JP2007328947A - プラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極を配列したガラス基板にガラスフリットを含む焼成材料を被着させ、ガラス基板を加熱してガラスフリットを軟化させ、その後にガラス基板を常温に戻す誘電体層の形成において、ガラス基板の温度をガラスフリットが軟化する温度からガラスフリットの転移点まで降下させた後に、前記ガラス基板の応力を低減する歪み取り作用をもつ一定速度の徐冷処理を行う。
【選択図】図2
Description
〔熱処理の第1の形態〕
図2は誘電体層を形成における熱処理の第1の形態を示す。第1の形態は、軟化したガラスを固化させる第1の徐冷に続けて歪取り作用をもつ第2の徐冷を行うものである。図2中の太い実線は本発明を適用した温度制御の実施例1を示し、太い破線は同じく実施例2を示し、細い鎖線は比較例を示す。
屈伏点:531℃
転移点(Tg):491℃
歪点:478℃
熱膨張係数:73.5×10-7/℃(30〜300℃の平均)
このような材質のガラスフリットを主成分とするガラスペーストをガラス基板に約50μmの厚さに印刷した。乾燥後の焼成においては、温度T1を350℃、温度T2を580℃に焼成炉の温度を設定した。常温(例えば23℃)から350℃まで焼成炉の温度の設定を4.4℃/minの速度で加熱し、30分にわたって350℃を保持した後、350℃から580℃まで焼成炉の温度の設定を5.8℃/minの速度で加熱した。580℃を10分間保持した後、冷却を始めた。
第2の徐冷の開始時点における熱歪応力は約500kgf/cm2であり、第2の徐冷の終了時点における熱歪応力は約200kgf/cm2であった。
〔熱処理の第2の形態〕
図3は誘電体層を形成における熱処理の第2の形態を示す。第2の形態は、軟化したガラスを固化させてガラス基板をいったん常温に戻した後に、歪取り作用をもつ徐冷処理を加えるものである。これは例えば焼成炉の連続使用時間に制限がある場合に有用である。
屈伏点:531℃
転移点(Tg):491℃
歪点:478℃
熱膨張係数:73.5×10-7/℃(30〜300℃の平均)
1回目の加熱・冷却過程の熱履歴を上述の比較例と同様とした。すなわち、温度T1を350℃、温度T2を580℃に焼成炉の温度を設定した。常温(例えば23℃)から350℃まで焼成炉の設定で4.4℃/minの速度で加熱し、30分にわたって350℃を保持した後、350℃から580℃まで焼成炉の設定で5.8℃/minの速度で加熱した。580℃を10分間保持した後、冷却を始めた。冷却に係わる温度T3を480℃、徐冷の終了温度を焼成炉の設定で300℃に設定した。580℃から480℃まで焼成炉の設定で−4.4℃/minの速度で徐冷し、480℃から300℃まで焼成炉の設定で−2.2℃/minの速度で徐冷した。徐冷の後に焼成炉の設定で−5.0℃/minの急冷を行った。1回目の加熱・冷却過程の終了時点で残存する熱歪応力は約560kgf/cm2であった。
11 ガラス基板
17 誘電体層
T2 ガラスフリットが軟化する温度
Tg 転移点
Claims (7)
- 電極を配列したガラス基板にガラスフリットを含む焼成材料を被着させ、前記ガラス基板を加熱して前記ガラスフリットを軟化させ、その後に前記ガラス基板を常温に戻すプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法であって、
前記ガラス基板の温度を前記ガラスフリットが軟化する温度から前記ガラスフリットの転移点まで降下させた後に、前記ガラス基板の応力を低減する歪み取り作用をもつ一定速度の徐冷処理を行う
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。 - 前記徐冷処理の速度は、−0.5〜−1.0℃/minの範囲内の速度である
請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。 - 前記ガラス基板の温度を前記ガラスフリットが軟化する温度から前記ガラスフリットの転移点まで降下させる冷却に続けて、前記徐冷処理を行う
請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。 - 前記徐冷処理の速度は−1.0℃/minである
請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。 - 前記徐冷処理は、480℃から少なくとも300℃まで実施することを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。
- 前記ガラス基板を常温に戻した後に、前記ガラスフリットの歪点を超えないように前記ガラス基板を再加熱し、それに続けて前記徐冷処理を行う
請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。 - 前記徐冷処理の速度は−0.5℃/minである
請求項5に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法。
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JP2006157459A JP2007328947A (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | プラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法 |
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JP2006157459A Pending JP2007328947A (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | プラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法 |
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