JP2007333542A

JP2007333542A - Probe and probe unit

Info

Publication number: JP2007333542A
Application number: JP2006165403A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Ishikawa; 重樹石川; Shogo Imuta; 正吾藺牟田; Takashi Nihei; 崇仁平; Masahiro Nagasawa; 雅広長澤
Original assignee: NHK Spring Co Ltd
Current assignee: NHK Spring Co Ltd
Priority date: 2006-06-14
Filing date: 2006-06-14
Publication date: 2007-12-27
Anticipated expiration: 2026-06-14
Also published as: JP4777154B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe capable of easily and smoothly being inserted in and pulled out of a hole having a diameter of same level as a diameter thereof, and a probe unit provided with the probe. <P>SOLUTION: The probe includes a wire shape body part made of conductive material, and insulation coating made of insulating material and insulating a surface of an area including a center part on a longitudinal direction of the body part but not including both ends of the body part. The end of the insulating coating forms a tapered shape of which diameter gradually gets larger toward the center part in the longitudinal direction of the body part. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、検査対象の回路構造と該検査対象に対して検査用の信号を送信する回路構造との間を電気的に接続するプローブおよび当該プローブを収容するプローブユニットに関する。 The present invention relates to a probe that electrically connects a circuit structure to be inspected and a circuit structure that transmits a signal for inspection to the inspection object, and a probe unit that houses the probe.

半導体集積回路などの回路基板を製造する際には、不良品を検出するために電気特性検査が行われる。具体的には、検査対象の回路構造に形成された配線パターンにおける電気的な短絡および断線の有無の検査（導通検査）や、その回路構造に対して検査用の信号を入力したときの動作特性検査などが行われる。このような電気特性検査では、検査対象の回路基板と検査用の信号を生成する信号処理装置との間の電気的な接続を図るため、導電性材料から成る細径のプローブ（導電性接触子）が用いられている。 When manufacturing a circuit board such as a semiconductor integrated circuit, an electrical characteristic inspection is performed to detect defective products. Specifically, inspections for the presence or absence of electrical shorts and breaks in the wiring pattern formed in the circuit structure to be inspected (continuity inspection), and operating characteristics when a test signal is input to the circuit structure Inspection is performed. In such an electrical characteristic inspection, a small-diameter probe (conductive contactor made of a conductive material) is used for electrical connection between a circuit board to be inspected and a signal processing device that generates a signal for inspection. ) Is used.

近年、回路基板の高集積化、微細化に伴って、プローブ間のピッチを狭小化するための技術が進歩してきている。プローブ間のピッチを狭小化するためには、プローブの径も細径化するのが好ましいが、例えばバネを用いたピン型のプローブでは細径化に限界があるため、そのようなプローブに代わるものとして、屈曲可能な弾性を備えたワイヤ型のプローブが適用されることが多くなってきている。 2. Description of the Related Art In recent years, techniques for narrowing the pitch between probes have progressed along with the high integration and miniaturization of circuit boards. In order to reduce the pitch between the probes, it is preferable to reduce the diameter of the probe. However, for example, a pin type probe using a spring has a limit in reducing the diameter. As a thing, the wire type probe provided with the elasticity which can be bent is increasingly applied.

複数のワイヤ型のプローブを収容するプローブユニットには、検査時に複数のプローブが撓む方向を一様に揃えるためのさまざまなな工夫が施されている。例えば、各プローブの両端部を横方向へ所定距離だけシフトさせることによってプローブの撓む方向を揃える技術が知られている（例えば、特許文献１〜５を参照）。この技術では、プローブの両端部を除く本体部分外周を被覆するように設けられた絶縁被膜の端部が段部をなしており、この段部が、プローブホルダに形成されたプローブ挿通孔の開口面付近のホルダ本体部分に当接することによってプローブのプローブホルダからの抜け止めを実現している。 A probe unit that accommodates a plurality of wire-type probes has various contrivances for uniformly aligning the direction in which the plurality of probes bend during inspection. For example, a technique for aligning the direction in which the probe bends by shifting both ends of each probe by a predetermined distance in the lateral direction is known (see, for example, Patent Documents 1 to 5). In this technique, the end of the insulating coating provided so as to cover the outer periphery of the main body portion excluding both ends of the probe forms a step, and this step is the opening of the probe insertion hole formed in the probe holder. The probe is prevented from coming off from the probe holder by contacting the holder main body near the surface.

特開平１１−２４８７４７号公報JP 11-248747 A 特許第３５０５４９５号公報Japanese Patent No. 3505495 特許第３６９０７９６号公報Japanese Patent No. 3690796 特許第３６９０８０１号公報Japanese Patent No. 3690801 特開２００５−３３８０６５号公報JP 2005-338065 A

しかしながら、上述した従来技術では、プローブホルダによってプローブの両端部をオフセットすると、そのプローブには長手方向と直交する方向にも荷重が加わるため、プローブホルダに対してプローブの挿抜を行う際に絶縁被膜の段部が挿通孔の開口面付近のホルダ本体部分に引っ掛かってしまい、プローブホルダを製造したり、使用中のプローブの交換等を行ったりする際に支障をきたす恐れがあった。この問題は、プローブ挿通孔の径をプローブの径に近づれば近づけるほど、無視できないものとなっていた。 However, in the above-described prior art, if both ends of the probe are offset by the probe holder, a load is also applied to the probe in the direction orthogonal to the longitudinal direction. This step is caught by the holder main body part near the opening surface of the insertion hole, and there is a possibility that trouble may occur when the probe holder is manufactured or the probe in use is replaced. This problem cannot be ignored as the diameter of the probe insertion hole gets closer to the diameter of the probe.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、自身の径と同程度の径を有する孔に対する挿抜を容易にかつ円滑に行うことができるプローブおよび当該プローブを備えたプローブユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and provides a probe that can be easily and smoothly inserted into and removed from a hole having a diameter similar to its own diameter, and a probe unit including the probe. For the purpose.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係るプローブは、導電性材料から成り、ワイヤ状をなす本体部と、絶縁性材料から成り、前記本体部の長手方向の中心部を含む領域であって前記本体部の両端部を含まない領域の表面を被覆する絶縁被膜と、を備え、前記絶縁被膜の端部は、前記本体部の長手方向の中心部に向けて径が徐々に大きくなるテーパ状をなすことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a probe according to one embodiment of the present invention is composed of a conductive material, a wire-shaped main body portion, an insulating material, and a longitudinal direction of the main body portion. An insulating coating that covers the surface of the region that includes the central portion of the main body and does not include both ends of the main body, and the end of the insulating coating faces the central portion in the longitudinal direction of the main body. It is characterized by a taper shape whose diameter gradually increases.

また、上記発明において、前記プローブの少なくとも一方の端部の表面が半球面状をなしてもよい。 In the above invention, the surface of at least one end of the probe may be hemispherical.

また、本発明の別な態様に係るプローブユニットは、上記発明に係るプローブと、前記プローブの端部のうち検査対象である回路基板と接触するヘッド側の端部付近を挿通する第１の挿通孔を有するヘッド側プレートと、前記プローブの端部のうち前記回路基板に対して検査用の信号を供給する配線が設けられた配線基板と接触する配線側の端部付近を挿通し、前記第１の挿通孔とは中心軸が異なる第２の挿通孔を有する配線側プレートと、前記ヘッド側プレートと前記配線側プレートとを連結する連結部材と、を備えたことを特徴とする。 A probe unit according to another aspect of the present invention includes a probe according to the above-described invention and a first insertion through which the vicinity of an end on the head side that contacts a circuit board to be inspected among the ends of the probe is inserted. A head-side plate having a hole, and an end portion on the wiring side that contacts a wiring board provided with wiring for supplying a signal for inspection to the circuit board among the end portions of the probe; A wiring side plate having a second insertion hole having a central axis different from that of the first insertion hole, and a connecting member for connecting the head side plate and the wiring side plate are provided.

また、上記発明において、前記第１の挿通孔の中心軸と前記第２の挿通孔の中心軸とは異なるとしてもよい。 In the above invention, the central axis of the first insertion hole and the central axis of the second insertion hole may be different.

また、上記発明において、前記配線側プレートは、複数のプレートが板厚方向に積層されて成り、前記第２の挿通孔は、前記複数のプレートがそれぞれ有する複数の挿通孔から成るとしてもよい。 In the above invention, the wiring side plate may be formed by laminating a plurality of plates in the thickness direction, and the second insertion hole may be composed of a plurality of insertion holes respectively included in the plurality of plates.

また、上記発明において、前記複数の挿通孔は、互いに他と異なる中心軸を有してもよい。 In the above invention, the plurality of insertion holes may have different central axes from each other.

本発明によれば、導電性材料から成り、ワイヤ状をなす本体部と、絶縁性材料から成り、前記本体部の長手方向の中心部を含む領域であって前記本体部の両端部を含まない領域の表面を被覆する絶縁被膜と、を備え、前記絶縁被膜の端部は、前記本体部の長手方向の中心部に向けて径が徐々に大きくなるテーパ状をなすことにより、自身の径と同程度の径を有する孔に対する挿抜を容易にかつ円滑に行うことができるプローブおよび当該プローブを備えたプローブユニットを提供することができる。 According to the present invention, a main body portion made of a conductive material and having a wire shape, and an insulating material that includes a central portion in the longitudinal direction of the main body portion and does not include both end portions of the main body portion. An insulating coating that covers the surface of the region, and an end portion of the insulating coating has a taper shape in which the diameter gradually increases toward the central portion in the longitudinal direction of the main body portion, thereby increasing its diameter. It is possible to provide a probe that can be easily and smoothly inserted into and extracted from a hole having the same diameter and a probe unit including the probe.

以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。 The best mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “embodiment”) will be described below with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and width of each part, the ratio of the thickness of each part, and the like may be different from the actual ones. Of course, there may be included portions having different dimensional relationships and ratios.

図１は、本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。また、図２は、本実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す部分分解図である。これらの図に示すプローブユニット１は、検査対象である半導体集積回路等の回路基板と検査用の信号を生成する信号処理装置からの信号を供給する配線が設けられた配線基板とを接続するものである。より具体的には、プローブユニット１は、複数のプローブ２と、複数のプローブ２を所定のパターンにしたがって収容保持するプローブホルダ３と、配線用のリード線４が埋め込まれた配線基板５と、プローブホルダ３に収容されたプローブ２の一端部を配線基板５の所定の位置へ案内するガイド部材６と、を備える。 FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a probe unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partially exploded view showing the configuration of the probe unit according to the present embodiment. The probe unit 1 shown in these drawings connects a circuit board such as a semiconductor integrated circuit to be inspected and a wiring board provided with wiring for supplying a signal from a signal processing device that generates a signal for inspection. It is. More specifically, the probe unit 1 includes a plurality of probes 2, a probe holder 3 that accommodates and holds the plurality of probes 2 according to a predetermined pattern, a wiring board 5 in which wiring leads 4 are embedded, A guide member 6 for guiding one end of the probe 2 accommodated in the probe holder 3 to a predetermined position of the wiring board 5.

なお、図１では、複数のプローブ２から構成されるプローブ群Ｇとして、複数のプローブ２を一列に配置した場合を示しているが、これはあくまでも一例に過ぎぎず、プローブ群Ｇにおけるプローブ２の配置パターンは、回路基板における接続用電極の配置パターンに応じて定められる。 FIG. 1 shows a case where a plurality of probes 2 are arranged in a row as the probe group G composed of a plurality of probes 2, but this is only an example, and the probe 2 in the probe group G The arrangement pattern is determined according to the arrangement pattern of the connection electrodes on the circuit board.

図３は、プローブホルダ３の要部の構成およびプローブホルダ３におけるプローブ２の保持態様を示す図である。また、図４は、図３のＡ部拡大図であり、図５は、図３のＢ部拡大図である。以下、図１〜図５を参照してプローブ２およびプローブホルダ３の構成を説明する。 FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a main part of the probe holder 3 and a holding mode of the probe 2 in the probe holder 3. 4 is an enlarged view of part A of FIG. 3, and FIG. 5 is an enlarged view of part B of FIG. Hereinafter, the configurations of the probe 2 and the probe holder 3 will be described with reference to FIGS.

プローブ２は、ワイヤ状の導電性部材から成る本体部２１と、本体部２１の両端部を除く表面を被覆する絶縁性材料から成る絶縁被膜２２とを備える。絶縁被膜２２は、プローブ２間の電気的な短絡を防止するとともに、プローブ２が他のプローブ２やプローブホルダ３などと接触することによって損傷してしまうのを防止する機能を有する。本実施の形態において、絶縁被膜２２の端部２２ｔは、プローブ２の長手方向の中心部に向けて徐々に径が大きくなるテーパ状をなしており、長手方向の中心部を含む領域では均一な径Ｒ₂を有している。したがって、本体部２１の径をＲ₁とすると、Ｒ₁＜Ｒ₂である。 The probe 2 includes a main body portion 21 made of a wire-like conductive member and an insulating coating 22 made of an insulating material that covers the surface excluding both ends of the main body portion 21. The insulating coating 22 has a function of preventing an electrical short circuit between the probes 2 and preventing the probe 2 from being damaged by coming into contact with another probe 2 or the probe holder 3. In the present embodiment, the end portion 22t of the insulating coating 22 has a tapered shape with a diameter gradually increasing toward the center portion in the longitudinal direction of the probe 2, and is uniform in a region including the center portion in the longitudinal direction. It has a diameter R _2. Therefore, when the diameter of the body portion 21 and R _1, is R ₁ <R _2.

本体部２１の端部の表面は、半球面状をなしている。これにより、プローブ２がリード線４に対して傾斜した状態で接触しても、半球面状をなす端部のどこかでリード線４の導電部分と接触することができる。 The surface of the end of the main body 21 has a hemispherical shape. Thereby, even if the probe 2 is in contact with the lead wire 4 in an inclined state, the probe 2 can be in contact with the conductive portion of the lead wire 4 at some end of the hemispherical shape.

本体部２１としては、例えば鉄（Ｆｅ）系、ニッケル（Ｎｉ）系、タングステン（Ｗ）系等の耐磨耗性に優れた金属を適用することができる。また、絶縁被膜２２としては、ポリウレタンやポリパラキシリレン等の絶縁性部材を適用することができる。さらに、アルマイト等の酸化膜によって形成した絶縁皮膜を絶縁被膜２２としてもよい。 As the main body 21, for example, a metal having excellent wear resistance such as iron (Fe), nickel (Ni), or tungsten (W) can be used. Moreover, as the insulating coating 22, an insulating member such as polyurethane or polyparaxylylene can be applied. Furthermore, an insulating film formed of an oxide film such as alumite may be used as the insulating film 22.

以上の構成を有するプローブ２によれば、絶縁被膜の端部が段差形状をなす従来型のプローブと比較してプローブホルダへの挿通が容易となる。なお、プローブ２の両端部における本体部２１の露出長さは同じである必要はなく、プローブホルダ３の構成をふまえて適宜設定すればよい。 According to the probe 2 having the above configuration, insertion into the probe holder is facilitated as compared with a conventional probe in which the end portion of the insulating coating forms a step shape. Note that the exposed length of the main body 21 at both ends of the probe 2 need not be the same, and may be set as appropriate based on the configuration of the probe holder 3.

プローブホルダ３は、検査時に検査対象と対向する側（ヘッド側）に位置するプローブ２の端部付近を挿通して保持するヘッド側プレート７と、配線基板５と対向する側（配線側）に位置するプローブ２の端部付近を挿通して保持する配線側プレート８と、ヘッド側プレート７と配線側プレート８との間に介在してヘッド側プレート７と配線側プレート８とを連結する連結部材９とを有する。このプローブホルダ３は、絶縁性材料を用いて構成される。なお、少なくともプローブホルダ３の表面部分が絶縁性を有していれば、プローブホルダ３の母材として絶縁性を有しない材料を適用することも可能である。 The probe holder 3 is inserted into and held near the end of the probe 2 located on the side facing the inspection target (head side) at the time of inspection, and on the side facing the wiring board 5 (wiring side). A wiring side plate 8 that is inserted and held near the end of the probe 2 that is positioned, and a connection that connects the head side plate 7 and the wiring side plate 8 interposed between the head side plate 7 and the wiring side plate 8. Member 9. The probe holder 3 is configured using an insulating material. In addition, as long as at least the surface portion of the probe holder 3 has insulating properties, it is possible to apply a material that does not have insulating properties as the base material of the probe holder 3.

ヘッド側プレート７は、２枚のプレートを板厚方向に積層することによって形成される。すなわち、ヘッド側プレート７は、プローブ２の端部を表出して回路基板と対向する側に位置する第１プレート７１と、この第１プレート７１に積層され、表面の一部が連結部材９に当接する第２プレート７２とを有する。第１プレート７１と第２プレート７２とは、ねじ部材１０１によって締結されている。ヘッド側プレート７は、ねじ部材１０２によって連結部材９に締結されている。 The head side plate 7 is formed by laminating two plates in the thickness direction. That is, the head-side plate 7 is laminated on the first plate 71 that is located on the side facing the circuit board and exposes the end portion of the probe 2, and a part of the surface is connected to the connecting member 9. A second plate 72 in contact therewith. The first plate 71 and the second plate 72 are fastened by the screw member 101. The head side plate 7 is fastened to the connecting member 9 by a screw member 102.

第１プレート７１は、プローブ２の本体部２１の先端を挿通する挿通孔７１ａと、挿通孔７１ａよりも径が大きく凹状に窪んだ凹部７１ｂとを有する。また、第２プレート７２は、プローブ２を挿通する挿通孔７２ａと、挿通孔７２ａよりも径が大きく凹状に窪んだ凹部７２ｂとを有する。挿通孔７１ａの径をｒ₁、挿通孔７２ａの径をｒ₂とすると、これらの径の間にｒ₁≦ｒ₂が成立しているのが好ましい。また、挿通孔７１ａの径ｒ₁は、少なくともプローブ２の本体部２１の径Ｒ₁よりも大きい（ｒ₁＞Ｒ₁）。挿通孔７１ａと挿通孔７２ａとは同軸的に配置されるのが好ましく、２つの挿通孔全体でプローブ２のヘッド側の端部を挿通する第１の挿通孔を形成している。なお、図４では、凹部７１ｂの径と凹部７２ｂの径とが同じである場合を示しているが、これら２つの凹部の径は異なっていてもよい。 The first plate 71 has an insertion hole 71a through which the distal end of the main body portion 21 of the probe 2 is inserted, and a recess 71b having a diameter larger than the insertion hole 71a and recessed in a concave shape. The second plate 72 has an insertion hole 72a through which the probe 2 is inserted, and a recess 72b having a diameter larger than the insertion hole 72a and recessed in a concave shape. When the diameter of the insertion hole 71a is r ₁ and the diameter of the insertion hole 72a is r ₂ , it is preferable that r ₁ ≦ r ₂ is established between these diameters. The diameter r ₁ of the insertion hole 71 a is at least larger than the diameter R ₁ of the main body 21 of the probe 2 (r ₁ > R ₁ ). It is preferable that the insertion hole 71a and the insertion hole 72a are disposed coaxially, and the first insertion hole that inserts the end portion on the head side of the probe 2 is formed by the entire two insertion holes. FIG. 4 shows a case where the diameter of the recess 71b and the diameter of the recess 72b are the same, but the diameters of these two recesses may be different.

ところで、図４では、プローブ２の絶縁被膜２２の端部２２ｔが挿通孔７２ａの表面付近に位置しているが、絶縁被膜２２の端部２２ｔが挿通孔７２ａの内部に達するように設計してもよい。絶縁被膜２２の端部２２ｔは上記の如くテーパ状をなしているため、絶縁被膜２２を図４の下方から挿通孔７２ａの内部へ進入させるのも容易である。この場合には、絶縁被膜２２の表面と挿通孔７２ａの内側面との間に生じる摩擦（摺動抵抗）によってプローブ２の挿通孔７２ａからの抜け止め機能を果たすことができる。 In FIG. 4, the end portion 22t of the insulating coating 22 of the probe 2 is located near the surface of the insertion hole 72a. However, the end portion 22t of the insulating coating 22 is designed to reach the inside of the insertion hole 72a. Also good. Since the end 22t of the insulating coating 22 is tapered as described above, it is easy to allow the insulating coating 22 to enter the insertion hole 72a from below in FIG. In this case, the function to prevent the probe 2 from coming off from the insertion hole 72a can be achieved by friction (sliding resistance) generated between the surface of the insulating coating 22 and the inner side surface of the insertion hole 72a.

配線側プレート８は、３枚のプレートを板厚方向に積層することによって形成される。すなわち、配線側プレート８は、表面の一部が連結部材９に当接する第３プレート８１と、第３プレート８１に積層されてプローブ２を挿通する第４プレートと、第４プレートに積層されてプローブ２の端部を挿通し、配線基板５と対向する側に位置する第５プレート８３とを有する。第３プレート８１、第４プレート８２、および第５プレート８３は、ねじ部材１０３によって締結されて一体となっている。 The wiring side plate 8 is formed by laminating three plates in the thickness direction. That is, the wiring side plate 8 is laminated on the third plate 81 whose surface is in contact with the connecting member 9, the fourth plate that is laminated on the third plate 81 and through which the probe 2 is inserted, and the fourth plate. A fifth plate 83 is provided which is inserted through the end of the probe 2 and located on the side facing the wiring board 5. The third plate 81, the fourth plate 82, and the fifth plate 83 are fastened together by the screw member 103 to be integrated.

第３プレート８１は、プローブ２を挿通する挿通孔８１ａと、挿通孔８１ａよりも径が大きく凹状に窪んだ凹部８１ｂとを有する。また、第４プレート８２は、プローブ２を挿通する挿通孔８２ａと、挿通孔８２ａよりも径が大きく凹状に窪んだ凹部８２ｂとを有する。さらに、第５プレート８３は、プローブ２を挿通する挿通孔８３ａと、挿通孔８３ａよりも径が大きく凹状に窪んだ凹部８３ｂとを有する。第５プレート８３は、図２にも示すように、第３プレート８１や第４プレート８２よりも表面積が小さく、ガイド部材６に形成されている嵌合凹部６１に嵌合可能な形状をなす。 The third plate 81 has an insertion hole 81a through which the probe 2 is inserted, and a recess 81b having a diameter larger than the insertion hole 81a and recessed in a concave shape. The fourth plate 82 has an insertion hole 82a for inserting the probe 2 and a recess 82b having a diameter larger than the insertion hole 82a and recessed in a concave shape. Further, the fifth plate 83 has an insertion hole 83a through which the probe 2 is inserted, and a recess 83b having a diameter larger than the insertion hole 83a and recessed in a concave shape. As shown in FIG. 2, the fifth plate 83 has a surface area smaller than that of the third plate 81 or the fourth plate 82 and can be fitted into the fitting recess 61 formed in the guide member 6.

挿通孔８１ａ、８２ａ、および８３ａの各径は等しく、プローブ２の径と同程度であってプローブ２の最大径よりも大きい。挿通孔８１ａ、８２ａ、および８３ａの各中心軸は平行であるがオフセットされているため一致しない。ここでのオフセット量は、プローブ２の径や材質等の各種条件に応じて適宜定められるべき設計的事項である。これら３つの挿通孔８１ａ、８２ａ、および８３ａは、全体としてプローブ２の配線側の端部を挿通する第２の挿通孔を形成している。 The diameters of the insertion holes 81 a, 82 a, and 83 a are the same, approximately the same as the diameter of the probe 2 and larger than the maximum diameter of the probe 2. Although the central axes of the insertion holes 81a, 82a, and 83a are parallel, they are not matched because they are offset. The amount of offset here is a design matter that should be appropriately determined according to various conditions such as the diameter and material of the probe 2. These three insertion holes 81a, 82a, and 83a form a second insertion hole through which the end of the probe 2 on the wiring side is inserted as a whole.

３つの挿通孔８１ａ、８２ａ、および８３ａの各径は、上述したように等しくなくてもよいが、その場合には、配線基板５により近い側に位置する挿通孔の径が小さくなるようにすればより好ましい。したがって、挿通孔８１ａの径をｒ₃、挿通孔８２ａの径をｒ₄、挿通孔８３ａの径をｒ₅とするとき、０＜（Ｒ₂＜）ｒ₅≦ｒ₄≦ｒ₃が成立していればより好ましい。 The diameters of the three insertion holes 81a, 82a, and 83a may not be equal as described above, but in that case, the diameters of the insertion holes located closer to the wiring board 5 are reduced. More preferable. Therefore, diameter r ₃ of the insertion hole 81a, the diameter of the insertion hole 82a r _4, when the diameter of the insertion hole 83a and _{_{r 5, 0 <(R 2}} <) r 5 ≦ r 4 ≦ r 3 is satisfied It is more preferable.

なお、ヘッド側プレート７および配線側プレート８をそれぞれ構成するプレートの数はは、上述したものに限られるわけではない。また、各プレートを順次積層してヘッド側プレート７や配線側プレート８を形成する際には、所定の位置決めピンを用いることによってプレート間の位置決めを行うようにすればより好ましい。 The number of plates constituting the head side plate 7 and the wiring side plate 8 is not limited to the above. Further, when the head side plate 7 and the wiring side plate 8 are formed by sequentially laminating the respective plates, it is more preferable to perform positioning between the plates by using a predetermined positioning pin.

次に、ガイド部材６の構成を説明する。ガイド部材６は、ねじ部材１０４によって配線基板５に締結されて固設され、ヘッド側プレート７や配線側プレート８よりも表面積が大きい板状をなす（図１を参照）。ガイド部材６は、配線側プレート８の第５プレート８３を嵌合可能な嵌合凹部６１を有する。このような構成を有するガイド部材６は、プローブホルダ３と同様の絶縁性材料によって形成される。 Next, the configuration of the guide member 6 will be described. The guide member 6 is fastened and fixed to the wiring board 5 by a screw member 104, and has a plate shape having a larger surface area than the head side plate 7 and the wiring side plate 8 (see FIG. 1). The guide member 6 has a fitting recess 61 in which the fifth plate 83 of the wiring side plate 8 can be fitted. The guide member 6 having such a configuration is formed of an insulating material similar to that of the probe holder 3.

図６は、プローブユニット１が組み立てられた状態（図１の状態）におけるガイド部材６の近傍の構成を示す部分断面図である。また、図７は、図６のＣ部拡大図である。図６および図７に示すように、ガイド部材６には、プローブ２の本体部２１の先端を所定の位置へ案内するガイド孔６ａが板厚方向に貫通して形成されている。ガイド孔６ａの径Ｒ_Gは、プローブ２の本体部２１の径Ｒ₁よりも大きく、挿通孔８３ａの径r₅よりも小さい（Ｒ₁＜Ｒ_G＜ｒ₅）。ガイド孔６ａの中心軸は、配線基板５に埋め込まれたリード線４の中心軸と一致している。この結果、プローブ２の本体部２１の先端をリード線４の端面の中心に接触させることができるため、プローブ２とリード線４との正確なコンタクトを実現することができる。 FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a configuration in the vicinity of the guide member 6 in a state where the probe unit 1 is assembled (state shown in FIG. 1). FIG. 7 is an enlarged view of a portion C in FIG. As shown in FIGS. 6 and 7, the guide member 6 is formed with a guide hole 6 a that guides the distal end of the main body portion 21 of the probe 2 to a predetermined position in the plate thickness direction. Diameter R _G of the guide hole 6a is larger than the diameter R ₁ of the main body portion 21 of the probe 2, smaller than the diameter r ₅ of the insertion hole _{_{83a (R 1 <R G <}} r 5). The central axis of the guide hole 6 a coincides with the central axis of the lead wire 4 embedded in the wiring board 5. As a result, the tip of the main body portion 21 of the probe 2 can be brought into contact with the center of the end surface of the lead wire 4, so that accurate contact between the probe 2 and the lead wire 4 can be realized.

プローブホルダ３、配線基板５、およびガイド部材６は、配線基板５の底面側からプローブホルダ３の連結部材９まで挿通可能なねじ部材（図示せず）によって締結されている。この締結を行う際には、所定の位置決めピンを用いることによって各部材の相互の位置決めを行うようにすればより好ましい。 The probe holder 3, the wiring board 5, and the guide member 6 are fastened by a screw member (not shown) that can be inserted from the bottom surface side of the wiring board 5 to the connecting member 9 of the probe holder 3. When performing this fastening, it is more preferable if the respective members are positioned relative to each other by using a predetermined positioning pin.

このように、ガイド部材６は配線基板５に固設されているため、プローブホルダ３に対してプローブ２を取り付ける際には、ガイド孔６ａを通す必要がない。このため、プローブホルダ３へのプローブ２の挿抜が容易である。また、プローブ２のプローブホルダ３への取り付けの容易性を考慮しなくてよい分、ガイド孔６ａの径をより小さくすることも可能となり、配線基板５に対するプローブ２の先端の位置決め精度を一段と向上させることができる。 Thus, since the guide member 6 is fixed to the wiring board 5, it is not necessary to pass the guide hole 6 a when attaching the probe 2 to the probe holder 3. For this reason, the probe 2 can be easily inserted into and removed from the probe holder 3. Further, the diameter of the guide hole 6a can be made smaller because the ease of mounting the probe 2 to the probe holder 3 need not be considered, and the positioning accuracy of the tip of the probe 2 relative to the wiring board 5 is further improved. Can be made.

なお、図７では、第５プレート８３の挿通孔８３ａとガイド部材６のガイド孔６ａの中心軸が異なる場合を図示したが、図８に示す第５プレート８４の挿通孔８４ａのように、ガイド孔６ａと同軸的に連通する構成としてもよい。この場合、挿通孔８４ａの径ｒ₆は、ガイド孔６ａの径Ｒ_Gよりも大きい（Ｒ_G＜ｒ₆）。第５プレート８４の上記以外の構成は、第５プレート８３と同じである。 7 illustrates the case where the center axis of the insertion hole 83a of the fifth plate 83 and the guide hole 6a of the guide member 6 are different from each other. However, like the insertion hole 84a of the fifth plate 84 illustrated in FIG. It is good also as a structure which communicates coaxially with the hole 6a. In this case, the diameter r ₆ of the insertion hole 84a is larger than the diameter R _G of the guide hole 6a (R _G <r ₆ ). Other configurations of the fifth plate 84 are the same as those of the fifth plate 83.

また、プローブホルダ３の各挿通孔の径を調整することによってプローブ２の配線基板５に対する十分な位置決め精度を実現することが可能な場合には、プローブホルダ３と配線基板５との間にガイド部材６を介在させることなく、プローブホルダ３と配線基板５とを直接積層する構成としてもよい。 If sufficient positioning accuracy of the probe 2 with respect to the wiring board 5 can be realized by adjusting the diameter of each insertion hole of the probe holder 3, a guide is provided between the probe holder 3 and the wiring board 5. The configuration may be such that the probe holder 3 and the wiring board 5 are directly laminated without interposing the member 6.

プローブユニット１を用いて回路基板の電気特性検査を行う際には、プローブユニット１をプローバと呼ばれる治具に装着し、配線基板５のリード線４を検査用の信号を生成する信号処理装置に接続する。プローバに装着されたプローブユニット１は、図１と上下が逆転した状態となる。検査対象の回路基板をプローバの下方に位置する受け台に載置し、プローバと受け台との位置決めを行った後、プローバを所定の位置まで下降させていき、ヘッド側プレート７から外部へ突出するプローブ２の端部を、回路基板に設けられた接続用電極に接触させる。その後、信号処理回路から検査用の信号を送出し、検査を行う。 When the electrical characteristics inspection of the circuit board is performed using the probe unit 1, the probe unit 1 is mounted on a jig called a prober, and the lead wire 4 of the wiring board 5 is used as a signal processing apparatus that generates a signal for inspection. Connecting. The probe unit 1 attached to the prober is in a state where the top and bottom are reversed from those in FIG. The circuit board to be inspected is placed on a cradle positioned below the prober, and after positioning the prober and the cradle, the prober is lowered to a predetermined position and protrudes from the head side plate 7 to the outside. The end of the probe 2 to be contacted is brought into contact with a connection electrode provided on the circuit board. Thereafter, an inspection signal is transmitted from the signal processing circuit to perform inspection.

以上説明した本発明の一実施の形態によれば、導電性材料から成り、ワイヤ状をなす本体部と、絶縁性材料から成り、前記本体部の長手方向の中心部を含む領域であって前記本体部の両端部を含まない領域の表面を被覆する絶縁被膜と、を備え、前記絶縁被膜の端部は、前記本体部の長手方向の中心部に向けて径が徐々に大きくなるテーパ状をなすことにより、自身の径と同程度の径を有する孔に対する挿抜を容易にかつ円滑に行うことができるプローブおよび当該プローブを備えたプローブユニットを提供することができる。 According to the embodiment of the present invention described above, the main body is made of a conductive material, has a wire shape, and is made of an insulating material. The region includes a central portion in the longitudinal direction of the main body. An insulating coating that covers the surface of a region that does not include both ends of the main body, and the end of the insulating coating has a tapered shape whose diameter gradually increases toward the central portion in the longitudinal direction of the main body. By doing so, it is possible to provide a probe that can be easily and smoothly inserted into and extracted from a hole having the same diameter as the diameter of itself, and a probe unit including the probe.

ここまで、本発明を実施するための最良の形態を詳述してきたが、本発明は上述した一実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、ガイド部材のガイド孔は、ガイド孔６ａのようなストレート孔である必要はなく、それ以外の形状を有していてもよい。図９および図１０は、ガイド孔の別な構成例を示す図である。図９に示すガイド部材１６が有するガイド孔１６ａは、プローブ２が挿入される側の開口面を最大径として徐々に径が小さくなるテーパ部１６ｂと、テーパ部１６ｂの最小径と同じ径を有する小径部１６ｃとから成る。なお、小径部１６ｃの径は、ガイド部材６のガイド孔６ａの径Ｒ_Gと同程度であればよい。このように、プローブホルダ３と対向するガイド部材の表面付近のガイド孔の径を広げることにより、プローブ２のガイド孔に対する挿抜を一段と容易に行うことが可能となる。 The best mode for carrying out the present invention has been described in detail so far, but the present invention should not be limited only by the above-described embodiment. For example, the guide hole of the guide member does not need to be a straight hole like the guide hole 6a, and may have other shapes. 9 and 10 are diagrams showing another configuration example of the guide hole. The guide hole 16a included in the guide member 16 illustrated in FIG. 9 has a tapered portion 16b whose diameter gradually decreases with the opening surface on the side where the probe 2 is inserted as the maximum diameter, and the same diameter as the minimum diameter of the tapered portion 16b. It consists of a small diameter part 16c. In addition, the diameter of the small diameter part 16c should just be comparable as the diameter _RG of the guide hole 6a of the guide member 6. FIG. As described above, by expanding the diameter of the guide hole near the surface of the guide member facing the probe holder 3, the probe 2 can be easily inserted into and removed from the guide hole.

図１０に示すガイド部材２６も、プローブホルダ３と対向する側の表面付近のガイド孔の径を反対側の表面の径よりも大きくした構成を有している。図１０に示すガイド孔２６ａは、プローブホルダ３と対向する側に貫通され、最大径をする大径部２６ｂと、配線基板５と対向する側に貫通され、最小径を有する小径部２６ｃと、大径部２６ｂと小径部２６ｃとの間に介在して径が徐々に変化するテーパ部２６ｄとを有する。このような構成を有するガイド部材２６が、上述したガイド部材１６と同様に、プローブ２のガイド孔への挿抜を一段と容易にする効果を奏することは勿論である。 The guide member 26 shown in FIG. 10 also has a configuration in which the diameter of the guide hole near the surface on the side facing the probe holder 3 is larger than the diameter of the surface on the opposite side. The guide hole 26a shown in FIG. 10 is penetrated to the side facing the probe holder 3, and has a large diameter part 26b having a maximum diameter, and a small diameter part 26c penetrating to the side facing the wiring board 5 and having a minimum diameter, A tapered portion 26d having a diameter gradually changing is interposed between the large diameter portion 26b and the small diameter portion 26c. It goes without saying that the guide member 26 having such a configuration has the effect of facilitating the insertion / extraction of the probe 2 into / from the guide hole, similarly to the guide member 16 described above.

このように、本発明は、ここでは記載していないさまざまな実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。 Thus, the present invention can include various embodiments and the like not described herein, and various design changes and the like can be made without departing from the technical idea specified by the claims. It is possible to apply.

本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the probe unit which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す部分分解図である。It is a partial exploded view which shows the structure of the probe unit which concerns on one embodiment of this invention. プローブホルダにおけるプローブの保持態様を示す図である。It is a figure which shows the holding | maintenance aspect of the probe in a probe holder. 図３のＡ部拡大図である。It is the A section enlarged view of FIG. 図３のＢ部拡大図である。It is the B section enlarged view of FIG. ガイド部材近傍の構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing composition near a guide member. 図６のＣ部拡大図である。It is the C section enlarged view of FIG. 第５プレートの別な構成例を示す図である。It is a figure which shows another structural example of a 5th plate. ガイド部材が有するガイド孔の別な構成例を示す図である。It is a figure which shows another structural example of the guide hole which a guide member has. ガイド部材が有するガイド孔のさらに別な構成例を示す図である。It is a figure which shows another example of a structure of the guide hole which a guide member has.

Explanation of symbols

１プローブユニット
２プローブ
３プローブホルダ
４リード線
５配線基板
６、１６、２６ガイド部材
６ａ、１６ａ、２６ａガイド孔
７ヘッド側プレート
８配線側プレート
９連結部材
１６ｂ、２６ｄテーパ部
１６ｃ、２６ｃ小径部
２１本体部
２２絶縁被膜
２２ｔ端部
２６ｂ大径部
６１嵌合凹部
７１第１プレート
７１ａ、７２ａ、８１ａ、８２ａ、８３ａ、８４ａ挿通孔
７１ｂ、７２ｂ、８１ｂ、８２ｂ、８３ｂ凹部
７２第２プレート
８１第３プレート
８２第４プレート
８３、８４第５プレート
１０１、１０２、１０３、１０４ねじ部材
Ｇプローブ群
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Probe unit 2 Probe 3 Probe holder 4 Lead wire 5 Wiring board 6, 16, 26 Guide member 6a, 16a, 26a Guide hole 7 Head side plate 8 Wiring side plate 9 Connecting member 16b, 26d Tapered part 16c, 26c Small diameter part 21 Body portion 22 Insulating coating 22t End portion 26b Large diameter portion 61 Fitting recess 71 First plate 71a, 72a, 81a, 82a, 83a, 84a Insertion hole 71b, 72b, 81b, 82b, 83b Recess 72 Second plate 81 Third Plate 82 Fourth plate 83, 84 Fifth plate 101, 102, 103, 104 Screw member G Probe group

Claims

A body portion made of a conductive material and forming a wire shape;
An insulating film made of an insulating material and covering the surface of a region that includes a central portion in the longitudinal direction of the main body portion and does not include both end portions of the main body portion;
With
An end portion of the insulating coating has a tapered shape with a diameter gradually increasing toward a central portion in a longitudinal direction of the main body.

2. The probe according to claim 1, wherein the surface of at least one end of the probe has a hemispherical shape.

The probe according to claim 1 or 2,
A head-side plate having a first insertion hole that penetrates the vicinity of the end on the head side that contacts the circuit board to be inspected among the ends of the probe;
The end portion of the probe is inserted through the vicinity of the end portion on the wiring side in contact with the wiring substrate provided with the wiring for supplying the inspection signal to the circuit board, and the first insertion hole is the central axis A wiring side plate having a second insertion hole different from each other;
A connecting member for connecting the head side plate and the wiring side plate;
A probe unit comprising:

The probe unit according to claim 3, wherein a central axis of the first insertion hole is different from a central axis of the second insertion hole.

The wiring side plate is formed by laminating a plurality of plates in the thickness direction,
5. The probe unit according to claim 3, wherein the second insertion hole includes a plurality of insertion holes respectively included in the plurality of plates.

6. The probe unit according to claim 5, wherein the plurality of insertion holes have different central axes from each other.