JP2007311404A - 薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板と、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、活性層として少なくともホモロガス化合物InMO3(ZnO)m(Mが、In,Fe,GaまたはAl原子であり、mが、1以上50未満の整数である。)を含むアモルファス酸化物半導体と、ソース電極と、ドレイン電極とを備えた薄膜電界効果トランジスタの製造方法であって、前記酸化物半導体を形成したのち、酸化性ガス雰囲気中において熱処理する工程を含むことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法である。
【選択図】 なし
Description
また、アモルファスシリコンでは、アモルファス構造のため面内均一性はよいものの、その移動度は高々1cm2/Vs程度であり、有機EL素子を駆動するのに充分ではないという問題を抱えていた。
Nature432,p488)
前記「酸化物半導体の熱処理」は、材料や膜質を適宜選択すれば、酸化物半導体を形成した後のいずれの段階においても行うことができる。従って、薄膜トランジスタの種類にもよるが、例えば、トップゲート型の場合、熱処理を酸化物半導体を形成した直後に行ってもよいし、ゲート絶縁膜を形成したのち行ってもよいし、さらに、ゲート電極を形成したのち行ってもよい。
熱処理を行うことが長時間駆動における安定性をもたらす機構は、必ずしも明確ではないが、酸化性雰囲気中の熱処理により、酸化物半導体膜中の酸素空孔が補償され、キャリヤ濃度を制御するとともに、熱処理により構造的に不安定な部分が解消されることによると考えられる。
また、熱処理温度については、酸化物半導体の結晶化を防ぎアモルファス相を保持するために600℃以下であることが望ましく、酸化を充分に進行させるために100℃以上であることが好ましい。具体的には、酸化性ガスが大気等、少なくとも酸素を含むガスである場合、熱処理温度としては200℃以上600℃以下が好適である。これは、600℃を超えると酸化物の結晶化がはじまるとともに、トランジスタのオフ電流が増加し始めるためである。
熱処理は、温度にもよるが、通常400℃で、0.1〜20時間行うことが望ましい。
本発明の薄膜電界効果トランジスタは、基板上に配置されたゲート電極と、前記ゲート電極上に配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に配置されたソース電極およびドレイン電極と、前記ゲート絶縁膜、ソース電極およびドレイン電極の上に配置されたアモルファス酸化物半導体層とを備えたものであることが好ましい。
本発明の薄膜電界効果トランジスタは、基板上に配置されたゲート電極と、前記ゲート電極上に配置されたゲート絶縁膜と、前記基板、ゲート絶縁膜の上に配置されたアモルファス酸化物半導体層と、前記アモルファス酸化物半導体層の上に配置されたソース電極およびドレイン電極とを備えたものであってもよい。
本発明の薄膜電界効果トランジスタは、基板上に配置されたアモルファス酸化物半導体層と、前記アモルファス酸化物半導体層の上に配置されたソース電極およびドレイン電極と、前記アモルファス酸化物半導体層、ソース電極およびドレイン電極の上に配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上に配置されたゲート電極とを備えたものであってもよい。
本発明の薄膜電界効果トランジスタは、基板上に配置されたソース電極およびドレイン電極と、前記基板、ソース電極およびドレイン電極上に配置されたアモルファス酸化物半導体層と、前記アモルファス酸化物半導体層の上に配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上に配置されたゲート電極とを備えたものであってもよい。
本発明の薄膜電界効果トランジスタは、ソース電極と、前記ソース電極上に配置されたアモルファス酸化物半導体層と、前記アモルファス酸化物半導体層中に埋め込まれたゲート電極と、前記アモルファス酸化物半導体層上に配置されたドレイン電極とを備えたものであってもよい。
また、ゲート絶縁膜については、シリコン、イットリウム、アルミニウム、ハフニウム、ジルコニウム、タンタル等の金属酸化物、チタン酸バリウムストロンチウム等の複合酸化物、窒化シリコン等があげられるが、これらに限定されるものではない。
上記ホモロガス化合物InMO3(ZnO)mは、mが、1であることが好ましく、かつ前記Mが、Gaであることが好ましい。
活性層としては、上記ホモロガス化合物のほか、例えば、酸化スズ、酸化チタン、酸化クロム、酸化ルテニウム、酸化イリジウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化マンガン等を含んでいてもよい。
アモルファス酸化物半導体は、上記活性層以外には例えば、電荷制御層を含んでいてもよい。
まず、ガラス基板10上にアルミニウムよりなるゲート電極11を形成する。このゲート電極11は、真空蒸着法、スパッタ法等にて容易に形成することが可能である。これらは必要に応じてシャドウマスクやフォトプロセスによりパターニングされてなる。パターニングは、具体的には、予めフォトレジストで面積を限定し、その後フォトレジストを剥離するか、あるいは、薄膜形成後、フォトレジストを塗布し、露光現像後、適切なエッチング液等により不要部分を除去することで可能である。
ゲート電極11の膜厚は、10〜1000nmであることが好ましい。
その後、ゲート電極11上に、例えばSiO2よりなるゲート絶縁膜12を形成する。この薄膜形成とパターニングも、ゲート電極11と同様に、スパッタやフォトリソグラフにより容易に行うことができる。
ゲート絶縁膜12の膜厚は、10〜1000nmであることが好ましい。
その後、アモルファス酸化物半導体膜13は、特に限定されないが、スパッタ法、レーザーアブレーション法により形成し、フォトリソグラフ、シャドウマスク等を用いて容易にパターニングすることができる。
アモルファス酸化物半導体膜13の膜厚は、5〜500nmであることが好ましい。
その後、ドレイン電極14およびソース電極15は、例えば、クロム、鉄、モリブデン、タングステン、銅、ルテニウム、レニウム等の金属をスパッタ法、真空蒸着法等により形成し、フォトリソグラフを用いて容易にパターニングすることができる。
ドレイン電極14およびソース電極15の膜厚は、10〜1000nmであることが好ましい。
なお、ここではゲート電極11が最下層にあり、ソース15およびドレイン電極14が最上層となる構造を用いて説明したが、これに限定されるものではなく、上述したようなトップゲート構造、縦型構造等、様々な構造が可能である。
このようにして、本発明においては、従来の薄膜トランジスタの問題点を回避し、ソースおよびドレイン電極の仕事関数を制御することにより、高いオンオフ比を安定して実現する手段を提供することができる。
[実施例1]
基板10として、厚さ100nmの熱酸化膜がついたシリコンウエハを用いた。用いたシリコンウエハはハイドープしたp型であり、ゲート電極11として機能し、また熱酸化膜はゲート絶縁膜12として機能している。
その後、上記のゲート絶縁膜12の上に、酸化物半導体13としてInGaZnO4のアモルファス膜を、200nmの厚さで形成した。InGaZnO4のアモルファス膜は、基板を加熱しない条件において、InGaZnO4ターゲットを用い、アルゴンガス下、2Paの真空度にて高周波マグネトロンスパッタ法にて形成した。
その後、酸化性雰囲気として大気を用いて、400℃、1時間の熱処理を行った。
その後、ソース電極15とドレイン電極14として銅の蒸着膜をシャドウマスク法により形成した。厚さは80nm、ソース電極15とドレイン電極14の間のチャネル領域はチャネル長さ(ソース電極15とドレイン電極14の距離)50μm、チャネル幅(ソース電極15、ドレイン電極14の幅)1mmとした。上記の成膜に用いた蒸着装置は拡散ポンプ排気で、蒸着は4×10-4Pa(3×10-6torr)の真空度で行った。また、蒸着は抵抗加熱方式により成膜速度はそれぞれ10nm/秒、0.4nm/秒で行った。なお成膜時の基板温度は室温とした。
熱処理条件を、大気中、200℃、2時間とした以外は実施例1と同様にして実施例2の試料を得た。
[比較例1]
熱処理をしていないこと以外は実施例1と同様にして比較例1の試料を得た。
図3から、比較例では5時間程度の駆動で初期電流の20%にまでドレイン電流が低下しているのに対して、実施例1では15時間の連続駆動後でも初期ドレイン電流の90%を維持しており、トランジスタの安定性が格段に向上していることが分かる。同様に、実施例2では15時間の連続駆動後でも初期ドレイン電流の50%と比較例より30%以上大きな電流が取れており、安定性が格段に向上していることがわかる。
11:ゲート電極
12:ゲート絶縁膜
13:酸化物半導体膜
14:ドレイン電極
15:ソース電極
Claims (4)
- 基板と、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、活性層として少なくともホモロガス化合物
InMO3(ZnO)m(Mが、In,Fe,GaまたはAl原子であり、mが、1以上50未満の整数である。)を含むアモルファス酸化物半導体と、ソース電極と、ドレイン電極とを備えた薄膜電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記酸化物半導体を形成したのち、酸化性ガス雰囲気中において熱処理する工程を含む
ことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記酸化性ガスが、酸素ラジカル、酸素、水蒸気、および、オゾンからなる群より選択される少なくとも一つを含むガスであることを特徴とする請求項1の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記酸化性ガスが、大気であり、前記熱処理は、200℃以上600℃以下の温度で行うことを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記mが、1であり、前記Mが、Gaであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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