JP2007504086A5

JP2007504086A5 -

Info

Publication number: JP2007504086A5
Application number: JP2006525501A
Authority: JP
Filing date: 2004-09-02
Publication date: 2007-08-16

Claims

蒸着マスクを備える基質を設け；
有機金属層の少なくとも一部分が前記基質の非マスク部分に蒸着するように前記基質上に有機金属層を蒸着し；
前記基質から前記蒸着マスクを除去し；
前記基質の非マスク部分に蒸着した有機金属層の部分を酸化して前記基質上に成長触媒を形成し；そして
前記基質を炭素前駆ガスに蒸着温度で触れさせて炭素ナノ構造体を形成する
ことを含む、炭素ナノ構造体を合成する方法。
前記有機金属層が鉄フタロシアニンからなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記有機金属層を物理蒸着法により蒸着することを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記蒸着した有機金属層が約１ミクロン〜約３０ミクロンの厚さであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記蒸着マスクが金属酸化物からなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記蒸着マスクが酸化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれる一種からなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記基質の非マスク部分が、金属酸化物からなる上面を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記金属酸化物が酸化ケイ素、酸化アルミニウムおよび酸化マグネシウムからなる群より選ばれることを特徴とする請求項７に記載の方法。
前記基質の非マスク部分に蒸着した有機金属層の部分の酸化は、前記有機金属層の部分を含酸素雰囲気に約４５０℃〜約５００℃で触れさせることを含むこと特徴とする請求項１に記載の方法。
前記有機金属層の部分を含酸素雰囲気に約２時間〜約４時間触れさせることを特徴とする請求項９に記載の方法。
前記成長触媒が金属成長触媒粒子を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記炭素前駆ガスがメタンであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記基質を前記炭素前駆ガスに触れさせることが、前記基質をメタン、アルゴンおよび水素を含む雰囲気に触れさせることを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記基質を前記炭素前駆ガスに約１５分〜約６０分間触れさせることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
前記蒸着温度が約７００℃であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記有機金属層の蒸着の前に有機金属材料を精製することを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記有機金属層の部分の酸化を、前記基質から前記蒸着マスクを除去する前に行うことを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記炭素ナノ構造体が単層カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記炭素ナノ構造体が一次元炭素ナノ構造体であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
複数の温度ゾーンを支持し、炭素前駆ガス源と不活性ガス源とを備える気密チャンバを有することが可能な反応器；
第一の温度ゾーンに配置された試料保持器；
第二の温度ゾーンに配置されたマスクした基質；および
前記反応器に接続し前記チャンバからガスを排気する排気システム
を含む、カーボンナノチューブを製造するシステム。
前記第一の温度ゾーンが、前記第二の温度ゾーンより約１５０℃〜約３５０℃高いことを特徴とする請求項２０に記載のシステム。
前記第一の温度ゾーンが、前記第二の温度ゾーンより約２００℃〜約３００℃高いことを特徴とする請求項２１に記載のシステム。
前記炭素前駆ガスが、メタン、エタン、プロパン、エチレン、プロペンおよび二酸化炭素からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２０に記載のシステム。
前記不活性ガスが、水素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノンおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２０に記載のシステム。
前記試料保持器によって触媒が提供されることを特徴とする請求項２０に記載のシステム。
前記触媒が有機金属であり、金属が鉄、モリブデンおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２５に記載のシステム。
前記触媒が鉄フタロシアニン、モリブデンフタロシアニンおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２６に記載のシステム。
蒸着マスクを備える基質上に有機金属層を蒸着し；
前記基質の非マスク部分に蒸着した有機金属層を酸化し；そして
前記基質を炭素前駆ガスに蒸着温度で触れさせてカーボンナノチューブ構造を形成する
工程により製造されるカーボンナノチューブ構造。
前記蒸着が物理蒸着によって行われることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
前記有機金属層が鉄フタロシアニン、モリブデンフタロシアニンおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
前記有機金属層が鉄フタロシアニンであることを特徴とする請求項３０に記載の工程。
前記基質が酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
前記蒸着マスクが酸化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
酸化前に前記蒸着マスクが除去されることを特徴とする請求項３３に記載の工程。
酸化後に前記蒸着マスクが除去されることを特徴とする請求項３３に記載の工程。
前記酸化が含酸素雰囲気に触れさせることを含むことを特徴とする請求項２８に記載の工程。
前記炭素前駆ガスが、メタン、エタン、プロパン、エチレン、プロペンおよび二酸化炭素からなる群より選ばれることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
前記炭素前駆ガスがメタンであることを特徴とする請求項２８に記載の工程。
別のガスを更に含むことを特徴とする請求項３７に記載の工程。
前記別のガスが、水素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノンおよびそれらの混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項３９に記載の工程。
水素とアルゴンを更に含むことを特徴とする請求項３８に記載の工程。