JP5586060B2 - マイクロディスペンサ及びマイクロディスペンサへの薬液充填方法 - Google Patents
マイクロディスペンサ及びマイクロディスペンサへの薬液充填方法 Download PDFInfo
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先ず、マイクロディスペンサを使用した、例えばパターン欠陥の修正作業の直前に、図3(a)に示すように、図示省略のボトルから一定の大きさの容器7に薬液8を適量だけ取り出す。
1a…ニードル管の先端部
1b…ニードル管の後端部
1c…ニードル管の外周面
1d…ニードル管の内周面
2…キャピラリ管
2a…キャピラリ管の先端部
2b…キャピラリ管の後端部
2c…キャピラリ管の先端部側外周縁
2d…キャピラリ管の外周面
8…薬液
10…隙間
11…穴部
11a…穴部の底面
12…貫通孔
12a…貫通孔の内壁
13…治具
Claims (9)
- 本体内に充填された薬液を適量吐出するマイクロディスペンサであって、
両端部が開口し、先端部がテーパ状に細くなったニードル管と、
前記ニードル管内にその後端部の開口から挿入可能に形成され、両端部が開口し内部に前記薬液を吸引するキャピラリ管と、を備え、
前記薬液を吸引した前記キャピラリ管を、その外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間が封止されるように前記ニードル管内に挿入した状態で、前記ニードル管及び前記キャピラリ管の後端部に一定圧のエアを同時に供給可能に形成されたことを特徴とするマイクロディスペンサ。 - 前記キャピラリ管の外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間の封止は、前記キャピラリ管を、その先端部側外周縁が前記ニードル管の内周面の内径の細くなった部分に突き当たるまで前記ニードル管内に挿入して行うことを特徴とする請求項1記載のマイクロディスペンサ。
- 前記キャピラリ管の外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間の封止は、前記キャピラリ管を、その先端部が前記ニードル管の先端部側に予め吐出された前記薬液に浸かるまで前記ニードル管内に挿入して行うことを特徴とする請求項1記載のマイクロディスペンサ。
- 両端部が開口し、先端部がテーパ状に細くなったニードル管と、該ニードル管内にその後端部の開口から挿入可能に形成され、両端部が開口したキャピラリ管と、を備えたマイクロディスペンサへの薬液充填方法であって、
前記キャピラリ管内に薬液を吸引し、
前記薬液を吸引した前記キャピラリ管を、その外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間が封止されるように前記ニードル管内に挿入する、
ことを特徴とするマイクロディスペンサへの薬液充填方法。 - 前記キャピラリ管の外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間の封止は、前記キャピラリ管を、その先端部側外周縁が前記ニードル管の内周面の内径の細くなった部分に突き当たるまで前記ニードル管内に挿入して行うことを特徴とする請求項4記載のマイクロディスペンサへの薬液充填方法。
- 前記キャピラリ管の外周面と前記ニードル管の内周面との間の隙間の封止は、前記キャピラリ管を、その先端部が前記ニードル管の先端部側に予め吐出された前記薬液に浸かるまで前記ニードル管内に挿入して行うことを特徴とする請求項4記載のマイクロディスペンサへの薬液充填方法。
- 前記ニードル管の先端部側に予め吐出された薬液は、前記薬液を充填した前記キャピラリ管を前記ニードル管内に挿入し、前記キャピラリ管の後端部に一定圧のエアを供給して前記薬液の一部を前記ニードル管の先端部側に吐出したものであることを特徴とする請求項6記載のマイクロディスペンサへの薬液充填方法。
- 前記キャピラリ管内には、前記薬液を毛細管現象により吸引又は陰圧吸引することを特徴とする請求項4〜7のいずれか1項に記載のマイクロディスペンサへの薬液充填方法。
- 前記ニードル管内への前記キャピラリ管の挿入は、前記ニードル管の後端部の外周面に外側から嵌合する穴部を形成し、該穴部の底面の中心部に前記穴部側から外方に向かってテーパ状に広がり、前記穴部側の内径が前記ニードル管の後端部の開口の内径と略等しい略逆円錐形の貫通孔を形成した治具を前記ニードル管の後端部側に装着し、前記治具の前記貫通孔の内壁に前記キャピラリ管の先端部側外周縁を沿わせて前記ニードル管内に案内することによって行われることを特徴とする請求項4〜8のいずれか1項に記載のマイクロディスペンサへの薬液充填方法。
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