JP2007514556A - 密封されたマイクロキャビティを備えるマイクロ部品及びそのようなマイクロ部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−基板上に犠牲層を堆積し、
−前記基板および前記犠牲層の上に、カバーを形成する第1の層を堆積し、
−前記犠牲層に対して開口する少なくとも1つのホールを前記第1の層にエッチングし、
−前記ホールを通じて前記犠牲層を除去することにより、マイクロキャビティを形成し、
−第2の層を堆積することにより、前記マイクロキャビティを密封する、
ことを連続的に含み、
前記ホールのエッチング後、前記犠牲層を除去する前に、
−前記ホールの周囲にわたって、前記ホールおよび前記第1の層の一部を覆う更なる犠牲層を堆積し、
−前記第1の層および前記更なる犠牲層の上に第3の層を堆積し、
−前記ホールに対してオフセットし且つ前記更なる犠牲層に対して開口する少なくとも1つの更なるホールを前記第3の層にエッチングし、
前記更なるホールを通じて前記犠牲層および前記更なる犠牲層を除去することにより前記マイクロキャビティを形成し、前記第3の層上に前記第2の層を堆積することにより前記更なるホールを密閉し、前記第1の層の堆積後に、機械的に引張応力が加えられた少なくとも1つの層を堆積することを具備したこと特徴とする方法を提供することである。
Claims (9)
- 少なくとも1つのホール(5)が形成される第1の層(4)を具備するカバーによって輪郭が現れるように密封されたマイクロキャビティ(6)と、前記マイクロキャビティ(6)を密封する第2の層(7)とを備えるマイクロ部品であって、
前記第1の層(4)と前記第2の層(7)との間に配置された第3の層(9)と、前記ホール(5)に連通し且つ前記第1の層(4)と前記第3の層(9)との間に配置された更なるマイクロキャビティ(11)と、前記更なるマイクロキャビティ(11)に隣接するとともに前記第3の層(9)に形成され且つ前記ホール(5)に対してオフセットするとともに前記第2の層(7)によって密閉される少なくとも1つの更なるホール(10)とを備え、
前記第1の層(4)の上方に配置され且つ機械的に引張応力が加えられた少なくとも1つの層を備えていることを特徴とする、マイクロ部品。 - 前記更なるマイクロキャビティ(11)は前記更なるホール(10)に連通していることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ部品。
- 前記ホール(5)は前記マイクロキャビティ(6)の最も高い部分に配置されていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のマイクロ部品。
- 前記ホール(5)と前記更なるホール(10)との間のオフセットは、前記更なるホール(10)が前記ホール(5)を一部でさえも覆わないように構成されていることを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のマイクロ部品。
- 前記各ホール(5)に対して2つの前記更なるホール(10)が関連付けられ、それにより、前記第3の層(9)に形成され且つ前記2つの更なるホール(10)によって輪郭が現れる懸架ブリッジ(12)が、前記ホール(5)を覆うことを特徴とする、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のマイクロ部品。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のマイクロ部品の密封されたマイクロキャビティ(6)の製造方法であって、
−基板(2)上に犠牲層(3)を堆積し、
−前記基板(2)および前記犠牲層(3)の上に、カバーを形成する第1の層(4)を堆積し、
−前記犠牲層(3)に対して開口する少なくとも1つのホール(5)を前記第1の層(4)にエッチングし、
−前記ホール(5)を通じて前記犠牲層(3)を除去することにより、マイクロキャビティ(6)を形成し、
−第2の層(7)を堆積することにより、前記マイクロキャビティ(6)を密封する、
ことを連続的に含み、
前記ホール(5)のエッチング後、前記犠牲層(3)を除去する前に、
−前記ホール(5)の周囲にわたって、前記ホール(5)および前記第1の層(4)の一部を覆う更なる犠牲層(8)を堆積し、
−前記第1の層(4)および前記更なる犠牲層(8)の上に第3の層(9)を堆積し、
−前記ホール(5)に対してオフセットし且つ前記更なる犠牲層(8)に対して開口する少なくとも1つの更なるホール(10)を前記第3の層(9)にエッチングし、
前記更なるホール(10)を通じて前記犠牲層(3)および前記更なる犠牲層(8)を除去することにより前記マイクロキャビティ(6)を形成し、前記第3の層(9)上に前記第2の層(7)を堆積することにより前記更なるホール(10)を密閉し、
前記第1の層(4)の堆積後に、機械的に引張応力が加えられた少なくとも1つの層を堆積することを具備することを特徴とする、方法。 - 前記第3の層(9)に機械的な引張応力が加えられることにより、前記更なる犠牲層(8)の除去によって解放される前記第3の層(9)の部分が前記第1の層(4)の方向に屈曲することを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記第3の層(9)は、機械的に圧縮応力が加えられた第2の副層(9b)によって覆われる機械的に引張応力が加えられた第1の副層(9a)により形成され、前記第2の副層(9b)は、前記犠牲層(3,8)が除去された後に除去されることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 前記犠牲層(3,8)が除去された後に、機械的に引張応力が加えられた第4の層(13)が前記第3の層(9)上に堆積され、それにより、前記第3の層(9)および前記第4の層(13)が前記第1の層(4)の方向に屈曲することを特徴とする、請求項6に記載の方法。
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