JP2007503124A - テイラード・レーザーパルス組の発生方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、米国特許暫定出願60/496,631、2003年8月19日出願に基づいて優先権を主張する。
(c)2004 Electro Scientific Industries, Inc.。本特許明細書の開示の一部は、著作権保護を受ける資料を含む。著作権の所有者は、本特許明細書が米国特許庁の特許ファイルまたは記録で見られるうちは、何人による特許明細書または特許開示のファクシミリ複写にも異議を唱えないが、さもなければ、いずれにせよすべての著作権を留保する。37CFR§1.71(d)。
本発明は、メモリーチップ上、あるいは他の集積回路(IC)上の導電リンクのレーザー処理に関するものであり、特に、マスターオシレータ増幅器(主レーザー光増幅器)(MOPA)を用いて、こうしたリンクをより良好な品質でオン・ザ・フライで(随時)切断するための少なくとも2つのレーザーパルスの組を発生する方法及びシステムに関するものである。
ICデバイスの製造プロセスにおける歩留まりの低下は、基板層またはパターンどうしの不整合(ミスアライメント)によって、あるいはパーティクル(小粒子)封じ込めによって生じる欠陥から生じることが多い。図1、2A、及び2Bに、ICデバイスまたは加工品の反復的な電子回路10を示し、これらの電子回路は通常、行または列の形に製造され、メモリー20の予備の行16及び列18のような冗長回路素子14の複数の反復を含む。図1、2A、及び2Bに示すように、回路10は、電気接点24の間にレーザーで切断可能な導電リンク22を含むように設計され、例えば、導電リンク22を除去して欠陥のあるメモリーセル20を切り離し、DRAM、SRAM、あるいはメモリー混載のようなメモリーデバイス内の置換冗長セル26に代替することができる。同様の技術は、リンク22を切断して、CCD撮像デバイス、あるいはプログラムロジック製品、ゲートアレイ、またはASICを修復するためにも用いられている。
本発明の目的は、基板上に製造された導電リンク材料及び上部パシベーション構造材料の除去の処理品質を改善する方法及び装置を提供することにある。
図6Aは、MOPAレーザー200、及びレーザー処理制御システムと協働してリンク22を処理するビーム送達兼材料位置決めシステム380(位置決めシステム380)で実現した好適なレーザー系300の実施例の略式図であり、一部は図式的に示す。図6Aに示すように、MOPAレーザー200は、増幅器204を従えた注入レーザー202を含む。注入レーザー202は、速い応答時間を有し、増幅器204のゲイン(利得)スペクトルと一致するレーザー波長のレーザー出力210を送達するダイオードレーザーとすることができる。こうしたダイオードレーザーは、集積分布帰還または分布型ブラッグ・リフレクタ(反射器)を用いた単一周波数のレーザーとすることができ、あるいは、こうしたダイオードレーザーは共振器外(エクストラキャビティ)構成要素で調整することができる。こうしたダイオードレーザーはマルチモード・ダイオードレーザーとすることもできる。
Claims (56)
- 所定のポンピングレベルにおいて飽和パワー特性を有するレーザーファイバー増幅器の増幅器出力を制御する方法であって、前記飽和パワー特性が、前記注入レーザー出力と前記増幅器出力との間の特性の相関関係を歪ませることなしに前記レーザーファイバー増幅器内に結合可能な注入レーザー出力の量を制限するレーザーファイバー増幅器出力の制御方法において、この方法が、
ビーム位置決め装置に、関連するリンク構造を有する選択した導電性の冗長メモリーまたは集積回路リンクの1つ以上の位置を表わすビーム位置決めデータを提供するステップであって、前記リンクの各々は、リンク幅を有し、基板上、あるいは前記導電リンクと前記基板との間に配置された随意的な下部パシベーション層上のいずれかに製造された回路内の関連する一対の導電接点間に配置され、前記リンク構造に関連する前記基板及び前記随意的なパシベーション層は、それぞれのレーザー損傷しきい値によって特徴付けられ、前記位置決め装置は、前記ビーム位置決めデータに応答して、レーザースポット位置の前記基板に対する相対移動を行うステップと;
前記レーザーファイバー増幅器を随意的に、所定のポンピングレベルにポンピングして、前記レーザーファイバー増幅器内に注入される前記注入レーザー出力に与えられるゲインを制御するステップと;
それぞれが第1及び第2駆動電流特性を有する少なくとも第1及び第2駆動電流パルスの組を注入レーザーに与えて、それぞれが前記第1及び第2駆動電流特性に関連するそれぞれ第1及び第2注入レーザー出力特性を有する少なくとも第1及び第2注入レーザーパルスの注入レーザー組を発生するステップであって、前記第2駆動電流特性が前記第1駆動電流特性とは異なる特性を有するステップと;
前記第1注入レーザーパルスを前記レーザーファイバー増幅器内に結合させて、前記第1駆動電流特性に関連する第1増幅器出力特性を有する第1増幅器出力パルスを供給し、前記第1駆動電流特性は、前記レーザーファイバー増幅器の飽和パワー特性以下のパワー特性を有する第1注入レーザーパルスの発生を行わせ、これにより、前記レーザーファイバー増幅器は、前記第2注入レーザーパルスの前記レーザーファイバー増幅器内への結合に応答して、前記第2駆動電流パルスの前記第2駆動電流特性に関連する第2増幅器出力特性を有する少なくとも第2増幅器出力パルスを供給するステップと;
前記レーザー増幅器出力パルスの各々を、レーザースポット位置におけるスポットサイズ及びエネルギー特性を有するそれぞれのスポットサイズによって特徴付けられるレーザー系出力パルスのレーザー系出力組に変換するステップであって、前記スポットサイズが前記リンクのリンク幅より大きく、前記エネルギー特性が、前記下部パシベーション層及び前記基板のそれぞれのレーザー損傷しきい値未満であるステップと;
前記レーザー系出力パルスと前記ビーム位置決め装置によって与えられる前記相対移動とを、前記レーザー系出力組内の前記レーザー系出力パルスが選択した前記リンク構造に連続的に当たる間に前記相対移動がほぼ連続的であるように協働させて、これにより、前記レーザー系出力組内の各レーザー出力パルスのスポットが前記リンク幅を覆い、前記レーザー系出力組が、前記下部パシベーション層及び前記基板に操作上の損傷を生じさせる恐れを低減して、前記関連する一対の導電接点間にある前記導電リンクを切断するステップと
を具えていることを特徴とするレーザーファイバー増幅器出力の制御方法。 - 前記レーザー出力パルスの少なくとも1つが、立上り及び立下りエッジ、平均パワー、及びパルス持続時間を有するレーザーパルスの時間的パワー特性、及びパワースパイクによって特徴付けられ、前記パワースパイクが、前記パルス持続時間より実質的に短いパワースパイク持続時間、前記レーザー出力パルスの平均パワーより大きい最大パワー、及び前記立上りエッジと前記立下りエッジとの間の発生時刻を有し、前記パワースパイクの前記最大パワー、前記スパイク持続時間、及び前記発生時刻が協働して、前記レーザー出力パルスに特別に整形されたパワー特性を確立させ、前記特別に整形されたパワー特性は、前記基板またはこれに隣接するパシベーション構造材料に対する操作上の損傷のない選択したリンク構造の切断に寄与することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記立上りエッジと一致し、前記レーザー出力パルスの平均パワーを約10%上回るパワーピーク値を有することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、約5nsより短い立上り時間を有することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記立上り時間が約2nsより短いことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記スパイク持続時間が、約1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記パルス持続時間の約50%までであることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が、前記立下りエッジの前に時間と共にほぼ直線的に減少するように整形されることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後のパワーの減少全体が、前記レーザー出力パルスの平均パワーの約10%以上であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が、前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記立下りエッジの前に比較的平坦であることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記レーザーパルスの時間的パワー特性が、前記立上りエッジと一致する第1パワースパイクと、前記第1パワースパイク後に発生する追加的パワースパイクとを含むことを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記追加的パワースパイクが、前記平均パワーの5%以上のパワー値、及び約1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記パルス持続時間の約30%までのスパイク持続時間を有することを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記レーザー出力パルスの平均パワーの約10%以上のパワー変動を有する振動波の形態であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記振動波が、前記レーザーパルスの時間的パワー特性のパルス期間内に、振動の半サイクルから3サイクルまで継続し、前記振動のサイクルの周期が約1ns〜約15nsであることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記立上りエッジから前記レーザーパルスの時間的パワー特性におけるパルス持続時間の約70%まで測定した時間間隔内の時点で発生することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記パワースパイク前後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が比較的平坦であることを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記パワースパイク前後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が平坦でないことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記レーザー出力パルスの平均パワーを約10%上回るピークパワー値を有し、かつ1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性の50%までのスパイク持続時間を有することを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記隣接するパシベーション構造材料及び/または前記下部パシベーション層が、次の材料:SiO2、Si3N4、SiON、低K材料、低K絶縁材料、低K酸化物ベースの絶縁材料、オルト珪酸ガラス、フルオロ珪酸ガラス、有機珪酸ガラス、珪酸テトラエチルベースの酸化物、メチルトリエトキシオルト珪酸、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、珪酸エステル、水素シルセスキオキサン、メチルシルセスキオキサン、ポリエチレンエーテル、ベンゾシクロブテン、SiCOHまたはSiCOH誘導のフィルム、またはスピンオンベースの低K絶縁ポリマー、の1つ以上から形成されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記選択した導電リンク構造が、アルミニウム、クロミド、銅、ポリシリコン、二珪化物、金、ニッケル、クロム化ニッケル、プラチナ、ポリサイド、窒化タンタル、チタニウム、窒化チタニウム、タングステン、または珪化タングステンを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記レーザーパルスの各々が、約0.001マイクロジュール〜約10マイクロジュールのレーザーエネルギーを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記下部パシベーション層が、次の材料:SiO2、Si3N4、SiON、低K材料、低K絶縁材料、低K酸化物ベースの絶縁材料、オルト珪酸ガラス、フルオロ珪酸ガラス、有機珪酸ガラス、珪酸テトラエチルベースの酸化物、メチルトリエトキシオルト珪酸、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、珪酸エステル、水素シルセスキオキサン、メチルシルセスキオキサン、ポリエチレンエーテル、ベンゾシクロブテン、SiCOHまたはSiCOH誘導のフィルム、またはスピンオンベースの低K絶縁ポリマー、の1つ以上から形成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 少なくとも2つの前記レーザー出力パルスを約10kHzより大きい反復度で発生して、選択した前記導電リンク構造のそれぞれ位置に位置合わせされた目標材料を除去することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- レーザーパルス・ゲーティングデバイスを、レーザーファイバー増幅器から前記基板上の前記レーザースポット位置までの経路に沿って配置し、前記レーザーパルス・ゲーティングデバイスが、制御コマンドに応答して、前記レーザー出力パルスの出力組が前記レーザースポット位置に向かって伝播することを可能にする出力透過状態、及び前記レーザー出力パルスの前記出力組が前記レーザースポット位置に向かって伝播することを阻止する出力ブロック状態を提供し、
さらに、
駆動パルスの駆動組をほぼ一定の反復度で発生するステップであって、互いに隣接する前記駆動組が、略均一の駆動間隔によって互いに分離され、これにより、レーザー増幅器出力パルスの増幅器組がほぼ一定の増幅器出力反復度で発生され、互いに隣接する前記増幅器組が、略均一の増幅器出力間隔によって互いに分離されるステップと;
前記増幅器組を選択的にゲート処理して、前記レーザースポット位置が選択した前記リンク構造の所にある際には常に、前記出力組の前記レーザースポット位置への透過を可能にする出力透過状態を提供し、前記レーザースポット位置が選択した前記リンク構造の所にない際には常に、前記レーザーパルス・ゲーティングデバイスが、前記出力組が前記ビーム経路に沿って伝播することを防止する比較的不透過の状態を提供するステップと
を具えていることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記レーザー系出力パルスが、次の波長付近または波長範囲内:1.54μm、1.3μm、1.1〜1.06μm、1.05μm、1.047μm、1.03〜0.75μm、0.65μm、0.53μm、0.5μm、0.43μm、0.35μmまたは0.27μm、のうちの1つの波長を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記レーザー系出力パルスが具える波長に対して、前記隣接するパシベーション構造材料、前記下部パシベーション層、及び/または前記基板が高度に吸収性であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記波長がUV波長を含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 所定のポンピグレベルにおいて飽和パワー特性を有するレーザーファイバー増幅器の増幅器出力を制御する方法であって、前記飽和パワー特性が、前記注入レーザー出力と前記増幅器出力との間の特性の相関関係を歪ませることなしに前記レーザーファイバー増幅器内に結合可能な注入レーザー出力の量を制限するレーザーファイバー増幅器出力の制御方法において、この方法が、
ビーム位置決め装置に、関連するリンク構造を有する選択した導電性の冗長メモリーまたは集積回路リンクの1つ以上の位置を表わすビーム位置決めデータを提供するステップであって、前記リンクの各々は、リンク幅を有し、基板上、あるいは前記導電リンクと前記基板との間に配置された随意的な下部パシベーション層上のいずれかに製造された回路内の関連する一対の導電接点間に配置され、前記リンク構造に関連する前記基板及び前記随意的なパシベーション層は、それぞれのレーザー損傷しきい値によって特徴付けられ、前記位置決め装置は、前記ビーム位置決めデータに応答して、レーザースポット位置の前記基板に対する相対移動を行うステップと;
前記レーザーファイバー増幅器を随意的に、所定のポンピングレベルにポンピングして、前記レーザーファイバー増幅器内に注入される前記注入レーザー出力に与えられるゲインを制御するステップと;
それぞれが第1及び第2駆動電流特性を有する少なくとも第1及び第2駆動電流パルスの組を注入レーザーに与えて、それぞれが前記第1及び第2駆動電流特性に関連するそれぞれ第1及び第2注入レーザー出力特性を有する少なくとも第1及び第2注入レーザーパルスの注入レーザー組を発生するステップであって、前記第1または第2駆動電流特性の少なくとも一方が立上り及び立下りエッジ、平均パワー、及びパルス持続時間を有し、パワースパイクによって特徴付けられ、前記パワースパイクが、前記パルス持続時間より実質的に短いパワースパイク持続時間、前記レーザー出力パルスの平均パワーより大きい最大パワー、及び前記立上りエッジと前記立下りエッジとの間の発生時刻を有するステップと;
前記第1注入レーザーパルスを前記レーザーファイバー増幅器内に結合させて、前記第1駆動電流特性に関連する第1増幅器出力特性を有する第1増幅器出力パルスを供給し、前記第1駆動電流特性は、前記レーザーファイバー増幅器の飽和パワー特性以下のパワー特性を有する第1注入レーザーパルスの発生を行わせ、これにより、前記レーザーファイバー増幅器は、前記第2注入レーザーパルスの前記レーザーファイバー増幅器内への結合に応答して、前記第2駆動電流パルスの前記第2駆動電流特性に関連する第2増幅器出力特性を有する少なくとも第2増幅器出力パルスを供給するステップと;
前記レーザー増幅器出力パルスの各々を、レーザースポット位置におけるスポットサイズ及びエネルギー特性を有するそれぞれのスポットサイズによって特徴付けられるレーザー系出力パルスのレーザー系出力組に変換するステップであって、前記スポットサイズが前記リンクのリンク幅より大きく、前記エネルギー特性が、前記下部パシベーション層及び前記基板のそれぞれのレーザー損傷しきい値未満であり、これにより、特別に整形された駆動電流波形が、関連する最大パワー、スパイク持続時間、及びパワースパイクの発生時刻を有する前記レーザー出力パルスの1つを生じさせ、前記最大パワー、前記スパイク持続時間、及び前記発生時刻は協働して、前記レーザー出力パルスに特別に整形されたパワー特性を確立させ、前記特別に整形されたパワー特性は、前記基板またはこれに隣接するパシベーション構造材料に対する操作上の損傷のない選択したリンク構造の切断に寄与するステップと;
前記レーザー系出力パルスと前記ビーム位置決め装置によって与えられる前記相対移動とを、前記レーザー系出力組内の前記レーザー系出力パルスが選択した前記リンク構造に連続的に当たる間に前記相対移動がほぼ連続的であるように協働させて、これにより、前記レーザー系出力組内の各レーザー出力パルスのスポットが前記リンク幅を覆い、前記レーザー系出力組が、前記下部パシベーション層及び前記基板に操作上の損傷を生じさせる恐れを低減して、前記関連する一対の導電接点間にある前記導電リンクを切断するステップと
を具えていることを特徴とするレーザーファイバー増幅器出力の制御方法。 - 前記パワースパイクが、前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記立上りエッジと一致し、前記レーザー出力パルスの平均パワーを約10%上回るパワーピーク値を有することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、約5nsより短い立上り時間を有することを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記立上り時間が約2nsより短いことを特徴とする請求項31に記載の方法。
- 前記スパイク持続時間が、約1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記パルス持続時間の約50%までであることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後のパワーの減少全体が、前記レーザー出力パルスの平均パワーの約10%以上であることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後のパワーの減少全体が、前記レーザー出力パルスの平均パワーの約10%以上であることを特徴とする請求項34に記載の方法。
- 前記パワースパイクの発生後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が、前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記立下りエッジの前に比較的平坦であることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記レーザーパルスの時間的パワー特性が、前記パワースパイク後に発生する追加的パワースパイクを含み、前記追加的パワースパイクの発生が、前記立下りエッジと一致することを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記追加的パワースパイクが、前記平均パワーの5%以上のパワー値、及び約1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性における前記パルス持続時間の約30%までのスパイク持続時間を有することを特徴とする請求項37に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記レーザー出力パルスの平均パワーの約10%以上のパワー変動を有する振動波の形態であることを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記振動波が、前記レーザーパルスの時間的パワー特性のパルス期間内に、振動の半サイクルから3サイクルまで継続し、前記振動のサイクルの周期が約1ns〜約15nsであることを特徴とする請求項39に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記立上りエッジから前記レーザーパルスの時間的パワー特性におけるパルス持続時間の約70%まで測定した時間間隔内の時点で発生することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記パワースパイク前後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が比較的平坦であることを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記パワースパイク前後の前記レーザーパルスの時間的パワー特性が平坦でないことを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記パワースパイクが、前記レーザー出力パルスの平均パワーを約10%上回るピークパワー値を有し、かつ1nsから前記レーザーパルスの時間的パワー特性の50%までのスパイク持続時間を有することを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記隣接するパシベーション構造材料及び/または前記下部パシベーション層が、次の材料:SiO2、Si3N4、SiON、低K材料、低K絶縁材料、低K酸化物ベースの絶縁材料、オルト珪酸ガラス、フルオロ珪酸ガラス、有機珪酸ガラス、珪酸テトラエチルベースの酸化物、メチルトリエトキシオルト珪酸、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、珪酸エステル、水素シルセスキオキサン、メチルシルセスキオキサン、ポリエチレンエーテル、ベンゾシクロブテン、SiCOHまたはSiCOH誘導のフィルム、またはスピンオンベースの低K絶縁ポリマー、の1つ以上から形成されることを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記選択した導電リンク構造が、アルミニウム、クロミド、銅、ポリシリコン、二珪化物、金、ニッケル、クロム化ニッケル、プラチナ、ポリサイド、窒化タンタル、チタニウム、窒化チタニウム、タングステン、または珪化タングステンを含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記レーザーパルスの各々が、約0.001マイクロジュール〜約10マイクロジュールのレーザーエネルギーを有することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 少なくとも2つの前記レーザー出力パルスを約10kHzより大きい反復度で発生して、選択した前記導電リンク構造のそれぞれ位置に位置合わせされた目標材料を除去することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- レーザーパルス・ゲーティングデバイスを、レーザーファイバー増幅器から前記基板上の前記レーザースポット位置までの経路に沿って配置し、前記レーザーパルス・ゲーティングデバイスが、制御コマンドに応答して、前記レーザー出力パルスの出力組が前記レーザースポット位置に向かって伝播することを可能にする出力透過状態、及び前記レーザー出力パルスの前記出力組が前記レーザースポット位置に向かって伝播することを阻止する出力ブロック状態を提供し、
さらに、
駆動パルスの駆動組をほぼ一定の反復度で発生するステップであって、互いに隣接する前記駆動組が、略均一の駆動間隔によって互いに分離され、これにより、レーザー増幅器出力パルスの増幅器組がほぼ一定の増幅器出力反復度で発生され、互いに隣接する前記増幅器組が、略均一の増幅器出力間隔によって互いに分離されるステップと;
前記増幅器組を選択的にゲート処理して、前記レーザースポット位置が選択した前記リンク構造の所にある際には常に、前記出力組の前記レーザースポット位置への透過を可能にする出力透過状態を提供し、前記レーザースポット位置が選択した前記リンク構造の所にない際には常に、前記レーザーパルス・ゲーティングデバイスが、前記出力組が前記ビーム経路に沿って伝播することを防止する比較的不透過の状態を提供するステップと
を具えていることを特徴とする請求項29に記載の方法。 - 前記レーザー系出力パルスが、次の波長付近または波長範囲内:1.54μm、1.3μm、1.1〜1.06μm、1.05μm、1.047μm、1.03〜0.75μm、0.65μm、0.53μm、0.5μm、0.43μm、0.35μmまたは0.27μm、のうちの1つの波長を有することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項50に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記レーザー系出力パルスが具える波長に対して、前記隣接するパシベーション構造材料、前記下部パシベーション層、及び/または前記基板が高度に吸収性であることを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記波長がUV波長を含むことを特徴とする請求項53に記載の方法。
- 前記リンクが1μm以上の厚さを有することを特徴とする請求項54に記載の方法。
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