JP2007294931A - 光ファイバ増幅モジュール - Google Patents

光ファイバ増幅モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2007294931A
JP2007294931A JP2007085182A JP2007085182A JP2007294931A JP 2007294931 A JP2007294931 A JP 2007294931A JP 2007085182 A JP2007085182 A JP 2007085182A JP 2007085182 A JP2007085182 A JP 2007085182A JP 2007294931 A JP2007294931 A JP 2007294931A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
light
input
amplification
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007085182A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5331950B2 (ja
Inventor
Motoki Kakui
素貴 角井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2007085182A priority Critical patent/JP5331950B2/ja
Publication of JP2007294931A publication Critical patent/JP2007294931A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5331950B2 publication Critical patent/JP5331950B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

【課題】 デューティ比の低い光を増幅する場合であっても安定して高利得を得るための構造を備えた光ファイバ増幅モジュールを提供する。
【解決手段】 光ファイバ増幅モジュール(1)は、増幅用光ファイバとして、入力コネクタ(11)から出力コリメータ(12)へ向かって順に配置された、YbDF(41)、YbDF(42)及びYbDF(43)を備える。YbDF(41)とYbDF(42)の間にはバンドパスフィルタ(50)が配置されており、光受動部品のみの構成又はフィードバック構成の制御手段がYbDF(41)における入力光に対する利得に上限を与えるよう機能することにより、バンドパスフィルタ(50)の破壊等、YbDF(43)よりも上流側に位置する光部品の性能劣化が回避される。
【選択図】 図1

Description

この発明は、入力光を増幅用光ファイバで増幅する光ファイバ増幅モジュールに関するものである。
光ファイバレーザ光源は、信頼性が高く、かつ、小型の光源として知られ、特に、導波路構造を有することからビーム品質が良好である。このことから、光ファイバレーザ光源は、電子・機械分野における加工、医療、計測、光通信など様々な用途に広く普及している。
特に、種光源から出力されたパルス種光を光ファイバ増幅モジュールにより増幅するMOPA(Master Oscillation Power Amplifier)構成の光ファイバレーザ光源は、現在普及しているQスイッチ構成の光源と比較して、ファイバ長による伝搬遅延の影響によるパルス幅広がりなどが見られない。すなわち、上記光ファイバ増幅モジュールは、短パルス化や高繰返し周波数化に有利なことから、微細加工や計測の用途への普及が期待される。ただし、種光源として高速変調可能な半導体レーザ光源を使用して、加工用など高出力が要求される用途に適用される場合、光ファイバ増幅モジュールには50dB以上の高利得が要求される。光ファイバ増幅モジュールにおける増幅作用は、通常、希土類元素などが添加された増幅用光ファイバにより実現されるので、原理的には高利得が実現され易い。
特許3306700号公報 F. D. Teodoro, et al,"High-power pulsed fiber source at 1567nm",Proc. Photonic WEST2005
発明者は、従来技術について詳細に検討した結果、以下のような課題を発見した。すなわち、光ファイバ増幅モジュールにおいて、増幅された自然放出光(ASE)の混入成分比率が高まり、出力パルス列の消光比が劣化すると、ASE光で当該光ファイバ増幅モジュールの出力が飽和してしまい、高利得が得られにくくなる。そのため、被増幅光の伝搬経路上に誘電体多層膜バンドパスフィルタを配置し、該誘電体多層膜バンドパスフィルタにより被増幅光のみを選択することが望ましい。なお、光通信用など信号光レベルが低い用途と比べると、レーザ加工用途等ではパルスピークが高いため、誘電体多層膜を破壊する可能性が高い。例えば、非特許文献1には、光ファイバブラッググレーティング及び光サーキュレータを組み合わせた方式なども提案されている。
特許文献1に記載されたように、光ファイバ増幅モジュールのうち光フィルタの上流部までの利得又は光パワーレベルを一定制御することで、光フィルタの破壊を防止することも考えられる。しかしながら、加工用レーザなどでは、デューティ比が1/100〜1/10000と非常に低いとき、パルスピークの検出が困難であるため、特許文献1に記載されたようなアクティブ制御は、時定数などの制約から誤動作の危険性が高い。
また、増幅用光ファイバによる高利得は、逆に、動作状態によっては高い利得が出過ぎてしまい、自らがモード競合した発振を起こしてしまう。この場合、光サージなどの出力により当該光ファイバ増幅モジュールを構成する光部品を破壊する事態が懸念される。特に、高出力を実現するために広く用いられるクラッド励起方式では、励起光と被増幅光との分離がされていないケースも多い。この場合、コアを伝搬すべき被増幅光やASE光による光サージが、励起光が伝搬する内クラッドの伝搬モードに結合してしまい、励起光源の破壊につながる危険性がある。したがって、クラッド励起された部分の利得はあまり高くしないことが望ましい。一般的には20dB程度が上限の目安と言われる。
この発明は上述のような課題を解決するためになされたものであり、デューティ比の低い光を増幅する場合であっても安定して高利得を実現するための構造を備えた光ファイバ増幅モジュールを提供することを目的としている。
この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、該入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、複数の増幅用光ファイバ(少なくとも3本の増幅用光ファイバ)と、光フィルタと、該光フィルタの破壊等を回避するよう増幅利得を制御する第1制御手段を、少なくとも備える。なお、デューティ比は「パルス幅/パルス周期」で定義される。
複数の増幅用光ファイバは、入力端から出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置され、それぞれが入力光を増幅する。光フィルタは、入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるための光部品である。また、光フィルタは、複数の増幅用光ファイバのうち、入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、該初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に配置される。特に、第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を第1所定値以下となるように設定する。
この発明に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、第1制御手段は、光受動部品のみの構成であっても、また、フィードバック構成のいずれであってもよい。例えば、初段の増幅用光ファイバの吸収条長積は、温度調整された環境下において特定値に最適化されている状態で、第1制御手段は、該初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを一定に維持するよう、該励起光を供給する励起光源を制御する。このとき、増幅用光ファイバ周辺の環境温度は、特定範囲に収まるよう制御されているのが好ましい。このような温度調節は、サーミスタによる温度検知を行いながら、ペルチェ素子に対してフィードバック制御を行う方式が考えられるが、実質的にヒートシンクとなり得る良好な熱伝導性を有する材質の上に増幅用光ファイバを搭載し、このヒートシンクのをファンで強制冷却する方式などでもよい。なお、このように初段の増幅用光ファイバの吸収条長積及び励起光パワーの制御により該初段の増幅用光ファイバにおける利得を抑制する構成では、該初段の増幅用光ファイバの吸収条長積及び励起光パワーそれぞれを、予め最適値に設定しておくことによっても第1制御手段は実現されえる。
また、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、第1制御手段は、フィードバック構成にて実現可能であり、この場合、該第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバから出力されるASE光のうち入力光以外の波長成分をモニタし、該モニタ値に応じて初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを制御するための構成を備える。さらに、第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバの光入力端及び光出力端の双方配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射するための2つの反射手段を含んでもよい。なお、上記所定値は、特定の値であっても数値範囲であってもよい。また、第1制御手段による制御は常時行われても、所定値を越えた場合にだけ制御を行ってもよい。
この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、複数の増幅用光ファイバのうち、出力端に最も近い位置に配置された最終段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、第2所定値以下となるように設定する第2制御手段を備えてもよい。なお、この第2所定値は、上述のように20dB程度に設定されるのが一般的であり、通常、第1所定値よりも小さい。具体的には、最終段の増幅用光ファイバを挟むように配置された、入力光を透過する一方、入力光とは異なる特定波長成分を選択的に反射させるための2つの反射手段により、第2制御手段は実現可能である。このとき、2つの反射手段のうち、入力光の伝搬方向から見て下流側に位置する反射手段は、最終段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が伝搬する、該最終段の増幅用光ファイバと出力端との間の空間中に配置される。また、選択的に反射される特定波長成分は、入力光(被増幅光)に含まれる波長成分のいずれよりも短い波長であるのが好ましい。
さらに、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、該入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、それぞれイットリビウム(Yb)が添加された複数の増幅用光ファイバ(少なくとも3本の増幅用光ファイバ)と、光フィルタを備えてもよい。この場合、複数の増幅用光ファイバは、入力端から出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置される。また、光フィルタは、入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるため、複数の増幅用光ファイバのうち、入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、該初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に配置されている。特に、このような構造を備えた光ファイバ増幅モジュールにおいて、初段の増幅用光ファイバは、該初段の増幅用光ファイバ内を伝搬する光に対して1000dB以下の非飽和吸収条長積を有するのが好ましい。
なお、この発明に係る各実施形態は、以下の詳細な説明及び添付図面によりさらに十分に理解可能となる。これら実施形態は単に例示のために示されるものであって、この発明を限定するものと考えるべきではない。
また、この発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明から明らかになる。しかしながら、詳細な説明及び特定の事例はこの発明の好適な実施形態を示すものではあるが、例示のためにのみ示されているものであって、この発明の思想及び範囲における様々な変形および改良はこの詳細な説明から当業者には自明であることは明らかである。
以上のようにこの発明によれば、デューティ比の低い光(被増幅光)を増幅する場合であっても安定して高利得が実現され得る。
以下、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの各実施形態を、図1〜図12を参照しながら詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素、同一部位には同一符号を付して重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
図1は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第1実施形態の構成を示す図である。図1に示された第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1は、入力コネクタ11に入力した光を増幅し、この増幅光を出力コリメータ12からコリメート光として出力する。当該光ファイバ増幅モジュール1は、入力コネクタ11から出力コリメータ12へ向かって順に配置された、光アイソレータ21、光カプラ31、YbDF41、光アイソレータ22、バンドパスフィルタ50、光カプラ32、YbDF42、光アイソレータ23、光ファイバブラッググレーティング60、コンバイナ70及びYbDF43を備える。さらに、光ファイバ増幅モジュール1は、光カプラ31に接続された励起光源81、光カプラ32に接続された偏波合成器33、及び励起光源82、83を備えるとともに、コンバイナ70に接続された複数の励起光源84をも備える。
YbDF41〜43それぞれは、石英ガラスをホストガラスとし、光活性物質としてYb元素を光導波領域に添加された増幅用光ファイバ(Yb-Doped Fiber)である。特に、最後段に設けられたYbDF43は、図2の領域(a)に示されたように、Yb元素を添加されるとともに被増幅光が伝搬するコア43a(最大屈折率n1)と、該コア43aを取り囲むクラッド領域43bを備える。クラッド領域43bは、複数の後段励起光源72からの励起光が伝搬する内側クラッド43b1(屈折率n2(<n1))と、該内側クラッド43b1を取り囲む外側クラッド43b2(屈折率n3(<n2))から構成されている。なお、図2の領域(b)は、YbDF43の屈折率プロファイル430であり、該屈折率プロファイル430において、領域431は、コア43aの径方向に沿った各部位の屈折率、領域432は内側クラッド43b1の径方向に沿った各部位の屈折率、領域433は外側クラッド43b2の径方向に沿った各部位の屈折率を示す。
この第1実施形態において、初段のYbDF41における利得は、受動光部品のみで構成される第1制御手段により、第1所定値以下となるように制御される。すなわち、この第1実施形態において、第1制御手段は、初段のYbDF41の吸収条長積及び励起光源81から出力される励起光のパワーそれぞれを、予め最適値に設定しておくことにより実現される。一方、最終段のYbDF43における利得も、第2制御手段により、第2所定値以下となるように制御される。なお、この第2制御手段は、最終段のYbDF43の両端に配置された反射手段により実現される。なお、この第2所定値は、上述のように20dB程度に設定されるのが一般的であり、通常、第1所定値よりも小さい。
励起光源81は、YbDF41へ供給すべき励起光(975nm波長帯、パワー300mW級)を出力する単一モード励起LDである。励起光源82、83は、YbDF42へ供給すべき励起光(975nm波長帯、パワー500mW級)を出力する単一モード励起LDである。複数の励起光源84は、YbDF43へ供給すべき励起光(915nm波長帯)を出力する多モード励起LDである。これらYbDF41〜43それぞれは、1064nm波長帯の光を増幅することができる。
光アイソレータ21〜23それぞれは、入力コネクタ11から出力コリメータ12へ向かう順方向に光を通過させる一方、逆方向には光を通過させない。光カプラ31は、励起光源81から到達した励起光をYbDF41へ出力するととともに、光アイソレータ21から到達した入力光(被増幅光)もYbDF41へ出力する。偏波合成器33は、励起光源82、83から出力された励起光を偏波合成する。さらに、偏波合成器33は、このように合成された励起光を光カプラ32へ出力する。光カプラ32は、偏波合成器33から到達した励起光をYbDF42へ出力するととともに、光フィルタ(バンドパスフィルタ)50から到達した被増幅光もYbDF42へ出力する。コンバイナ70は、光ファイバブラッググレーティング60から到達した被増幅光をYbDF43へ出力するとともに、複数の励起光源84から到達した励起光もYbDF43へ出力する。
バンドパスフィルタ50は、初段のYbDF41と第2段のYbDF42との間、更に具体的には光アイソレータ22と光カプラ32との間に配置される。このバンドパスフィルタ50は、光アイソレータ22から到達した光のうち被増幅光を選択的に光カプラ32へ透過させる一方、他の波長成分を遮断する。バンドパスフィルタ50は例えば誘電体多層膜を含む。光ファイバブラッググレーティング60は、光アイソレータ23とコンバイナ70との間に配置されており、被増幅光と異なる特定波長成分を選択的に反射させる一方、他の波長成分を透過させる。
図3は、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1に含まれる出力コリメータ12の構成を説明するための図である。この図3には、出力コリメータ12を構成する複数の部品が分解された状態で示されている。出力コリメータ12は、光ファイバ120、エンドキャップ121、レンズ122、反射膜123及び光アイソレータ124を含む。この第1実施形態において、上述の第2制御手段は、光ファイバブラッググレーティング60と反射膜123により構成されている。
光ファイバ120の一端は最終段のYbDF43と光学的に接続されており、光ファイバ120の他端にエンドキャップ121が設けられている。レンズ122は、エンドキャップ121から出力された光をコリメートする。反射膜123は、レンズ122によりコリメートされて出力された光を入力して、光ファイバブラッググレーティング60の特定反射波長と同じ波長成分を反射する一方、他の波長成分を透過させる。この反射膜123は例えば誘電体多層膜から構成される。光アイソレータ124は、反射膜123から到達した光を外部へ通過させるが、逆方向には光を通過させない。
最終段のYbDF43の両端に設けられている光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123は、被増幅光と異なる特定波長成分を選択的に反射させる一方、他の波長成分を透過させる光部品である。これら光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123により構成された光共振器がYbDF43における利得を所定値以下となるように制御する。すなわち、この第1実施形態における第2制御手段は、光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123により構成される。下流側に位置する反射膜123は、YbDF43から出力された被増幅光がエンドキャップ121から出力した後の空間に設けられている。また、光ファイバブラッググレーティング60反射膜123により反射される特定波長成分は、被増幅光の波長より短いのが好ましい。
当該光ファイバ増幅モジュール1は以下のように動作する。すなわち、励起光源81から出力された励起光(975nm波長帯)は、光カプラ31を経て順方向からYbDF41へ供給される。励起光源82、83から出力された励起光(975nm波長帯)は、偏波合成器33により偏波合成される。そして、このように偏波合成された励起光は、光カプラ32を経て順方向からYbDF42へ供給される。複数の励起光源84から出力された励起光(915nm波長帯)は、コンバイナ70を経て順方向からYbDF43へ供給される。
入力コネクタ11に入力した被増幅光(波長1064nm)は、光アイソレータ21及び光カプラ31を経てYbDF41に入力され、このYbDF41において増幅される。YbDF41において増幅された光は、光アイソレータ22、バンドパスフィルタ50及び光カプラ32を経てYbDF42に入力され、このYbDF42においても増幅される。YbDF42において増幅され光は、光アイソレータ23、光ファイバブラッググレーティング60及びコンバイナ70を経てYbDF43に入力され、このYbDF43において更に増幅される。
YbDF43において増幅された光は、最終的に出力コリメータ12によりコリメートされ、当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。出力コリメータ12において、YbDF43から出力された光は、光ファイバ120及びエンドキャップ121を経て空間に出力される。この出力光は、レンズ122によりコリメートされた後、該コリメート光が反射膜123光アイソレータ124を経て当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。
すなわち、当該光ファイバ増幅モジュール1では、入力コネクタ11を介して入力された被増幅光がYbDF41〜43により増幅され、該増幅光が出力コリメータ12からコリメート光として当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。例えば、パルス変調されたYAGレーザやLDなどが種光源として入力コネクタ11に結合され、出力コリメータ12から出力された光は加工や計測に使われる。
図4は、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1に含まれる増幅用光ファイバのサンプルとして、上記YbDF41〜43それぞれの諸元を纏めた表である。なお、YbDF41は、250dB/mの非飽和吸収ピークと、2.4μmのコア径と、125μmのクラッド径を有する。YbDF42は、180dB/mの非飽和吸収ピークと、4.0μmのコア径と、125μmのクラッド径を有する。YbDF43は、二重クラッド構造を有し、9dB/mの非飽和吸収ピークと、15.0μmのコア径と、125μmのクラッド径(内側クラッド径)を有する。YbDF43のみ非飽和吸収ピークが低いが、これはコア励起ではなくクラッド励起を想定しているためである。YbDF43のクラッド径とは内側クラッド径を示す。YbDF43では、内側クラッド43b1の外側に屈折率の低い樹脂の被覆(外側クラッド43b2)が設けられ、クラッド励起を可能にしている。また、バンドパスフィルタ50の半値全幅は3nmである。
種光源として最も高速変調が可能で安価なLDが適用された場合、高速変調可能な電流は100mA程度である。その結果、LDから出力される種光のパルスピークは精々20〜30mWであることが多い。また、加工用レーザでは、パルス幅は10ns〜100nsであって、繰返し周波数は10kHz〜100kHzの範囲に設定されることが殆どである。例えば、パルス幅10nsであって繰返し周波数10kHzであるとき、デューティ比は最小値(1/10000)となる。また、パルス幅100nsであって繰返し周波数100kHzであるとき、デューティ比は最大値(1/100)となる。なお、デューティ比は「パルス幅/パルス周期」で定義される。種光源のピーク値が30mWのとき、種光源から出力される種光の平均光パワーは理想的には−25dBm〜−5dBmの範囲で変化する。
図5及び図6それぞれは、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1における光レベルの長手方向分布を示すグラフである。また、図7は、比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。比較例に係る光ファイバ増幅モジュールの構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1の構成からバンドパスフィルタ50が除かれている。図5〜図7それぞれには、被増幅光のレベル分布(signal)、順方向の励起光のレベル分布(Pump-f)、逆方向の励起光のレベル分布(Pump-b)、順方向のASE光のレベル分布(ASE-f)、及び、逆方向のASE光のレベル分布(ASE-b)が示されている。図5及び図7には、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合が示されている。図6には、入力コネクタ11に入力される被増幅光の平均光パワーが−5dBmである場合が示されている。
図5に示されたように、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1において、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは2Wであり、デューティ比が1/10000である。したがって、この場合の出力パルスピーク値は20kWとなる。一方、図6に示されたように、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1において、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−5dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは10Wを超え、デューティ比が1/100である。したがって、この場合の出力パルスピーク値は1kWとなる。いずれの場合も、パルスエネルギーは0.1mJを超えるので、マーキングなどの加工を行うことができる。
これに対して、図7に示されたように、バンドパスフィルタ50が取り除かれた比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは7dB低くなる。すなわち、パルスピークパワーは4kW止まりで、パルスエネルギーとしては0.04mJとなり、用途は極めて限定される。
しかしながら、一般に、バンドパスフィルタは、誘電体多層膜で構成されており、ピークパワーの高いパルス光を入力されると破壊する可能性が極めて高い。市販のバンドパスフィルタの最大入力パワー許容値は0.5W〜1W程度である。したがって、入力コネクタ11から光アイソレータ22の出口に至るまでの利得は、常に15dB(=1W/30mW)程度であることが望ましい。
このためには、特許文献1に記載されているように初段のYbDF41について自動利得一定制御(AGC)をすることも考えられる。しかしながら、低いデューティ比を想定した場合、ピークパワーのみの検出が困難でかつ制御回路への帰還制御の時定数なども問題となり、AGCの適用は難しい。その対策として、入力される被増幅光の平均光パワーの全範囲(−25dBm〜−5dBm)において小信号利得状態になるように、YbDF41について励起パワーとYb濃度及び長さ、場合によっては被増幅光波長を最適化する方式が考えられる。具体的には、YbDF41の非飽和吸収条長ピークは1000dB以下であるのが望ましい。
光活性物質としてEr元素が光導波領域に添加された増幅用光ファイバ(EDF:Erbium-Doped Fiber)の場合、励起寿命は10msと長い。そのため、図8に示されたように、入力される被増幅光のパワーが5dBmにも達してしまうと、利得の飽和が始まり、−25dBm〜−5dBmのダイナミックレンジいのける利得の大きさは、非特許文献2に記載された波長1567nmといえども大幅に変動する。これに対して、YbDFの場合、励起寿命が1ms前後と短いので、入力される被増幅光のパワーが−5dBmに達しても、小信号利得状態を維持することが可能である。なお、図8は、EDFの利得スペクトルである。また、図8には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。
図9の領域(a)は、初段のYbDF41の利得スペクトルであり、図9の領域(b)その一部領域の拡大図である。波長1064nmでの利得は20dBである。入力コネクタ11から光アイソレータ22まで、光アイソレータ2個分と少なくとも4箇所の融着接続点とが含まれる。ここで、1064nm波長帯における光アイソレータ挿入損の仕様は2dB/個であり、融着ロスが1箇所あたり0.2dB〜0.4dB程度であることを考えると、入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBm〜−5dBmの範囲であれば、この間の利得は15dB程度に保たれることが判る。なお、図9の領域(a)及び領域(b)には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。
バンドパスフィルタ50は初段のYbDF41の直後のみに挿入されるのが好ましい。この理由は、バンドパスフィルタ50の最大入力パワーによる制約があること、及び、最終段のクラッド励起されるYbDF43の利得一定化に寧ろ有利であることに因る。後者の理由については、図10に実例が示されている。
図10は、最終段のYbDF43の利得スペクトルである。バンドパスフィルタ50は、初段のYbDF41と第2段のYbDF42との間のみに設けられているので、第2段のYbDF42内で発生したASE光は、最終段のYbDF43に注入される。その結果、図5及び図6に示されたように、入力される被増幅光の平均パワーが−25dBmであるとき、第2段のYbDF42から出力される被増幅光のパワーは20dBmを下回る。一方で、順方向ASE光のパワーが25dBm近いので、結局、YbDF43から見た平均入力パワーは、平均入力パワーが−25dBmでも−5dBmでも大きな差が生じない。その結果、図10に示されたとおり、波長1064nmでの最終段のYbDF43の利得は17dB〜18dBとなり、上述の20dBを超えることは無い。ここで、図10には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。さらに、この図10には、異常動作時(励起光源が劣化した状態)と当該実施形態における利得スペクトルも示されている。
なお、以上は正常動作時の場合に限った話である。例えば励起光源82、83の双方またはいずれか一方が劣化して、励起光源82、83からの出力パワーが100mWに劣化した場合、図10に示されるとおり、波長1064nmでの利得は30dBを超えてしまう。その結果、波長1040nm付近でモード競合した発振が生じ、励起光源等の光部品の破壊につながる危険がある。
この最悪の事態を防ぐには、最終段のYbDF43の両端に、波長1040nmにおいてにて反射率22dBを有する反射手段として、光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123を設けるのが望ましい。特に、出力側の反射手段としての反射膜123は、損傷する可能性が大きいので、ビーム径が広げられた後の空間部品として挿入されるのが望ましい。また、このような特定波長の光を反射させる反射手段による利得の上限を与える制御方式は、最上流のYbDF41に適用されても良い。
(第2実施形態)
図11は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第2実施形態における主要部分の構成を示す図である。この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2の基本構成は、上述の第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じである。しかしながら、この第2実施形態における第1制御手段フィードバック構成を備える点で、該第1実施形態と異なる。なお、この図11では、バンドパスフィルタ50から下流側の構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じであり、図示が省略されている。
上述のように、入力コネクタ11から光アイソレータ22に至るまでの利得は15dB程度にとどまることが望ましい。ところが、デューティ比の低い被増幅光の入出力を精度よくモニタすることは困難である。そこで、この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2は、図11に示されたように、光アイソレータ22とバンドパスフィルタ50の間に配置された、YbDF41ないで発生したASE光のうち特定波長成分のみを選択的に反射する光フィルタ101と、この光フィルタ101により反射された特定波長成分は受光する受光素子(PD)102と、励起光源81から出力される励起光パワーを制御する制御回路103を備える。これら光フィルタ101、受光素子102、制御回路103、及び励起光源81により、第1制御手段が構成されている。
この第2実施形態において、制御回路103は、光フィルタ101から反射された特定波長成分を受光素子102によりモニタする。そして、受光素子102から得られるモニタ値が予め設定された値を超えると、該制御回路103は、その超過量に応じて励起光源81の供給電流を下げるようフィードバック制御する。このとき、モニタすべき特定波長成分は、図10に示されたように、ASE光ピークの存在する1040nm付近が適している。これは、YbDF41における利得の変化に対して敏感であるとともに、該利得の絶対値も大きいからである(検出が容易)。
以上のように、この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2よれば、デューティ比の低い信号光(被増幅光)をモニタすることなく、容易に利得を確保できるとともに、バンドパスフィルタ50を効果的な保護が可能になる。
(第3実施形態)
図12は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第3実施形態における主要部分の構成を示す図である。この第3実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール3の基本構成も、上述の第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じである。しかしながら、この第3実施形態における第1制御手段は、デューティ比の低い信号光(被増幅光)をモニタすることなく励起光光源81の保護を可能にする構成を備えた点で、上述の第1及び第2実施形態と異なる。なお、この図12でも、図11と同様に、バンドパスフィルタ50から下流側の構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じであり、図示が省略されている。
この第3実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2では、図12に示されたように、第1制御手段が、YbDF41の両端に配置された光ファイバブラッググレーティング104、105により構成され、また、これら光ファイバブラッググレーティング104、105は共振器を構成している。
光ファイバブラッググレーティング104、105の反射率は、入力コネクタ11から光アイソレータ22に至るまでの利得が15dB程度を超えると発振が始まるよう設定される。また、これら光ファイバブラッググレーティング104、105それぞれの中心反射波長は、1040nm付近に設定されるのが好ましい。
以上の説明から、この発明を様々に変形しうることは明らかである。そのような変形は、この発明の思想および範囲から逸脱するものとは認めることはできず、すべての当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。
この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第1実施形態の構成を示す図である。 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける最終段の増幅用光ファイバ(YbDF43)の断面構造を示す図及びその屈折率プロファイルである。 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールに含まれる出力コリメータの構成を説明するための図である。 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールに含まれる増幅用光ファイバ(YbDF41〜43)それぞれの諸元を纏めた表である。 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。 比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。 EDFの利得スペクトルである。 初段の増幅用光ファイバ(YbDF41)の利得スペクトル及びその一部領域の拡大図である。 最終段の増幅用光ファイバ(YbDF43)の利得スペクトルである。 この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第2実施形態における主要部分の構成を示す図である。 この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第3実施形態における主要部分の構成を示す図である。
符号の説明
1、2、3…光ファイバ増幅モジュール、11…入力コネクタ、12…出力コリメータ、21〜23…光アイソレータ、31,32…光カプラ、33…偏波合成器、41〜43…YbDF、50…バンドパスフィルタ、60、104、105…光ファイバブラッググレーティング、70…コンバイナ、81〜84…励起光源、101…反射フィルタ、102…受光素子(PD)、103…制御回路、120…光ファイバ、121…エンドキャップ、122…レンズ、123…反射膜、124…光アイソレータ。

Claims (9)

  1. 1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、
    前記入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、
    前記入力端から前記出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置された、入力光をそれぞれ増幅する複数の増幅用光ファイバと、
    前記入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるための光フィルタであって、前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、前記初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられた光フィルタと、そして、
    前記初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を第1所定値以下となるように設定する第1制御手段を備えた光ファイバ増幅モジュール。
  2. 前記増幅用光ファイバは温度調整された環境下に設置されるとともに、この環境下において前記増幅用光ファイバの吸収条長積は特定値に最適化されており、そして、
    前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを一定に維持するよう、前記励起光を供給する励起光源を制御することを特徴とする請求項1記載の光ファイバ増幅モジュール。
  3. 前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバから出力されるASE光のうち入力光以外の波長成分をモニタし、前記モニタ値に応じて前記初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを制御することを特徴とする請求項1記載の光ファイバ増幅モジュール。
  4. 前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバの光入力端及び光出力端の双方配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射するための2つの反射手段を含むことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ増幅モジュール。
  5. 前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記出力端に最も近い位置に配置された最終段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、第2所定値以下となるように設定する第2制御手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ増幅モジュール。
  6. 前記第2制御手段は、前記最終段の増幅用光ファイバを挟むように配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射させるための2つの反射手段を含むことを特徴とする請求項5記載の光ファイバ増幅モジュール。
  7. 前記2つの反射手段のうち、入力光の伝搬方向から見て下流側に位置する反射手段は、前記最終段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が伝搬する、前記最終段の増幅用光ファイバと前記出力端との間の空間中に配置されていることを特徴とする請求項6記載の光ファイバ増幅モジュール。
  8. 前記選択的に反射される特定波長成分は、入力光に含まれる波長成分のいずれよりも短い波長であることを特徴とする請求項6記載の光ファイバ増幅モジュール。
  9. 1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、
    前記入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、
    前記入力端から前記出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置された、入力光をそれぞれ増幅する複数の増幅用光ファイバであって、それぞれYb元素が添加された複数の増幅用光ファイバと、そして、
    前記入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるための光フィルタであって、前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、前記初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられた光フィルタとを備えた光ファイバ増幅モジュールであって、
    前記初段の増幅用光ファイバは、前記初段の増幅用光ファイバ内を伝搬する光に対して1000dB以下の非飽和吸収条長積を有することを特徴とする光ファイバ増幅モジュール。
JP2007085182A 2006-03-31 2007-03-28 光ファイバレーザ光源 Expired - Fee Related JP5331950B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007085182A JP5331950B2 (ja) 2006-03-31 2007-03-28 光ファイバレーザ光源

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006098914 2006-03-31
JP2006098914 2006-03-31
JP2007085182A JP5331950B2 (ja) 2006-03-31 2007-03-28 光ファイバレーザ光源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007294931A true JP2007294931A (ja) 2007-11-08
JP5331950B2 JP5331950B2 (ja) 2013-10-30

Family

ID=38765180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007085182A Expired - Fee Related JP5331950B2 (ja) 2006-03-31 2007-03-28 光ファイバレーザ光源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5331950B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012099166A1 (ja) * 2011-01-19 2012-07-26 株式会社ニコン レーザ装置
JP2014057085A (ja) * 2008-04-30 2014-03-27 Megaopto Co Ltd 光増幅モジュールおよびレーザ光源装置
JP5677467B2 (ja) * 2011-01-18 2015-02-25 古河電気工業株式会社 ファイバレーザ装置およびレーザ光照射位置の位置決め方法
JP2017224679A (ja) * 2016-06-14 2017-12-21 浜松ホトニクス株式会社 レーザ発振器、及び、エラー検知方法

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0651244A (ja) * 1992-07-27 1994-02-25 Fuji Elelctrochem Co Ltd 偏波多重装置
JPH06260709A (ja) * 1993-03-03 1994-09-16 Fujitsu Ltd 光増幅器、光増幅多中継システム及び光増幅多中継システムの制御方法
JPH07226560A (ja) * 1994-02-14 1995-08-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ増幅器
JPH10200182A (ja) * 1997-01-14 1998-07-31 Fujitsu Ltd 光増幅器,光増幅装置,光通信システムにおける光送信装置及び光増幅器の光サージ抑制方法
JPH11243369A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ増幅器
JP2000049406A (ja) * 1998-07-31 2000-02-18 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ増幅器
JP2000503476A (ja) * 1996-01-19 2000-03-21 エスディーエル インク. 高エネルギーレベルを有する高ピークパワーを供給する光増幅器
JP2000114630A (ja) * 1998-10-04 2000-04-21 Furukawa Electric Co Ltd:The 光増幅器
JP2000244417A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Nec Eng Ltd 光前置増幅器
JP2000513144A (ja) * 1996-06-26 2000-10-03 ノーザン テレコム リミテッド 光増幅器モジュール
JP2000294859A (ja) * 1999-04-02 2000-10-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ増幅器
US6147795A (en) * 1999-06-21 2000-11-14 Lucent Technologies Inc. Retrofit heater for erbium fiber in an erbium-doped fiber amplifier (EDFA)
JP2001044557A (ja) * 1999-08-04 2001-02-16 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバ増幅装置および励起光生成回路
JP2001196672A (ja) * 2000-01-06 2001-07-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 遠隔励起光ファイバ通信システム及び光ファイバモジュール
JP2001313433A (ja) * 2000-02-23 2001-11-09 Fujitsu Ltd 光増幅器及び光増幅方法
JP2003031879A (ja) * 2001-07-16 2003-01-31 Mitsubishi Cable Ind Ltd 光学装置及び該光学装置に用いられる光ファイバ、並びにパルス発生装置、光増幅装置及びファイバレーザ装置
JP2004146681A (ja) * 2002-10-25 2004-05-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 光増幅用ファイバ、光増幅装置、光源装置、光治療装置および露光装置

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0651244A (ja) * 1992-07-27 1994-02-25 Fuji Elelctrochem Co Ltd 偏波多重装置
JPH06260709A (ja) * 1993-03-03 1994-09-16 Fujitsu Ltd 光増幅器、光増幅多中継システム及び光増幅多中継システムの制御方法
JPH07226560A (ja) * 1994-02-14 1995-08-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ増幅器
JP2000503476A (ja) * 1996-01-19 2000-03-21 エスディーエル インク. 高エネルギーレベルを有する高ピークパワーを供給する光増幅器
JP2000513144A (ja) * 1996-06-26 2000-10-03 ノーザン テレコム リミテッド 光増幅器モジュール
JPH10200182A (ja) * 1997-01-14 1998-07-31 Fujitsu Ltd 光増幅器,光増幅装置,光通信システムにおける光送信装置及び光増幅器の光サージ抑制方法
JPH11243369A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ増幅器
JP2000049406A (ja) * 1998-07-31 2000-02-18 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ増幅器
JP2000114630A (ja) * 1998-10-04 2000-04-21 Furukawa Electric Co Ltd:The 光増幅器
JP2000244417A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Nec Eng Ltd 光前置増幅器
JP2000294859A (ja) * 1999-04-02 2000-10-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ増幅器
US6147795A (en) * 1999-06-21 2000-11-14 Lucent Technologies Inc. Retrofit heater for erbium fiber in an erbium-doped fiber amplifier (EDFA)
JP2001044557A (ja) * 1999-08-04 2001-02-16 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバ増幅装置および励起光生成回路
JP2001196672A (ja) * 2000-01-06 2001-07-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 遠隔励起光ファイバ通信システム及び光ファイバモジュール
JP2001313433A (ja) * 2000-02-23 2001-11-09 Fujitsu Ltd 光増幅器及び光増幅方法
JP2003031879A (ja) * 2001-07-16 2003-01-31 Mitsubishi Cable Ind Ltd 光学装置及び該光学装置に用いられる光ファイバ、並びにパルス発生装置、光増幅装置及びファイバレーザ装置
JP2004146681A (ja) * 2002-10-25 2004-05-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 光増幅用ファイバ、光増幅装置、光源装置、光治療装置および露光装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014057085A (ja) * 2008-04-30 2014-03-27 Megaopto Co Ltd 光増幅モジュールおよびレーザ光源装置
JP5677467B2 (ja) * 2011-01-18 2015-02-25 古河電気工業株式会社 ファイバレーザ装置およびレーザ光照射位置の位置決め方法
JP2015062258A (ja) * 2011-01-18 2015-04-02 古河電気工業株式会社 ファイバレーザ装置およびレーザ光照射位置の位置決め方法
JP2015092611A (ja) * 2011-01-18 2015-05-14 古河電気工業株式会社 ファイバレーザ装置およびレーザ光照射位置の位置決め方法
US10141708B2 (en) 2011-01-18 2018-11-27 Furukawa Electric Co., Ltd. Fiber laser apparatus and method of aligning laser light irradiation position
US11171462B2 (en) 2011-01-18 2021-11-09 Furukawa Electric Co., Ltd. Fiber laser apparatus
WO2012099166A1 (ja) * 2011-01-19 2012-07-26 株式会社ニコン レーザ装置
US8988768B2 (en) 2011-01-19 2015-03-24 Nikon Corporation Laser device
JP5794237B2 (ja) * 2011-01-19 2015-10-14 株式会社ニコン レーザ装置
JP2017224679A (ja) * 2016-06-14 2017-12-21 浜松ホトニクス株式会社 レーザ発振器、及び、エラー検知方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5331950B2 (ja) 2013-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8493653B2 (en) Multi-stage optical fiber amplifier with high gain and low duty cycle
EP2430716B1 (en) Cascaded raman fiber laser system based on filter fiber
JP5089950B2 (ja) マルチポートカプラ、光増幅器及びファイバレーザ
JPWO2008143084A1 (ja) ファイバレーザ
JP5822850B2 (ja) レーザ装置
JP6058669B2 (ja) 約974〜1030nmの波長範囲において高輝度ローノイズ出力を備えたハイパワーファイバーポンプ光源
US8548013B2 (en) Fiber laser
JP2009212441A (ja) ポンプコンバイナ
KR102350424B1 (ko) 기생 광 손실을 유도하기 위한 기구를 갖는 섬유 레이저 시스템
US7864410B2 (en) Optical active device having optical amplifying sections cascaded on a path for propagating input light with a predetermined wavelength
JP2014057085A (ja) 光増幅モジュールおよびレーザ光源装置
US9647410B2 (en) Multimode Fabry-Perot fiber laser
JP5980909B2 (ja) 2μmの範囲で動作する高出力単一モードファイバーレーザーシステム
JP5331950B2 (ja) 光ファイバレーザ光源
JP2007096039A (ja) 光源装置
JP4910328B2 (ja) 光増幅装置およびレーザ光源装置
US7502391B2 (en) Eye safe high power fibre laser
US20240022038A1 (en) Laser amplification with passive peak-power filter
JP5103908B2 (ja) 光学モジュール
JP2006286844A (ja) 光ファイバ増幅装置
US20220094134A1 (en) Methods for srs protection of laser components and apparatus providing srs protection
JP4899705B2 (ja) 光増幅モジュール
JP5014640B2 (ja) マルチモードファイバ、光増幅器及びファイバレーザ
JP2007294534A (ja) 光学的モジュール
WO2024015854A1 (en) Laser amplification with passive peak-power filter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111102

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111122

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121030

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121228

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130205

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20130215

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130304

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees