JP2007294807A - ガスレーザ発振器 - Google Patents

Abstract

【課題】発振器筐体の真空状態時の応力を緩和することができ、メンテナンスのための面積が広く、製造しやすい蓋部材を有するガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】ガスレーザ発振器１００の筐体１１の開口部を塞ぐ蓋部材１２を備え、蓋部材１２に筐体の内部側に膨出した曲面部であるドーム形状部３１を形成し、蓋部材１２の４つの端辺とドーム形状部３１との間の領域に筐体主構造１１の内部側に突出した凸起部である三角形凸構造部３２を形成し、蓋部材１２の端辺に筐体の外部側に突出した側壁３３を形成した。
【選択図】図１

Description

この発明は、ガスレーザ発振器の筐体構造に関するものであり、特に直交励起型ガスレーザ発振器に関する。

従来の直交励起型ガスレーザ発振器においては、ＣＯ_２ガス等のレーザ媒介ガスを封入した密閉構造の発振器筐体を有しており、発振器筐体内にレーザ媒介ガス放電励起用の放電電極、レーザ媒介ガスを冷却する熱交換器、およびレーザ媒介ガスを循環させる送風器が備えられている。また、発振器筐体の両端にはガスレーザ共振器を構成するミラー光学系が配置されている。ＣＯ_２ガスレーザなどのガスレーザにおける連続発振では、レーザ光を放出するガス分子を誘導放出に必要なエネルギー準位に励起（ポンピング）するために、放電時の電子衝突により励起する放電励起を用いることが一般的である。この場合、安定した放電を得るために、発振器筐体内部を３０〜６０ｔｏｒｒの真空状態とする必要があるので、ガスレーザ発振器の発振器筐体は、真空状態を保持可能な気密性能を有する必要がある。

また、発振器筐体の内部に配置された放電電極、熱交換器、送風機、およびミラー光学系などを定期的にメンテナンスする必要があるので、発振器筐体の外部からメンテナンス作業者が容易にアクセスできることが必要である。このため、発振器筐体には広い開口部を設け、開口部を塞ぐための取り外しが可能な蓋部材が取り付けられている。

ガスレーザ発振器の蓋部材は、発振器筐体の内部を真空状態とした時の負荷に耐え、真空状態を保持可能な気密性能を保持し、かつ、発振器筐体の内部機器を容易にメンテナンスできるように外形面積を広くする必要がある。蓋部材としては、平板形状のものが用いられている（例えば、特許文献１参照）。また、蓋部材の強度を高めるために、蓋部材の面と垂直な方向に多数の補強部材（リブ）を設けたことによって、蓋部材の変形を抑制している（例えば、特許文献２参照）。さらに、直方体の耐圧筐体の１つの面に傾斜部を設けることで、応力を分散し、筐体の側面板部材の変形を抑制する構造にすることで、蓋部材への負荷を低減している（例えば、特許文献３参照）。

特開２００３−３１８４６７号公報（第４頁、第１図） 特開平１０−２４１８号公報（第３頁、第１〜３図） 特開２００２−２４５９０５号公報（第２〜３頁、第１図）

従来のガスレーザ発振器では、特許文献１のように蓋部材を平板とした場合には、発振器筐体内部を減圧したときに発生する応力に耐えられるように蓋部材の平板の板厚を厚くする必要がある。この場合には、メンテナンス性を考慮すると作業者が２人程度で、蓋部材を取り付け、取り外しできることが望ましい。しかしながら、蓋部材の重量が重くなるので、蓋部材の取り付け、取り外しが困難になるという問題点があった。このため、アルミ等の強度がある軽量材料を使用して、蓋部材を形成することも可能である。しかしながら、これら軽量材料は一般的に鉄鋼材料と比較して高価であるという問題点があった。

また、特許文献２のように補強部材を設けて蓋部材の強度を向上させる場合には、鉄鋼等の安価な材料を使用しても、蓋部材の板厚を薄くして蓋部材を軽量にすることが可能である。しかしながら、溶接やネジ止め等によって補強部材を蓋部材に対して固定する必要があるので、蓋部材の製造工程が複雑になり、製造費用が高価になるという問題点があった。さらに、特許文献３のように蓋部材に対して傾斜部を設けた場合には、発振器筐体のフランジとの接合面となる蓋部材の接合面は平面形状である必要があることから、複数の部材を溶接する製作方法以外では製作が困難であるという問題点があった。

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、発振器筐体の真空状態時の応力を緩和することができ、メンテナンスのために面積が広く、製造しやすい蓋部材を有するガスレーザ発振器を得るものである。

この発明に係るガスレーザ発振器は、筐体と、筐体の開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたガスレーザ発振器であって、蓋部材は、筐体の内部側または外部側に膨出した曲面部と蓋部材の端辺に形成されて筐体の内部側または外部側に突出した側壁とを有することを特徴とするものである。

この発明に係るガスレーザ発振器は、筐体の内部側または外部側に膨出した曲面部と蓋部材の端辺に形成されて筐体の内部側または外部側に突出した側壁とを備えたので、減圧時に蓋部材に負荷される応力が均等に分散され、蓋部材の板厚を薄くし、蓋部材の面積を広くしても、発振器筐体の真空状態時の応力を緩和することができる。また、蓋部材を容易に製造することができる。

実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１を示すガスレーザ発振器１００の全体構成を示す斜視図である。図１において、ガスレーザ発振器１００は、ガスレーザ発振器１００の筐体である筐体主構造１１、ガスレーザ発振器１００の蓋部材１２、およびＯリング１３によって構成されている。筐体主構造１１は、電極およびミラー等のガスレーザ発振器１００の構成機器を搭載する構造物である。筐体主構造１１は、鉄鋼、ステンレス等の金属板材を溶接接合して形成される。また、Ｏリング溝２２とネジ穴２３とが形成されたフランジ２１、ならびに、筐体主構造１１の変形を抑制するためのリブ２４および開口部支持部材２５は、溶接接合およびネジ締結の少なくともいずれか一方の方法で筐体主構造１１に接合されている。

本実施の形態では、Ｏリング溝２２にＯリング１３を配置した後に、筐体主構造１１の開口部を塞ぐように蓋部材１２を配置し、ネジ穴２３にネジ締結（ボルト締結）をすることによって筐体主構造１１と蓋部材１２とが接合される。この際に、フランジ２１と蓋部材１２とでＯリング１３を挟んで潰すことによってガスレーザ発振器１００の気密性能が確保される。つまり、ガスレーザ発振器１００の筐体は耐圧容器となる。

次に、蓋部材１２の構造について説明する。図２は、この発明を実施するための実施の形態１における蓋部材１２の外形図であり、図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は側面図である。蓋部材１２は、筐体主構造１１の開口部を塞ぐものであり、外形が該四角形で、４つの端辺を有する。本実施の形態では、蓋部材１２は、１枚の鉄鋼、アルミ、またはステンレス等の金属板材により形成されている。蓋部材１２には、プレス等の方法によって擬部分球面形状のドーム形状部３１およびドーム形状部３１の周囲４箇所に配置された三角形凸構造部３２が形成されている。

ドーム形状部３１は、筐体主構造１１の内部側に膨出した曲面部である。ドーム形状部３１は、耐圧容器として内側が凸となるように形成され、筐体主構造１１の開口部支持部材２５との干渉を避けるため左右２箇所に配置されている。ドーム形状部３１の外形、つまり蓋部材１２の平面部と曲面部との境界線の形状は、筐体主構造１１の開口部の形状に合わせて、円形でもよいし、楕円形でもよいし、曲線と直線とを組合せたものでもよい。本実施の形態では、ドーム形状部３１の外形は、２つの半円を２本の直線で結んだトラック状の形状である。

三角形凸構造部３２は、蓋部材１２の４つの端辺と曲面部であるドーム形状部３１との間の領域に形成され、筐体主構造１１の内部側に突出した凸起部である。三角形凸構造部３２は、ドーム形状部３１より面積が小さい。三角形凸構造部３２は、ドーム形状部３１と同様に耐圧容器として内部側が凸となるように形成されている。三角形凸構造部３２は、蓋部材１２の四隅部分に形成されている。本実施の形態では、２つのドーム形状部３１が形成されているので、平行する２つの端辺と２つのドーム形状部３１の外縁とによって囲まれた平面部にも、三角形凸構造部３２が形成されている。図１に示すように、三角形凸構造部３２は、８箇所に形成されている。なお、三角形凸構造部３２は、耐圧容器の外部側が凸となるように形成されてもよい。

蓋部材１２の４つの端辺には、筐体主構造１１の外部側に突出した側壁３３が形成されている。本実施の形態では、側壁３３は、筐体主構造１１の外部側に向かって蓋部材１２の４つの端辺を９０度折り曲げることによって形成されている。なお、側壁３３は筐体主構造１１の外部側に突出するように形成されても、筐体主構造１１の内部側に突出するように形成されてもよい。例えば、全ての側壁３３が、筐体主構造１１の外部側に突出するように形成されずに、側壁３３の一部が筐体主構造１１の内部側に突出するように形成されてもよい。なお、側壁３３は、４つの端辺にネジ締結または溶接接合された金属部材によって形成されてもよい。また、蓋部材１２の外周部にはフランジ２１に設けられたネジ穴２３と同じピッチでボルト締結用の貫通穴３４が形成されている。

図３は、本実施の形態１におけるドーム形状部３１のＡ−Ａ断面図である。レーザ出力を得るためにガスレーザ発振器１００の筐体の内部を真空状態とする場合には、筐体主構造１１および蓋部材１２の外面に大気圧が負荷される。このため、蓋部材１２とフランジ２１との接触面では、フランジ２１によって蓋部材１２の変形が抑制されるが、筐体主構造１１のフランジ２１以外の開口部に対応する部分では、蓋部材１２に変形が生じる。図３に示すように、蓋部材１２の変形を抑制するために、蓋部材１２には、筐体主構造１１の内部側（低圧側）に膨出した曲面部であるドーム形状部３１および筐体主構造１１の外部側（高圧側）に突出した側壁３３が形成されている。４つの端辺のうちの１つの端辺には、側壁３３の端部から更に蓋部材１２の中央側に突出した第２側壁３３ａが形成されている。第２側壁３３ａによって、蓋部材１２の変形を更に防止することができる。また、蓋部材１２の端辺の突出部が蓋部材１２の中央側に向くので、作業者が突出した第２側壁３３ａの先端に触れにくくなり、取り付け時、取り外し時に蓋部材１２を取扱いやすくなる。

図４は、本実施の形態１における三角形凸構造部３２のＢ−Ｂ断面図である。図４に示すように、蓋部材１２には、筐体主構造１１の内部側（低圧側）に突出した三角形凸構造部３２が形成されている。本実施の形態では、ドーム形状部３１の最大突出量は３０ｍｍ程度、側壁３３の高さは１５〜２０ｍｍ程度、三角形凸構造部３２の最大突出量は１０ｍｍ程度である。これらの数値は一例であり、筐体主構造１１の大きさ、蓋部材１２の板厚などによって決められるものである。

ここで、蓋部材が平板構造の場合とドーム形状を有する構造の場合とを比較して、それぞれ場合の変形の違いを説明する。平板構造の場合には、蓋部材を周辺固定の円形平板とみなすと、蓋部材へ加わる最大応力値σ_Ｐは式（１）、蓋部材の最大変位量ｕ_Ｐは式（２）のように表される。

また、ドーム形状の場合には、蓋部材を薄肉球殻とみなすと、蓋部材へ加わる最大応力値σ_Ｓは式（３）、蓋部材の最大変位量ｕ_Ｓは式（４）のように表される。

ここで、ｐは蓋部材に負荷される圧力、ｔは蓋部材の板厚、Ｅは板材のヤング率、νは板材のポアソン比、ａは円形平板の半径、ｒは球殻の半径である。

図５は、蓋部材の板厚と応力値および変位量との関係を示したグラフである。図５に示した関係は、式（１）〜式（４）に基づいて算出したものである。蓋部材が平板構造の場合とドーム形状を有する構造の場合とにおいて応力値および変位量を同一とするために、ドーム形状を有する構造の場合に、平板構造の場合に対してどの程度の板厚が必要とされるのかをグラフ化したものである。ただし、材料は同一であることを前提としている。図５において、ｔｐは蓋部材がドーム形状を有する構造の蓋部材の板厚、ｔｓは蓋部材がドーム形状を有する構造の蓋部材の板厚である。また、横軸は板厚ｔｐであり、縦軸は応力値および変位量をそれぞれ同一とするための板厚ｔｓと板厚ｔｐとの比ｔｐ／ｔｓである。

図５のグラフから、例えば、板厚１０ｍｍの平板の応力値とドーム形状を有する蓋部材１２の応力値とを同程度にするためには、ドーム形状を有する蓋部材１２の板厚を平板の１／６の板厚、つまり板厚１．７ｍｍに設定すればよいことがわかる。蓋部材１２にドーム形状を有する構造を適用した場合には、単なる平板構造の場合と比較して強度的に同等でありながら極端に薄肉化、軽量化できる。なお、ドーム形状部３１を有する蓋部材１２を筐体主構造１１に取り付ける際に、ドーム形状部３１が筐体主構造１１の外部側（高圧側）に膨出するように取り付けてもよい。この場合、気圧差によってドーム形状部３１に座屈が生じないように、ドーム形状部３１が筐体主構造１１の内部側（低圧側）に膨出するように取り付けた場合に比べて蓋部材１２の板厚を厚くするか、または球殻面の曲率を小さくする必要がある。

次に、三角形凸構造部３２が形成された効果について説明する。図６は、蓋部材１２に三角形凸構造部３２が形成されていない場合の応力集中部４３を示す概念図である。図７は、蓋部材１２に三角形凸構造部３２が形成された場合の応力集中部４４を示す概念図である。図６および図７において、ハッチングで示した接合部４１は、フランジ２１および開口部支持部材２５との接触部である。接合部４１とフランジ２１および開口部支持部材２５との接触によって、蓋部材１２の変形は抑制される。一方、筐体主構造１１の開口部に対応する接合面４１以外の非接合部４２では、ガスレーザ発振器１００の筐体内部を真空状態としたときに外壁面に大気圧が負荷されて変形が生じる。

図６に示すように、ドーム形状部３１の投影形状は概楕円形状であるが、本実施の形態のように、ガスレーザ発振器１００の筐体が直方体形状の場合には、蓋部材１２を取り外した際の開口面積を可能な限り広くするため、筐体主構造１１の開口部の投影形状は概長方形形状となる。この際、筐体主構造１１の開口部に対応する蓋部材１２の非接合部４２のうち、ドーム形状部３１の周囲の四隅には平面部分がある。図５に示したように、ドーム形状を有する構造と平板形状の構造とを比べると、平板形状の構造の変形量が大きくなることから、平面部での応力は緩和される。このため、ドーム形状部３１と接合部４１とが最も近接している８箇所の応力集中部４３に応力集中が生じる。一方、図７に示すように、非接合部４２に三角形凸構造部３２が形成された場合には、ドーム形状部３１の周囲の四隅における変形量が小さくなり、応力集中部４４は１６箇所に分散されるので、応力集中部４４の各々の応力値は低下する。このことから、三角形凸構造部３２を形成することによって、蓋部材１２を更に薄肉化することができる。なお、三角形凸構造部３２は、筐体主構造１１の外部側に突出するように形成してもよい。この場合、ドーム形状部３１は、筐体主構造１１の内部側に膨出し、三角形凸構造部３２は、筐体主構造１１の外部側に突出することになるが、応力集中を緩和することができる。

次に、蓋部材１２の４つの端辺に側壁３３が形成された効果について説明する。図８は、蓋部材１１２に側壁が形成されていない場合のボルト５１の固定部周囲の状態を示す模式図である。蓋部材１１２は、Ｏリング１３を挟んだ状態でボルト５１によってフランジ２１に締結される。ガスレーザ発振器の筐体内部を真空状態とした場合には、蓋部材１１２に対してフランジ２１に押し付けられる方向に大気圧１５３が負荷される。一方、蓋部材１１２に対してフランジ２１から持ち上げられる方向にＯリング１３による反力１５４が負荷される。これら２つの力の作用から、ボルト５１により締結されている部分以外では、蓋部材１１２はフランジ２１から浮いた状態になる。特に、２つのボルト５１の中間では、蓋部材１１２は破線で示した変形した蓋部材１５２のように変位量ｄだけ浮いた状態に変形する。

図９は、蓋部材１１２に側壁が形成されていない場合のガスレーザ発振器の筐体の斜視図である。ガスレーザ発振器の筐体内部を真空状態とした場合には、ボルト５１によって締結されている部分以外では蓋部材１１２はフランジ２１から浮いた状態になるので、ボルト５１の締結箇所毎のピッチで波打つような変形を生じる。また、蓋部材１１２が浮いた状態となった箇所ではＯリング１３の潰し量が不足して、気密漏れを生じる可能性がある。

一方、図１０は、蓋部材１２に側壁３３が形成された場合のボルト固定部周囲の状態を示す模式図である。蓋部材１２に側壁３３が形成された場合には、側壁３３は波打ち変形に対して支持部材となるので、ボルト５１により締結されている部分以外で蓋部材１２がフランジ２１から浮くことを防止できる。これによって、蓋部材１２の変形量を小さくして気密漏れを抑制することができ、側壁３３が形成されていない場合に比べて蓋部材１２を薄肉化できる。

以上のように、蓋部材１２に筐体の内部側に膨出した曲面部であるドーム形状部３１が形成され、蓋部材１２の端辺に筐体の外部側に突出した側壁３３が形成されたので、蓋部材１２の変形を抑制でき、蓋部材１２の板厚を薄くすることができる。また、蓋部材１２の面積を広くしても、発振器筐体の真空状態時の応力を緩和することができる。なお、ドーム形状部３１および側壁３３は、すべて１枚の板のプレス加工、曲げ加工によって形成することができ、生産性、品質面でも平板部材と比較して同じ性能を確保できる。

実施の形態２．
図１１は、この発明を実施するための実施の形態２を示す蓋部材６１の外形図である。図１１（ａ）は蓋部材６１の正面図、図１１（ｂ）は側面図である。図１１において、三角形凸構造部が形成されていない点で実施の形態１と異なっている。図１１において、図２と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものであり、このことは明細書の全文において共通することである。また、明細書全文に表れている構成要素の態様は、あくまで例示であってこれらの記載に限定されるものではない。

蓋部材６１は、筐体主構造１１の開口部を塞ぐものであり、外形が該四角形で、４つの端辺を有する。本実施の形態では、蓋部材６１は、１枚の鉄鋼、アルミ、またはステンレス等の金属板材により形成されている。蓋部材６１には、プレス等の方法によって擬部分球面形状のドーム形状部６２が形成されている。ドーム形状部６２は、筐体主構造１１の内部側に膨出した曲面部である。ドーム形状部６２は、耐圧容器としての内側が凸となるように形成され、筐体主構造１１の開口部支持部材２５との干渉を避けるため左右２箇所に配置されている。蓋部材６１の４つの端辺には、筐体主構造１１の外部側に突出した側壁６３が形成されている。側壁６３は、筐体主構造１１の外部側に向かって蓋部材６１の４つの端辺を９０°折り曲げることによって形成されている。また、４つうちの１つの端辺には、側壁６３の端部から更に蓋部材６１の中央側に突出した第２側壁６３ａが形成されている。蓋部材６１の外周部にはフランジ２１に設けられたネジ穴２３と同じピッチでボルト締結用の貫通穴６４が形成されている。なお、ドーム形状部６２は、筐体主構造１１の外部側に膨出してもよい。

このような構成によって、ドーム形状部６２および側壁６３が形成されていない平板構造の場合に比べて、蓋部材６１の板厚を薄くすることができる。

実施の形態３．
図１２は、この発明を実施するための実施の形態３を示す蓋部材７１の外形図である。図１２において、ドーム支持部７４を備えた点で実施の形態１と異なっている。また、図１３は、図１２に示す蓋部材７１のＣ−Ｃ断面図である。

蓋部材７１は、筐体主構造１１の開口部を塞ぐものであり、外形が該四角形で、４つの端辺を有する。本実施の形態では、蓋部材７１は、１枚の鉄鋼、アルミ、またはステンレス等の金属板材により形成されている。蓋部材７１には、プレス等の方法によって曲面部である擬部分球面形状のドーム形状部７２およびドーム形状部７２の周囲４箇所に配置された三角形凸構造部７６が形成されている。蓋部材７１の４つの端辺には、筐体主構造１１の外部側に突出した側壁７３が形成されている。側壁７３は、筐体主構造１１の外部側に向かって蓋部材７１の４つの端辺を９０°折り曲げることによって形成されている。また、４つの端辺のうちの１つの端辺には、側壁７３の端部から更に蓋部材７１の中央側に突出した第２側壁７３ａが形成されている。蓋部材７１の外周部にはフランジ２１に設けられたネジ穴２３と同じピッチでボルト締結用の貫通穴７５が形成されている。

ドーム支持部７４は、筐体主構造１１のフランジ２１に接触することで変形しにくい蓋部材７１の平面部に対して、ドーム形状部７２が受ける応力を分散させるものである。ドーム支持部７４は、蓋部材７１の平面部の一部および曲面部であるドーム形状部７２の一部にネジ締結または溶接接合された支持部である。ドーム支持部７４の両端は、蓋部材７１の平面部の一部とドーム形状部７２の一部とにそれぞれ接合されている。本実施の形態では、一つのドーム形状部７２に対して４つのドーム支持部７４が形成されている。このような構成によって、ガスレーザ発振器１００の筐体の内部が真空状態となった場合に、ドーム支持部７４が筐体主構造１１の内部側に変形しようとする応力に対して、ドーム支持部７４によって筐体主構造１１の外部側へ引っ張る力が加わり、蓋部材７１の応力を緩和することができる。このような構成によって、蓋部材７１の板厚を薄くすることができる。

この発明の実施の形態１を示すガスレーザ発振器の全体構成を示す斜視図である。 この発明の実施の形態１における蓋部材の外形図である。 この発明の実施の形態１におけるドーム形状部の断面図である。 この発明の実施の形態１における三角形凸構造部の断面図である。 蓋部材の板厚と応力値および変位量との関係を示したグラフである。 三角形凸構造部を形成しない場合の応力集中部を示す概念図である。 この発明の実施の形態１における三角形凸構造部が形成された場合の応力集中部を示す概念図である。 側壁を形成しない場合のボルトの固定部周囲の状態を示す模式図である。 側壁を形成しない場合のガスレーザ発振器の筐体の斜視図である。 この発明の実施の形態１における側壁が形成された場合のボルト固定部周囲の状態を示す模式図である。 この発明の実施の形態２を示す蓋部材の外形図である。 この発明の実施の形態３を示す蓋部材の外形図である。 この発明の実施の形態３におけるドーム形状部の断面図である。

符号の説明

１１ 筐体主構造、１２，６１，７１，１１２ 蓋部材、１３ Ｏリング、２１ フランジ、２２ Ｏリング溝、２３ ネジ穴、２４ リブ、２５ 開口部支持部材、３１，６２，７２ ドーム形状部、３２，７６ 三角形凸構造部、３３，６３，７３ 側壁、３３ａ，６３ａ，７３ａ 第２側壁、３４，６４，７５ 貫通穴、４１ 接合部、４２ 非接合部、４３，４４ 応力集中部、５１ ボルト、７４ ドーム支持部、１００ ガスレーザ発振器、１５２ 変形した蓋部材、１５３ 大気圧、１５４ 反力。

Claims (6)

1. 筐体と、
   前記筐体の開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたガスレーザ発振器であって、
   前記蓋部材は、前記筐体の内部側または外部側に膨出した曲面部と前記蓋部材の端辺に形成されて前記筐体の内部側または外部側に突出した側壁とを有することを特徴とするガスレーザ発振器。
2. 蓋部材は、前記蓋部材の端辺と曲面部との間の領域に形成されて前記曲面部より面積が小さい凸起部を有することを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ発振器。
3. 凸起部は、該三角形の形状であり、蓋部材の四隅に形成されたことを特徴とする請求項２に記載のガスレーザ発振器。
4. 側壁は、蓋部材の端辺を折り曲げることによって形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスレーザ発振器。
5. 側壁は、ネジ締結または溶接接合された金属部材によって形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスレーザ発振器。
6. 蓋部材の平面部の一部および曲面部の一部にネジ締結または溶接接合された支持部を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスレーザ発振器。

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