JP2007301444A

JP2007301444A - 修正材塗布装置

Info

Publication number: JP2007301444A
Application number: JP2006130091A
Authority: JP
Inventors: Michinobu Mizumura; 通伸水村
Original assignee: V Technology Co Ltd
Current assignee: V Technology Co Ltd
Priority date: 2006-05-09
Filing date: 2006-05-09
Publication date: 2007-11-22
Anticipated expiration: 2026-05-09
Also published as: JP5008056B2

Abstract

【課題】修正材がニードル管の先端部で乾燥するのを防止すると共に欠陥修正作業を効率的に行なう。
【解決手段】基板面に形成されたパターンの欠陥部に、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管１から該ニードル管１内に充填された修正材を吐出して前記欠陥部を修正する修正材塗布装置であって、前記ニードル管１の外周面を囲い該ニードル管１の中心軸に沿って進退可能に形成され、先端部内に修正材を保持し得る筒状のカバー部材２と、前記カバー部材２を支持して進退させる駆動手段と、を備え、前記カバー部材２を前進させて該カバー部材２の内部に前記ニードル管１の先端部１ａが収容された状態にて前記カバー部材２の先端部２ａ内に修正材を保持した際、該修正材によって前記ニードル管１の先端部１ａが覆われるようにしたものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板面に形成されたパターンの欠陥部に、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管から該ニードル管内に充填された修正材を吐出して上記欠陥部を修正する修正材塗布装置に関し、詳しくは、ニードル管内の修正材が先端部で乾燥するのを防止し、欠陥修正作業を効率的に行なおうとする修正材塗布装置に係るものである。

従来、例えばカラーフィルタの欠陥部の修正を行なう欠陥修正装置における修正材塗布装置は、先端部がテーパ状に細くなったキャピラリー（以下、「ニードル管」という）を保持部に取り付け、配管を介して該保持部に接続されたタンクから該タンクに貯留されたレジスト（以下、「修正材」という）を上記ニードル管に適宜供給し、該ニードル管のテーパ状の先端部から欠陥部に微量の液滴を滴下して欠陥部を修正するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

また、他の修正材塗布装置は、修正材を塗布する塗布域外に修正材に含まれる溶剤と同種の溶剤を注入した待機容器を備え、吐出待機時にニードル管を待機容器に収容して溶剤の雰囲気中で待機させることによってニードル管内の修正材が乾燥するのを防止するようになっている（例えば、特許文献２参照）。
特開平９−５４２０６号公報特開２００３−７１３６３号公報

しかし、このような従来の修正材塗布装置において、上記特許文献１に記載のものは、ニードル管の先端部が空気にさらされているため、欠陥修正作業が一時中断されたときや、次の基板の欠陥修正作業に移るまでの間の待ち時間に、ニードル管の先端部の修正材が乾燥して修正材の吐出不良を招くおそれがあった。

また、上記特許文献２に記載の修正材塗布装置は、欠陥修正作業を一時中断するときや、次の基板の欠陥修正作業に移るまでの待ち時間には、その都度、ニードル管を塗布域外に退避させ、上記待機容器に収容して待機させる必要があり、非効率的であった。特に、基板のサイズが大きい場合には、退避距離が長くなるため退避及び復帰時間が長くなり欠陥修正作業の効率が悪かった。

そこで、本発明は、このような問題点に対処し、ニードル管内の修正材が先端部で乾燥するのを防止し、欠陥修正作業を効率的に行なおうとする修正材塗布装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明による修正材塗布装置は、基板面に形成されたパターンの欠陥部に、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管から該ニードル管内に充填された修正材を吐出して前記欠陥部を修正する修正材塗布装置であって、前記ニードル管の外周面を囲い該ニードル管の中心軸に沿って進退可能に形成され、先端部内に修正材を保持し得る筒状のカバー部材と、前記カバー部材を支持して進退させる駆動手段と、を備え、前記カバー部材を前進させて該カバー部材の内部に前記ニードル管の先端部が収容された状態にて前記カバー部材の先端部内に修正材を保持した際、該修正材によって前記ニードル管の先端部が覆われるようにしたものである。

このような構成により、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管の外周面を囲って設けられ、先端部内に修正材を保持し得る筒状のカバー部材を駆動手段でニードル管の中心軸に沿って前進させ、該カバー部材の内部にニードル管の先端部が収容された状態でカバー部材の先端部内に修正材を保持し、該修正材でニードル管の先端部を覆う。

また、前記カバー部材は、先端部が細く形成されたものである。これにより、細く形成されたカバー部材の先端部に修正材を保持する。

さらに、前記カバー部材は、透明なガラス管で形成されたものである。これにより、透明なガラス管で形成したカバー部材の先端部に修正材を保持する。

そして、前記駆動手段の動力源は、エアシリンダである。これにより、エアシリンダを動力源として駆動手段を駆動し、カバー部材を進退させる。

請求項１に係る発明によれば、カバー部材を前進させ、該カバー部材の内部にニードル管の先端部が収容された状態でカバー部材の先端部内に修正材を保持し、該修正材でニードル管の先端部を覆うようにしているので、ニードル管内の修正材が先端部で乾燥するのを防止することができる。この場合、欠陥部を修正する際には、カバー部材を後退させてニードル管の先端部を露出させればよい。これにより、ニードル管の先端部から欠陥部に修正材を安定して吐出することができる。したがって、欠陥修正作業を一時中断するときや、次の基板の欠陥修正作業に移るまでの待ち時間に、その都度、ニードル管を塗布域外に退避させ、溶剤を注入した待機容器に収容して待機させる必要がなく、その場で待機させることができるので、欠陥修正作業を効率的に行なうことができる。

また、請求項２に係る発明によれば、カバー部材の先端部を細く形成しているので、先端部に修正材を保持することが容易になる。

さらに、請求項３に係る発明によれば、カバー部材を透明なガラス管で形成しているので、ニードル管の先端部がカバー部材内部の修正材に接触している様子を外部から確認することができる。したがって、ニードル管の先端部の修正材の乾燥を確実に防止することができる。

そして、請求項４に係る発明によれば、エアシリンダを動力源としてカバー部材を進退させているので、カバー部材を進退させる駆動手段の構造が簡単となる。

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明による修正材塗布装置の実施形態を示す一部断面正面図であり、図２は図１の側面図である。この修正材装置は、基板面に形成されたパターンの欠陥部に修正材を吐出して欠陥部を修正するもので、ニードル管１と、カバー部材２と、保持部材３と、駆動手段４とからなる。

上記ニードル管１は、基板に形成されたパターンの欠陥部に修正材を適量吐出するものであり、図３に示すように両端を開口し先端部１ａを細く形成した細長状の透明なガラス管で形成され、その管内に修正材を充填することができるようになっている。このニードル管１は、例えば外径が約1mmで内径が約0.3mmのガラス管の一部を加熱しつつ、該ガラス管をその長さ方向に引っ張って先端部をテーパ状に細く形成したものであり、先端部１ａの内径が数μmのものも容易に形成することができる。

前記ニードル管１の外周面を囲ってカバー部材２が設けられている。このカバー部材２は、内部にニードル管１の先端部１ａが収容された状態にて先端部２ａ内に修正材を保持し、該修正材によってニードル管１の先端部１ａを覆って、ニードル管１内の修正材が先端部１ａで乾燥するのを防止するものであり、図３に示すように筒状をなしニードル管１の中心軸に沿って矢印Ａ，Ｂ方向に進退可能に形成されている。具体的には、例えば外径が約1.7mmで内径が1.3mmの透明なガラス管によって形成されている。これにより、カバー部材２の先端部２ａに修正材を毛管力により保持し得るようになっている。特に、カバー部材２の先端部２ａを細く絞った形状とすれば、修正材の保持がより容易になる。また、透明なガラス管を使用しているので、ニードル管１の先端部１ａがカバー部材２内の修正材によって覆われている様子を外部から確認することができる。

上記ニードル管１の後端部側を保持して保持部材３が設けられている。この保持部材３は、ニードル管１を図示省略の欠陥修正装置の本体部に着脱可能とするものである。

上記保持部材３の側面には、止め具５によって駆動手段４が取り付けられている。この駆動手段４は、カバー部材２を支持して該カバー部材２をニードル管１の中心軸に沿って進退させるものであり、エアシリンダ６と、ガイド部材７と、ガイドピン８とからなる。

上記エアシリンダ６は、駆動手段４の動力源となるものであり、エアを密閉した円筒形の容器９と、該容器９内を往復するピストン１０とから構成されている。また、ピストン１０の先端部には、ガイド部材７が取り付けられている。このガイド部材７は、上記カバー部材２の後端部２ｂ側を支持するものであり、上記ピストン１０の往復動作に連動して図１又は図２において矢印Ａ，Ｂ方向に移動するようになっている。さらに、ガイド部材７には、上記カバー部材２を間にして一対のガイドピン８が設けられている。このガイドピン８は、上記ガイド部材７を滑らかに移動させるためのものであり、矢印Ａ，Ｂ方向に延びて形成され、対応して上記保持部材３に設けられたガイド穴１１内を進退自由とされている。

次に、このように構成された修正材塗布装置を用いた欠陥修正について図４を参照して説明する。
先ず、エアシリンダ６のピストン１０に図１に示す矢印Ａ方向に空気圧を作用してピストン１０を矢印Ａ方向に移動し、図４（ａ）に示すようにカバー部材２をニードル管１の先端部１ａ側まで前進させる。そして、カバー部材２の内部にニードル管の先端部１ａを収容した状態でニードル管１の先端部１ａ側を容器１２に貯留された修正材１３中に差し入れる。これにより、ニードル管１内及びカバー部材２の内部に修正材１３が毛管現象により吸い上げられる。なお、ニードル管１内へ修正材１３を吸い上げるには、ニードル管１の後端部を負圧にして行ってもよい。

次に、図４（ｂ）に示すように、上記ニードル管１を容器１２から引き上げて、上記カバー部材２の内部にニードル管１の先端部１ａを収容させた状態で保持する。これにより、ニードル管１の先端部１ａは、カバー部材２の先端部２ａ内に保持された修正材１３によって覆われることになり、ニードル管１の先端部１ａが空気にさらされてニードル管１内の修正材１３がその先端部１ａで乾燥して固化し、修正材１３が安定して吐出できないという問題を防止することができる。

次に、欠陥部を修正する場合には、エアシリンダ６のピストン１０に図１に示す矢印Ｂ方向の空気圧を作用してピストン１０を矢印Ｂ方向に移動し、カバー部材２を図４（ｃ）に示すように矢印Ｂ方向に後退させる。これにより、ニードル管１の先端部１ａが露出する。この状態で、基板１４面に形成されたパターンの欠陥部にニードル管１の先端部１ａを位置づけ、ニードル管１の後端部に圧縮空気を導入して修正材１３に矢印Ｃ方向の陽圧を付与し、先端部１ａから欠陥部に修正材１３を吐出して欠陥部を修正する。

なお、上記実施形態においては、ニードル管１が保持部材３に１本だけ取り付けられた場合について説明したが、本発明はこれに限られず、保持部材３にニードル管１を複数本取り付けてもよい。この場合、カバー部材２は上記各ニードル管１に対応して複数本がガイド部材７に支持されることになる。

また、上記実施形態においては、カバー部材２を進退させる駆動手段４をエアシリンダ６で構成した場合について説明したが、本発明はこれに限られず、駆動手段４はアクチュエータ又はソレノイド等であってもよい。

さらに、以上の説明においては、ニードル管１及びカバー部材２がガラス製である場合について述べたが、ガラス製に限られず、金属製であってもよい。

本発明による修正材塗布装置の実施形態を示す一部断面正面図である。図１の側面図である。上記修正材塗布装置のニードル管及びカバー部材を示す断面図である。上記修正材塗布装置を用いた欠陥修正について示す説明図である。

符号の説明

１…ニードル管
１ａ…ニードル管の先端部
２…カバー部材
２ａ…カバー部材の先端部
４…駆動手段
６…エアシリンダ
１３…修正材
１４…基板

Claims

基板面に形成されたパターンの欠陥部に、両端を開口し先端部を細く形成した細長状のニードル管から該ニードル管内に充填された修正材を吐出して前記欠陥部を修正する修正材塗布装置であって、
前記ニードル管の外周面を囲い該ニードル管の中心軸に沿って進退可能に形成され、先端部内に修正材を保持し得る筒状のカバー部材と、
前記カバー部材を支持して進退させる駆動手段と、を備え、
前記カバー部材を前進させて該カバー部材の内部に前記ニードル管の先端部が収容された状態にて前記カバー部材の先端部内に修正材を保持した際、該修正材によって前記ニードル管の先端部が覆われるようにしたことを特徴とする修正材塗布装置。
前記カバー部材は、先端部が細く形成されたことを特徴とする請求項１記載の修正材塗布装置。
前記カバー部材は、透明なガラス管で形成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の修正材塗布装置。
前記駆動手段の動力源は、エアシリンダであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の修正材塗布装置。