JP2007506112A - 共振磁力計デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (27)
- 振動部材と、該振動部材に交流(AC)を通過させるための手段とを備えた共振磁力計において、
前記振動部材に、磁界に応じた振動力を加えるための駆動手段が更に設けられていることを特徴とする共振磁力計。 - 振動部材の屈曲に応じた電気出力信号を発生するための検出手段を備えた請求項1記載の磁力計。
- 前記駆動手段が前記検出手段によって発生された電気信号を受信するための正のフィードバック回路を含む請求項2記載の磁力計。
- 前記駆動手段が固定された振幅の振動力を発生する請求項3記載の磁力計。
- 前記駆動手段が調節可能な振幅の振動力を振動部材に与えるようになっており、前記振動部材の振動の所定の振幅を得るように、使用中、前記駆動手段によって印加される振動力の振幅を調節する請求項3記載の磁力計。
- 前記振動部材にACを通過させるための手段が前記検出手段によって発生された電気出力信号を受信するようになっているフィードバック回路を含む請求項2乃至5の何れか1項記載の磁力計。
- 前記検出手段が前記基板に設けられ、前記振動部材との間に可変容量を有する少なくとも1つのセンサ電極を含む請求項2乃至6の何れか1項記載の磁力計。
- 前記検出手段が基板に位置する複数の細長いセンサ電極を備え、前記振動部材が前記複数の細長いセンサ電極と互い違いになっている複数の細長い電極を含む請求項7記載の磁力計。
- 前記振動部材の電極が所定の直流(DC)分極電圧に維持されている請求項8記載の磁力計。
- 前記振動部材の電極に高周波のAC分極電圧が印加される請求項8記載の磁力計。
- 2つの電極の組を形成するように前記複数のセンサ電極が電気的に接続されており、これら2つの電極の組が差分容量ピックオフ信号を発生するようになっている請求項8乃至10の何れか1項記載の磁力計。
- 振動部材にACを通過させるための手段が前記ACの振幅を変えるための手段を含む請求項1乃至11の何れか1項記載の磁力計。
- 前記駆動手段が前記振動部材に振動力を制限的に加えるよう、前記基板に形成された少なくとも1つの駆動電極を備える請求項1乃至12の何れか1項記載の磁力計。
- 前記駆動手段が前記基板に形成された複数の細長い第1駆動電極を備え、前記振動部材が複数の細長い第2の駆動電極を備え、第1の細長い駆動電極が第2の細長い駆動電極と互い違いになっている請求項1乃至13の何れか1項記載の磁力計。
- 前記振動部材が共振ビームを備える請求項1乃至14の何れか1項記載の磁力計。
- 振動部部材が少なくとも2つの可撓性脚部部分を備え、前記少なくとも2つの可撓性脚部部分のうちの少なくとも1つを前記AC電流が通過される請求項1乃至15の何れか1項記載の磁力計。
- 振動部材が前記少なくとも2つの脚部部分に対して実質的に垂直に配置されており、これら脚部部分を相互に接続するようになっている実質的に剛性のクロスビームを備える請求項16記載の磁力計。
- 前記クロスビームがこのビームから垂直に突出する複数の細長い電力を備える請求項17記載の磁力計。
- 前記クロスビームが所望する分極電圧を受けるように、前記振動部材に交流電流(AC)を通過させるための手段が、前記脚部部分に差分AC電圧を供給するようになっている請求項17又は18記載の磁力計。
- 前記振動部材が前記基板の平面に平行な平面内の軸線に沿って振動するようになっている請求項1乃至19の何れか1項記載の磁力計。
- 前記振動部材が少なくとも1つの応力軽減手段を備える請求項1乃至20の何れか1項記載の磁力計。
- 前記少なくとも1つの応力軽減手段が応力軽減ループを備える請求項21記載の磁力計。
- 前記磁力計がマイクロ電気機械システム(MEMS)として形成されている請求項1乃至22の何れか1項記載の磁力計。
- 前記基板および振動部材がシリコンを含む請求項1乃至23の何れか1項記載の磁力計。
- 前記基板および振動部材がシリコンオンインシュレータ(SOI)ウェーハおよびシリコンオングラス(SOG)ウェーハのうちのいずれか1つから形成されている請求項24記載の磁力計。
- 請求項1乃至25の何れか1項記載の少なくとも1つの磁力計を含む慣性測定ユニット(IMU)。
- 3つの磁力計が設けられており、これら3つの磁力計のうちの各々が相互に直交する軸線に沿って磁界を検出するようになっている請求項26記載のIMU。
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