JP2007316201A - 電子線描画装置による描画方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子線描画装置の描画において、条件数を増加させることなく、簡便な方法により、露光量の補正パラメータηを設定する、高精度の描画方法を提供することにある。
【解決手段】複数水準の描画面積率のパターン及びCDのパターンデータにより、複数水準の露光量毎に描画し、描画面積率毎に、露光量と寸法変動量との曲線群1のグラフを作製し、基準描画面積率の基準ΔCD0に直線を引き、描画面積率α0とΔCD0直線の交点に対応する基準露光量D0、各々の曲線αとΔCD0の交点に対応する露光量Dを読み取り、数式1を用い、描画面積率α毎に、STMR実験値を算出、プロットし、曲線群2グラフを作製と、数式3を用いて、複数水準の各々の補正パラメータηに対応する描画面積率α毎にSTMR理論値を算出、プロットし、曲線群2のグラフに合致するようなη’を選別し、補正パラメータとし描画する特電子線描画装置による描画方法。
【選択図】図1
【解決手段】複数水準の描画面積率のパターン及びCDのパターンデータにより、複数水準の露光量毎に描画し、描画面積率毎に、露光量と寸法変動量との曲線群1のグラフを作製し、基準描画面積率の基準ΔCD0に直線を引き、描画面積率α0とΔCD0直線の交点に対応する基準露光量D0、各々の曲線αとΔCD0の交点に対応する露光量Dを読み取り、数式1を用い、描画面積率α毎に、STMR実験値を算出、プロットし、曲線群2グラフを作製と、数式3を用いて、複数水準の各々の補正パラメータηに対応する描画面積率α毎にSTMR理論値を算出、プロットし、曲線群2のグラフに合致するようなη’を選別し、補正パラメータとし描画する特電子線描画装置による描画方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、電子線描画装置による描画方法、特に露光量の補正パラメータηに関する。
電子線描画装置は、フォトマスクの製造におけるパターン形成に用いる装置である。
電子線描画装置は、電子ビームを発生する電子銃が装置最上部に配置され、電子銃から発生した電子ビームは、ブランカー、照射レンズを介して第1形成スリット上に照射され、成形偏向器、成型レンズを介して第2形成スリットを通過し、第2形成スリットで形成された像は、縮小レンズ、対物レンズを介して縮小された後、位置決め偏向器により位置決め偏向されて、装置最下部に配置のステージ上の載置したマスクブランクの表面へ電子ビームのEB粒子として照射される。
電子線描画装置は、電子ビームを発生する電子銃が装置最上部に配置され、電子銃から発生した電子ビームは、ブランカー、照射レンズを介して第1形成スリット上に照射され、成形偏向器、成型レンズを介して第2形成スリットを通過し、第2形成スリットで形成された像は、縮小レンズ、対物レンズを介して縮小された後、位置決め偏向器により位置決め偏向されて、装置最下部に配置のステージ上の載置したマスクブランクの表面へ電子ビームのEB粒子として照射される。
一方、パターンを形成する描画では、パターンデータを用いる。電子線描画装置のパターンデータメモリーヘ格納され、ショット分割ユニットで分割され、分割された各パターンデータに基づき、順次マスクブランク上に照射され、パターン形状に描画される。パターン形状の照射は、ブランカーにより操作され、すなわち照射では、開であり、それ以外は閉、電子ビームを通過させず、マスクブランク上では未照射となる。前記ブランカーの開では、電子ビームのEB粒子の照射に同期し、電子ビームのブランキングが実行され、調整された照射時間のみEB粒子が照射される。
前記EB粒子の照射は、パターンの密度、照射面積率からの強い影響があり、電子ビームの強さ、例えば露光量(Dose量)、例えばEB粒子の照射時間等の加減により最適化されている。パターンデータ内の最小線幅(CD)は、益々狭くなる微細化の傾向となり、描画パターンの最小線幅(CD)が寸法変動してしまう、近接効果現象が発生する頻度が増加する問題がある。
さらに、高加速度の電子線描画装置の場合、電子線照射時にレジストの層内での散乱のほかに、基板表面に反射して戻ってくる電子線の影響(後方散乱)を受ける。
描画パターンの密度(以下描画面積率と記す)が高い場合には、前記後方散乱の影響を強くうけるために、描画パターンの最小線幅(CD)が寸法変動してしまう現象が発生する。
この問題を解決するために、描画装置では描画面積率に合わせて露光量の調整を行い、CDの寸法のバランスが崩れないようにパラメータによる描画補正を行っている。
従来の露光量の補正パラメータηの最適化は、以下の方法により行われる。マスクブランクにテストパターンを描画する。該描画条件のうち、露光量(Dose量)とηパラメータを各々複数条件水準に設定して、マスクブランク上にマトリックス配置で描画した後、マトリックス内の各々テストパターンを計測し、最適なグループを選別し、その条件パラメータを露光量の補正パラメータηとする方法である。
図2は、従来の電子線描画装置による描画方法、特に露光量を最適化に設定するための描画方法を説明するテストパターンの基板の上面図である。以下に説明する。
図2は、テストパターンの基板の上面図である。描画用のマスクパターンのデータは、複数水準の描画面積率、例えば描画面積率が10%、20%、から90%の9水準のパタ
ーンデータの配列であり、前記各々のパターンデータの近傍にCD(最小線幅)のパターンが付属された1ファイルのテストパターンデータを準備する。次いで、描画手順を指示するジョブファイルを作成して、テストパターンデータのマトリックス状の配置位置、及び描画条件のうち、露光量(Dose量)の複数水準、例えば7、8、9、10、11、12μC/cm2に設定し、各々露光量毎に複数水準のパラメータη量、例えば0.5、0.6、0.7、0.8、0.9の5水準に設定し、図2に示すテストマスクを作製する。図2に示すテストマスク(10)では、横方向に露光量の複数水準を、縦方向にパラメータηの複数水準を組み合わせた描画条件の異なる、テストパターン(12)が形成されている。
ーンデータの配列であり、前記各々のパターンデータの近傍にCD(最小線幅)のパターンが付属された1ファイルのテストパターンデータを準備する。次いで、描画手順を指示するジョブファイルを作成して、テストパターンデータのマトリックス状の配置位置、及び描画条件のうち、露光量(Dose量)の複数水準、例えば7、8、9、10、11、12μC/cm2に設定し、各々露光量毎に複数水準のパラメータη量、例えば0.5、0.6、0.7、0.8、0.9の5水準に設定し、図2に示すテストマスクを作製する。図2に示すテストマスク(10)では、横方向に露光量の複数水準を、縦方向にパラメータηの複数水準を組み合わせた描画条件の異なる、テストパターン(12)が形成されている。
テストマスク(10)の30個の各々テストパターン(12)毎に、ΔCD、すなわちCDの寸法変動量を測定し、その形状等を観察し、最適な状態のテストパターン(20)を選択する。最後に、最適な状態のテストパターン(20)より、最適な露光条件、例えば、Dose量は、例えば10.0μC/cm2であり、パラメータηは、例えば0.7を選択し、該条件を用いてフォトマスクを描画する。
前記描画補正における補正パラメータηを選択し、CDバランスが崩れない状態を実現するためには最適なηの設定が必要となる。
被描画基板であるマスクブランクでは、レジストのコートロット毎にレジスト感度が異なるために、露光量の設定では、描画面積率の影響、さらに、レジスト感度も影響を受けるために、描画パターンの最小線幅(CD)が寸法変動してしまう現象が発生する。
そのために、レジスト感度を補完するための露光量の補正とともに、描画面積率に合わせた最適な補正パラメータηの設定が必要となる。
電子線描画装置のパターンの描画では、そのレジストの感度の差も考慮に入れつつ、描画面積率に合わせて露光量を最適にするために、露光量の補正パラメータηの最適化することが重要となる。
従来の補正パラメータηの最適化では、テストマスクの露光条件を細かい幅で設定、すなわち条件水準を細分化して、条件数を増加させるほど、算出精度が高くなるが、テストマスクの描画や結果の測定、又は評価に手間がかかる上に、厳密な最適値に到達することが困難となる場合が発生する。
以下に公知文献を記す。
特開2000−340480号公報
本発明の課題は、電子線描画装置による描画において、条件水準を細分化して、条件数を増加させることなく、簡便な方法により、露光量(Dose量)の補正パラメータηを精度よく設定することにより、精度の高い描画方法を提供することにある。
本発明の請求項1に係る発明は、レジストを塗布したフォトマスク用ブランク上にパターンデータを用いて電子線描画装置により描画する電子線描画装置による描画方法であって、少なくとも以下の手順により描画することを特徴とする電子線描画装置による描画方法である。
(a)テストブランク上に、複数水準の描画面積率のパターン及びCD(最小線幅)のパターンのパターンデータを用いて、複数水準の露光量(Dose量)毎にマトリックス状に配置し、描画し、テストパターンを作製する手順。
(b)前記複数水準の描画面積率毎に、複数水準の露光量(Dose量)とその前記CDの寸法変動量(ΔCD)の関係を表す曲線をプロットし、描画面積率毎のDose量とΔCDのグラフ(曲線群1)を作製する手順。
(c)前記曲線群1より、基準となる描画面積率(α0)の曲線を選択する手順。
(d)前記曲線群1より、基準となるCD変動量(ΔCD0)を選択し、該ΔCD0に直線を引く手順。
(e)前記α0の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を基準露光量(D0)とする手順。
(f)前記α0を除く曲線群1の曲線毎に、各々の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を露光量(D)として読み取り、
STMR実験値 = (D/D0−1)*100
―――数式1
を用いて、各々の描画面積率(α)毎に、STMR実験値を算出する手順。
(g)前記α0及びαとSTMR実験値の関係を表す曲線をプロットし、α0及びαの描画面積率とSTMR実験値のグラフ(曲線群2)を作製する手順。
(h) D/D0 = (1+η*α0)/(1+η*α)
―――数式2
を前記数式1に当てはめて、
STMR理論値 =((1+η*α0)/(1+η*α)―1)*100
―――数式3
とする手順。
(i)前記数式3を用いて、複数水準の補正パラメータηを設定し、各々の補正パラメータηに対応する描画面積率α毎にSTMR理論値を算出し、αとSTMR理論値の表す関係をプロットし、該曲線が前記曲線群2に合致するようなη’を選別する手順。
(j)前記η’を最適な補正パラメータηとし、補正パラメータη’を設定し描画する手順。
(a)テストブランク上に、複数水準の描画面積率のパターン及びCD(最小線幅)のパターンのパターンデータを用いて、複数水準の露光量(Dose量)毎にマトリックス状に配置し、描画し、テストパターンを作製する手順。
(b)前記複数水準の描画面積率毎に、複数水準の露光量(Dose量)とその前記CDの寸法変動量(ΔCD)の関係を表す曲線をプロットし、描画面積率毎のDose量とΔCDのグラフ(曲線群1)を作製する手順。
(c)前記曲線群1より、基準となる描画面積率(α0)の曲線を選択する手順。
(d)前記曲線群1より、基準となるCD変動量(ΔCD0)を選択し、該ΔCD0に直線を引く手順。
(e)前記α0の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を基準露光量(D0)とする手順。
(f)前記α0を除く曲線群1の曲線毎に、各々の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を露光量(D)として読み取り、
STMR実験値 = (D/D0−1)*100
―――数式1
を用いて、各々の描画面積率(α)毎に、STMR実験値を算出する手順。
(g)前記α0及びαとSTMR実験値の関係を表す曲線をプロットし、α0及びαの描画面積率とSTMR実験値のグラフ(曲線群2)を作製する手順。
(h) D/D0 = (1+η*α0)/(1+η*α)
―――数式2
を前記数式1に当てはめて、
STMR理論値 =((1+η*α0)/(1+η*α)―1)*100
―――数式3
とする手順。
(i)前記数式3を用いて、複数水準の補正パラメータηを設定し、各々の補正パラメータηに対応する描画面積率α毎にSTMR理論値を算出し、αとSTMR理論値の表す関係をプロットし、該曲線が前記曲線群2に合致するようなη’を選別する手順。
(j)前記η’を最適な補正パラメータηとし、補正パラメータη’を設定し描画する手順。
本発明の電子線描画装置による描画方法によれば、簡便な方法により、露光量の補正パラメータηを精度良く設定することができるので、その補正パラメータηを施した描画を行うことにより、精度の高い描画方法を提供することが可能となる。
本発明の電子線描画装置による描画方法、特に露光量の補正パラメータηに関する一実施形態について図1を用いて以下説明する。
図1は、本発明の電子線描画装置による描画方法、特に露光量の補正パラメータηを用いた描画方法を説明する図面であり、(a)は、テストマスクの基板の上面図で、(b)は、曲線群1のグラフであり、(c)は、曲線群2のグラフである。
図1(a)は、テストマスク(10)の基板の上面図である。描画用のマスクパターンのデータは、複数水準の描画面積率、例えば描画面積率が10%、20%、から90%の9水準のパターンデータの配列であり、前記各々のパターンデータの近傍にCD(最小線幅)のパターンが付属された1ファイルのテストパターンデータを準備する。次いで、描画手順を指示するジョブファイルを作成して、テストパターンデータのマトリックス状の配置位置の指示、及び描画条件のうち露光量(Dose量)の複数水準、例えば5μC/cm2〜19μC/cm2の範囲で複数水準のDose量、例えばDose量が20水準に
設定し、図1(a)に示すDose量と描画面積率とを組み合わせたテストパターン(12)を形成したテストマスク(10)を作製する。
設定し、図1(a)に示すDose量と描画面積率とを組み合わせたテストパターン(12)を形成したテストマスク(10)を作製する。
図1(b)は、手順(a)〜(b)を遂行して出来上がる曲線群1のグラフ(100)である。曲線は、9本あり、各々は、描画面積率毎に分けられてプロットされている。横軸に5〜20μC/cm2のDose量であり、縦軸にΔCD、すなわちCDの寸法変動量として、曲線群1の左端より描画面積率が90%、から20%、10%、の9水準の曲線が各々プロットされている。
図1(c)は、(c)〜(g)を遂行して出来上がる曲線群2のグラフ(200)である。横軸に描画面積率、縦軸にSTMR実験値として、数式1により算出した計算値を各々プロットした曲線が示されている。
本発明の電子線描画装置による描画方法は、レジストを塗布したフォトマスク用ブランク上にパターンデータを用いて電子線描画装置による描画において、少なくとも以下の手順により描画する方法である。
以下に前記描画方法の手順を詳細に説明する。最初に、手順(a)では、テストブランク上に、複数水準の描画面積率のパターン及びCD(最小線幅)のパターンのパターンデータを用いて、複数水準の露光量(Dose量)毎にマトリックス状に配置し、描画し、テストパターンを作製する。基板上には、Dose量と描画面積率とを組み合わせたテストパターン(12)が形成され、各々のCDの寸法変動量(ΔCD)を測定し、その寸法変動量(ΔCD)を各々の描画面積率毎にグループ分けにして、各々の描画面積率毎にDose量とその寸法変動量(ΔCD)関連図表を作製する(図1(a)参照)。
次いで、手順(b)では、前記複数水準の描画面積率毎に、複数水準のDose量とその前記CDの寸法変動量(ΔCD)の関係を表す曲線をプロットし、描画面積率毎のDose量とΔCDのグラフ(曲線群1のグラフ(100)を作製する。曲線群1のグラフ(100)は、図左側より、90%の描画面積率の曲線から、80%、70%、図右の10%の描画面積率の曲線までの9本の曲線がグラフ化されている(図1(b)参照)。
次いで、手順(c)では、前記曲線群1のグラフ(100)より、基準となる描画面積率(α0)の曲線を選択する。例えば、基準描画面積率(α0)は、50%とし、図1(b)上の曲線(102)を基準の曲線(102)として選択した(図1(b)参照)。
次いで、手順(d)では、前記曲線群1のグラフ(100)より、基準となるCD変動量(ΔCD0)を選択する。例えば、基準のΔCD0は、0.01として、0.01に基準の直線(103)を引き、基準の直線(103)とした(図1(b)参照)。
次いで、手順(e)では、前記曲線群1のグラフ(100)より、α0の基準の曲線(102)とΔCD0の基準の直線(103)との交点に対応するDose量を選択する。例えば基準のDose量(D0)は、8.3μC/cm2として、8.3μC/cm2に基準の点(104)をプロットし、基準の点(104)とした(図1(b)参照)。
次いで、手順(f)では、前記α0を除く曲線α毎に、例えば10%〜40%及び60%〜90%の各々の曲線毎に、各々の曲線とΔCD0の基準の直線(103)の交点に対応するDose量の基準の点(104)の露光量D(106)を読み取り、
STMR実験値 = (D/D0−1)*100
―――数式1
を用いて、各々の描画面積率(α)毎に、STMR実験値を算出する。すなわち各々の描
画面積率(α)毎に順次算出する。
STMR実験値 = (D/D0−1)*100
―――数式1
を用いて、各々の描画面積率(α)毎に、STMR実験値を算出する。すなわち各々の描
画面積率(α)毎に順次算出する。
次いで、手順(g)では、9本の描画面積率(α0及びα)毎に、算出したSTMR実験値とDose量の関係を表す曲線をプロットし、α0及びαの描画面積率とSTMR実験値のグラフ(曲線群2のグラフ(200))を作製する(図1(c)参照)。
次いで、手順(h)では、
D/D0 = (1+η*α0)/(1+η*α)
―――数式2
を前記数式1に当てはめて、
STMR理論値 =((1+η*α0)/(1+η*α)―1)*100
―――数式3
とする。
D/D0 = (1+η*α0)/(1+η*α)
―――数式2
を前記数式1に当てはめて、
STMR理論値 =((1+η*α0)/(1+η*α)―1)*100
―――数式3
とする。
次いで、手順(i)では、前記数式3を用いて、複数水準の補正パラメータηを設定し、各々の補正パラメータηに対応する、すなわち補正パラメータηを定数とし、目的の描画面積率α’の曲線(107)におけるSTMR理論値を算出し、目的の描画面積率α’とSTMR理論値の表す関係をプロットし、補正パラメータη毎の曲線群3のプロット図を作製する。なお、曲線群3のグラフは、図上から省略した(図1(b)参照)。
前記手順(i)において、前記曲線群3のプロット図のうち、目的の描画面積率α’のプロット図より、前記曲線群2のグラフ(200)に合致するような補正パラメータηを選別し、目的の描画面積率α’の補正パラメータη’を抽出する(図1(c)参照)。
前記曲線群2のグラフ(200)に合致するように選択する方法は、グラフによる方法以外に種々あるが、例えば統計手法である最小自乗法により算出することも便利であり、パソコン等による自動計算ソフト等の活用も便利である。
次いで、手順(j)では、前記η’を目的の描画面積率α’の最適な補正パラメータηとし、補正パラメータη’を設定して、目的のDose量D’(108)及び補正パラメータη’を用いて目的の描画面積率α’のマスクパターンを描画する。以上手順(a)〜(j)を経て目的の描画面積率α’のマスクにおける目的のDose量D’及び目的の補正パラメータη’を設定することができる(図1(b)参照)。
10…テストマスク
11…マスクブランク(基板)
12…テストパターン
20…最適なテストパターン
100…曲線群1のグラフ
102…基準の曲線(基準の描画面積率α0)
103…(基準のΔCDの)基準の直線
104…(基準の露光量D0の)基準の点
105…基準以外の描画面積率(α)
106…基準以外のDose量(D)
107…目的の描画面積率(α’)
108…目的のDose量(D’)
200…曲線群2のグラフ
11…マスクブランク(基板)
12…テストパターン
20…最適なテストパターン
100…曲線群1のグラフ
102…基準の曲線(基準の描画面積率α0)
103…(基準のΔCDの)基準の直線
104…(基準の露光量D0の)基準の点
105…基準以外の描画面積率(α)
106…基準以外のDose量(D)
107…目的の描画面積率(α’)
108…目的のDose量(D’)
200…曲線群2のグラフ
Claims (1)
- レジストを塗布したフォトマスク用ブランク上にパターンデータを用いて電子線描画装置により描画する電子線描画装置による描画方法であって、少なくとも以下の手順により描画することを特徴とする電子線描画装置による描画方法。
(a)テストブランク上に、複数水準の描画面積率のパターン及びCD(最小線幅)のパターンのパターンデータを用いて、複数水準の露光量(Dose量)毎にマトリックス状の配置で、描画し、テストパターンを作製する手順。
(b)前記複数水準の描画面積率毎に、複数水準の露光量(Dose量)とその前記CDの寸法変動量(ΔCD)の関係を表す曲線をプロットし、描画面積率毎のDose量とΔCDのグラフ(曲線群1)を作製する手順。
(c)前記曲線群1のグラフより、基準となる描画面積率(α0)の曲線を選択する手順。
(d)前記曲線群1のグラフより、基準となるCD変動量(ΔCD0)を選択し、該ΔCD0に直線を引く手順。
(e)前記基準の描画面積率のα0の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を基準露光量(D0)とする手順。
(f)前記α0を除く曲線群1の曲線毎に、各々の曲線とΔCD0の交点に対応するDose量を露光量(D)として読み取り、
STMR実験値 = (D/D0−1)*100
―――――数式1
を用いて、各々の描画面積率(α)毎に、STMR実験値を算出する手順。
(g)前記α0及びαとSTMR実験値の関係を表す曲線をプロットし、α0及びαの描画面積率とSTMR実験値のグラフ(曲線群2)を作製する手順。
(h) D/D0 = (1+η*α0)/(1+η*α)
―――――数式2
を前記数式1に当てはめて、
STMR理論値 =((1+η*α0)/(1+η*α)―1)*100
なお、ηは、補正パラメータ
―――――数式3
とする手順。
(i)前記数式3を用いて、複数水準の補正パラメータηを設定し、各々の補正パラメータηに対応する描画面積率α毎にSTMR理論値を算出し、描画面積率αとSTMR理論値の表す関係をプロットし、該曲線が前記曲線群2に合致するようなη’を選別する手順。
(j)前記η’を最適な補正パラメータηとし、補正パラメータη’を設定し描画する手順。
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