JP2014508287A - 磁電気センサによる磁場測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) Hmess(t)=Hmess0×cos(2πfmesst)
は、本発明により、付加的に形成した高調波変調信号
(2) Hmod(t)=Hmod0×cos(2πfmodt)
とMEセンサにおいて重畳される。ここで上記の変調信号の振幅Hmod0および周波数fmodは、ユーザには既知である。この変調信号は、周波数発生器によって形成され、有利にはアンテナを介し、電磁波として上記のMEセンサに入射する。択一的にはこの変調磁場をMEセンサの周りのコイルによって形成することも可能である。未知のHmess0およびfmessは、上記の測定信号の振幅および周波数として求められる。
(3) λ(t)≒
a(Hmess(t))2+a(Hmod(t))2+2aHmess(t)×Hmod(t)+O(H4)
の形の磁歪材料の長さ変化によって和信号Hmess(t)+Hmod(t)を検出する。
(4) 2aHmess(t)×Hmod(t)=aHmess0×
Hmod0[cos(2π(fmess+fmod)t)+cos(2π(fmess−fmod)t)]
である。
(5) fR−fmax≦fmod≦fR−fmin または
(6) fR+fmin≦fmod≦fR+fmax
のうちの1つにわたって変化させ、これによってMEセンサをつねに共振的に励振させる。上記の変調信号との混合により、測定信号の周波数がセンサ共振周波数に移動する。
(8) |fmod−fR|>Δf
を保証しなければならない。したがって|fmess|<Δfの測定信号は、はじめのうちは得られないのである。
(9) λ(H=HW)≒c1(HW+dH)+c2(HW+dH)2+c3(HW+dH)3
であり、ただしc1,c2≪c3であり、dHは、時間的に変化する磁場成分である。ここでも、測定すべき変化する磁場と、上記のMEセンサにおける上記の変調磁場とを重畳させると、fmodを選択することにより、発生する複数の混合周波数(2fmess+fmod),(2fmess−fmod),(fmess+2fmod)または(fmess−2fmod)のうちの1つと、センサ共振周波数とを一致させることができる。殊に式(8)に注意して、Δf/2<|fmess|<Δfの範囲に測定信号を検出することできる。ユーザにとってこれがまだ十分でない場合、ユーザはさらに、λ(H)のより次数の高い主要項の別の動作点HWをサーチすることができる。ここで予想されるのは、ユーザが、HW>HB(すなわち変曲点を向こう側)だけに対してこのような動作点を見つけることである。
Claims (6)
- 機械的な共振周波数fRを有する磁電気センサにより、時間的に変化する磁場を測定する方法であって、
前記磁場は、求めるべき測定振幅Hmess0および既知の周波数区間fmin<fmess<fmaxの求めるべき測定周波数fmessと調波的な時間依存性を有する少なくとも1つの成分を有している、磁場を測定する方法において、
a. 選択可能な変調周波数および既知の変調振幅Hmod0と調波的な時間依存性を有する変調磁場と、前記磁場とを前記センサにおいて重畳するステップと、
b. 既知の区間境界fmin,fmaxおよび前記センサの前記共振周波数fRによって決定される相補的な周波数区間にわたって前記変調周波数を変化させる(周期的に変動させる)ステップと、
c. 選択した変調周波数毎に前記センサ信号を測定するステップと、
d. 前記センサの前記機械的な共振時にセンサ信号を生じさせる少なくとも1つの変調周波数fmodをサーチするステップと、
e. 前に求めた前記変調周波数fmodと、前記センサの共振周波数fRとから測定信号fmessを計算するステップと、
f. 変調周波数fmodにおける前記センサ信号を前記重畳された磁場振幅Hsupに変換するステップと、
g. 前記重畳された磁場振幅Hsupと前記変調振幅Hmod0とから測定信号振幅Hmess0を計算するステップとを有する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記センサの磁歪特性曲線における動作点を、その電圧応答が主要項において前記磁場強度の2乗に依存するように決定する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項2に記載の方法において、
前記相補的な周波数区間をfR−fmax<fmod<fR−fminまたはfR+fmin<fmod<fR+fmaxによって決定し、調波的な時間依存性を有する前記磁場の前記少なくとも1つの成分をfmess=|fR−fmod|およびHmess0=Hsup/Hmod0によって計算する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法において、
前記磁場は、区間fmin<fmess<fmax内に種々異なる磁場成分周波数および/または磁場成分振幅と調波的な時間依存性を備えた複数の成分を有しており、
前記センサを前記機械的に共振させる、相補的な周波数区間における複数の変調周波数を求め、
求めた各変調周波数にちょうど1つの磁場成分周波数を対応付け、共振時に測定した各磁場強度にちょうど1つの磁場成分振幅を対応付ける、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法において、
前記変調振幅Hmod0の絶対値を、磁場強度HBの絶対値よりも小さいか等しく設定し、
前記センサの前記磁歪特性曲線は、磁場強度±HBにおいて変曲点を有する、
ことを特徴とする方法。 - N個の磁電気センサを含む装置によって磁場を測定する方法であって、
前記センサは、既知の機械的な共振周波数fR(i),i=1,…,Nを有しており、
前記磁場は、既知の周波数fMと調波的な時間依存性を有している、方法において、
周波数fmod=fR(i)+fMまたはfmod=fR(i)−fMを有する変調磁場と、前記磁場とを重畳することにより、前記磁場を検出するための、インデックスiで示されるセンサを決定する、
ことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011008866A DE102011008866A1 (de) | 2011-01-18 | 2011-01-18 | Verfahren zur Magnetfeldmessung mit magnoelektrischen Sensoren |
DE102011008866.0 | 2011-01-18 | ||
PCT/DE2012/000029 WO2012097796A2 (de) | 2011-01-18 | 2012-01-13 | Verfahren zur magnetfeldmessung mit magnetoelektrischen sensoren |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014508287A true JP2014508287A (ja) | 2014-04-03 |
JP5946471B2 JP5946471B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=45991986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013549713A Active JP5946471B2 (ja) | 2011-01-18 | 2012-01-13 | 磁電気センサによる磁場測定方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9383417B2 (ja) |
EP (1) | EP2635913B1 (ja) |
JP (1) | JP5946471B2 (ja) |
KR (1) | KR101813086B1 (ja) |
CN (1) | CN103460067B (ja) |
DE (1) | DE102011008866A1 (ja) |
WO (1) | WO2012097796A2 (ja) |
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DE102016123274B4 (de) | 2016-12-01 | 2018-11-22 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Sensorelement für Magnetfelder mit hoher Frequenzbandbreite |
EP3596482A4 (en) | 2017-03-13 | 2021-01-06 | The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy | MAGNETOELECTRIC MAGNETIC FIELD SENSOR WITH EXTREMELY LOW POWER |
DE102018110511B3 (de) | 2018-05-02 | 2019-05-16 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung sowie Magnetfeldmessverfahren |
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- 2011-01-18 DE DE102011008866A patent/DE102011008866A1/de not_active Withdrawn
-
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- 2012-01-13 KR KR1020137021235A patent/KR101813086B1/ko active IP Right Grant
- 2012-01-13 US US13/992,474 patent/US9383417B2/en active Active
- 2012-01-13 CN CN201280005446.2A patent/CN103460067B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-13 WO PCT/DE2012/000029 patent/WO2012097796A2/de active Application Filing
- 2012-01-13 JP JP2013549713A patent/JP5946471B2/ja active Active
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Also Published As
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WO2012097796A3 (de) | 2012-10-04 |
JP5946471B2 (ja) | 2016-07-06 |
CN103460067B (zh) | 2015-07-22 |
CN103460067A (zh) | 2013-12-18 |
WO2012097796A8 (de) | 2013-04-18 |
KR20140010379A (ko) | 2014-01-24 |
KR101813086B1 (ko) | 2017-12-28 |
EP2635913B1 (de) | 2013-12-11 |
DE102011008866A1 (de) | 2012-07-19 |
EP2635913A2 (de) | 2013-09-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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