JP2007301023A - 超音波探触子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波探触子2を、超音波と電気信号を相互に変換する振動子12を複数配列して形成し、振動子12は、基板15と、基板15上に設けられた複数の振動要素16で構成する。そして、振動要素16は、基板15上に設けられた振動膜20と、振動膜20と基板15との間に空間21を形成して振動膜20を支持する支持部22で構成し、支持部22の内部に、振動膜20と基板15との間で伝播する超音波を抑制する低音響インピダンス部25を設ける。
【選択図】 図5
Description
図1に示すように、超音波診断装置1は、駆動信号を超音波に変換して被検体に送波すると共に、被検体から発生した超音波を受波して電気信号に変換する振動子が複数配列された超音波探触子2と、超音波探触子2に駆動信号を供給する送信手段3と、超音波探触子2に供給される駆動信号に重畳して直流バイアス電圧を印加するバイアス手段4と、超音波探触子2から出力される電気信号(以下、反射エコー信号という)を処理する受信手段6と、受信手段6から出力される反射エコー信号に対しディジタル整相及び加算処理を施す整相加算手段7と、整相加算手段7から出力される反射エコー信号に基づき超音波像を再構成する画像処理手段8と、画像処理手段8から出力される超音波像を表示する表示手段9などから構成されている。また、送信手段3、バイアス手段4、受信手段6、整相加算手段7、画像処理手段8、表示手段9は、それぞれ制御手段10と接続されており、制御手段10から出力される制御指令に基づいて制御されている。
R=│(Z1―Z2)/(Z1+Z2)│
つまり、ある媒質から別のある媒質へ超音波が進行した場合の境界面での超音波の反射率は、両媒質の音響インピダンスの比率に依存し、両媒質間の音響インピダンスの比率の違いが大きければ大きい程その両媒質の境界面で超音波は反射する。
2 超音波探触子
12 振動子
15 基板
16 振動要素
20 振動膜
21 空間
22 支持部
25 低音響インピダンス部
39 吸音部
41 タングステン粉体
45 ベース膜
Claims (8)
- 超音波と電気信号を相互に変換する振動子を複数配列してなり、前記振動子は、基板と、該基板上に設けられた複数の振動要素を備え、前記振動要素は、前記基板上に設けられた振動膜と、該振動膜と前記基板との間に空間を形成して前記振動膜を支持する支持部とを備え、前記支持部の内部に、前記振動膜と前記基板との間を伝播する超音波を抑制する遮音部が設けられてなることを特徴とする超音波探触子。
- 前記遮音部は、前記基板に隣接して設けられてなることを特徴とする請求項1に記載の超音波探触子。
- 前記遮音部は、前記支持部と前記基板のいずれよりも低い音響インピダンスを有する低音響インピダンス部、又は前記超音波を吸音する吸音部であることを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波探触子。
- 前記低音響インピダンス部は、空間、又は金属、ガラス、セラミック、フェライトを基材とする多孔質部材であることを特徴とする請求項3に記載の超音波探触子。
- 前記吸音部は、金属、ガラス、セラミック、フェライトを基材とする多孔質部材、又は前記多孔質部材に金属の粉体を混在させた部材であることを特徴とする請求項3に記載の超音波探触子。
- 超音波と電気信号を相互に変換する振動子を複数配列してなり、前記振動子は、基板と、該基板上に設けられた複数の振動要素を備え、前記振動要素は、前記基板上に設けられた振動膜と、該振動膜と前記基板との間に空間を形成して前記振動膜を支持する支持部とを備え、前記支持部の内部の前記基板側に、前記支持部と、前記基板のいずれよりも低い音響インピダンスを有する低音響インピダンス部が設けられ、前記支持部の内部であって前記低音響インピダンス部の前記基板に対向する側に、前記振動膜と前記基板との間を伝播する超音波を吸音する吸音部が設けられてなることを特徴とする超音波探触子。
- 超音波と電気信号を相互に変換する振動子を複数配列してなり、前記振動子は、基板と、該基板上に設けられたベース膜と、該ベース膜上に設けられた複数の振動要素を備え、前記振動要素は、前記ベース膜上に設けられた振動膜と、該振動膜と前記ベース膜との間に空間を形成して前記振動膜を支持する支持部とを備え、前記ベース膜の内部に、前記振動膜と前記基板との間を伝播する超音波を抑制する遮音部が設けられてなることを特徴とする超音波探触子。
- 前記遮音部は、前記ベース膜の前記支持部と前記基板に挟まれた部分に設けられ、前記遮音部の端部は、前記振動膜と前記ベース膜との間に形成された空間の下部にまで伸長されてなることを特徴とする請求項7に記載の超音波探触子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009069281A1 (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Hitachi, Ltd. | 超音波探触子、超音波撮影装置 |
JP2011167021A (ja) * | 2010-02-14 | 2011-08-25 | Canon Inc | 静電容量型電気機械変換装置 |
WO2013008547A1 (ja) | 2011-07-11 | 2013-01-17 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波エレメントおよび超音波内視鏡 |
WO2015053014A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 三菱重工業株式会社 | 探触子、超音波探傷装置及び超音波探傷制御方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005032374A1 (ja) * | 2003-10-02 | 2005-04-14 | Hitachi Medical Corporation | 超音波探触子、超音波撮像装置および超音波撮像方法 |
JP2005512478A (ja) * | 2001-12-19 | 2005-04-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 小型機械の超音波変換器及びその組立方法 |
JP2005295553A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | General Electric Co <Ge> | センサ・アレイの素子を絶縁する方法及び手段 |
JP2006100717A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法およびその装置 |
JP2007274620A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fuji Xerox Co Ltd | アレイ探触子、アレイ探触子デバイス、およびアレイ探触子の製造方法 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005512478A (ja) * | 2001-12-19 | 2005-04-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 小型機械の超音波変換器及びその組立方法 |
WO2005032374A1 (ja) * | 2003-10-02 | 2005-04-14 | Hitachi Medical Corporation | 超音波探触子、超音波撮像装置および超音波撮像方法 |
JP2005295553A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | General Electric Co <Ge> | センサ・アレイの素子を絶縁する方法及び手段 |
JP2006100717A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法およびその装置 |
JP2007274620A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fuji Xerox Co Ltd | アレイ探触子、アレイ探触子デバイス、およびアレイ探触子の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009069281A1 (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Hitachi, Ltd. | 超音波探触子、超音波撮影装置 |
JP5208126B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2013-06-12 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子、超音波撮影装置 |
JP2011167021A (ja) * | 2010-02-14 | 2011-08-25 | Canon Inc | 静電容量型電気機械変換装置 |
WO2013008547A1 (ja) | 2011-07-11 | 2013-01-17 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波エレメントおよび超音波内視鏡 |
US9636710B2 (en) | 2011-07-11 | 2017-05-02 | Olympus Corporation | Ultrasound element and ultrasound endoscope |
WO2015053014A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 三菱重工業株式会社 | 探触子、超音波探傷装置及び超音波探傷制御方法 |
US10261055B2 (en) | 2013-10-07 | 2019-04-16 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Probe, ultrasonic testing apparatus, and ultrasonic testing control method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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