JP2007309654A - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持部21に一端が支持された複数の弾性支持部22と、前記各弾性支持部22の他端側に支持された質量部23と、前記質量部23の変位検出手段25とを備えた加速度センサ1であって、前記各弾性支持部22に支持される側の前記質量部23に凹部24が形成され、前記弾性支持部22は前記凹部24内で前記質量部23から離間させた状態で延長形成されて前記質量部23を支持しているものである。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 支持部に一端が支持された複数の弾性支持部と、
前記各弾性支持部の他端側に支持された質量部と、
前記質量部の変位検出手段と
を備えた加速度センサであって、
前記各弾性支持部に支持される側の前記質量部に凹部が形成され、
前記弾性支持部は前記凹部内で前記質量部から離間させた状態で延長形成されて前記質量部を支持している
ことを特徴とする加速度センサ。 - 前記変位検出手段が前記弾性支持部に形成された応力電気変換素子である、
ことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。 - 前記応力電気変換素子がピエゾ抵抗素子である、
ことを特徴とする請求項2記載の加速度センサ。 - 前記応力電気変換素子が圧電素子である、
ことを特徴とする請求項2記載の加速度センサ。 - 前記弾性支持部の変位検出手段が形成される領域に隣接して孔が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。 - 支持部に一端が支持された複数の弾性支持部と、
前記各弾性支持部の他端側に支持された質量部と、
前記質量部の変位検出手段と
を備えた加速度センサの製造方法であって、
前記弾性支持部は、
基板上に絶縁層と半導体層とが積層された状態で、該基板を加工して、前記支持部と、この支持部に一端が支持される複数の弾性支持部と、各弾性支持部の他端側に支持される質量部とを形成する工程と、
前記各弾性支持部に支持される側の前記質量部に弾性支持部が延長形成される領域の両側に凹部を形成する工程と、
弾性支持部が延長形成される領域下の前記絶縁層を除去して、前記凹部内で前記質量部から離間させた状態で前記質量部に支持される弾性支持部を延長形成する工程と
を備えたことを特徴とする加速度センサの製造方法。
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