發明之一實施例中操子作。

第27頁 1283817 五、發明說明（22) 一APC系統的另一方法。程序30 0開始於310。在320中，該 APC系統可耦合至至少一個處理系統v其包含一工具、〆處理模組以及一感測器等至少其中之一。例如，該APC系統可以是一來自東京威力科創股份有限公司的APC系統，而該處理系統可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司的叢集工具。且，該APC系統可包含一APC電腦，其包含操作軟體、一耦合至該APC電腦之資料庫以及一Gin。在33 0中，該apc系統可以操作，其中該APC系統自該處理系統收集資料並將該收集到的資料儲存在該資料庫中。例如，可以產生一資料收集計畫並加以執行。在340中，係執行一詢問已決定是否一部分的歷史資料已經由資料庫遺失。若該歷史資料為完整無缺者，該程序3 0 0便分岔至3 3 0。若有一部份之歷史資料自該資料庫遺失，程序300則接續至35〇。在3 5 0中，係執行一資料回復處理貝料回復可利數個不同處理來執行。例如，一 APC電腦/系統可耦合至該處理系統，其已與一APC系統中斷連接一段時間。該Apc電腦/系統可包含操作軟體，其包含一資料回復元件並使其在該APC電腦/系統耦合至該處理系統時啟動。詨回元件可包含一=預先填充」功能，其可檢視儲存在該處理系統内的歷史資料並傳送至少一部份之歷史資人於該APC電腦的資料庫。、π王祸口在二例中，該電腦可以是一可攜式單元，且可包來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能

1283817 五、發明說明（23) 的操作軟體。該處理糸統可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司之叢集工具，該電腦可利用一硬線連接而搞合至該工具。當一使用者選擇該「預先填充」功能時，來自該叢集工具的資料便可回復，而該使用者則可指定回復處理所使用的時段。該歷史資料係傳送至至少一個資料庫，而產生之儲存檔案則可用來備份該工具資料且提供長期儲存。 " 在另一例中，該電腦可以是一在網路上之APc電腦並可包含一來自東京威力科創股份有限公充」功能的操作軟體。兮卢禅金姑π—人令頂无具威力科創股份有限公司：ΐ:系統可包含一例如來自東京利用一乙太網路連接2 =集工具，而該第二APC電腦可「預先填充」功能時，Ϊ 5至該工具。當一使用者選擇該而該使用者則可指a n ^自該叢集工具的資料便可回復，係傳送至至少_ = $ =復處理所使用的時段。該歷史資料份該工具資料且二；斗庫’而產生之儲存檔案則可用來備圖4顯示—产’、長期儲存。

一APC系統之再另—兄明根據本發明之一實施例中操作該APC系統可執合至法。程序4 0 0開始於410。在4 20中，工具，其中包含至少1少一個處理系統，其可以是一叢集如，該APC系統可以^曰一處理模組以及至少一感測器。例的APC系統，而疋—來自東京威力科創股份有限公司創股份有限公司的恭統可包含一例如來自東京威力科電腦，其包含操作_集工具。且，該APC系統可包含一 APC ~體、一耦合至該APC電腦之資料庫以

1283817

及一 GU I 〇在430中，該APC系統可以操作，而該資料庫已預先充來自該處理工具的歷史資料。例如，該Apc系統可執行收H Ξ 5填充功能之資料收集計4。在執行該項資料收集汁旦J間，該APC系統可收集來自該處理工具之声資料並將收集到之資料儲存在該資料庫中。、止資料之預先填充可利用數個不同的處理來進行。例如，一APC電腦/系統可耦合至該處理工具，而該處理工具事先並未連接至一APC系統。該APC電腦/系統可包含操作、軟體，其包含一資料預先填充元件並使其統麵合至該處理系統時啟動1預先填充功能可2見U 在该處理系統内的歷史資料並傳送至少一部份之歷史資至一耦合於該APC電腦的資料庫。在一例中，該電腦可以是一可攜式單元，且可包含— 來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填充」功能的操作軟體。該處理系統可包含一例如來自東京威力科創股份有限公司之叢集工具，該電腦可利用一硬線連接而耦合至該工具。當一使用者選擇該「預先填充」功能時，來自該叢集工具的資料便可回復，而該使用者則可指定回復處理所使用的時段。該歷史資料係傳送至至少一個資料庫，而產生之儲存檔案則可用來備份該工具資料且提供期儲存。在另一例中，該電腦可以是一在網路上2APC電腦並可包含一來自東京威力科創股份有限公司之含有「預先填

1283817 五、發明說明（25) 充」功能的操作軟I#。& 威力科創股份有限公司==系統可包含一例如來自東京利用-乙太網路連接而且而：第二A:。電腦可「預先填充」功能睡^口至該工具。當一使用者選擇該而該使用者則可指定回叢集工具的資料便可回復，係傳送至至少一個資料ί處理所使用的時段。該歷史資料份該工具資料且提供長期儲^產生之儲存權案則可用來備當該電腦以及續_ 位址時，該電腦债可二几件以網路連接並具有網際網路理元件。選擇性地，亦：：際網路通訊協定而耦合至該處例子中，該電腦可利用光纖。在其他理工具。八他更線具來耦合至該處田ApC系統耦合至一處在該處理元件確定時執彳干^兀件時，一安裝程序便可工具時，該輕合以；：二當ΐ處理元件係-叢集定。該安裝程序可以是二由= 處系理::，感測器便可確晝的部份。 ^ApC系、洗執灯之資料收集計後資是以前後資料為根據。該前中，時間可由該APC系統自\^時定間的而n料。在一例者可利用一GU I螢幕來決定時間。例中，使用

第31頁 1283817 五、發明說明（26) 且，該前後資料可包含軟體版本資訊。在此種情況下，該APC系統則可決定該處理元件耦合至一使用較早版本之APC軟體的不同電腦的時段，而該APC系統則利用較早版本之APC軟體所取得之歷史資料預先填充該資料庫。此外，前後資料可包含晶圓資訊。例如，當該資料預先填充功能係以晶圓為根據時，可建立一資料回復計晝來回復數個晶圓之歷史資料。根據本發明之上述說明所做之多種修改及變異均屬可行。吾人應瞭解，在所附之申請專利範圍内，本發明在此處所特定說明之外亦可實施。

第32頁 1283817 圖式簡單說明五、【圖式簡單說明】在下列之附圖中，圖1顯示一示範性之方塊圖，說明根據本發明之一實施例中處於一半導體製造環境之一APC系統；圖2顯示一流程，說明根據本發明之一實施例中操作一APC系統的方法；圖3顯示一流程，說明根據本發明之一實施例中操作一APC系統的另一方法；圖4顯示一流程，說明根據本發明之一實施例中操作一APC系統之再另一方法。【元件符號簡單說明】 100 半導體處理系統 105 A PC系統 110 半導體處理工具 120 處理模組 130 感測器 135 感測器介面 140 、1 4 0 ’ 處理元件 142 雙向介面 145 電腦 150 介面伺服器（I S ) 160 APC伺服器 170 用戶端工作站

第33頁 1283817 圖式簡單說明 180 GUI元件 190 資料庫第34頁

Claims

95.12. ib

1283817 1號 93im 六、申請專利範圍 i一種處理控制系統的操作方法，包含. a) ·將該系統耦合一匕1 2 · 腦，該電腦包含：操作軟乂 2 :中該系統包含一電一GUI (圖形使用者介面）γ，貝料庫，耦合至電腦；以及而該處理元件則包含二工呈石器等至少其中之一；具、一處理模組以及一感測 b) ·操作該系統，其並將所收集到的資料儲、“糸統自該處理元件收集資料， ^ N . ^ # 至該資料座· C)·決定何時發生一 ^叶犀， d)勃耔次w 處理控制故障；以及 CU·執订一資料回復，i ^ 元件，該第二電腦包含一:、苐二電腦係耦合至該處理有一資料回復元件，貝枓庫以及處理控制軟體，其含其中該資料回復元件包一二電腦資料庫係以由該處 f真充：能’其中該第一部份預先填充。牛儲存之该歷史育料的至少

第35頁 1 ·如申請專利範圍第丨項該系統之操作係包含安,^理^控制系統的操作方法，其中、APC (局級處理控制）軟體。 2 ·如申請專利範圍第i項該第二電腦係利用網際έ 控制系統的操作方法，其中件，其中該第二電腦訊協定而輕合至該處理元址。 mu遠處自元件均具有網㉟網路位 !283817 1 號 931130R4 六、申 ~^--—--- 該第申印專利範圍第3項之處理控制系統的操作方法，其中 —電腦包含一可攜式電腦。該Ϊ ^請ί利範圍第1 J員之處理控制系…统的操作方法，其中、二回復7G件之安裴係用以將該第二電腦預先充弟-時間到第二時間之該歷史資料。該第:1專利範圍第5項之處理控制系統的操作方法，其中 :時間係利用最舊的歷史資料來決定而該第二時疋以最新的歷史資料來決定。、J 該=申晴專利範圍第丨項之處理控制系統的操作方法，其中接；^ : it 5含在連接中斷期間所取得之歷史資料，該連斷期間包含該處理元件未連接至該ApC系統的期間。 8該Ϊ申請專利範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其中間$ Ϊ ^ ^在更新期間所取得的歷史資料’該更新期之電：：=理搞合至：以較早版本之該APC軟體運作軟I* π * e S ，八中5亥歷史資料包含利用較早版本之該AP c 孕人體所取得之資料。 9該m:範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其中期二勺：二含在一備用期間所取得的歷史資料，該備用，月間包含該處理元件並未連接至一永久資料庫的期間。 1283817 _案號93113064_年月曰修正_ - 六、申請專利範圍 f 1 0.如申請專利範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其中該資料回復元件係用以將該第二電腦資料庫預先填充以至少一個晶圓之歷史資料。 11.如申請專利範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其中該資料回復元件係用以將該第二電腦資料庫預先填充以至少一批晶圓之歷史資料。 1 2.如申請專利範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其¥ 中該資料回復元件係以前後資料為根據。 1 3.如申請專利範圍第1項之處理控制系統的操作方法，其中該資料回復元件係一資料收集計晝之部分。 14. 一種APC(高級處理控制）系統的操作方法，包含·· a) .將該系統耦合至一處理元件，其中該APC系統包含一APC電腦，該APC電腦包含：操作軟體；一資料庫，耦合至該APC電腦；以及一 GUI (圖形使用者介面）；而該處理元件則包含一工具、一處理模組以及一感測器等〇至少其中之一； b) .操作該APC系統，其中該APC系統自該處理系統收集資料，並將所收集到的資料儲存至該資料庫；以及 c) .當歷史資料的一部份並非已儲存在該資料庫中時，

第37頁 1283817 _案號93113064_年月曰修正_ - 六、申請專利範圍，執行一資料預先填充功能。 · 1 5.如申請專利範圍第1 4項之APC系統的操作方法，其中該 APC系統的操作包含安裝APC軟體。 1 6.如申請專利範圍第1 4項之APC系統的操作方法，更包含將一第二APC電腦耦合至該處理元件，該第二APC電腦包含一資料庫以及含有一資料預先填充元件之APC軟體。 17.如申請專利範圍第16項之APC系統的操作方法，其中該第二APC電腦係利用網際網路通訊協定而耦合至該處理元件，其中該第二APC電腦以及該處理元件均具有網際網路位址0 1 8.如申請專利範圍第1 6項之APC系統的操作方法，其中該第二APC電腦包含一可攜式電腦。 19. 如申請專利範圍第14項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分係利用一第一時間及第二時間來決定。 0 20. 如申請專利範圍第1 9項之APC系統的操作方法，其中該第一時間係利用最舊的歷史資料來決定，而第二時間則利用最新之歷史資料來決定。

第38頁 1283817 _案號93113064_年月曰修正__ - 六、申請專利範圍 t 2 1.如申請專利範圍第1 4項之APC系統的操作方法，其中該：歷史資料的部分包含在連接中斷期間由該處理系統所儲存的資料，該連接中斷期間包含該處理系統未連接至該APC系統的期間。 2 2.如申請專利範圍第14項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含在更新期間由該處理系統所儲存的資料，該更新期間包含當該處理元件耦合至一以較早版本之該APC軟體運作之電腦的期間，其中該歷史資料包含利用較早版本之該APC軟體所取得之資料。 # 2 3 .如申請專利範圍第1 4項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含由該處理系統儲存之至少一晶圓的歷史資料。 2 4.如申請專利範圍第14項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含由該處理系統儲存之至少一批晶圓的歷史資料。 2 5. —種APC系統之操作方法，包含：〇 a).將該APC系統耦合至一處理工具，其中該APC系統包含一APC電腦，該APC電腦包含：操作軟體；一資料庫，耦合至該APC電腦；以及一 GUI (圖形使用者介面）；而該處理工具則包含一處理模組以及一感測器等至少

第39頁 1283817 _案號 93113064_年月日__ - 六、申請專利範圍 * Γ 其中之一； - b).將一資料庫預先填充以來自該處理工具之歷史資料’其中該A P C糸統係用以決定尚未在該貧料庫中之一部份的歷史資料並將該部分儲存入該資料庫。 2 6.如申請專利範圍第2 5項之APC系統的操作方法，其中該 APC系統包含APC軟體。 2 7.如申請專利範圍第2 5項之APC系統的操作方法，更包含將一第二APC電腦耦合至該處理工具，該第二APC電腦包含# 該資料庫以及含有一資料預先填充元件之APC軟體。 2 8.如申請專利範圍第2 7項之APC系統的操作方法，其中該第二APC電腦係利用網際網路通訊協定而耦合至該處理工具，其中該第二APC電腦以及該處理工具均具有網際網路位址。 2 9.如申請專利範圍第27項之APC系統的操作方法，其中該第二APC電腦包含一可攜式電腦。 0 3 0.如申請專利範圍第2 5項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分係利用一第一時間及第二時間來決定。 31.如申請專利範圍第30項之APC系統的操作方法，其中該

第40頁 1283817 案號 93113064 Λ:_ 曰修正六、申請專利範圍而第二時間則利第一時間係利用最舊的歷史資料來決定用最新之歷史資料來決定。 3 2 .如申請專利範圍第2 5項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含在連接中斷期間由該處理工具所儲存的資料，該連接中斷期間包含該處理工具未連接至該APC系統的期間。 3 3.如申請專利範圍第2 5項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含在更新期間由該處理系統所儲存的資料，該更新期間包含當該處理工具耦合至一以較早版本之該APC軟體運作之電腦的期間，其中該歷史資料包含利用較早版本之該APC軟體所取得之資料。 34. 如申請專利範圍第25項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含由該處理系統儲存之至少一晶圓的歷史資料。 35. 如申請專利範圍第25項之APC系統的操作方法，其中該歷史資料的部分包含由該處理系統儲存之至少一批晶圓的歷史資料。

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