JP2007284620A - 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 - Google Patents
粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007284620A JP2007284620A JP2006115913A JP2006115913A JP2007284620A JP 2007284620 A JP2007284620 A JP 2007284620A JP 2006115913 A JP2006115913 A JP 2006115913A JP 2006115913 A JP2006115913 A JP 2006115913A JP 2007284620 A JP2007284620 A JP 2007284620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive adhesive
- adhesive layer
- cleaning
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】 アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、
当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有し、かつ、
前記凹部の開ロ部が略円形で、その平均開ロ径が0.1〜3μmであり、
前記開ロ径の標準偏差が0.7μm以下であり、
前記開ロ部の分布は、隣り合う開口部との中心間距離の標準偏差が1μm以下であることを特徴とする粘着剤層。
【選択図】 図1
Description
当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有し、かつ、
前記凹部の開口部が略円形で、その平均開口径が0.1〜3μmであり、
前記開口径の標準偏差が0.7μm以下であり、
前記開口部の分布は、隣り合う開口部との中心間距離の標準偏差が1μm以下であることを特徴とする粘着剤層、に関する。
アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系ポリマーとは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、前記アクリル系ポリマーを溶解する溶媒(A)および前記アクリル系ポリマーと前記不相溶化合物の双方を相溶する相溶化溶媒(B)を含有する混合溶媒に溶解した粘着剤組成物溶液を、基材上に塗布して、乾燥することにより、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、
前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させるとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、
得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、を有することを特徴とする粘着剤層の製造方法、に関する。
使用カラム:TSKgel GMH−H(S)×2本(東ソー社製)
移動相:テトラヒドロフラン
注入量:100μl
サンプル濃度:1.0g/l(テトラヒドロフラン溶液)
分散度は、重量平均分子量と数平均分子量の比として算出した。数平均分子量の測定は、重量平均分子量の測定と同一方法にて実施した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw約85万,Mw/Mnが9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本合成化学社製:商品名:UV1700B)を40部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに、溶媒(A)である酢酸エチル(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:0.53,重合性不飽和化合物に対するχパラメータ:8.7)と、相溶化溶媒(B)であるメタノール(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:2.0,重合性不飽和化合物に対するχパラメータ:2.7)を、溶媒(A)/溶媒(B)=12/7の割合で配合した混合溶媒に、均一に混合して濃度が18重量%に調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてグリセリン(前記アクリルポリマーAに対するχパラメータ:10,沸点290℃)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
前記粘着剤組成物溶液を、幅200mm、厚み50μmの支持体用ポリエステル系フィルムの片面に、乾燥後の厚みが35μmになるように塗布して55℃で4分間にて乾燥を行い、グリセリンにより凹部を形成した粘着剤組成物層を形成した。次いで、粘着剤組成物層の表面に厚さ50μmのポリエステル系剥離フィルムを貼り、次に紫外線照射を行い、アクリル系粘着剤を硬化して、凹部の構造を固定化して、相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成した。その後、ポリエステル系剥離フィルムを除去し、150℃で10分間、加熱して凹部を形成しているグリセリンを除去し、本発明の粘着シートを得た。粘着シートは、50℃で72時間保持して粘着剤層をエージングした。
前記粘着シートをクリーニングシートとした。また、当該クリーニングシートの支持体フィルムの、前記粘着剤層(クリーニング層)の設けられていない側に、粘着剤溶液を乾燥後の厚みが20μmになるように塗布して、固定用の粘着剤層を設け、その表面にポリエステル系剥離フィルムを貼り合わせた、クリーニングシートを作製した。さらに、固定用の粘着剤層は、50℃で72時間加温して粘着剤層をエージングした。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
実施例1において、混合溶媒として、溶媒(A)/溶媒(B)=7/12の割合で配合したものを用いたこと以外は実施例1と同様にして、紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてグリセリン(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:10,沸点290℃)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の調製)
実施例1で調製した粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物として1,2,3‐ブタントリオール(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:8.8)25部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
実施例1において、混合溶媒の代わりに、溶媒(A)である酢酸エチルのみを用いて、濃度を18重量%に調整したこと以外は、実施例1と同様にして、紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてグリセリン(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:10,沸点290℃)10部を添加したところ、相分離が起こり、均一な、溶液を調製することができなかった。その結果、粘着シート、クリーニングシートは作製することができなかった。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
実施例1において、重合性不飽和化合物である多官能ウレタンアクリレート(日本合成化学社製:商品名:UV1700B)の使用量を80部に変え、混合溶媒の代わりに、溶媒(A)である酢酸エチルのみを用いて、濃度を18重量%に調整したこと以外は、実施例1と同様にして、紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物として1,3‐プロパンジオール(前記アクリルポリマーに対するχパラメータ:5.6,沸点214℃)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
上記走査電子顕微鏡にて観察した画像を、画像解析ソフトにて画像解析して凹部の平均直径を算出した。この平均直径を平均開口径とした。また、開口径に標準偏差を算出した。
上記走査電子顕微鏡にて観察した画像を、画像解析ソフトにて画像解析し、隣り合う開口部との中心間距離を算出して、その標準偏差を算出した。
粘着剤層の表面を走査電子顕微鏡(日立製作所製,S570)にて撮影し、画像解析にて粘着剤層の表面の凹部の面積比率を算出した。
粘着剤層の凹部を液体窒素中にて凍結破断し、断面を上記走査電子顕微鏡にて観察し、断面における凹部の深さhと断面における厚さHからh/Hを算出した。
クリーニング層に直径50mmの金属片を2kgの加重で3分間密着させ、室温23℃にて引っ張り速度100mm/分で金属片を垂直に持ち上げた時にかかる剥離力を測定した。
ウエハステージを持つ基板処理装置(装置名:GR−3000,日東精機社製)内に搬送し下記基準で評価した。
×:各部位、ステージへの付着がある場合、または搬送装置が停止した場合。
△:搬送装置は停止しなかったが、各部位、ステージから剥離する際に音が出た場合。
○:搬送装置は停止しがなく、各部位、ステージから剥離する際に音も出ない場合。
クリーニングシートの固定用の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、当該粘着剤層を、8インチのシリコンウエハの裏面(ミラー面)にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。次にウエハステージを持つ基板処理装置(装置名:GR−3000,日東精機社製)のステージ上にウエハを数回置き、模擬異物を付着させた。模擬異物は、ウエハの研磨屑であり、サイズ1.7μm以上(上限600μm)のものを、約1万〜2万個、ステージ上に付着させた。初期の汚染状態評価用に8インチシリコンウエハを基板処理装置にミラー面を下側に向けて搬送した後、レーザー式異物測定装置でミラー面を測定し、初期異物量を測定した(8インチウエハサイズのエリア内)。該クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを、基板処理装置にクリーニング面を下側に向けて3回搬送を実施した。搬送後の異物数量をレーザー式異物測定装置(レーザー式パーティクルカウンター,TENCOR社製,SURFSCAN6200)でミラー面を測定し、(初期異物量−搬送後捕集異物量)/初期異物量を算出した。この比率が30%以上であれば「○」と判定した。30%未満の場合を「×」とした。
2 支持体
3 固定用粘着剤層
a 凹部
Claims (18)
- アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、
当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有し、かつ、
前記凹部の開ロ部が略円形で、その平均開ロ径が0.1〜3μmであり、
前記開ロ径の標準偏差が0.7μm以下であり、
前記開ロ部の分布は、隣り合う開口部との中心間距離の標準偏差が1μm以下であることを特徴とする粘着剤層。 - 前記粘着剤層の表面の全投影面積に対する、前記不連続な凹部の投影面積の割合が、15%〜80%であることを特徴とする請求項1記載の粘着剤層。
- 前記粘着剤層の厚さ(H)に対する、前記凹部の深さ(h)の比(h/H)が、0.01〜0.1であることを特徴とする請求項1または2記載の粘着剤層。
- 放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤は、アクリル系ポリマーおよび重合性不飽和化合物を含有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の粘着剤層。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法であって、
アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系ポリマーとは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、前記アクリル系ポリマーを溶解する溶媒(A)および前記アクリル系ポリマーと前記不相溶化合物の双方を相溶する相溶化溶媒(B)を含有する混合溶媒に溶解した粘着剤組成物溶液を、基材上に塗布して、乾燥することにより、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、
前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させるとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、
得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、を有することを特徴とする粘着剤層の製造方法。 - 前記アクリル系ポリマーと前記不相溶化合物の双方を相溶する相溶化溶媒(B)は、相溶性のパラメータであるχパラメータが、アクリル系ポリマーに対して0.5〜3であり、不相溶化合物に対して0.5〜3であることを特徴とする請求項5記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記不相溶化合物は、アクリル系ポリマーに対するχパラメータが7以上であり、かつ沸点が190℃以上であることを特徴とする請求項5または6記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記粘着剤組成物溶液は、均一状態であるが、相溶化溶媒(B)が不存在の状態では相分離が生じるように、溶媒(A)および相溶化溶媒(B)が選択されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記相溶化溶媒(B)が、アルコール系溶媒であることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(3)は、加熱により、粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去することを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(3)は、溶媒抽出により、粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去することを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記溶媒抽出に用いる溶媒が、液化二酸化炭素または超臨界状態にある二酸化炭素であることを特徴とする請求項11記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(2)において、粘着剤組成物層表面にカバーフィルムで覆った状態で放射線照射または加熱することを特徴とする請求項5〜12のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の少なくとも片面に設けられていることを特徴とする粘着シート。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の少なくとも片面にクリーニング層として設けられていることを特徴とするクリーニングシート。
- 請求項1〜4いずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の片面にクリーニング層として設けられており、他の片面には、固定用の粘着剤層を有することを特徴とするクリーニングシート。
- 請求項16記載のクリーニングシートが、固定用の粘着剤層を介して搬送部材に設けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
- 請求項15もしくは16記載のクリーニングシートまたは請求項17記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115913A JP4868925B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | クリーニング層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
PCT/JP2007/058335 WO2007123116A1 (ja) | 2006-04-19 | 2007-04-17 | クリーニング用粘着剤層、その製造方法、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材および異物のクリーニング方法 |
TW096113841A TW200808933A (en) | 2006-04-19 | 2007-04-19 | Pressure sensitive adhesive layer for cleaning, process for producing the same, cleaning sheet, delivery member with cleaning function, and method of cleaning off foreign matter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115913A JP4868925B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | クリーニング層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007284620A true JP2007284620A (ja) | 2007-11-01 |
JP4868925B2 JP4868925B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=38756704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006115913A Expired - Fee Related JP4868925B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | クリーニング層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4868925B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209330A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283605A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Canon Inc | 基板の吸着保持装置およびその製造方法 |
JPH11349902A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-21 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 装飾用シート |
JP2002239476A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-27 | Nitto Denko Corp | クリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2003190075A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Nitomuzu:Kk | 清掃用粘着テープ |
JP2005268483A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材の作製方法および作製装置と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2005286261A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2007002225A (ja) * | 2005-05-26 | 2007-01-11 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115913A patent/JP4868925B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283605A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Canon Inc | 基板の吸着保持装置およびその製造方法 |
JPH11349902A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-21 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 装飾用シート |
JP2002239476A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-27 | Nitto Denko Corp | クリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2003190075A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Nitomuzu:Kk | 清掃用粘着テープ |
JP2005268483A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材の作製方法および作製装置と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2005286261A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2007002225A (ja) * | 2005-05-26 | 2007-01-11 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209330A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4868925B2 (ja) | 2012-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4970835B2 (ja) | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 | |
JP5057697B2 (ja) | 半導体ウエハ又は半導体基板加工用粘着シート | |
JP3853247B2 (ja) | 電子部品用加熱剥離型粘着シートおよび電子部品の加工方法並びに電子部品 | |
JP4711777B2 (ja) | 粘着シートとその製造方法、及び、製品の加工方法 | |
JP5167195B2 (ja) | クリーニングシート、クリーニング機能付搬送部材、基板処理装置のクリーニング方法、および基板処理装置 | |
TWI631203B (zh) | 透明導電性膜用載體膜及積層體 | |
JP4721834B2 (ja) | 粘着シート及びこの粘着シートを用いた製品の加工方法 | |
JP5101111B2 (ja) | 半導体基板加工用粘着シート | |
JP4970862B2 (ja) | クリーニング層の製造方法、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 | |
TWI674308B (zh) | 透明導電性膜用載體膜及積層體 | |
JP2007070432A (ja) | 粘着シート及びこの粘着シートを用いた製品の加工方法 | |
JP2004300231A (ja) | 熱剥離性両面粘着シート、被着体の加工方法および電子部品 | |
JP2007084722A (ja) | 粘着シートとその製造方法、及び、製品の加工方法 | |
JP2010053346A (ja) | 再剥離型粘着剤及び再剥離型粘着シート | |
JP2008270504A (ja) | ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート | |
JP2009138027A (ja) | 粘着剤層の製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 | |
JP2014129491A (ja) | シート状粘着剤、粘着積層体及び可撓性部材の製造方法 | |
TWI712503B (zh) | 透明導電性膜用載膜及積層體 | |
JP2009209330A (ja) | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 | |
JPH10150007A (ja) | 半導体ウエハ固定用シート | |
JP2006294742A (ja) | 被着体の加工方法、該方法により得られる電子素子、及び該方法に用いる両面粘着シート | |
JP2005101628A (ja) | 電子部品用加熱剥離型粘着シートおよび電子部品の加工方法並びに電子部品 | |
JP4868925B2 (ja) | クリーニング層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 | |
JP4919337B2 (ja) | クリーニングシート、クリーニング機能付搬送部材および基板処理装置のクリーニング方法 | |
WO2007123116A1 (ja) | クリーニング用粘着剤層、その製造方法、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材および異物のクリーニング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081110 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |