JP2007300081A - 接着剤付き半導体ウエハ、積層物及びこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る接着剤付き半導体ウエハの製造方法は、基材1と基材1上に設けられた接着層2とを備える接着フィルム10を、減圧下で、半導体ウエハ5の回路面5a上にラミネートするラミネート工程を含む。
【選択図】図2
Description
図1に示されるように、接着フィルム10aを準備する。図1は、接着フィルムの一例を模式的に示す断面図である。図1に示される接着フィルム10aは、基材1と、基材1上に設けられた接着層2と、接着層2上に設けられたカバー3とを備える。接着フィルム10aはカバー3を備えなくてもよい。以下の工程では、カバー3を備えない接着フィルム10(図2参照)を用いる。
接着フィルム準備工程の後、図2に示されるように、基材1と接着層2とを備える接着フィルム10を、減圧下かつ150℃以下で、半導体ウエハ5の回路面5a上にラミネートする。接着フィルム10は、接着層2と回路面5aとが対向するようにラミネートされる。ここで、「減圧下」とは例えば300Pa以下を意味する。これにより、図3に示される接着剤付き半導体ウエハ20が得られる。図2は、本実施形態に係る接着剤付き半導体ウエハの製造方法における一工程を示す断面図である。図3は、本実施形態に係る接着剤付き半導体ウエハを模式的に示す断面図である。ラミネート工程は、例えば、真空ラミネータ16を用いて行われる。ラミネート工程では、真空ラミネータ16の真空チャンバー12内を減圧し、真空チャンバー12内に設置され半導体ウエハ5を載置するためのステージ14の温度を150℃以下に設定する。
ラミネート工程の後、図4に示されるように、フォトマスク30及び基材1を介して接着層2に光Lを照射する。これにより、接着層2に露光を施す。図4は、本実施形態に係る接着剤付き半導体ウエハの製造方法における一工程を示す断面図である。基材1は、光Lに対する光透過性を有する。接着層2は、光Lに対する感光性を有する。光Lは平行光であることが好ましい。光Lは波長400nm以下の光を含むことが好ましい。フォトマスク30は、光Lを透過させる光透過部30aと、光Lを遮断する遮光部30bとを有する。
露光工程の後、基材1を接着層2から剥離し、アルカリ現像液を用いて、接着層2を現像する。これにより、図5に示されるように、半導体ウエハ5の回路面5a上に形成されたパターン2aを有する接着剤付き半導体ウエハ40が得られる。図5は、本実施形態に係る接着剤付き半導体ウエハを模式的に示す断面図である。パターン2aは、開口2bを有する。例えば接着層2がネガ型の感光性樹脂からなる場合、アルカリ現像液は、光Lが照射されなかった部分(未露光部)を溶解させる。その結果、開口2bが形成される。アルカリ現像液の濃度等は特に制限されない。パターン2aを形成した後、純水を用いてパターン2aを洗浄してもよい。洗浄の際には、純水と超音波とを併用してもよい。
現像工程の後、図6に示されるように、接着剤付き半導体ウエハ40と被着体6とを減圧下で貼り合わせる。具体的には、接着剤付き半導体ウエハ40の回路面5aと被着体6とを貼り合わせる。これにより、図7に示される積層物50が得られる。図6は、本実施形態に係る積層物の製造方法における一工程を示す断面図である。図7は、本実施形態に係る積層物を模式的に示す断面図である。貼り合わせ工程は、例えば、真空ラミネータ16を用いて行われる。貼り合わせ工程では、真空ラミネータ16の真空チャンバー12内を減圧し、真空チャンバー12内に設置され半導体ウエハ5を載置するためのステージ14の温度を200℃以下に設定することが好ましい。
波長400nm以下の光を少なくした環境において、真空ラミネータTEAM−100(タカトリ(株)製)を用いて、アルカリ現像可能な接着フィルムDF−OP1(接着層厚み50μm)(日立化成工業(株)製)を、6インチの半導体ウエハの表面上にラミネートした。具体的には、まず、接着フィルムDF−OP1のカバー(ポリエチレンフィルム)を剥がして得られる接着フィルムを真空ラミネータTEAM−100にセットした。その後、接着フィルムを半導体ウエハ外径より1.5mm小さいサイズに切断した後、吸着し、真空チャンバー内へ搬送した。一方、半導体ウエハも真空チャンバー内のホットステージにセットし、真空チャンバーを閉じて、真空チャンバー内の圧力が100Paとなるように減圧した。ホットステージの温度は80℃とした。続いて、真空チャンバー内において半導体ウエハ上に接着フィルムをラミネートした。その後、真空チャンバー内の圧力を常圧に戻して接着フィルム付き半導体ウエハを取り出した。このようにして、ラミネートを完了した。
波長400nm以下の光を少なくした環境において、ロールラミネータDAM812M(タカトリ(株)製)を用いて、アルカリ現像可能な接着フィルムDF−OP1(日立化成工業(株)製)を、6インチの半導体ウエハの表面上にラミネートした。具体的には、まず、接着フィルムDF−OP1のカバー(ポリエチレンフィルム)を剥がして得られるロール状接着フィルムをロールラミネータにセットした。一方、半導体ウエハもホットステージにセットした。ホットステージの温度は80℃とした。続いて、10N/cm、5mm/secの条件で、半導体ウエハ上に接着フィルムをラミネートした。このようにして、ラミネートを完了した。
接着フィルムの外径を半導体ウエハの外径と同じにしたこと以外は実施例1と同様にして実験を行った。その結果、接着フィルム付き半導体ウエハの表面を顕微鏡により観察したところ、気泡の巻き込みは見られなかった。また、パターン形成された接着フィルム付き半導体ウエハとガラス板とを貼り合わせてなる積層物において、接着フィルムとガラス板との間に気泡の巻き込みは見られなかった。また、接着フィルムとガラス板との未接着部分を少なくすることにより、接着フィルムとガラス板とを均一に密着することができた。しかしながら、半導体ウエハエッジ部上の接着フィルムに剥がれが生じた。
Claims (7)
- 基材と前記基材上に設けられた接着層とを備える接着フィルムを、減圧下で、半導体ウエハの回路面上にラミネートするラミネート工程を含む、接着剤付き半導体ウエハの製造方法。
- 前記接着フィルムの外径が、前記半導体ウエハの外径より小さい、請求項1に記載の接着剤付き半導体ウエハの製造方法。
- 前記接着層が感光性を有する、請求項1又は2に記載の接着剤付き半導体ウエハの製造方法。
- 前記基材は光透過性を有し、
前記ラミネート工程の後、フォトマスク及び前記基材を介して前記接着層に露光を施す露光工程と、
前記露光工程の後、前記基材を前記接着層から剥離し、アルカリ現像液を用いて、前記接着層を現像する現像工程と、
を更に含む、請求項3に記載の接着剤付き半導体ウエハの製造方法。 - 請求項4に記載の接着剤付き半導体ウエハの製造方法によって得られる接着剤付き半導体ウエハと、被着体とを減圧下で貼り合わせる工程を含む、積層物の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の接着剤付き半導体ウエハの製造方法によって得られる、接着剤付き半導体ウエハ。
- 請求項5に記載の積層物の製造方法によって得られる、積層物。
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