JP2007306024A - 位置決め方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】露光装置のグローバルアライメントにおいて用いられるパラメータ値を、量産稼働中に最適化することを可能とする。
【解決手段】基板の第1及び第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、第1及び第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出、位置決めして、基板を露光する。第1及び第2のサンプルショット群における重ね合わせ誤差が検出され、それらショット毎に、アライメントマークの位置の計測値に対するオフセットが算出される。別の基板について、第1のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、代替サンプルショット群の計測が必要であると判断した場合には、第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置が計測され、第2のサンプルショット群のオフセットで計測値が補正される。
【選択図】 図2
【解決手段】基板の第1及び第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、第1及び第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出、位置決めして、基板を露光する。第1及び第2のサンプルショット群における重ね合わせ誤差が検出され、それらショット毎に、アライメントマークの位置の計測値に対するオフセットが算出される。別の基板について、第1のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、代替サンプルショット群の計測が必要であると判断した場合には、第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置が計測され、第2のサンプルショット群のオフセットで計測値が補正される。
【選択図】 図2
Description
本発明は、露光装置を管理する管理システム及び管理方法、並びに該管理システムに適用される露光装置に関するものであり、特に半導体露光装置におけるアライメントに関して有効なものである。
半導体デバイスの製造用の投影露光装置においては、回路の微細化及び高密度化に伴い、レチクル面上の回路パターンをウエハ面上により高い解像力で投影露光できることが要求されている。回路パターンの投影解像力は投影光学系の開口数(NA)と露光波長に依存するので、高解像度化の方法としては、投影光学系のNAを大きくする方法や露光波長をより短波長化する方法が採用されている。後者の方法に関し、露光光源は、g線からi線に移行し、更にi線からエキシマレーザに移行しつつある。また、エキシマレーザにおいても、その発振波長が248nm及び193nmの露光装置が既に実用化され使用されている。
更に、現在では発振波長を更に短波長化した、波長157nmのVUVの露光方式、13nmのEUV露光方式が次世代の露光方式の候補として検討されている。
一方、回路パターンの微細化に伴い、回路パターンが形成されているレチクルとそれが投影されるウエハとを高精度にアライメントすることも要求されており、その必要精度は回路線幅の1/3である。例えば、現状の180nmデザインにおける必要精度はその1/3の60nmである。
このような状況にあって、特許文献1に記載のように露光パターンの重ね合わせの精度を向上させなければならいことは明らかであり、アライメントにおける精度向上は必須の課題である。アライメントの方式としては、各チップまたは(ショット)毎に位置ずれを計測して、許容値に追い込みその後露光するダイバイダイアライメントと、ウエハ上の全ショットを計測せず、数ショットの位置ずれを計測し、露光装置のウエハステージ座標系に対するウエハ上のショット配列誤差を計測、補正し、後はウエハステージの精度で位置決めした後露光するグローバルアライメントがある。これらアライメント方式のうち、ダイバイダイアライメントは計測回数が多くなり、スループットの点で不利である。よって、一般には、スループット上で有利なグローバルアライメントが採用されている。
また、デバイス構造も多種多様なものが提案され製品化に向けて検討が行われている。パーソナルコンピュータ等の普及に伴って、微細化の牽引役は、これまでのDRAMを中心としたメモリからCPUチップに移行してきた。今後、更なるIT化に伴い、家庭内ワイヤレスLANやBluetoothと呼ばれる通信システム用デバイス、更に77GHzの周波数を利用する自動車用レーダで代表される高速道路交通システム(ITS;IntelligentTransport System)や24〜38GHzの周波数を利用する無線アクセスシステム(LMDS; LocalMultipointDistribution Service)で使用されるMMIC(Millimeter-wave MonolithicIntegrated Circuit)等の開発が、微細化を一層進めると考えられる。
また、半導体デバイスの製造プロセスも多種多様であり、露光装置の深度不足の問題を解決する平坦化技術として、既にW−CMP(Tungsten Chemical Mechanical Polishing)プロセスは過去のものとなりつつあり、現在はCuのDualDamasceneプロセスが注目されている。
また、半導体デバイスの構造や材料も多種多様であり、例えば、GaAs、InP等の化合物を組み合わせて構成したP−HEMT(Pseudomorphic High Electron Mobility Transistor)やM−HEMT(Metamorphe-HEMT)や、SiGe、SiGeC等を使用したHBT(HeterojunctionBipolarTransistor)が提案されている。
特開平04−324615号公報
上記のような半導体産業の現状において、露光装置等の半導体製造装置を使用する上での設定すべき装置変数(=パラメータ)は、各露光方式、各製品に対応して多数存在する。この最適化すべきパラメータの数は膨大であり、しかも、これらのパラメータは互いに独立ではなく相互に密接に関係している。
従来は、デバイスメーカーの装置導入担当者がこれらの各パラメータの値(パラメータ値)を試行錯誤により決定しており、最適なパラメータ値を決定するまでに膨大な時間を要していた。また、一旦パラメータの値が決定された後であっても、例えばプロセスエラーが発生した場合には、それに応じた製造プロセスの変更に伴って製造装置のパラメータ値を再度変更する必要が生じる場合があり、この場合にもパラメータ値を確定するまでに膨大な時間を要していた。
また、半導体デバイスの生産においては、製造装置の立ち上げから量産の開始までに割くことができる時間は限られており、パラメータ値の決定のために割くことができる時間も当然に限られている。更に、CoO(Cost of Ownership)の観点においても製造装置の稼動時間を向上させる必要があるため、一度決定したパラメータ値を変更する際はそれを迅速に行う必要がある。
このような状況において、多種多様な半導体デバイスに関して各種のパラメータを最適値で製造することは極めて困難である。このため、本来は高い歩留まりを得ることができる製造装置であっても、パラメータ値の最適化がなされないままに使用されることにより、不本意な歩留まりしか得ることができず、目に見えない歩留まりの低下を招いていた。このような歩留まりの低下は、製造コストの増加や出荷量の低下を招き、製造者の競争力を低下させる。
特に、上述のアライメント方式として一般的に採用されているグローバルアライメントでは、ウエハ上の数ショット(サンプルショットと呼ぶ)しか計測を行わないので、そのショットのアライメントマーク製造プロセスの安定性(ウエハ毎または、ロット毎)に大きく影響を受けてしまう。このため、ロットによっては重ね合わせ精度の悪化により、歩留まりが低下する場合があった。このような不利益は、ウエハの大口径化によりますます顕著になると予想される。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、特に露光装置のグローバルアライメントにおいて用いられる特定のパラメータ値を、量産稼働中に最適化することを可能とすることを目的とする。
特に、第二の目的として、グローバルアライメントに用いるサンプルショットのアライメントマークに異常があり、代替えショットを用いる場合においても、アライメントオフセット量を最適に制御することを目的とする。
特に、第二の目的として、グローバルアライメントに用いるサンプルショットのアライメントマークに異常があり、代替えショットを用いる場合においても、アライメントオフセット量を最適に制御することを目的とする。
上記の目的を達成するための本発明による位置決め方法は、以下の構成を備える。すなわち、
基板の第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測する計測ステップと、
前記アライメントマークの設計位置と前記計測ステップにおいて計測された前記アライメントマークの位置とを用いて、前記基板を露光する際の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出する位置の算出ステップと、
前記位置の算出ステップにおいて算出された位置に前記全ショットを位置決めして前記基板を露光する露光ステップと、
前記露光ステップにおいて露光された前記基板の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群における重ね合わせ誤差を検出する検出ステップと、
前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群について、前記位置の算出ステップにおいて算出された位置と前記計測ステップにおいて計測された位置との差、および、前記検出ステップで検出された前記重ね合わせ誤差を用いて、前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群におけるショット毎に、アライメントマークの位置の計測値に対するオフセットを算出するオフセットの算出ステップと、
前記基板とは別の基板について、前記第1のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、その計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要でないと判断した場合に、当該計測において得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第1のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行い、
前記計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要であると判断した場合に、前記別の基板について、前記第2のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測して、該計測して得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第2のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行う位置決めステップとを有する。
基板の第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測する計測ステップと、
前記アライメントマークの設計位置と前記計測ステップにおいて計測された前記アライメントマークの位置とを用いて、前記基板を露光する際の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出する位置の算出ステップと、
前記位置の算出ステップにおいて算出された位置に前記全ショットを位置決めして前記基板を露光する露光ステップと、
前記露光ステップにおいて露光された前記基板の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群における重ね合わせ誤差を検出する検出ステップと、
前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群について、前記位置の算出ステップにおいて算出された位置と前記計測ステップにおいて計測された位置との差、および、前記検出ステップで検出された前記重ね合わせ誤差を用いて、前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群におけるショット毎に、アライメントマークの位置の計測値に対するオフセットを算出するオフセットの算出ステップと、
前記基板とは別の基板について、前記第1のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、その計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要でないと判断した場合に、当該計測において得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第1のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行い、
前記計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要であると判断した場合に、前記別の基板について、前記第2のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測して、該計測して得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第2のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行う位置決めステップとを有する。
以上説明したように、本発明によれば、露光装置のグローバルアライメントにおいて用いられるパラメータ値を、量産稼働中に最適化することが可能となる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を説明する。
まず、特に第2実施形態に絡む露光管理システムにおける基本的な思想を図1、2を使用して簡単に説明する。
尚、本実施形態による露光管理システムによって実現される、露光装置のアライメント系に適用される、量産機に対応したアライメント変数の最適化システムをOAP(Optimization for Alignment Parameter in volume production)と称する。尚、本明細書中におけるパラメータ値という文言は、数値で設定可能なパラメータの数値はもちろん、サンプルショットの配置、アライメント方式の選択といった直接数値には当たらない設定パラメータの選択肢データ等の条件も含まれるものである。当然、変数という表記も数値以外に選択肢等直接数値には当たらない装置内変動要素、条件一般が含まれる。
図1は、本実施形態による露光管理システムの全体の概略構成を示す図である。本実施形態の露光管理システムは、複数の露光装置(図では露光装置1,2)と重ね合わせ検査装置3、中央処理装置4、データベース5を含み、これらがLAN6(例えば社内LAN)により接続された構成を有する。中央処理装置4は、半導体露光装置1、2及び重ね合わせ検査装置3からの各種計測値等を吸い上げ、データベース5にデータベース化して保存する。そして、半導体露光装置1、2が量産稼働する間に、パラメータ値の最適化を行い、半導体露光装置1、2に通知する。
図2は、本実施形態による露光管理システムが実現するOAPの処理の概略の流れを示す図である。
まず、露光装置1に露光を行うウエハが搬入されたとし、それに対応するレチクルが露光装置内に設定されたとする(図2には不図示)。ウエハ、レチクルがセットされると、まず露光Job(露光に関係するjob)に設定された変数の値(=パラメータ値)により、AGA:Advanced Global Alignmentと呼ばれるグローバルアライメントが行われる。AGAでは、サンプルショットを観察することにより、レーザ干渉計付のXYステージ精度頼りでウエハーの位置計測を行い、その時のアライメント計測データ(各ショットの位置ずれ量やウエハの位置ずれ量:ウエハ倍率、回転、シフト等)を露光装置に記憶する(処理11)。AGAにおいて計測されたデータは後にOAPをコントロールする中央処理装置4へ受け渡される(データ転送18)。
次にその際のステージ駆動情報に基づいた再度のステージ補正駆動で、Job以外の変数値でもAGA計測を行い、同じくアライメント計測データを求める(処理12)。この処理で得られた計測データも先のJobに設定された変数値で求めたデータと同じくOAPをコントロールする中央処理装置4へ値として受け渡される(データ転送18)。
以上のようにして、処理11、12でデータを全て取り終えたら、Jobに設定されたパラメータ値でのAGA結果に基づきステージ位置を制御して、ウエハの露光を行う(処理13)。
以上のようにして露光装置によって露光されたウエハは、後の処理で現像される。現像されたウエハは、重ね合わせ検査装置3に提供され、アライメント結果、すなわちパターンのずれが計測される(処理14)。この重ね合わせ装置3で計測された計測値も、中央処理装置4へ転送される(データ転送19)。
OAPをコントロールする中央処理装置4では、露光装置より受け渡されたAGAでの計測結果をデータベース化して、データベース5に格納する(処理15)。また、データ転送19によって、重ね合わせ検査装置3で検査された結果もOAPをコントロールする中央処理装置4へ渡され(データ転送19)、既にデータベース化された、露光装置でのAGA計測値と対応させて、後述の図7Cのような形態でデータベース化する(処理15)。
このAGAでの計測値と重ね合わせ検査装置3からの計測結果との相関を指定のウエハについてチェックし、現状使用Jobでの設定パラメータ値(ここではAGAに用いたパラメータ値)が最適かどうか判断する(処理16)。具体的には所定評価値(例えばシフト量、回転量等)が、現在の設定パラメータ値での評価値と比較して、OAPをコントロールする中央処理装置4内にあらかじめ経験則等により求めておいて設置されている閾値以上に良好な評価値が得られるようなパラメータ値が存在するならば、そのパラメータ値を最適なパラメータ値が存在する場合には、そのロット以降のロット露光にその最適なパラメータ値を適用するべく露光装置1,2に反映させ、新たなJob設定パラメータ値として使用する(処理17、データ転送20)。評価値が現在の設定パラメータ値でのものよりも良好となるパラメータ値があったとしても、両評価値の間に閾値を超えない程度の差しかないならば、それは誤差範囲か、例えばパラメータ値を変更することで得られる効果が小さく、一方でそのパラメータ値変更による他の悪影響(例えば設定変更時間によるスループット低下、他の露光条件の劣化等)の可能性があると判断して、設定パラメータ値の変更は行わない。
以上の処理を繰り返す事により、プロセス変動が発生する場合においてもパラメータ値は次期ロット以降では最適化されて使用が可能となる。
このように、OAPシステムを使用することにより、パラメータ値を設定するために、量産現場において特別なウエハを用いて量産行為と別な検討を行うことが不要となる。すなわち、量産稼働をしながらアライメント変数の最適化を行うことが可能となり、生産性を落とさずに、露光装置の実効性能を向上させることが可能となる。
以上の場合のOAPシステムは、端的に述べれば、次の様に言える。すなわち、ここでのOAPとは、AGAショットでの実アライメント信号を、実際のJobの変数以外でも取得し、重ね合わせ検査装置結果と比較して、アライメントの変数の最適なものへ次期ロット以降で使用可能とするFeed Forward Systemである。
<第1の実施形態>
続いて、第1実施形態として先ずOAPを使用せずに、値を決定/更新するアライメント変数としてアライメントオフセットを適用した場合を詳細に説明する。
続いて、第1実施形態として先ずOAPを使用せずに、値を決定/更新するアライメント変数としてアライメントオフセットを適用した場合を詳細に説明する。
図3は本実施形態による半導体露光装置の概略を示す図である。なお、本実施形態のポイントとなる部分以外は図示していない。露光装置1は、ある回路パターンの描画されたレチクル10を縮小投影する縮小投影光学系11と、前工程で下地パターンおよびアライメントマークの形成された露光対象の基板としてのウエハ12を保持するウエハチャック13と、ウエハ12を所定の位置に位置決めするウエハステージ14と、ウエハ上のアライメントマークの位置を計測するアライメント検出光学系15と、グローバルアライメント(AGA)を行うショットを記憶するAGAショット情報記憶部16と、ウエハ12の位置決めの際に用いるオフセット情報記憶部17等から構成されている。
図4は、本実施形態で使用するウエハ12のショットレイアウト例を示すものである。図4において、記号A1,A2,A3,A4で示される4ショット(AGAサンプルショットと呼ぶ)おのおののエリア内に設けてあるアライメントマークの位置ずれを計測することによりAGAは実施される。また同図において、B11からB42で示される全8ショットは、A1〜A4のうち、AGAの計測値が異常であった場合(計測以上の場合)に用いられる代替サンプルショットである。なお、計測異常とは、半導体プロセスのエラーなどでアライメントマークの製造エラーが生じ、所定の信号レベルが得られない等の原因によって生じる。また計測異常であるかどうかは、信号レベルあるいは、計測値そのものが他のショットに比べて、大きく外れているなどの現象で判断できる。露光装置1内のAGAショット記憶部16には予めオペレータにより入力された、AGAサンプルショット及び代替サンプルショットの情報(ウエハ上での位置座標)が保持されている。
次に、グローバルアライメント(AGA)の説明を行う。図5は、露光装置1のウエハステージのxy座標系に対して、ウエハ上のショット配列がずれている様子を示している。ウエハのずれとしては、x方向のシフトSxと、y方向のシフトSyと、x軸に対する傾きθxと、y軸に関する傾きθyと、x方向の倍率Bx、y方向の倍率Byの6つのパラメータで記述できる。なお、倍率Bx、Byは露光装置のウエハステージ送りを基準に、ウエハの伸縮を表わすものである。このウエハの伸縮は、半導体プロセスの成膜やエッチングにより引き起こされる。
AGAでは、先に示したウエハの位置ずれを表す6つの補正パラメータ(Sx,Sy,θx,θy,Bx,By)を補正量として用いて、以下の1次の座標変換を行う。
図6には、(3)式の1次の座標変換を行う様子が示されている。Wで示す位置にウエハ上のアライメントマークがあり、設計上の位置であるMの位置からAiだけずれており、(3)式の座標変換によって得られるD'i(M'の位置)と、ウエハ上のアライメントマークWとの位置ずれ(残差)はRiになる。
以下、第1の実施形態による露光装置及び中央処理装置4の処理シーケンスについて説明する。
図7Aは、第1の実施形態による露光装置の処理シーケンスを説明するフローチャートである。始めに、中央処理装置4から露光装置で露光するウエハのID情報が渡され、その中でオフセット更新処理に用いるウエハのID(ウエハ識別番号)を設定する(ステップS11)。オフセット更新処理を行うウエハの設定は中央処理装置4自身が定期的等の規則性を持って自動的に設定するようにしてもよいし、オペレータがマニュアルで行うようにしてもよい。続いてAGA処理のためのAGA条件の設定が行われる。ここでは、AGAに用いるアライメントパラメータ(サンプルショット情報およびアライメントオフセット等)の値設定が行われる(ステップS12)。その後、ウエハIDの付いたウエハが搬入され(ステップS13)、後のAGAの計測レンジに収めるためのプリアライメントが行われる(ステップS14)。
次に、ステップS12で設定されたサンプルショット情報によって指定されるサンプルショット群でAGA計測を行なう。本実施形態では、第1のサンプルショット群としてのA群(A1〜A4)のサンプルショットでAGA計測を行う(ステップS15)。
ステップS15による計測値を元に、(例えば一部計測値にエラーが出た場合など)代替サンプルショットの計測が必要か判断する(ステップS16)。代替サンプルショットの計測が必要であると判断された場合には、まず残りの(未使用の)代替サンプルショット群があるか判断する(ステップS17)。そして、代替サンプルショットが無い場合には、オペレータへその旨を通知するなどのエラー処理行う(ステップS18)。一方、ステップS17で代替サンプルショットがまだあると判定された場合は、利用可能な代替サンプルショット(本実施形態では第2のサンプルショット群としてのB群のサンプルショット)でAGA計測を行う(ステップS19)。この計測値をサンプルショットから除外した計測値に置き換えた後に、代替サンプルショットが必要かをステップS16で再度判断する。
ステップS16で代替サンプルショットの計測の必要が無いと判断されると、補正パラメータ値(すなわちグローバルアライメント計測データ値)を算出する(ステップS20)。算出された補正パラメータ値は、AGA計測値および補正残量とともに、ウエハIDと関連付けて当該露光装置に保存する(ステップS20)。
続いて、ステップS11で設定されたオフセット更新用ウエハIDと現在処理中のウエハIDを照合して、現ウエハをオフセット更新処理するか判断する(ステップS21)。オフセット更新処理するウエハについては、B群の残りのショットについてもAGA計測を行う(ステップS22)。なお、ここでのAGA計測に際しては、ステップS20で求めた補正パラメータ値を反映させてウエハステージが駆動される。こうして、ステップS22でB群に属する残り全てのショットの計測が終了すると、その計測値がウエハIDに関連づけられて当該露光装置に保存される(ステップS23)。
ステップS21でオフセット更新処理しないと判断されたウエハ、または、ステップS23でオフセット更新処理のための計測が終了したウエハについて、ステップS20で求めた補正パラメータ値を反映させてウエハステージを位置決めし、全ショットの露光を行なう(ステップS24)。露光が終了すると、ウエハを搬出し(ステップS25)、そのウエハを重ね合わせ検査工程に移すかどうか判断する(ステップS26)。本実施形態では、ウエハIDによりオフセット更新処理すると判定されたウエハについては全て検査工程に移すようにしている。その後ステップS27で最終のウエハか判断して、最終ウエハでない場合は、ステップS12に戻る。
なお、ステップS20で装置に記憶させたウエハID、AGA計測値、補正パラメータ値、および補正残量および、ステップS23で装置に記憶させた計測値についは、露光装置の稼動状況に応じて、例えば露光装置の負荷が少ない時に、中央処理装置4を介してデータベース5に転送するようにしている。
また、重ね合わせ検査装置3で検査された結果も、中央処理装置4を介して、データベース5に送られ、ウエハIDと関連づけられて、AGA計測値等と共に保存される。
次に中央処理装置4におけるアライメントオフセットの最適化の処理について詳細に説明する。図7Bは中央処理装置における処理シーケンスを説明するフローチャートである。また、図7Cは、中央処理装置におけるアライメントオフセットの最適化処理を説明する図である。
まず、露光装置よりAGA計測値が通知されたか否かを判定し(ステップS41)、通知されたならば、ウエハ番号jを付与し、ウエハIDとサンプルショット毎のAGA計測値をデータベース5に保存する。例えば、図7Cの501に示されるように、露光装置より受信したAGA計測値Aiと補正残量Riは、ウエハ毎に、かつサンプルショット(A1…B42)毎に格納される(図7Cでは、ウエハjの計測値をAij、ウエハjの補正残量をRij(iはウエハ上のショットNo、jはウエハNo)で表している)。また、各ウエハIDに対応して、算出された補正パラメータ値が格納される。
次に、中央処理装置4は、重ね合わせ検査装置3から検査結果が通知されたか否かを判定し(ステップS43)、検査結果が通知されていればウエハIDに対応させて、すなわち図7Cに示されるように、サンプルショット毎の計測値Kij(iはウエハ上のショットNo、jはウエハNo)としてデータベース5に格納する(ステップS44)。
続いて、中央処理装置4では、上述のデータを元に各サンプルショットのアライメント計測誤差oijを求める。AGAの各ショットの補正残量(AGAの各ショットの計測値AijとステップS20で算出した補正パラメータによる位置D'ijとの差)およびステップS22で計測された値(この場合もAGA補正駆動した後に計測しているため、補正残量にあたる)Rijと、重ね検査装置3の計測値Kijを用いて、AGAにおける各サンプルショットにおけるアライメント計測誤差oijを求める。
より具体的には、補正パラメータ値と設計値Dij、Rij、Kij、oijの関係は図7Cの502に示される通りであるので、下記の式によりoij求め、これをデータベース5に保存する(ステップS45)。なお、502において、D'ijは、データベース5が保持するサンプルショットの位置に関する設計値Dijを、露光装置より通知された補正パラメータ値によって一次変換することで得られる。
最適化を実行すると判定された場合は、ウエハの所定枚数mで各サンプルショット毎のアライメント計測誤差の平均値を取り、各ショットのアライメントオフセットoiを算出する(ステップS47、図7Cの503)。
露光装置では、ステップS12において通知されたアライメントオフセットoiをAGA処理条件に設定する。アライメントオフセットoiが露光装置に設定されている場合は、(1)式を、
と置き直して上述のAGAの処理を行うことになる。
図8に各サンプルショット(A群の全ショットおよび、B群のB11、B12ショットのみを図示している)のアライメント誤差oijの測定結果を示す。各ショットに系統的な誤差が見られることから、その平均値をオフセットとして導入することにより、AGA精度(オーバーレイ精度)が向上することが分かる。
なお、このようなショットの位置に依存する系統的なオフセット誤差は、アライメントマーク上のレジストの塗布むらや、下地のアライメントマークそのもの膜厚分布、非対称性などの影響で、露光装置上のアライメント系の計測騙されが生じるために発生する場合が多い。
以上のように、本実施形態によれば、量産稼働中において代替サンプルショットも含めてAGA計測を行い、その計測値と重ね合わせ検査装置の検査結果を適宜蓄積してアライメントオフセットを更新する。このため、生産性と、歩留まりの向上を図ることができる。更に、プロセスの影響で通常使用しているサンプルショットのアライメントマークが異常となり、代替サンプルショットでAGAを行った場合でも、その代替サンプルショットのアライメントオフセットも保持されているので、高精度なアライメント精度を実現できる。
なお、本発明では半導体の製造工程の量産工程において、上述のようなアライメントオフセットの最適化の方法について説明したが、量産に先立って行われる先行ウエハを使用した条件出し工程においても適用できる。また、代替サンプルショットも含めたアライメントオフセットを求めようとする場合であっても、本実施形態によれば、全てのサンプルショットの組み合わせで先行露光する必要がなくなり、ウエハ枚数の低減、条件出し工程の短縮化を図ることができる。
<第2の実施形態>
次に、本発明に係る第2の実施形態を説明する。第2の実施形態では、グローバルアライメントに使用するアライメントオフセットに加え、グローバルアライメントに用いるべきサンプルショット群を最適化すべきアライメント変数としている。そしてそのサンプルショット群の最適化に前述したOAPを使用する。この場合最適化されるパラメータがサンプルショット群になり、パラメータ値としてはその選択肢が相当する。
次に、本発明に係る第2の実施形態を説明する。第2の実施形態では、グローバルアライメントに使用するアライメントオフセットに加え、グローバルアライメントに用いるべきサンプルショット群を最適化すべきアライメント変数としている。そしてそのサンプルショット群の最適化に前述したOAPを使用する。この場合最適化されるパラメータがサンプルショット群になり、パラメータ値としてはその選択肢が相当する。
システムの構成等は第1の実施形態と同様であるが、図3の露光装置1において、第2の実施形態によるAGAショット情報記憶部16は、AGAで通常使用するショット位置情報と、代替時に使用するショット位置情報と、更に第3のサンプルショット群としてOAP処理を実施するショット位置情報を記憶するようになっている。またAGAオフセット情報記憶部17は、先に上げた3種類のショット位置情報に対して、全てのショットに対応して、アライメントオフセットを記憶する。
図9は第2の実施形態で使用するウエハ12のショットレイアウト例を示す図である。図9において、記号A1,A2,A3,A4(A群のサンプルショット)で示される4ショットは、AGAで通常使用されるショット位置であり、このアライメントマークの位置ずれを計測することによりAGAが実施される。また、図9において、B11からB42(B群のサンプルショット)で示される計8個のショットは、A1〜A4のうち、AGAの計測値が異常であった場合に用いられる代替サンプルショットである。更に、C11からC42(C群のサンプルショット)で示されるショット群は、以下で説明するOAP処理を実行する為に設けられている。
次に、第2の実施形態による露光装置の処理シーケンスについて図10Aを用いて説明する。図10Aにおいて、まず始めに中央処理装置4から露光装置で露光するウエハのID情報が渡され、その中でOAP処理するウエハのID(ウエハ識別番号)を設定する(ステップS61)。OAP処理を行うウエハの設定は中央処理装置4自身が定期的等の規則性を持って自動的に設定するようにしてもよいし、オペレータがマニュアルで行うようにしてもよい。
続いてAGA条件の設定が行われ、サンプルショットおよびアライメントオフセットの設定が行われる(ステップS62)。その後、ウエハIDの付いたウエハが搬入され(ステップS63)、後のAGAの計測レンジに収めるためプリアライメントが行われる(ステップS64)。次に、ステップS62で設定されたサンプルショット情報に基づいてA群のサンプルショットでAGA計測を行い(ステップ65)、この計測値を元に、(例えば一部計測値にエラーが出た場合など)代替サンプルショットの計測が必要か判断する(ステップS66)。
代替サンプルショットの計測が必要と判断された場合には、まず残りの代替サンプルショットがあるか判断し(ステップS67)、代替サンプルショットが無い場合には、オペレータへその旨の通知を行なうなどのエラー処理行う(ステップS68)。一方、ステップS67で代替サンプルショットがまだある場合は、B群のサンプルショットでAGA計測を行い(ステップS69)、この計測値を追加して更に代替サンプルショットが必要かをステップS66で再度判断する。ステップS66で代替サンプルショットの計測の必要が無いと判断されると、補正パラメータを算出し、ウエハIDと関連付けしてAGA計測値、補正パラメータ、および補正残量を装置に保存する(ステップS70)。
続いて、ステップS62で設定されたOAP用ウエハIDと照合して、現ウエハをOAP処理するか判断する(ステップS71)。OAP処理するウエハについては、B群の残りのショット及び、C群についてもAGA計測を行う(ステップS72)。なお、ステップS72におけるAGA計測時には、ステップS70で求めた補正パラメータを反映させてウエハステージを駆動する。ステップS72でB群に属す残りの全てのショット及びC群に属す全ショットの計測が終了すると、その計測値を装置に保存する(ステップS73)。
ステップS71でOAP処理しないと判断されたウエハまたは、ステップS72、S73でOAP処理のための計測が終了したウエハに対して、ステップS70の補正パラメータを反映させて、ウエハステージを位置決めし、全ショット露光を行なう(ステップS74)。全ショット露光終了後、ウエハを搬出し(ステップS75)、そのウエハを重ね合わせ検査工程に移すかどうか判断する(ステップS76)。なお、本実施形態では、OAP処理するウエハIDを持つウエハについては全て検査工程に移すものとする。その後ステップ77で最終のウエハか判断して、最終ウエハでない場合は、ステップS62に戻る。
なお、ステップS70で装置に記憶させた、ウエハID、AGA計測値、補正パラメータ、および補正残量と、ステップS73のB群の残りの計測値についは、露光装置稼動状況で負荷が少ない時に、中央処理装置4を介してデータベース5に転送するようにしている。また、重ね合わせ検査装置3で検査された結果も、中央処理装置4を介して、データベース5に送られ、ウエハIDと関連づけられて、AGA計測値等と共に保存される。
中央処理装置4は、上述のデータを元に、
(1) 各サンプルショットのアライメントオフセットを算出する、
(2) 各サンプルショットの内どのサンプルショットが最適か否かを求める、
の2つの処理を行う。
(1) 各サンプルショットのアライメントオフセットを算出する、
(2) 各サンプルショットの内どのサンプルショットが最適か否かを求める、
の2つの処理を行う。
(1) の処理は、先に示した第1の実施形態と同様であり、(7)式、(8)式を用いて各サンプルショット毎のアライメントオフセットoiを算出する。算出されたアライメントオフセットは、露光装置1に転送され、ステップ62でアライメントオフセットが更新される。なお、この(1)の処理については、第1の実施形態と同様であるので、詳細な説明を省略する。
次に、(2)の処理、すなわちサンプルショット群の最適化の手法について、図10B、図10Cを参照して詳細に説明する。なお、図10Bは第2の実施形態による中央処理装置4の処理シーケンスを示すフローチャートである。また、図10Cは、第2の実施形態によるサンプルショット群の適正化処理を説明するための図である。
グローバルアライメント計測データ{Gj=(Sxj,Syj,Bxj,Byj,θxj,θyj)、jはウエハNo.}は各サンプルショット群(グループ)により異なった計算結果になるため、添え字にkを追加し、Gkj=(Sxkj,Sykj,Bxkj,Bykj,θxkj,θykj)とおく。
サンプルショット群については、予めサンプルショットの組み合わせを複数種類登録しておき(図10C、602のk=1、2…)、この中から最適なサンプルショット群を選択するものとする。なお、サンプルショットの選び方は、図10Cの602のk=4に示されるように、A群のあるショットとC群のあるショットの組合わせのように各サンプルショット群に関係なく選定されてもよい。また、サンプルショット数は、A群では4ショットに規定しているが、ショット数を増した方が、精度的に大幅に有利である場合も考えられるので、OAPの処理においてはショット数もパラメータにしてサンプルショットの最適化を行う(ショット数の異なるサンプルショット群が登録されている)。
更には、図10C、602のk=3に示されるように、ウエハを複数領域に分けて、各領域ごとに使用するサンプルショットを設定してもよい。この場合、露光装置側の露光処理においては、(1)全体のレイアウトを複数の領域に分けて、(2)各領域に対応するサンプルショット(各領域の周辺部のサンプルショットを用いるのが好ましい)を採用してAGA処理を行い、(3)各領域個別に位置ずれデータを求め、(4)各領域の位置ずれデータに基づいて、対応する各領域のショットを位置合わせして露光するというシーケンスになる。この方法は、特にショットレイアウトが非線形に歪んでいる場合で、各領域内では線形に歪んでいると見なせる時に特に有効である。このような領域別にサンプルショットを選ぶか一括でサンプルショットを選ぶか、も本実施形態におけるパラメータ値の最適化に相当するものである。
領域を分けて位置ずれデータを求める場合について、具体的な例として、図10Cの602におけるk=3の場合を挙げて説明すれば次のとおりである。例えば、図9において、{A1,A2,A3,A4}をサンプルショットとしてウエハの最外周ショットを露光した結果と、{C11,C21,C31,C41}をサンプルショットとしてウエハの最外周以外のショットを露光した結果(推量値)とを合わせて、ウエハ上の全ショットの位置ずれ量の3σ値を推量して、各領域毎にAGAサンプルショットを設定した場合の露光結果(3σ値)とする。そして、{A1,A2,A3,A4}のみをAGAサンプルショットとして採用してウエハ上の全ショットを位置合わせした場合の露光結果(3σ値)と、各領域毎にAGAサンプルショットを設定した場合の露光結果(3σ値)とを比較する。この比較の結果、精度的に有利であれば、領域毎にAGAサンプルショットを設定するようにサンプルショットの最適化を行う。
なお、成膜やエッチング等の半導体プロセスにより、径方向に非線形に伸縮する場合を想定してウエハ上の径方向に領域分割する場合で説明したが、領域分けは径方向の分割には限らない。
さて、サンプルショット群kで計測されるグローバルアライメントデータGkjは、ステップS70で計測された補正残差Rij(iはウエハ上のショットNo、jはウエハNo)と、ステップS72で計測された値(この場合もAGA補正駆動した後に計測しているため、補正残量Rijにあたる)の中から、サンプルショット群kに含まれる計測結果のみを選択し、(5)、(6)式に代入することにより算出される(図10Cの603)。更に、このサンプルショット群kのアライメントデータGkjを用いて露光した結果Hkjは、Hkj=Gkj+Hjとして推量される(図10Cの604)。
ここで、Hjは、ウエハNo.がjのウエハを重ね合わせ検査装置3でウエハ上の複数ショット(全ショットでも良い)を計測して、重ね合わせ検査マークの位置座標をDiとし、その計測値をAiとおいて(1)式から(6)式より、AGAデータと同様に求めたグローバル検査結果である(図10Cの605)。HjおよびHkjは、AGAと同じ次元のパラメータであり、Hj=(S'xj,S'yj,B'xj,B'yj,θ'xj,θ'yj)、Hkj=(S'xkj,S'ykj,B'xkj,B'ykj,θ'xkj,θ'ykj)となる。
以上のような中央処理装置4の処理シーケンスについて、図10Bのフローチャートを参照して更に説明する。
図10Bにおいて、ステップS81では、第1の実施形態で説明したステップS41〜48の処理を実行する。すなわち、露光装置よりAGA計測値を、重ね合わせ検査装置3より計測値を取得してデータベース5に格納し、アライメントオフセットの最適化を実行する。
次に、ステップS82では、ステップS44において重ね合わせ検査装置3より通知された新たな計測値が格納されたか否かを判定する。新たな計測値が格納されているならばステップS83へ進み、以降の処理により新たな計測値、すなわち、ウエハNo.がjの各ショットiに対する、重ね合わせ検査装置3からの計測値Kijを用いて、各サンプルショット群毎の露光結果の推量を行なう。
まず、ステップS83において、各サンプルショット群kについて、格納されている補正残量Rijを用い、上述の方法によってグローバルアライメントデータGkj(図10C、603)を算出する。次にステップS84において、当該ウエハjに関して、重ね合わせね検査装置3からの計測値データKijより補正量Hjを求める(図10C、605)。そして、ステップS85において、Hkj=Gkj+Hjにより各サンプルショット群kに対する露光結果を推量する。
ステップS86では、ステップS85による推量結果に基づいて、位置合わせの評価を行なう。例えば、露光結果の推量値からアライメント誤差推定量やウエハ倍率誤差推定量を評価し(図10C、604)、これをウエハID(j)と対応付けてデータベース5に格納する。この評価内容については後述する。次にステップS87において、ステップS86で格納した評価値に基づいてサンプルショット群の適正化を行なうか否かを判定し、適正化を行なう場合はステップS88へ進む。ステップS88では、データベース5に格納されている露光結果の推量値に基づいて、最適なサンプルショット群を選択し、これを露光装置に通知する。
以下、露光推量結果に基づく評価と、サンプルショット群を適正かするか否かの判定について説明する。図11は、半導体製造工程のある工程のウエハに関して、第2実施形態により評価値(ウエハ倍率成分)を取得したデータを示す図である。図11には、サンプルショット群Aを用いてグローバルアライメントを実施した後、露光したウエハを重ね合わせ検査装置3で計測したウエハ倍率成分と、これと同時に実行されたOAP処理で最適と判断されたサンプルショット群A'での仮想露光結果に基づくウエハ倍率成分を示している。サンプルショット群Aを用いた場合のウエハ倍率成分誤差が0.15ppm(3σ)だったのに対し、サンプルショット群A'を用いることにより、同誤差成分を0.07ppmに低減できることがわかる。
なお、ウエハ番号6からサンプルショット群A'のMean値(平均値)がゼロ付近に変化しているのは、5枚目までの処理結果に基づいてサンプルショット群A'を構成する各ショットのアライメントオフセットを更新(最適化)したためである。このような評価結果が得られた場合、中央処理装置4はサンプルショット群Aに替えてサンプルショット群A'をAGAに用いるよう、露光装置に通知する。
また、上記では、ウエハの倍率誤差を評価関数としたが、ウエハ毎のショット配列の直交度誤差を評価関数にしても良い。最も好ましい形態としては、シフト成分、倍率成分、回転成分の全てのパラメータについて、ウエハ毎のばらつきを評価して最適なサンプルショットを求めることが挙げられる。
また、図12は、同じく第2実施形態により、サンプルショットの最適化のために取得したデータを示す。図12でサンプルショット群Aは、グローバルアライメントを実施した後、露光したウエハを重ね合わせ検査装置3で全ショット計測した結果であり、アライメント誤差推定量の3σ成分である。また、サンプルショット群1、2,3はそれぞれOAP処理により各サンプルショット群で露光を行った場合のアライメント誤差推定量の3σ成分である。アライメント誤差推定量Ekij(添え字のkはサンプルショット群No、iはショットNo、jはウエハNo)は、露光結果の各ショットの計測値Kijに、各サンプルショットのグローバルアライメントデータGkjで重ね合わせ検査マーク座標Diを1次変換したものをたし合わせたものであり次式から求めることができる。
各ウエハの3σ値を25枚で平均すると、図12に示すように現在使用しているサンプルショット群Aを用いた場合が38nmであるのに対し、サンプルショット群3を使用した場合に予想される3σ成分は24nmとなった。中央処理装置4は、この結果からサンプルショット群3を使用するのが最適と判断し、その指令を露光装置1に送る。この通知を受けた露光装置1は、次のウエハからサンプルショット3を用いてAGAアライメントをすることになる。
このように、ウエハ毎に各サンプルショット群で露光した場合の露光結果を推量し、その結果をデータベース5に蓄積する。OAP処理したウエハの今までの履歴から、現在使用しているサンプルショットより他のサンプルショットを用いた方が精度的に有利と判断される場合には、サンプルショットの変更を、露光装置1に伝達し、サンプルショットの変更設定を露光装置1が行う。
なお、各サンプルショットのアライメントオフセットの変更は、サンプルショットの変更と同時でも同時でなくてもよいが、上記実施形態に示したようにアライメントオフセット変更とサンプルショットの変更はそれぞれ独立して行えるようにしておくのが好ましい。
また、図9では代替サンプルショットをOAP処理用のショットと別に設けているが、代替サンプルショットをそのままOAP処理用のショットとしても良い。
以上説明したように、本実施形態の露光管理システム及び露光装置を用いることにより、装置稼働中において、ウエハアライメントの変数の最適化、特に、アライメントオフセットやサンプルショット群の最適化を図ることができる。このため、Send-ahead Waferを使用する様な、量産を停止する処置を用いずに最適なパラメータを使用することが可能となる。更に、パラメータを更新した後であっても、プロセス変動が発生した場合には、パラメータを最適なものに変えて装置を稼働させることが可能となる。
従って、本実施形態によれば、露光装置を使用する上で、設定する変数を、量産とは別に多くの時間、費用を使用する事無しに、量産稼働中における変数の最適化が可能となる。このため、生産性が高く且つ装置性能を最も高い状態で露光装置を使用することが可能となる。その結果、CoOの良い製造システムを達成することができ、露光装置の実効性能を向上させ、生産性、歩留まりを向上させることができる。
なお、本発明では半導体の製造工程の量産工程において、上述のようなサンプルショットの最適化の方法について説明したが、量産に先立って行われる先行ウエハを使用した条件出し工程においても適用できる。すなわち、本発明によると代替サンプルショットおよび他のショットも含めてAGA計測し、その計測値と重ね合わせ検査装置の検査結果適宜蓄積して、各サンプルショットを用いてグローバルアライメントした場合の露光結果を推量でき、全てのサンプルショットの組み合わせを用いて先行露光する必要がなくなり、ウエハ枚数の低減、条件出し工程の短縮化を図ることができる。
又、OAPにおいては基準となっている重ね合わせ検査装置に対しても、例えば電子走作顕微鏡SEMを基準として、変数の最適化を行うことも同様に可能である。
更に、本発明の露光装置1は、縮小投影光学系を有している例を示しているが、露光装置はこれに限らず、例えば、X線を露光光源とし、マスク上のパターンうを1:1で投影するX線露光装置や、ウエハ上に複数のショットを電子ビーム(EB:ElectronBeam)で描画するEB描画露光装置などの場合にも同様に適用できる。
なお、上記実施形態において、中央処理装置4は汎用のコンピュータシステムを用いることが可能である。その場合、上記実施形態で説明した処理を実現する制御プログラムを中央処理装置4に提供することになる。すなわち、本発明の目的は、前述した実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU)が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読出し実行することによっても達成されるものである。
この場合、記憶媒体から読出されたプログラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピディスク,ハードディスク,光ディスク,光磁気ディスク,CD−ROM,CD−R,磁気テープ,不揮発性のメモリカード,ROMなどを用いることができる。
また、コンピュータが読出したプログラムコードを実行することにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているOS(オペレーティングシステム)などが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
さらに、記憶媒体から読出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPUなどが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
次に上記説明した半導体露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図13は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す。ステップS201(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップS202(マスク製作)では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップS203(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップS204(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップS205(組立て)は後工程と呼ばれ、ステップS204によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組立て工程を含む。ステップS206(検査)ではステップS205で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷(ステップS207)する。前工程と後工程はそれぞれ専用の別の工場で行い、これらの工場毎に上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされる。また前工程工場と後工程工場との間でも、インターネットまたは専用線ネットワークを介して生産管理や装置保守のための情報がデータ通信される。
図14は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップS211(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップS212(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を成膜する。ステップS213(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS214(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップS215(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップS216(露光)では上記説明した露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップS217(現像)では露光したウエハを現像する。ステップS218(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップS219(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことにより、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。上記工程で使用する露光装置は上記説明した管理システムによって最適化がなされているので、もし経時変化が発生しても量産現場を停止させず最適化修正が可能で、従来に比べて半導体デバイスの生産性を向上させることができる。
Claims (2)
- 基板の第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測する計測ステップと、
前記アライメントマークの設計位置と前記計測ステップにおいて計測された前記アライメントマークの位置とを用いて、前記基板を露光する際の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出する位置の算出ステップと、
前記位置の算出ステップにおいて算出された位置に前記全ショットを位置決めして前記基板を露光する露光ステップと、
前記露光ステップにおいて露光された前記基板の前記第1のサンプルショット群と前記第2のサンプルショット群における重ね合わせ誤差を検出する検出ステップと、
前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群について、前記位置の算出ステップにおいて算出された位置と前記計測ステップにおいて計測された位置との差、および、前記検出ステップで検出された前記重ね合わせ誤差を用いて、前記第1のサンプルショット群と第2のサンプルショット群におけるショット毎に、アライメントマークの位置の計測値に対するオフセットを算出するオフセットの算出ステップと、
前記基板とは別の基板について、前記第1のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、その計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要でないと判断した場合に、当該計測において得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第1のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行い、
前記計測結果に基づいて、代替サンプルショット群についての計測が必要であると判断した場合に、前記別の基板について、前記第2のサンプルショット群に対応する位置にあるショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測して、該計測して得られたアライメントマークの位置の計測値を、前記オフセットの算出ステップで算出された前記第2のサンプルショット群の対応するサンプルショットのオフセットで補正して、前記別の基板の全ショットの位置決めを行う位置決めステップとを有することを特徴とする位置決め方法。 - 前記オフセットの算出ステップにおいて算出されたオフセットは、前記位置の算出ステップにおいて算出された位置と前記計測ステップにおいて計測された位置との差、および、前記検出ステップで検出された前記重ね合わせ誤差を足し合わせた値であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め方法。
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