JP2007292684A - 外観形状検査方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光透過性を有した物質の外周部の一部に非透過な外層部があり、その外層部がＲ形状部分の多い被検査部品の外観形状を正確に検査する検査方法、および外観形状検査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】被検査部品４の外観形状を検査する方法は光を透過する物質部分に外部から光を照射する、１つまたは複数の照明光ガイド手段５ａ、５ｂを持ち、それより照射された光が透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する光の一部が被検査部品４の欠陥部６ａ、６ｂから光として漏れ、上記外層部を有した面から放出された光を２次元カメラ部１で、上記外層部の２次元画像として検出する構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、回路基板上に実装する電子部品などの小型部品の外観形状を検査する外観形状検査方法、およびその装置に関するものである。

従来この種の外観形状検査方法、または外観形状検査装置は、図７に示すような構成を有していた。

図７は、従来の構成例を示す斜視図である。被検査部品を基点として、カメラと被検査部品との中心を結ぶ直線に対し、光源と被検査部品との中心を結ぶ直線がある角度を持ち、カメラと同一側に置いた反射用照明装置１０５からの照射光の被検査部品４からの反射光を利用して、形状検査装置の２次元カメラ部１で画像を捉える構成の外観形状検査装置か、もしくは、被検査部品を基点として、カメラ１と反対側に置いた透過光用照射装置１０６で透過光を利用してカメラ１で画像を捉える構成の外観形状検査装置、さらには、上記反射光と透過光とを同時、または、切り替えて複数画像をカメラで捉える構成の外観形状検査装置を使用していた。

図８は、従来の構成例を示す模式図である。被検査部品の金属電極部９もＲ形状をなし、２次元カメラと同一側にある反射用照明装置１０５を用いた反射光による画像では、金属電極部９と被検査部品４との境界部に対してコントラストのよい画像が得にくいことが理解できる。同様に、金属電極部９での欠陥６ａの輪郭形状、たとえばピンホールの形状も境界の断面にＲ（曲率部）が生じることが多く、素子パターン部での欠陥６ｂの輪郭形状、たとえばパターンの欠損の形状も境界の断面にＲが生じることが多く、境界部のコントラストのよい画像が得にくいことが理解できる。

図９は、従来の構成例を示す模式図とそのときの画像を示す図である。画像モニター部１２に表示された、反射照明による画像１３ｂは被検査部品の金属電極部９のＲ部や、金属電極部での欠陥６ａの輪郭形状、たとえばピンホールの形状も境界の断面にＲが生じ、また、素子パターン部での欠陥６ｂの輪郭形状、たとえばパターンの欠損の形状も境界の断面にＲが生じていて、境界部のコントラストのよい画像が得られていないことが理解できる。

また、２次元カメラの反対側にある透過光用照明装置１０６を用いた透過光による画像では、被検査部品の素子パターン部１１ａを含めた、素子パターン部での欠陥６ｂの輪郭形状、たとえばパターンの欠損の形状を透過画像で捉えようとすると、２次元カメラと反対側に位置する被検査部品の素子パターン部１１ｂの不要な影が映り高コントラスト化に対し不利になる。

なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開２００３−９０７１３号公報

しかしながら、一般製品の軽薄短小化に伴い、部品の小型・微小化が進み、特に電子部品の場合、部品の微小化で、その部品の全体寸法、たとえば、全長寸法に対し、コーナ部分のＲ寸法の割合が大きくなってきている（上がって来ている）場合や電極の半田や錫もしくは銀ペーストの厚みに段差や表面の丸み（界面の丸み）を生じる場合が多く、また、部品の微小化で全長寸法に対し上記の段差や界面の丸みのＲ寸法の割合も大きくなって（上がって）きている。それにより、被検査部品を基点としてカメラと同一側に置いた光源で反射光を利用してカメラで画像を捉える外観形状検査装置では、コントラストの高い濃淡画像が得られなくなり、正確に形状を検出して検査できない場合が発生し、生産者危険（良品を不良品と判定することによって発生するリスク）や消費者危険（不良品を良品と判定することによって発生するリスク）につながるという課題を有していた。

また、被検査部品を基点としてカメラと反対側に置いた光源で透過光を利用してカメラで画像を捉える外観形状検査装置では、部品全体のシルエット形状が所定の形状精度に収まっているかを検査できる場合があるのと、もしくは、裏面の外形表面、すなわち、被検査部品を基点としてカメラと反対側に置いた光源の方向側の部品表面に光を透過しない物質がない場合、光を透過させることが可能となり、被検査部品を基点としてカメラと同一側の面の透過性物質と光を透過しない物質との境界形状を判断できる場合とに限られ、上記、カメラと反対側に置いた光源の方向側の部品表面に光を透過しない物質がない場合以外は、検査したい側の面の透過性物質と光を透過しない物質との境界形状を検出するには不適であることが多い。

すなわち、被検査部品を基点としてカメラと反対側に置いた光源からの透過光が部品内部で拡散した光をカメラで捉えるため、上記部品裏面の表面側の光を透過しない外層部の形状も合焦でない、ぼけた、シルエット画像として捉える場合が多くあり、カメラと同一側の面の非透過形状を正確に捉えて検出するのに不要な影が映りコントラストを低下させる場合が多い。

また、上記課題を解決するために上記特許文献１で記した検査方法では複数のメモリを用いた合成手段が必要になり、装置自体が複雑になるという課題を有していた。

本発明は、上記課題を解決しようとするものであり、正確な部品外観形状検査方法および装置を提供することを目的とするものである。

前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。

本発明の請求項１に記載の発明は、特に、外周部の一部に光を透過しない外層部を有し、かつ、他の外周部の一部と連続した領域に半透明、または、光を透過する物質部分を持ち、その半透明、または、光を透過する物質部分に外部から光を照射し、その照射された光が半透明、または、光を透過する物質部分内部で屈折あるいは反射拡散し、その拡散した光が外部に放出する被検査部品に対し、上記外層部を有した面以外の上記被検査部品の外周部の方向から上記被検査部品に光を照射し、上記外層部を有した面から放出された光を上記外層部の２次元画像として検出するという構成を有しており、これにより、その照明光が該部品の半透明、または、光を透過する物質部分内部で拡散し、その拡散光の一部が該部品の別の外周部の一部から漏れ出て、別の外周部の光を透過しない外層部の外観形状のシルエットを投影させ、正確な表面形状を捉えられるという作用効果を有する。ここでいう、表面形状を捉えるとは、得られた画像から、適切な画像処理を行い、形状検査、たとえば、寸法測定、面積測定、重心測定、真円度、寸法比などを行うことをさす。

本発明の請求項２に記載の発明は、特に、被検査部品の複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射して上記外層部の外観形状を検査する、という特徴を有しており、これにより、外周部の方向の箇所は多く存在するがその各々の面積が少なく、１方向からの照射では光量不足となるが、複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射することにより、内部での拡散光の量を増やし光を透過しない外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、正確に形状を検査できる方法を提供できるという作用効果を有する。

本発明の請求項３に記載の発明は、特に、上面を検査する被検査部品に対して上記上面と直交する側面から光を照射して上面に有する外層部の外観形状を検査するという特徴を有しており、上面と対向する下面から光を照射する場合に局部的に明るい光が上面から放出されて発生するハレーションを防止でき、検査面である上面全体に均一に適度な光を部品内部から拡散させて放出することができ、外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、正確に形状を検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項４に記載の発明は、特に、被検査部品を中心とした点対称の位置から上記被検査部品の複数の側面に一対の光を照射することを特徴とし、それにより、検査面である上面全体にさらに均一に適度な光を部品内部から拡散させて放出することができ、外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、正確に形状を検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項５に記載の発明は、特に、棒状または板状の被検査部品の長手方向に直交する一対の側面に一対の光を照射することを特徴とし、一方からの光の光量が被検査部品の長手方向に対して内部拡散により減衰するのを他方からの光により補うことができ、長手方向に対して均一に光を拡散でき、かつ、適度な光を部品内部から拡散させて放出することができ、外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、正確に形状を検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項６に記載の発明は、特に、長手方向に平行な複数の側面に電気回路となる外層部を形成した棒状の被検査部品に対して、長手方向に直交する側面から光を照射して複数の側面に有した外層部を複数の２次元カメラ手段により同時に検出して外観形状を検査することを特徴とし、長手方向と平行な方向に光を照射するという単純な構成で、被検査部品内部の拡散光を利用し、電気回路が形成された外周部全面を同時にすばやく検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項７に記載の発明は、特に、長手方向に平行な複数の側面に電気回路となる外層部を形成した棒状の被検査部品に対して、長手方向に直交する側面から光を照射して複数の反射手段により上記外層部を有した面から放出された光を反射させて複数の側面に有した外層部を一つの２次元カメラ手段により同時に検出して外観形状を検査することを特徴とし、長手方向と平行な方向に光を照射するという単純な構成で、被検査部品内部の拡散光を利用し、電気回路が形成された外周部全面を単純に一つのカメラ手段により同時にすばやく検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項８に記載の発明は、特に、外周部の一部に光を透過しない外層部を有し、かつ、他の外周部と連続した領域に半透明、または、光を透過する物質部分を持ち、その半透明、または、光を透過する物質部分に外部から光を照射し、その照射された光が半透明、または、光を透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する被検査部品を保持する保持手段と、上記外層部を有した面以外の上記被検査部品の外周部の方向から上記被検査部品に光を照射する照明手段と、上記外層部を有した面から放出された光を上記外層部の２次元画像として検出する２次元カメラ手段と、上記カメラ手段から得られた２次元画像から画像処理して外形形状を判定する画像処理手段とを備えた外観形状検査装置という構成を有しており、これにより、被検査部品の光を透過しない外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、上面（カメラ手段側）から照射する反射照明装置や下面（カメラ手段側と反対の側）から照射する透過照明装置を用いた外観形状検査装置に比べて正確に形状を検査できるという作用効果を有する。

本発明の請求項９に記載の発明は、特に、被検査部品の複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射する照明手段を備えた外観形状検査装置という構成を有しており、これにより、被検査部品の光を透過しない外層部の形状のシルエット画像がコントラストよく得られ、反射照明装置や透過照明装置を用いた外観形状検査装置に比べて正確に形状を検査できる外観形状検査装置を提供できるという作用効果を有する。

本発明の請求項１０に記載の発明は、特に、被検査部品を保持する保持手段に加えて、正確な位置決め手段を備えた外観形状検査装置という構成を有しており、これにより、被検査部品の形状が複雑でかつ限定された外周部部分である場合が多く、複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射する照明光の方向や位置精度が要求される場合も多い状況下で、正確な位置決め手段を持つことにより、正確に内部で拡散する光量のばらつきが少なくなり、正確に形状を検査できる外観形状検査装置を提供できるという作用効果を有する。

上記のように構成された本発明の部品外観形状検査方法、または、部品外観形状検査装置によれば、半透明、または、光を透過する物質部分を持つ部品の一外周部の方向、または、複数の外周部の方向から、適切な光量の光を当てる照明手段を持つという構成を有しており、これにより、その照明光が該部品の半透明、または、光を透過する物質部分内部で拡散し、その拡散光の一部が該部品の形状検査したい、別の外周部の一部から漏れ出て、別の外周部の光を透過しない外層部のシルエットを投影させ、正確な表面境界形状を捉えることができ、従来の被検査部品を基点としてカメラと同一側に置いた光源で反射光を利用してカメラで画像を捉える外観形状検査方法、もしくは、外観形状検査装置と比較し、光を透過しない外層部の正確な表面境界形状を格段に高い精度で捉えることができるという効果を有する。しかも、上記特許文献１で記した検査方法のように複数のメモリを用いた合成手段が不要で、装置自体が複雑になるということもなく、装置自体は、上記特許文献１で記した検査装置（あるいは方法）と比較して簡単な構造の装置構成で実現可能である。

同様に、本発明の部品外観形状検査装置は、被検査部品を基点として、カメラと反対側に置いた光源で透過光を利用してカメラで画像を捉える外観形状検査方法、もしくは、外観形状検査装置、さらには、上記反射光と透過光とを同時、または、切り替えて複数画像をカメラで捉える従来の外観形状検査方法、もしくは、形状検査装置に比較しても、格段に正確な表面境界形状を捉えることができるという効果を有する。同様に、上記特許文献１で記した検査方法のように複数のメモリを用いた合成手段が必要になり、装置自体が複雑になるということもなく、装置自体は、上記特許文献１で記した検査方法と比較して簡単な構造の装置構成で実現可能である。

なお、半透明、または、光を透過する物質部分を持つ部品を正確に固着し位置決めする位置決め機能を有した外観形状検査装置は、位置決め機能と、適切な光量の光を当てる照明手段である照明装置の光ガイド部との位置関係が一意的に決まり、製品の大きさ、形状が規格範囲内のばらつき以外は、光を入光させるべき、該部品の一部また複数の外周部の位置との位置精度が決まり、その拡散光の光量のばらつきが抑えられ、その拡散光の一部が該部品の形状検査したい、別の外周部の一部から漏れ出てくる光量、すなわち、別の外周部の光を透過しない外層部の形状のシルエットを投影させる際に漏れ出てくる光量もばらつきが抑えられ、さらには、それらの物質と光を透過しない物質の表面の境界での画像のコントラストのばらつきを少なくし、より、正確な表面境界形状を捉えられ、形状検査の信頼性を上げ、生産者危険や消費者危険を少なくするという作用効果がある。

以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜１０に記載の発明について図面を参照しながら説明する。

なお、背景の技術において説明したものと同じ構成部材などについては、同じ符号を付し詳細な説明は簡略化する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の請求項１および請求項７に記載の実施の形態１における構成例を示す斜視図である。

図１において、１は外観形状検査装置の２次元カメラ部であり、２は形状検査装置の画像処理部であり、３は光学レンズ部であり、それらを用いて、被検査部品４、たとえば（棒状または板状の）チップ型インダクターまたはチップコンデンサ、またはチップ抵抗のような外周部と連続した領域に半透明もしくは光を透過する物質からなる電子部品の画像を撮像し、得られた画像を画像処理部２で適切な処理、たとえば、寸法測定、面積測定、重心測定、真円度、寸法比、その他、形状を判断するための数値に置き換える処理を行い、被検査部品４の電気回路となる金属電極部９（外層部）を形成した上面の形状を判定する。光ファイバーなどを用いた（上面と直交する）側面からの光ガイド部分５ａ、５ｂから導かれた光により、被検査部品４の側面の、たとえば、ガラス、セラミックスやアラミド樹脂、ガラスエポキシ樹脂などの半透明、または、光を透過する物質部分に対し、入光し、上記の半透明、または、光を透過する物質部分の内部で拡散し、その拡散した光の一部が６ａの被検査部品の欠陥部１、たとえば、電極のピンホールやクラックによる電極の割れ部分、６ｂの被検査部品の欠陥部２、たとえば、コイルパターンの部分欠け、ピンホールによるパターン欠損、部分ショート、電極部分の寸法大や寸法小、電極形状異常、抵抗体の欠損、コンデンサパターンの形状異常などの異常形状を、それらの物質と光を透過しない物質の表面の境界でのコントラストのある画像として捉えることにより、異常の有無を判定することができる。また、被検査部品４の外周部の一部が半透明、または、光を透過する物質部分であれば良く、たとえば、被検査部品の電極部４ａが図１では１面だけ覆っているが４面とも、覆っている場合でも残っている上記外周部の一部から入光可能なら、各電極部に対応する２次元カメラ手段を各々複数設ける（図示せず）か、または、各電極部に対応するミラーなどの反射手段（図示せず）を各々設けて２次元カメラ手段により外観を検出することにより、同時にすばやく被検査部品の外周部全体を検査できるという効果もある。

図２は、本発明の実施の形態１における動作説明用の模式図である。

被検査部品４の長手方向に直交する一対の側面（左右）に、被検査部品４を中心とした点対称の位置に光ファイバーなどを用いた一対の光ガイド部分５ａ、５ｂを対向させ、被検査部品４の開口部となる上記側面に一対の照射光８ａ、８ｂを入光することで、被検査部品の半透明、または、光を透過する物質での部位１０の中で拡散光８ｅに示すように拡散され、その一部の光が被検査部品の金属電極部９での欠陥６ａから、拡散光８ｅの漏れ１４が漏れ出て、その光と金属電極部９の光を透過しない物質の境界とをコントラストのあるシルエット画像として、捉えることが可能となる。同様に、被検査部品４の左右から、光ファイバーなどを用いた側面からの光ガイド部分５ａ、５ｂから、被検査部品４の開口部への照射光８ａ、８ｂが入光され、被検査部品の半透明、または、光を透過する物質での部位１０の中で拡散光８ｅに示すように拡散され、その一部の光が被検査部品の素子パターン部１１での欠陥６ｂから、拡散光８ｅの漏れ１５が漏れ出て、その光と素子パターン部１１の光を透過しない物質の境界とをコントラストのあるシルエット画像として、従来の素子パターン部１１のシルエット画像に加えて、捉えることが可能となる。また、被検査部品４の半透明、または、光を透過する物質への表面開口部の面積が小さいが複数の領域に分かれている場合、本検査方法で複数の方向へ複数の光を照射することが内部で拡散する光量を確保するのに有利となる。また、被検査部品９の内部の構造（あるいは検査したい面）によっては、有利な方向、たとえば、表面に対し垂直ではなく、斜めのある角度方向で照射した方が見たい表面（検査したい表面）からの拡散光８ｅの光量が増しコントラストも増す場合もあり、複数で意味のある方向（コントラストを高める方向）から複数の光による照射が有効になる。

図３は、本発明の実施の形態１における構成例を示す模式図である。外観形状検査装置の２次元カメラ部１で捉えたシルエット画像１３ａは、画像モニター部１２で表示され、内部で拡散した光が通常の素子パターン部１１のシルエット画像に加えて、金属電極部での欠陥６ａと素子パターン部での欠陥６ｂから漏れ出る光によるシルエット画像が現れる。

（実施の形態２）
図４は、本発明の請求項８および請求項９記載における発明の実施の形態２を示す構成例を示す斜視図である。

図４において、１は外観形状検査装置の２次元カメラ部であり、３は光学レンズ部であり、それらを用いて、被検査部品４、たとえば、チップ型インダクターまたはコンデンサ、またはチップ抵抗のような外周部と連続した領域に半透明もしくは光を透過する物質からなる電子部品の画像を撮像し、得られた画像を画像処理部２で適切な処理、たとえば、寸法測定、面積測定、重心測定、真円度、寸法比、その他、形状を判断するための数値に置き換える処理を行い、被検査部品４の形状の異常を検出して判定する。被検査部品４は、真空吸着ノズル式の保持および位置決め部２０であらかじめ、基準位置に片寄せする位置決め動作や画像処理による位置認識によるアライメント動作を適切なアクチュエイターで行って位置決めされており、光ファイバーなどを用いた側面からの光ガイド部分５ａ、５ｂから、導かれた光が被検査部品４の位置に対し正確な位置に照射されることにより、被検査部品４の側面の半透明、または、光を透過する物質部分に対し入光し、上記の半透明、または、光を透過する物質部分の内部で拡散し、その拡散した光の一部が６ａの被検査部品の欠陥部１、たとえば、電極のピンホールやクラックによる電極の割れ部分、６ｂの被検査部品の欠陥部２、たとえば、コイルパターンの部分欠け、ピンホールによるパターン欠損、部分ショート、電極部分の寸法大や寸法小、電極形状異常、抵抗体の欠損、コンデンサパターンの形状異常などの異常形状を、それらの物質と光を透過しない物質の表面の境界でのコントラストのある画像として、より高精度に捉えることにより、異常外観形状を判定することができる。

（実施の形態３）
次に図５は、本発明の請求項１０記載の発明における実施の形態３の構成例を示す模式図である。図５（Ａ）は位置決め前の状態を示す模式図、図５（Ｂ）は、位置決め後の状態を示す模式図であり、それを用いて、その効用を説明する。図５（Ａ）は、保持した直後の被検査部品４と光ファイバーなどを用いた側面からの光ガイド部分５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、および外観形状検査装置の２次元カメラ部１、光学レンズ部３との位置関係を示している。製品形状ばらつきや予備位置決めばらつき、たとえば、基準位置に片寄せする位置決め動作ばらつきなどで両者の位置関係は、所定の位置からずれている。すなわち、光ガイド部分５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄが被検査部品４の半透明、または、光を透過する物質部分の開口部分に対し、位置がずれており、たとえば、光を透過しない電極部分に照射光が一部かかっていたり、照射すべき位置から入射光軸方向に離れたりして最適な位置、方向から、離れている。一方、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の状態から、画像処理による位置認識によるアライメント動作を適切なアクチュエイターで行って、位置決めされて位置が修正され、前記位置関係は、ずれを補正されてばらつきの少ない状態になり、そのことにより被検査部品４に対して、光ファイバーなどを用いた側面からの光ガイド部分５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄからの照射光８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが最適な位置や角度に精度よく照射でき、被検査部品４の内部での拡散光の光量のばらつきが少なく、光を透過しない物質の表面の境界でのコントラストのある画像として、より安定した画像に捉えることができる。

（実施の形態４）
図６は本発明の実施の形態４の構成例を示す斜視図である。

図６に示すように、被検査部品４に側面から光ファイバーなどにより光を照射し、その透過光から得られるシルエット画像１３ａと、従来の反射光を利用した画像１３ｂとを同時に複数カメラで捉えて外観形状検査装置を行ってもよい。また、カメラを切り替えて、同一カメラで上記複数の画像１３ａ、１３ｂを外観形状検査に利用する構成としてもよい。そうすることで、より高精度で多面的な外観形状検査を行うことができる。

本発明にかかる、部品外観形状検査方法、もしくは部品外観形状検査装置は、外観形状検査の信頼性を上げ、生産者危険や消費者危険を少なくする効果を有し、電気・電子部品や機械部品の外観形状検査装置などの用途として有用である。

また、本発明にかかる部品外観形状検査装置は、ガラスや半透明、または、光を透過する樹脂、部材で出来ているような、製品表面部分形状の検査が必要な、半透明、または、光を透過する物質で部分的に構成されているような容器、外装部の外観形状検査などの用途にも適用できる。

本発明の実施の形態１における構成例を示す斜視図 同実施の形態１における動作説明用の模式図 同実施の形態１における構成例を示す模式図 同実施の形態２を示す構成例を示す斜視図 同実施の形態３の構成例を示す模式図、（Ａ）位置決め前の状態を示す模式図、（Ｂ）位置決め後の状態を示す模式図 同実施の形態４の構成を示す斜視図 従来の構成例を示す斜視図 従来の構成例の動作説明用の模式図 従来の構成例を示す模式図

符号の説明

１ 形状検査装置の２次元カメラ部
２ 形状検査装置の画像処理部
３ 光学レンズ部
４ 被検査部品
４ａ 被検査部品の電極部
５ａ、５ｂ 光ファイバーなどを用いた側面からの光ガイド部分
５ｃ、５ｄ 光ファイバーなどを用いた側面からの補助の光ガイド部分
６ａ 被検査部品の欠陥部１（金属電極部での欠陥）
６ｂ 被検査部品の欠陥部２（素子パターン部での欠陥）
８ａ、８ｂ 開口部への照射光
８ｃ、８ｄ 開口部への補助の照射光
８ｅ 拡散光
９ 被検査部品の金属電極部
１０ 被検査部品の半透明物質での部位
１１、１１ａ、１１ｂ 被検査部品の素子パターン部
１２ 画像モニター部
１３ａ 画像モニター部に表示されたシルエット画像
１３ｂ 画像モニター部に表示された反射照明による画像
１４ 欠陥部６ａからの拡散光の漏れ
１５ 欠陥部６ｂからの拡散光の漏れ
２０ 真空吸着ノズル式の保持および位置決め部
１０５ ２次元カメラと同一側にある反射用照明装置
１０６ ２次元カメラと反対側にある透過光用照明装置

Claims (10)

1. 外周部の一部に光を透過しない外層部を有し、かつ、他の外周部の一部と連続した領域に半透明、または、光を透過する物質部分を持ち、その半透明、または、光を透過する物質部分に外部から光を照射し、その照射された光が半透明、または、光を透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する被検査部品に対し、上記外層部を有した面以外の上記被検査部品の外周部の方向から上記被検査部品に光を照射し、上記外層部を有した面から放出された光を上記外層部の２次元画像として検出し、上記外層部の外観形状を検査する外観形状検査方法。
2. 被検査部品の複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射して上記外層部の外観形状を検査するという特徴を持った請求項１記載の外観形状検査方法。
3. 上面を検査する被検査部品に対して上記上面と直交する側面から光を照射して上面に有する外層部の外観形状を検査する請求項１または２記載の外観形状検査方法。
4. 被検査部品を中心とした点対称の位置から上記被検査部品の複数の側面に一対の光を照射することを特徴とする請求項３記載の外観形状検査方法。
5. 棒状または板状の被検査部品の長手方向に直交する一対の側面に一対の光を照射することを特徴とする請求項４記載の外観形状検査方法。
6. 長手方向に平行な複数の側面に電気回路となる外層部を形成した棒状の被検査部品に対して、長手方向に直交する側面から光を照射して複数の側面に有した外層部を複数の２次元カメラ手段により同時に検出して外観形状を検査する請求項３記載の外観形状検査方法。
7. 長手方向に平行な複数の側面に電気回路となる外層部を形成した棒状の被検査部品に対して、長手方向に直交する側面から光を照射して複数の反射手段により上記外層部を有した面から放出された光を反射させて複数の側面に有した外層部を一つの２次元カメラ手段により同時に検出して外観形状を検査する請求項３記載の外観形状検査方法。
8. 外周部の一部に光を透過しない外層部を有し、かつ、他の外周部と連続した領域に半透明、または、光を透過する物質部分を持ち、その半透明、または、光を透過する物質部分に外部から光を照射し、その照射された光が半透明、または、光を透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する被検査部品を保持する保持手段と、上記外層部を有した面以外の上記被検査部品の外周部の方向から上記被検査部品に光を照射する照明手段と、上記外層部を有した面から放出された光を上記外層部の２次元画像として検出する２次元カメラ手段と、得られた２次元画像から画像処理して形状を判定する画像処理手段とを備えた外観形状検査装置。
9. 被検査部品の複数の外周部の方向からそれぞれ複数の光を照射する照明手段を備えたことを特徴とする請求項８記載の外観形状検査装置。
10. 被検査部品を保持する保持手段に加えて、正確な位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項９記載の外観形状検査装置。

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