JP2007327985A - カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ - Google Patents
カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007327985A JP2007327985A JP2006156898A JP2006156898A JP2007327985A JP 2007327985 A JP2007327985 A JP 2007327985A JP 2006156898 A JP2006156898 A JP 2006156898A JP 2006156898 A JP2006156898 A JP 2006156898A JP 2007327985 A JP2007327985 A JP 2007327985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- overcoat layer
- black matrix
- photoresist
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板50上に樹脂ブラックマトリックス51、着色画素52を形成し、該透明基板上の全面に、オーバーコート層及びフォトスペーサーを形成するフォトレジスト層60を形成し、オーバーコート層に対応したハーフトーンパターン72及びフォトスペーサーに対応した開口パターン71が設けられたフォトマスクを介した露光、及び現像処理を行い、オーバーコート層63及びフォトスペーサーPs−3を同時に形成する。
【選択図】図4
Description
このブラックマトリックス(51)は、ガラス基板(50)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によって形成された樹脂ブラックマトリックス(51)である。
樹脂ブラックマトリックスの膜厚が、例えば、1.0μm程度と厚くなると、図1に示すように、樹脂ブラックマトリックス(51)端部にその周縁部を重ねて形成された着色画素(52)は、その周縁部が樹脂ブラックマトリックス(51)の端部上にて突起(54)となる。
従って、上記樹脂ブラックマトリックス(51)の端部上の突起(54)、或いは着色画素(52)上の異物などの影響を避けて、面内ムラのない表示を得るために、IPS方式
の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの場合には平坦化処理として、例えば、オーバーコート層(53)の形成が行われる。
また、近年、カラーフィルタのコントラストを向上させるために、顔料の粒径を微細にする方向へと進んでいるが、これによって耐薬品性が低下することも一因として加わってきている。
縦電界方式(例えば、TN方式)の液晶表示装置に用いるカラーフィルタ上に設けられる透明電極層は、一般にインジウムとすずの複合酸化物(ITO)などの無機物が用いられるため、着色画素のイオン性不純物の溶出や耐薬品性を向上させる保護膜としての働きも担っていた。ところが、IPS方式の液晶表示装置に用いるカラーフィルタでは保護膜としての働きも担ってきた透明電極層が存在しない。
このオーバーコート層(53)は、前記突起や異物などの影響を避ける平坦化処理と兼ねたオーバーコート層である。
IPS方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタのコストダウンに関しては、オーバーコート層の収率向上、オーバーコート層の工程簡略、オーバーコート層の削除などの課題が挙げられる。
この散布されたスペーサーは、面内分布が不均一になってしまうため、基板間のギャップの分布が悪くなってしまう。また、このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまう。
このような問題を解決する技法として、フォトレジストを用い、フォトリソグラフィ法により、図1に示すように、例えば、画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有するフォトスペーサー(突起部)(Ps)を形成する方法が開発され実用されている。このような液晶表示装置用カラーフィルタを用いた液晶表示装置では、フォトスペー
サー(Ps)が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
このような、フォトスペーサー(Ps)を有するカラーフィルタを廉価に製造する方法として、例えば、フォトスペーサーを積層構成とし、この積層を着色画素の形成と同時に形成することによって、フォトスペーサーを形成する工程を削減させる方法が提案されている。
また、青色の台座パターン(P3)は、緑色の台座パターン(P2)上に、青色の着色画素(図示せず)の形成と同時に形成されたものである。
また、柱状スペーサーの上部パターン(P4)は、赤色の着色画素(12)上への配向制御用突起(Mv)の形成と同時に、青色の台座パターン(P3)上に形成されたものである。
図3に示すように、このカラーフィルタは、ガラス基板(50)上にブラックマトリックス(51)、1色目の着色画素(52−1)、2色目の着色画素(52−2)、オーバーコート層(53)及び積層フォトスペーサー(Ps−2)が形成されたものである。
コート層(53)の延長パターン(P4)を積層した構成である。
フォトスペーサーは、図1に符号Sで示すように、その縦断面形状は柱状であって、側面は特にフォトスペーサーの脚部から急峻な立ち上がりをしていることが、スペーサー近傍の液晶の配向の乱れを回避するのには好ましい。
1)前記樹脂ブラックマトリックスが形成された透明基板上に、複数色の着色画素を順次に形成し、
2)該複数色の着色画素が形成された透明基板上の全面に、前記オーバーコート層及びフォトスペーサーを形成するためのフォトレジストとしてネガ型フォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成し、
3)前記オーバーコート層の形成に対応したハーフトーンパターン及びフォトスペーサーの形成に対応した開口パターンが設けられたフォトマスクを介した露光、及び現像処理を行い、
樹脂ブラックマトリックス、複数色の着色画素が形成された透明基板上に、オーバーコート層及びフォトスペーサーを同時に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
また、オーバーコート層には、塗布ムラや異物の発生などがなく、その収率は向上したものとなる。また、フォトスペーサーは、オーバーコート層と一体的に形成されているために、オーバーコート層から剥離、脱落することはない。
図4(a)〜(d)は、本発明によるカラーフィルタの製造方法の一実施例を説明する断面図である。この例は着色画素が3色の場合である。
図4(a)は、透明基板(50)上に樹脂ブラックマトリックス(51)、第一色目の着色画素(52−1)、第二色目の着色画素(52−2)、第三色目の着色画素(52−3)が形成された段階を表したものである。
次に、図4(c)に示すように、フォトマスク(PM)を介した露光(L)、現像、及びベーキングを行い、各着色画素間の樹脂ブラックマトリックス(51)の上方にフォトスペーサー(Ps−3)を形成する。また、同時に第一色目の着色画素(52−1)、第二色目の着色画素(52−2)、第三色目の着色画素(52−3)上にオーバーコート層(63)を形成する。
フォトマスクのハーフートーンの材質としてITOを用い、濃度(光透過率)は25%程度のものを使用した。
また、フォトスペーサーの形成は、オーバーコート層の形成と同時に行われるが、フォトスペーサーは積層構成ではないので、図4に符号S3で示すように、フォトスペーサーの縦断面形状は柱状で、その脚部から急峻な形状となる。
従って、このカラーフィルタをIPS方式の液晶表示装置に用いた場合において、フォトスペーサー近傍の液晶の配向に悪影響を及ぼすことはない。
フォトスペーサーの対角長は、この程度のものであるため、前記図1に示すように、オーバーコート層(53)上に形成されたフォトスペーサー(Ps)の場合にはオーバーコート層(53)への密着性が十分でなく、フォトスペーサー(Ps)がオーバーコート層(53)から剥離、脱落することがある。
11、51・・・(樹脂)ブラックマトリックス
12、52・・・着色画素
50・・・ガラス基板
52−1・・・第一色目の着色画素
52−2・・・第二色目の着色画素
52−3・・・第三色目の着色画素
53・・・オーバーコート層
54・・・突起
60・・・フォトレジスト層
71・・・開口パターン
72・・・ハーフトーンパターン
L・・・露光光
Mv・・・配向制御用突起
P1・・・赤色の着色画素の延長パターン
P2・・・緑色の台座パターン
P3・・・青色の台座パターン
P4・・・上部パターン、延長パターン
PM・・・フォトマスク
Ps・・・フォトスペーサー
PS−1、PS−2・・・柱状スペーサー(積層フォトスペーサー)
PS−3・・・本発明のフォトスペーサー
Claims (3)
- 透明基板上に樹脂ブラックマトリックス、複数色の着色画素、オーバーコート層、及びフォトスペーサーが形成された液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法において、
1)前記樹脂ブラックマトリックスが形成された透明基板上に、複数色の着色画素を順次に形成し、
2)該複数色の着色画素が形成された透明基板上の全面に、前記オーバーコート層及びフォトスペーサーを形成するためのフォトレジストとしてネガ型フォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成し、
3)前記オーバーコート層の形成に対応したハーフトーンパターン及びフォトスペーサーの形成に対応した開口パターンが設けられたフォトマスクを介した露光、及び現像処理を行い、
樹脂ブラックマトリックス、複数色の着色画素が形成された透明基板上に、オーバーコート層及びフォトスペーサーを同時に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記オーバーコート層及びフォトスペーサーを形成するためのフォトレジストがポジ型フォトレジストであり、前記フォトスペーサーの形成に対応した開口パターンが遮光パターンであることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。
- 請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造したことを特徴とするカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006156898A JP2007327985A (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006156898A JP2007327985A (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007327985A true JP2007327985A (ja) | 2007-12-20 |
Family
ID=38928529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006156898A Pending JP2007327985A (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007327985A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271474A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板及びその製造方法及び液晶表示装置 |
JP2010160345A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの設計方法、および表示装置 |
JP2010282180A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-12-16 | Fujifilm Corp | スペーサー形成用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、スペーサーの形成方法、及び液晶表示素子 |
CN102628973A (zh) * | 2011-07-19 | 2012-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板的制作方法和彩膜基板 |
US8384871B2 (en) | 2009-01-16 | 2013-02-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display apparatus and method for manufacturing the same |
CN105572960A (zh) * | 2016-03-02 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、液晶面板、显示装置及显示基板的制作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001100652A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nec Corp | アクティブマトリックス基板及びその製造方法 |
JP2002031708A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびその製造方法 |
-
2006
- 2006-06-06 JP JP2006156898A patent/JP2007327985A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001100652A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nec Corp | アクティブマトリックス基板及びその製造方法 |
JP2002031708A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびその製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271474A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板及びその製造方法及び液晶表示装置 |
JP2010160345A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの設計方法、および表示装置 |
US8384871B2 (en) | 2009-01-16 | 2013-02-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display apparatus and method for manufacturing the same |
US8619230B2 (en) | 2009-01-16 | 2013-12-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display apparatus and method for manufacturing the same |
JP2010282180A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-12-16 | Fujifilm Corp | スペーサー形成用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、スペーサーの形成方法、及び液晶表示素子 |
CN102628973A (zh) * | 2011-07-19 | 2012-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板的制作方法和彩膜基板 |
CN105572960A (zh) * | 2016-03-02 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、液晶面板、显示装置及显示基板的制作方法 |
WO2017148065A1 (zh) * | 2016-03-02 | 2017-09-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、液晶面板、显示装置及显示基板的制作方法 |
US10203561B2 (en) | 2016-03-02 | 2019-02-12 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display substrate, liquid crystal panel, display device and manufacturing method of display substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4468529B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
US8314911B2 (en) | Liquid crystal panel and manufacturing method thereof | |
WO2016106868A1 (zh) | 一种彩色滤光片基板的制作方法 | |
JP2009175690A (ja) | カラーフィルタ基板及びその製造方法並びに液晶表示装置 | |
KR20070038344A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
JP2007327985A (ja) | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ | |
JP6232769B2 (ja) | 表示装置用基板の製造方法及び表示装置用基板、表示装置 | |
JP5011973B2 (ja) | フォトマスク | |
JP2007101992A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP5163016B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法とフォトマスク | |
JP5034203B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2009151071A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ | |
JP2007240711A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP2008292626A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
KR101082906B1 (ko) | 표시패널 및 이의 제조방법 | |
JP4775113B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
JP2007121389A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
JP2008304507A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
WO2016084232A1 (ja) | 液晶表示パネル、液晶表示装置、液晶表示パネルの製造方法 | |
JP2007003758A (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2012042645A (ja) | カラーフィルタとその製造方法、カラーフィルタ基板ならびに液晶表示装置 | |
JP2021002033A (ja) | カラーフィルタ基板、液晶表示装置、及び、カラーフィルタ基板の製造方法 | |
JP2006221015A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP4715337B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP4887958B2 (ja) | フォトマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120110 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120131 |