JP2007304083A - Inspection method for display substrate, and inspection device for display substrate using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表示基板の検査方法及びこれを用いた表示基板の検査装置に関し、より詳細には、検査の信頼性を向上させた表示基板の検査方法及びこれを用いた表示基板の検査装置に関する。 The present invention relates to a display substrate inspection method and a display substrate inspection apparatus using the same, and more particularly to a display substrate inspection method with improved inspection reliability and a display substrate inspection apparatus using the same. .
一般に、液晶表示装置は、液晶の光透過率を利用して画像を表示する液晶表示パネル及び液晶表示パネルの下方に配置され液晶表示パネルに光を提供するバックライトアセンブリを含む。 2. Description of the Related Art Generally, a liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel that displays an image using light transmittance of liquid crystal, and a backlight assembly that is disposed below the liquid crystal display panel and provides light to the liquid crystal display panel.
液晶表示パネルは、薄膜トランジスタと画素電極とを有するアレイ基板、カラーフィルタと共通電極とを有するカラーフィルタ基板、及びアレイ基板とカラーフィルタ基板との間に介在する液晶層を含む。 The liquid crystal display panel includes an array substrate having a thin film transistor and a pixel electrode, a color filter substrate having a color filter and a common electrode, and a liquid crystal layer interposed between the array substrate and the color filter substrate.
アレイ基板は、薄膜トランジスタのそれぞれと電気的に接続された信号線、信号線のそれぞれと電気的に接続された信号印加パッド、信号印加パッドのそれぞれと電気的に接続されたテスト配線、及びテスト配線のそれぞれと電気的に接続されたテストパッドを更に含む。この際、テスト配線及びテストパッドは、一般的に液晶表示パネルが所望する画像を充分に実現するかを検査した後、アレイ基板から除去される。テスト配線及びテストパッドが除去された後、信号印加パッド上には薄膜トランジスタを駆動させるための別の駆動チップが装着される。 The array substrate includes a signal line electrically connected to each of the thin film transistors, a signal application pad electrically connected to each of the signal lines, a test wiring electrically connected to each of the signal application pads, and a test wiring And a test pad electrically connected to each of the test pads. At this time, the test wiring and the test pad are generally removed from the array substrate after inspecting whether the liquid crystal display panel sufficiently realizes a desired image. After the test wiring and the test pad are removed, another driving chip for driving the thin film transistor is mounted on the signal application pad.
液晶表示パネルを検査する方法を簡単に説明すると、テストパッドにテスト信号を印加して液晶表示パネルにテスト画像を表示し、テスト画像を分析して液晶表示パネルの表示不良の可否を判断する。 A method for inspecting a liquid crystal display panel will be briefly described. A test signal is applied to a test pad to display a test image on the liquid crystal display panel, and the test image is analyzed to determine whether a display defect of the liquid crystal display panel is possible.
しかし、テスト信号を印加して前記表示不良の可否を判断した結果、前記液晶表示パネルに表示不良が発生した場合、液晶表示パネルのどこに不良が発生して表示不良が生じたかを正確に分からない。特に、信号印加パッドを基準にテスト配線及びテストパッドの不良で表示不良が生じたか、或いは、信号線の不良で表示不良が生じたか分からない。このように、従来の検査方法は、表示不良の原因を正確に把握することができず、検査の信頼性が低いという問題点を有する。 However, as a result of applying the test signal to determine whether or not the display defect is possible, when a display defect occurs in the liquid crystal display panel, it is not accurately known where the defect occurred in the liquid crystal display panel and the display defect occurred. . In particular, it is not known whether a display defect has occurred due to a defect in the test wiring and the test pad with reference to the signal application pad or a display defect has occurred due to a defect in the signal line. Thus, the conventional inspection method has a problem that the cause of the display failure cannot be accurately grasped and the reliability of the inspection is low.
従って、本発明の技術的課題はこのような従来の問題点を解決することであって、本発明の目的は、表示不良の原因を検出して検査の信頼性を向上させた表示基板の検査方法を提供することにある。 Accordingly, the technical problem of the present invention is to solve such a conventional problem, and the object of the present invention is to inspect the display substrate in which the cause of the display defect is detected and the reliability of the inspection is improved. It is to provide a method.
本発明の他の目的は、前記した検査方法を用いた表示基板の検査装置を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a display substrate inspection apparatus using the inspection method described above.
本発明の目的を達成するための一実施例による表示基板の検査方法は、テスト配線、テスト配線のそれぞれと電気的に接続された信号印加パッド、及び信号印加パッドと電気的に接続された信号線を具備する表示基板を検査する方法において、テスト配線に第1テスト信号を印加して第1信号の不良の発生の可否を検査し、第1信号不良が発生した場合、信号印加パッドを互いに短絡させ、テスト配線に第2テスト信号を印加して第2信号の不良の発生の可否を検査すること、を特徴とする。 A display substrate inspection method according to an embodiment for achieving the object of the present invention includes a test wiring, a signal application pad electrically connected to each of the test wirings, and a signal electrically connected to the signal application pad. In a method for inspecting a display substrate having a line, a first test signal is applied to a test wiring to inspect whether or not a first signal failure occurs, and when a first signal failure occurs, the signal application pads are connected to each other. It is characterized by short-circuiting and applying a second test signal to the test wiring to inspect whether or not the second signal is defective.
一方、第1信号の不良は、テスト配線及び信号線のうち、少なくとも1つの不良で、第2信号の不良は、信号線の不良であると言える。例えば、第2信号不良が発生しない場合、表示基板に発生した不良はテスト配線の不良で、第2信号不良が発生した場合、表示基板に発生した不良は信号線の不良である。 On the other hand, it can be said that the failure of the first signal is at least one of the test wiring and the signal line, and the failure of the second signal is the failure of the signal line. For example, when the second signal defect does not occur, the defect generated on the display substrate is a test wiring defect, and when the second signal defect occurs, the defect generated on the display substrate is a signal line defect.
本発明の更なる他の目的を達成するための一実施例による表示基板の製造方法は、ベース本体部、テスト信号印加部、及びパッド短絡部を含む。 According to another embodiment of the present invention, a display substrate manufacturing method includes a base body, a test signal applying unit, and a pad short-circuit unit.
テスト信号印加部はベース本体部と結合され、表示基板のテストパッドと接触してテストパッドのそれぞれにテスト信号を印加する。パッド短絡部はベース本体部と結合され、表示パネルの信号印加パッドと接触して信号印加パッドを互いに短絡させる。 The test signal application unit is coupled to the base body unit, and contacts the test pads of the display substrate to apply a test signal to each of the test pads. The pad short-circuit unit is coupled to the base main body unit and contacts the signal application pad of the display panel to short-circuit the signal application pads.
一方、テスト信号印加部は、表示基板の端部と平行な一方向に複数個が配置されてもよい。この際、パッド短絡部は、テスト信号印加部の間に配置してもよい。 Meanwhile, a plurality of test signal applying units may be arranged in one direction parallel to the end of the display substrate. At this time, the pad short-circuit portion may be disposed between the test signal application portions.
選択的に表示基板の検査装置は、ベース本体部上に配置され、パッド短絡部と結合されて、パッド短絡部を前記一方向に移送させる移送部を更に含んでもよい。 Optionally, the display substrate inspection apparatus may further include a transfer unit disposed on the base main body unit and coupled to the pad short-circuit unit to transfer the pad short-circuit unit in the one direction.
本発明によると、第1信号不良を検査した後に信号印加パッドを互いに短絡させ、更に第2信号不良を検査することにより、表示基板のテスト配線及び信号線のうち、どこで不良が発生したかを把握することができ、それによって検査の信頼性をより向上させることができるのみならず、表示基板の不良の原因を検出する別の検査を省略して検査費用を減少させることができる。 According to the present invention, after the first signal failure is inspected, the signal application pads are short-circuited to each other, and further, the second signal failure is inspected to determine where the failure has occurred among the test wiring and the signal line of the display substrate. Thus, not only can the reliability of the inspection be improved, but another inspection for detecting the cause of the defect of the display substrate can be omitted to reduce the inspection cost.
以下、添付図面を参照して、本発明の望ましい実施例をより詳細に説明する。 Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一実施例による表示基板の検査方法を示す順序図で、図2は、図1の表示基板の検査方法において検査対象である表示基板を概念的に示す平面図である。 FIG. 1 is a flow chart showing a display substrate inspection method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view conceptually showing a display substrate to be inspected in the display substrate inspection method of FIG. .
まず、本実施例による表示基板の検査方法を説明する前に、検査方法の検査対象である表示基板について説明し、その後に表示基板の検査方法について詳細に説明する。 First, before explaining the display substrate inspection method according to this embodiment, the display substrate to be inspected by the inspection method will be described, and then the display substrate inspection method will be described in detail.
図2を参照すると、表示基板100は、画素電極(図示せず)、薄膜トランジスタ(図示せず)、信号線110、信号印加パッド120、テスト配線130、及びテストパッド140を含む。この際、表示基板100は、液晶表示パネル(図示せず)の構成要素の1つであるアレイ基板である。即ち、液晶表示パネルは、アレイ基板、アレイ基板とそれに対して対向配置されるカラーフィルタ基板、及びアレイ基板とカラーフィルタ基板との間に介在する液晶層を含むが、表示基板100はこのような構成要素のうち、アレイ基板である。
Referring to FIG. 2, the
画素電極は透明な導電性物質からなり、マトリックス形状に配置される。 The pixel electrode is made of a transparent conductive material and arranged in a matrix shape.
薄膜トランジスタは、画素電極と電気的に接続され画素電極に充電される画素電圧を制御する。 The thin film transistor is electrically connected to the pixel electrode and controls a pixel voltage charged in the pixel electrode.
信号線110は、薄膜トランジスタと電気的に接続され薄膜トランジスタを制御する。具体的に、信号線110は、第1方向に形成されたデータ配線112及び第1方向に対して垂直な第2方向に形成されたゲート配線114を含む。
The
信号印加パッド120は、信号線110のそれぞれと電気的に接続される。信号印加パッド120上には、別の駆動チップ(図示せず)が配置される。ここで、駆動チップは、信号印加パッド120と電気的に接続され、信号印加パッド120に画像を実現するための駆動信号を印加する。具体的に、信号印加パッド120は、データ配線112のそれぞれと電気的に接続されたデータパッド122及びゲート配線114のそれぞれと電気的に接続されたゲートパッド124を含む。
The
テスト配線130は、信号印加パッド120のそれぞれと電気的に接続される。具体的に、テスト配線130は、データパッド122のそれぞれと電気的に接続されたデータテスト配線132及びゲートパッド124と電気的に接続されたゲートテスト配線134を含む。
The
テストパッド140は、テスト配線130のそれぞれと電気的に接続される。テストパッド140上には、信号印加ピン(図示せず)が接触される。信号印加ピンは、テストパッド140にテスト画像信号を印加して、液晶表示パネルの画像をテストする。具体的に、テストパッド140は、テスト配線132のそれぞれと電気的に接続されたデータテストパッド142及びゲートテスト配線134のそれぞれと電気的に接続されたゲートテストパッド144を含む。
The
図3は、図2のA部分を拡大して示す平面図である。 3 is an enlarged plan view showing a portion A of FIG.
図3を参照すると、データパッド122は、所定の個数が集まって1つのグループを形成し、このような複数個のグループが前記第2方向に沿って配置される。一例として、データパッド122は6個ずつグループ化される。このような1つのグループのデータパッド122は、データ配線112と一対一対応するように電気的に接続される。
Referring to FIG. 3, a predetermined number of
データテスト配線132は、第1データテスト線132a及び第2データテスト線132bを含む。
The
第1データテスト線132aは、前記第1方向に形成される。第1データテスト線132aは、データパッド122と同じ個数にグループ化され、データパッド122と一対一対応するように電気的に接続される。
The first
第2データテスト線132bは、第1データテスト線132aと交差するように第2方向に形成される。第2データテスト線132bは、第1データテスト線132aと同じ個数にグループ化され、第1コンタクトホール50を通じて第1データテスト線132aと一対一対応するように電気的に接続される。
The second
データテストパッド142は、第2データテスト線132bと同じ個数にグループ化され、第2データテスト線132bと一対一対応するように電気的に接続される。好ましく、第2データテスト線132bの両端は、互いに異なる2つのグループのデータテストパッド142と電気的に接続される。その結果、データテストパッド142の全てのグループは、一対一対応するように電気的に接続される。
The
一方、1グループのデータパッド122は、第1短絡部10を通じて互いに電気的に短絡されることができる。又、本実施例による検査方法を用いて表示基板100を検査した後、仮像の第1カットライン30に沿って切断してデータテスト配線132及びデータテストパッド142が表示基板100から除去してもよい。ここで、第1カットライン30は、第1データテスト線132aと交差するようにデータパッド122と第2データテスト線132bの間に形成される。
Meanwhile, the group of
図4は、図2のB部分を拡大して示す平面図である。 4 is an enlarged plan view showing a portion B of FIG.
図4を参照すると、ゲートパッド124は、所定の個数が集まって1つのグループを形成し、このような複数個のグループが前記第1方向に沿って配置される。一例として、ゲートパッド124は4個ずつグループ化される。このような1つのグループのゲートパッド124は、ゲート配線114と一対一対応するように電気的に接続される。
Referring to FIG. 4, a predetermined number of
ゲートテスト配線134は、第1ゲートテスト線134a及び第2ゲートテスト線134bを含む。
The
第1ゲートテスト線134aは、第2方向に形成される。第1ゲートテスト線134aは、ゲートパッド124と同じ個数にグループ化され、ゲートパッド124と一対一対応するように電気的に接続される。
The first
第2ゲートテスト線134bは、第1ゲートテスト線134aと交差するように第1方向に形成される。第2ゲートテスト線134bは、第1ゲートテスト線134aと同じ個数にグループ化され、第2コンタクトホール60を通じて第1ゲートテスト線134aと一対一対応するように電気的に接続される。
The second
ゲートテストパッド144は、第2ゲートテスト線134bと同じ個数にグループ化され、第2ゲートテスト線134bと一対一対応するように電気的に接続される。
The
一方、1つのグループのゲートパッド124は、第2短絡部20を通じて互いに電気的に短絡されることができる。又、本実施例による検査方法を用いて表示基板100を検査した後、仮像の第2カットライン40に沿って切断してゲートテスト配線134及びゲートテストパッド144が表示基板100から除去してもよい。ここで、第2カットライン40は、第1ゲートテスト線134aと交差するようにゲートパッド124と第2ゲートテスト線134bの間に形成される。
Meanwhile, one group of
以下、図1を参照して、前述した表示基板100を検査する方法について説明する。
Hereinafter, a method for inspecting the above-described
まず、テスト配線130に第1テスト信号を印加する(S10)。この際、テスト配線130に第1テスト信号が印加されると、表示基板100の画素電極に電圧が充電され第1テスト画像を表示する。第1テスト信号は、第1データテスト信号及び第1ゲートテスト信号を含む。
First, a first test signal is applied to the test wiring 130 (S10). At this time, when the first test signal is applied to the
より具体的に説明すると、第1データテスト信号はデータテストパッド142に印加され、このように印加された第1データテスト信号は、第1及び第2データテスト線132a、132bを経由して、データパッド122に更に印加される。データパッド122に印加された第1データテスト信号は、データ配線112を経由して薄膜トランジスタに印加され、薄膜トランジスタを制御する。
More specifically, the first data test signal is applied to the
第1ゲートテスト信号は、ゲートテストパッド144に印加され、このように印加された第1ゲートテスト信号は、第1ゲートテスト線134a、第2ゲートテスト線134b、ゲートパッド124、及びゲート配線114を通じて薄膜トランジスタに印加され、薄膜トランジスタを制御する。
The first gate test signal is applied to the
このように、第1データテスト信号及び第1ゲートテスト信号によって制御された薄膜トランジスタは、画素電極に電圧を充電して第1テスト画像を表示する。第1テスト画像は、所望する画像が十分に表示されるか、即ち、色相、輝度等において所望する表示品質で画像が表示されるかを判断するための画像である。 As described above, the thin film transistor controlled by the first data test signal and the first gate test signal charges the pixel electrode with a voltage and displays the first test image. The first test image is an image for determining whether a desired image is sufficiently displayed, that is, whether an image is displayed with a desired display quality in terms of hue, luminance, and the like.
その後、第1テスト画像を観察して第1信号不良が発生したかの可否を検査する(S20)。ここで、第1信号不良は、テスト配線130の不良によって発生するか、信号線110の不良によっても発生することがありうる。
Thereafter, the first test image is observed to check whether or not the first signal failure has occurred (S20). Here, the first signal failure may be caused by a failure of the
まず、テスト配線130の不良は、第1及び第2データテスト線132a、132bの電気的な接続関係での不良と、第1及び第2ゲートテスト線134a、134bの電気的な接続関係での不良を意味する。
First, the failure of the
より具体的に、第1及び第2データテスト線132a、132bは、第1コンタクトホール50を通じて一対一対応するように電気的に接続されるが、このような電気的な接続関係に問題点が発生することがありうる。一例として、1つの第1データテスト線132aが2以上の第2データテスト線132bと電気的に接続されるか、又は、前記第2データテスト線132bのうち、いずれか1つとも電気的に接続されない不良が発生することがありうる。
More specifically, the first and second
同様に、第1及び第2ゲートテスト線134a、134bは、第2コンタクトホール60を通じて一対一対応するように電気的に接続されるが、このような接続関係でも問題点が発生することがありうる。
Similarly, the first and second
一方、信号線110の不良は、データ配線及びゲート配線が断線するか、短絡する不良を意味する。
On the other hand, the defect of the
このように、第1信号不良の発生可否を検査した結果、第1信号不良が発生しない場合、表示基板100に不良が発生しないことがわかる(S70a)。
Thus, as a result of examining whether or not the first signal failure occurs, it is found that when the first signal failure does not occur, the
一方、第1信号不良の発生可否を検査した結果、第1信号不良が発生した場合、テスト配線130及び信号線110のうち、いずれか一つに不良が発生したことがわかる。しかし、第1信号不良の原因がテスト配線130の不良によるか、それとも信号線110の不良によるかは正確にわからない。
On the other hand, as a result of inspecting whether or not the first signal failure occurs, it can be seen that if one of the
従って、第1信号不良の原因を正確に把握するために、後述の検査を更に行う。 Therefore, in order to accurately grasp the cause of the first signal failure, the inspection described later is further performed.
まず、導電性物質からなる別の短絡本体を利いて信号印加パッド120を互いに短絡させる(S30)。好ましくは、第1信号不良が発生された部分と対応する信号印加パッド120のグループを短絡本体を用いて互いに短絡させる。
First, the
具体的に例を挙げて説明すると、第1信号不良がデータ配線112のうち、一部に沿って形成された場合には、前記データ配線112の一部と対応するデータパッド122のグループを第1短絡部10によって互いに短絡させる。
Specifically, when the first signal defect is formed along a part of the data wiring 112, a group of the
第1信号不良がゲート配線114のうち、一部に沿って形成された場合には、ゲート配線114の一部と対応するゲートパッド124のグループを第2短絡部20によって互いに短絡させる。
When the first signal failure is formed along a part of the
短絡本体を用いて信号印加パッド120を互いに短絡させた後、テスト配線130に第2テスト信号を印加する(S40)。即ち、第2テスト信号が第2データテスト信号及び第2ゲートテスト信号を含むと仮定する場合、第2データテスト信号はデータテストパッド142に印加し、第2ゲートテスト信号はゲートテストパッド144に印加する。
After the
第2テスト信号は、互いに同じ信号であることが好ましい。即ち、第2データテスト信号と第2ゲートテスト信号は互いに同じ信号であることが好ましい。 The second test signals are preferably the same signal. That is, the second data test signal and the second gate test signal are preferably the same signal.
このように、テスト配線130に第2テスト信号を印加すると、液晶表示パネル上には第2テスト画像が表示される。
As described above, when the second test signal is applied to the
その後、前記第2テスト画像を観察して第2信号不良が発生したかの可否を検査する(S50)。ここで、第2信号不良は信号線110の不良によって発生される。
Thereafter, the second test image is observed to check whether or not a second signal failure has occurred (S50). Here, the second signal failure is caused by a failure of the
第2信号不良が発生したかの可否を検査した結果、第2信号不良が発生しない場合、表示基板100に発生した不良は、テスト配線130に発生した不良であることがわかる(S70b)。即ち、第1信号不良は、テスト配線130及び信号線110のうち、いずれか一つの不良で、第2信号不良は、信号線110の不良なので、第1信号不良は発生するが、第2信号不良が発生しない場合は、表示基板100で発生した不良は、テスト配線130による不良であることがわかる。
As a result of checking whether or not the second signal failure has occurred, if the second signal failure does not occur, it is found that the failure that has occurred in the
第2信号不良の発生可否を検査した結果、第2信号不良が発生した場合、表示基板100に発生した不良は、テスト配線130の不良ではなく、信号線110の不良であることがわかる(S70c)。
As a result of inspecting whether or not the second signal failure occurs, if the second signal failure occurs, it can be seen that the failure generated on the
このように本実施例による表示基板100の検査方法によると、表示基板100に発生した不良がテスト配線130及び信号線110のうち、どの位置で不良が発生したかを把握することができ、それによって検査の信頼性をより向上させることができる。又、表示基板100の不良の原因が何かを検出する別の検査を省略して検査費用を減少させることができる。
As described above, according to the method for inspecting the
又、テスト配線130は、一般的に表示基板100を検査した後に表示基板100から除去されるので、表示基板100に発生した不良がテスト配線130のみの不良であると判断される場合、テスト配線130が表示基板から除去されるとき、表示基板100の不良も共に除去することができる。その結果、液晶表示パネルに所要される費用及び時間が減少し、液晶表示パネルの生産性がより向上することができる。
Further, since the
図1を用いて説明した表示パネルの検査方法は、第1信号不良がテスト配線130及び信号線110のうち、いずれか一つの不良であることを仮定して説明したことである。
The display panel inspection method described with reference to FIG. 1 is described assuming that the first signal failure is one of the
しかし、第1信号不良がテスト配線130及び信号線110のうち、少なくともいずれか一つの不良である場合、即ち、第1信号不良がテスト配線130の不良であるか、信号線110の不良であるか、又は、テスト配線130及び信号線110の不良である場合には、図1の検査方法に第1及び第2信号不良を比較することが追加されることが好ましい。
However, when the first signal failure is at least one of the
図5は、図1と異なる表示基板の検査方法を示す順序図である。 FIG. 5 is a flow chart showing a display substrate inspection method different from FIG.
以下、図5を参照して、新規に追加されることを詳細に説明する。 Hereinafter, the new addition will be described in detail with reference to FIG.
第2信号不良の発生可否を検査した結果(S50)、第2信号不良が発生した場合には、第1信号不良及び第2信号不良を互いに比較することを更に行う(S60)。この際、第1及び第2信号不良を互いに比較することは、表示される画像を通じて視覚的に比較してもよいが、これと異なり、電流測定装置のような別の装置を通じて比較してもよい。 As a result of checking whether or not the second signal failure occurs (S50), when the second signal failure occurs, the first signal failure and the second signal failure are further compared with each other (S60). At this time, comparing the first and second signal defects with each other may be visually compared with the displayed image, but unlike with this, it may be compared with another device such as a current measuring device. Good.
第1及び第2信号不良を互いに比較した結果、第1及び第2信号不良が互いに同じ場合、表示基板100に発生した不良は、信号線110のみの不良であることがわかる(S70c)。ここで、第1及び第2信号不良が互いに同じであるというのは、第1信号不良が発生した位置と第2信号不良が発生した位置が互いに同じであるということを意味する。
As a result of comparing the first and second signal defects with each other, if the first and second signal defects are the same, it can be seen that the defect generated on the
一方、第1及び第2信号不良を互いに比較した結果、第1及び第2信号不良が互いに異なる場合、表示基板100に発生した不良は、テスト配線130と信号線110の双方に発生した不良であることがわかる(S70d)。即ち、表示基板100のうち、テスト配線130の一部にも不良が発生し、信号線110の一部にも不良が発生したことがわかる。
On the other hand, if the first and second signal defects are different from each other as a result of comparing the first and second signal defects, the defect generated in the
このように、図1の検査方法に第1及び第2信号不良を比較することを更に追加することにより、表示基板100に発生した不良がテスト配線130のみの不良であるか、信号線110のみの不良であるか、又はテスト配線130及び信号線110の不良であるかをより正確に判断することができる。
In this way, by further adding the comparison of the first and second signal defects to the inspection method of FIG. 1, the defect generated in the
図6は、本発明の第1実施例による表示基板の検査装置を示す斜視図で、図7は、図5のC部分を拡大して示す平面図である。 FIG. 6 is a perspective view showing the display substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an enlarged plan view showing a portion C of FIG.
図6及び図7を参照すると、本実施例による表示基板の検査装置200は、ベース本体部210、テスト信号印加部220、及びパッド短絡部230を含む。この際、表示基板の検査装置200は、液晶表示パネルのアレイ基板100のうち、データ配線及びゲート配線にテスト信号を印加するために、データ側及びゲート側にそれぞれ一対が配置されることが好ましい。
Referring to FIGS. 6 and 7, the display
ベース本体部210は、テスト信号印加部220及びパッド短絡部230と結合する。ベース本体部210は、好ましくは、上下に移動して、テスト信号印加部220及びパッド短絡部230を上下に移動させる。
The
テスト信号印加部220はベース本体部210と結合し、アレイ基板100のテストパッド140と接触してテストパッド140のそれぞれにテスト信号を印加する。
The test
具体的に、テスト信号印加部220は、信号印加本体222及び信号印加ピン224を含む。信号印加本体222は、ベース本体部210と結合される。信号印加ピン224は信号印加本体222と結合され、テストパッド140と向かい合うように信号印加本体222の下部に突出した形状を有する。この際、信号印加ピン224は、テストパッド140と同じ個数を有することが好ましい。信号印加ピン224は、ベース本体部210の上下運動によってテストパッド140と接触してテストパッド140のそれぞれにテスト信号を印加する。
Specifically, the test
一方、テスト信号印加部220は、アレイ基板100の端部と平行な一方向に沿って複数個が配置される。この際、テスト信号印加部220の個数は、テストパッド140のグループの個数と同じであることが好ましい。
On the other hand, a plurality of test
パッド短絡部230はベース本体部210と結合して、アレイ基板100の信号印加パッド120と接触して信号印加パッド120を互いに短絡させる。ここで、パッド短絡部230は、一方向に沿って配置されたテスト信号印加部220の間に配置されることが好ましく、パッド短絡部230の個数は信号印加パッド120のグループの個数と同じであることが好ましい。
The pad short-
具体的に、パッド短絡部230は、メイン本体232及びパッド短絡ユニット234を含む。メイン本体232は、ベース本体部210と結合する。パッド短絡ユニット234はメイン本体232と結合し、信号印加パッド120と接触して信号印加パッド120を互いに電気的に短絡させる。
Specifically, the pad short-
パッド短絡ユニット234は、一例として、短絡本体234a、連結柱234b、押え本体234c、及びスプリング234dを含む。
As an example, the pad short-
短絡本体234aは、信号印加パッド120と向かい合うようにメイン本体232の下方に配置され、信号印加パッド120と接触して信号印加パッド120を互いに短絡させる。この際、短絡本体234aは全体が導電性物質からなるか、信号印加パッド120と接触する部分のみ導電性物質からなることとしてもよい。
The short-
連結柱234bは短絡本体234aと連結され、メイン本体232を貫通してメイン本体232の上部に突出する。連結柱234bは複数個で構成することが好ましく、一例として2個で構成する。
The
押え本体234cは連結柱234bと連結され、短絡本体234aと対向するようにメイン本体232の上方に配置される。押え本体234cは、外力によって上下に動くことにより、短絡本体234aを信号印加パッド120と接触及び分離させる。
The
スプリング234dは連結柱234bと結合され、押え本体234c及びメイン本体232の間に配置される。スプリング234dは、連結柱234bと同じ個数で構成することが好ましい。スプリング234dは、押え本体234cが元位置を回復できるように復元力を提供する。即ち、スプリング234dは、押え本体234cに外力を印加して短絡本体234aを信号印加パッド120と接触させた後に外力を除去すると、押え本体234cに復元力を提供して、短絡本体234aを信号印加パッド120から分離させる。
The
このように本実施例による表示基板の検査装置200によると、テスト信号印加部220を通じて液晶表示パネルに画像が充分に表示されるかの可否を検査し、パッド短絡部230を通じて液晶表示パネルの不良の原因を検査することができる。
As described above, according to the display
従って、本実施例による検査装置200を用いて、液晶表示パネルのうち、アレイ基板100に不良が発生したかの可否を検査する場合、アレイ基板100の不良発生可否のみならず、不良の原因も把握することができ、検査の信頼性がより向上することができる。
Therefore, when inspecting whether or not a defect has occurred in the
図8は、本発明の第2実施例による表示基板の検査装置のうちの一部を示す斜視図である。本実施例による表示基板の検査装置は、移送部を更に含むことを除いては、前述した第1実施例の検査装置と同じ構成を有するので、その重複説明は省略し、同じ構成要素には同じ参照符号及び名称を付与する。 FIG. 8 is a perspective view showing a part of a display substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention. The display substrate inspection apparatus according to the present embodiment has the same configuration as that of the above-described inspection apparatus of the first embodiment except that it further includes a transfer unit. The same reference numerals and names are given.
図8を参照すると、本実施例による表示基板の検査装置200は、ベース本体部210、テスト信号印加部220、パッド短絡部230、及び移送部240を含む。
Referring to FIG. 8, the display
移送部240は、パッド短絡部230を移送させる移送棒242及び移送棒242の両端を支持する支持本体244を含む。
The
移送棒242は、アレイ基板100の端部と平行な一方向に長く形成され、パッド短絡部230を貫通する。具体的に、パッド短絡部230のメイン本体232に貫通ホール232aが形成され、移送棒242は、このような貫通ホール232aを通じてメイン本体232を貫通する。
The
このように移送棒242がパッド短絡部230のメイン本体232を貫通することにより、パッド短絡部230は移送棒242によって一方向に動くようにガイドされる。
As the
支持本体244は、ベース本体部210上に一対が形成され、移送棒242の両端部と結合して移送棒242を支持する。
A pair of support
一方、移送棒242は、複数個が互いに平行に構成されることが好ましく、一例として2個で構成される。この際、移送棒242の長さは300mm以下であることが好ましい。一例として、2つの移送棒242が互いに平行に300mmの長さでパッド短絡部230をガイドする場合、このような一対の移送棒242は、パッド短絡部230が曲がらない程度の強度を有してもよい。
On the other hand, it is preferable that a plurality of
このようにパッド短絡部230が移送部240によって移送されることにより、第1実施例による表示基板の検査装置200よりパッド短絡部230の個数を減少させることができる。より具体的に説明すると、第1実施例による表示基板の検査装置200では、パッド短絡部230がテスト信号印加部220の間に配置されるが、本実施例による表示基板の検査装置200では、パッド短絡部230が移送部240によって移送されることにより、パッド短絡部230の個数をより減少させることができる。即ち、アレイ基板100のうち、不良が発生された部分にパッド短絡部230を移動させてアレイ基板100を再検査することにより、パッド短絡部230の個数をより減少させることができる。
Thus, the number of the pad short-circuiting
図9は、本発明の第3実施例による表示基板の検査装置のうちの一部を示す斜視図で、図10は、図9のI−I’に沿って切断した断面図である。本実施例による表示基板の検査装置は、移送部を更に含むことを除いては、前述した第1実施例の検査装置と同じ構成を有するので、その重複された説明は省略し、同じ構成要素には同じ参照符号及び名称を付与する。 FIG. 9 is a perspective view illustrating a part of a display substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. The display substrate inspection apparatus according to the present embodiment has the same configuration as that of the above-described inspection apparatus of the first embodiment except that it further includes a transfer unit. Are given the same reference numerals and names.
図9及び図10を参照すると、本実施例による表示基板の検査装置200は、ベース本体部210、テスト信号印加部220、パッド短絡部230、及び移送部250を含む。
Referring to FIGS. 9 and 10, the display
移送部250は、パッド短絡部230の移送経路をガイドする移送レール252及びパッド短絡部230の摩擦力を減少させる移送ボール254を含む。
The
移送レール252はベース本体部210上に配置され、アレイ基板100の端部と平行な一方向に長く形成された形状を有する。移送レール252はパッド短絡部230と結合し、パッド短絡部230を一方向に動くようにガイドする。
The
具体的に、パッド短絡部230のメイン本体232には、移送レール252と結合するための結合溝232bが形成される。このようなメイン本体232の結合溝232bに移送レール252が結合されることにより、パッド短絡部230が移送レール252に沿って動くようにガイドされる。この際、移送レール252には、パッド短絡部230との結合力を向上させるためのガイド溝252aを更に形成してもよい。
Specifically, a
移送ボール254は、メイン本体232の結合溝232b及び移送レール252の間に配置され、パッド短絡部230と移送レール252との間の摩擦力を減少させる。即ち、パッド短絡部230が移送レール252に沿って動く時、パッド短絡部230と移送レール252との間にはある程度の摩擦力が発生する。このような摩擦力はパッド短絡部230がテスト信号印加部220の間の正確な位置に移動することを妨げる。従って、移送ボール254がパッド短絡部230と移送レール252との間の摩擦力を減少させて、パッド短絡部230をより正確な位置に移動させることができる。
The
一方、移送ボール254は、所定の個数でグループを形成して多様な位置に配置してもよい。一例として、移送ボール254は、移送レール252の両側面と向かい合うように配置するか、又は、移送レール252の上面と向かい合うように配置してもよい。この際、所定の個数でグループを形成した移送ボール252は、メイン本体232の内部及び結合溝232bの内面間を、一例として、楕円軌跡を形成して移動しながら、パッド短絡部230と移送レール252との間の摩擦力をより減少させることができる。
Meanwhile, the
本発明によると、第1信号不良を検査した後に信号印加パッドを互いに短絡させて更に第2信号不良を再検査することにより、表示基板に発生した不良がテスト配線及び信号線のうち、どこで不良が発生したかを把握することができ、それによる検査の信頼性がより向上することができ、更に表示基板の不良の原因が何であるかを検出する別の検査を省略して検査費用を減少させることができる。 According to the present invention, after the first signal failure is inspected, the signal application pads are short-circuited to each other, and the second signal failure is reinspected. The reliability of the inspection can be improved, and the inspection cost can be reduced by omitting another inspection to detect the cause of the display board failure. Can be made.
又、表示基板に発生した不良がテスト配線のみの不良であると判断される場合、テスト配線が表示基板から除去されるときに、表示基板の不良も共に除去されることにより、液晶表示パネルの生産性がより向上される。 In addition, when it is determined that the defect generated in the display substrate is only the test wiring, when the test wiring is removed from the display substrate, the defect in the display substrate is also removed, so that the liquid crystal display panel Productivity is further improved.
以上、本発明を実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。 The present invention has been described in detail with reference to the embodiments. However, the present invention is not limited to this example, and any technical knowledge to which the present invention belongs can be used without departing from the spirit and spirit of the present invention. The present invention can be modified or changed.
100 表示基板
110 信号線
120 信号印加パッド
130 テスト配線
140 テストパッド
200 表示基板の検査装置
210 ベース本体部
220 テスト信号印加部
230 パッド短絡部
240、250 移送部
DESCRIPTION OF
Claims (20)
前記テスト配線に第1テスト信号を印加して第1信号不良の発生可否を検査し、
前記第1信号不良が発生した場合、前記信号印加パッドを互いに短絡させ、
前記テスト配線に第2テスト信号を印加して第2信号不良の発生可否を検査すること、を特徴とする表示基板の検査方法。 In a method for inspecting a display substrate including a test wiring, a signal application pad electrically connected to each of the test wirings, and a signal line electrically connected to the signal application pad,
Applying a first test signal to the test wiring to inspect whether or not a first signal failure occurs;
When the first signal failure occurs, the signal application pads are short-circuited with each other,
A test method for a display substrate, comprising: applying a second test signal to the test wiring to inspect whether or not a second signal failure occurs.
前記第2信号不良は、前記信号線の不良であることを特徴とする請求項1記載の表示基板の検査方法。 The first signal failure is at least one failure of the test wiring and the signal line,
The display substrate inspection method according to claim 1, wherein the second signal defect is a defect of the signal line.
前記第2信号不良が発生した場合、前記表示基板に発生した不良は前記信号線の不良であることを特徴とする請求項3記載の表示基板の検査方法。 When the second signal failure does not occur, the failure generated on the display substrate is a failure of the test wiring,
4. The display substrate inspection method according to claim 3, wherein when the second signal defect occurs, the defect generated on the display substrate is a defect of the signal line.
前記信号印加パッドのそれぞれと電気的に接続された第1テスト線と、
前記第2テスト線と交差されるように配置され、前記第1テスト線のそれぞれと電気的に接続された第2テスト線と、を含むことを特徴とする請求項3記載の表示基板の検査方法。 The test wiring is
A first test line electrically connected to each of the signal application pads;
4. The display substrate inspection according to claim 3, further comprising: a second test line that is arranged to intersect the second test line and is electrically connected to each of the first test lines. 5. Method.
前記信号印加パッドは、前記データ配線のそれぞれと電気的に接続されたデータパッド及び前記ゲート配線のそれぞれと電気的に接続されたゲートパッドを含み、
前記信号印加パッドを互いに短絡させることは、
前記データパッドを6個ずつグループ化して互いに短絡させ、前記ゲートパッドを4個ずつグループ化して互いに短絡させることを特徴とする請求項1記載の表示基板の検査方法。 The signal line includes a data line formed along a first direction and a gate line formed along a second direction perpendicular to the first direction,
The signal application pad includes a data pad electrically connected to each of the data lines and a gate pad electrically connected to each of the gate lines,
Shorting the signal applying pads to each other,
2. The method for inspecting a display substrate according to claim 1, wherein six data pads are grouped and short-circuited with each other, and four gate pads are grouped and short-circuited with each other.
前記ベース本体部と結合され、表示基板のテストパッドと接触して前記テストパッドのそれぞれにテスト信号を印加するテスト信号印加部と、
前記ベース本体部と結合され、前記表示基板の信号印加パッドと接触して前記信号印加パッドを互いに短絡させるパッド短絡部と、を含むことを特徴とする表示基板の検査装置。 A base body,
A test signal applying unit that is coupled to the base body unit and applies a test signal to each of the test pads in contact with a test pad of a display substrate;
An inspection apparatus for a display substrate, comprising: a pad short-circuit unit that is coupled to the base main body unit and contacts the signal application pad of the display substrate to short-circuit the signal application pads.
前記ベース本体部と結合されたメイン本体と、
前記メイン本体と結合され、前記信号印加パッドと接触して前記信号印加パッドを互いに短絡させるパッド短絡ユニットと、を含むことを特徴とする請求項8記載の表示基板の検査装置。 The pad short-circuit part is
A main body coupled to the base body,
9. The display substrate inspection apparatus according to claim 8, further comprising: a pad short-circuit unit that is coupled to the main body and contacts the signal application pad to short-circuit the signal application pads.
前記信号印加パッドと向かい合うように前記メイン本体の下方に配置され、前記信号印加パッドと接触して前記信号印加パッドを互いに短絡させる短絡本体と、
前記短絡本体と連結され、前記メイン本体を貫通して前記メイン本体の上部に突出した連結柱と、
前記連結柱と連結され前記短絡本体と対向するように前記メイン本体の上方に配置され、外力によって前記短絡本体を前記信号印加パッドと接触及び分離させる押え本体と、を含むことを特徴とする請求項9記載の表示基板の検査装置。 The pad short-circuit unit is
A short-circuit body disposed below the main body so as to face the signal application pad, and short-circuiting the signal application pads with each other in contact with the signal application pad;
Connected to the short-circuit body, and a connecting column that protrudes through the main body and protrudes from the main body;
And a presser body that is connected to the connecting column and disposed above the main body so as to face the shorting body, and that causes the shorting body to contact and separate from the signal application pad by an external force. Item 10. A display substrate inspection apparatus according to Item 9.
前記ベース本体部と結合された信号印加本体と、
前記信号印加本体と結合され前記テストパッドと向かい合うように前記信号印加本体の下部に突出し、前記テストパッドと接触して前記テストパッドのそれぞれに前記テスト信号を印加する信号印加ピンと、を含むことを特徴とする請求項8記載の表示基板の検査装置。 The test signal application unit includes:
A signal applying body coupled to the base body,
A signal application pin that is coupled to the signal application body, protrudes below the signal application body so as to face the test pad, and contacts the test pad to apply the test signal to each of the test pads. 9. A display substrate inspection apparatus according to claim 8, wherein
前記パッド短絡部を貫通するように前記一方向に長く形成され、前記パッド短絡部を前記一方向に動くようにガイドする移送棒と、
前記移送棒の両端部と結合され前記移送棒を支持する支持本体と、を含むことを特徴とする請求項15記載の表示基板の検査装置。 The transfer unit is
A transfer rod which is formed long in one direction so as to penetrate the pad short-circuit portion and guides the pad short-circuit portion to move in the one direction;
The display substrate inspection apparatus according to claim 15, further comprising a support body coupled to both ends of the transfer rod and supporting the transfer rod.
前記パッド短絡部には、前記移送レールと結合するための結合溝が形成されることを特徴とする請求項15記載の表示基板の検査装置。 The transfer unit includes a transfer rail that is formed long in the one direction, is coupled to the pad short-circuit unit, and guides the pad short-circuit unit to move in the one direction.
The display substrate inspection apparatus according to claim 15, wherein the pad short-circuit portion is formed with a coupling groove for coupling with the transfer rail.
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