JP2007273518A - 固体撮像装置及びそれを用いたカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の固体撮像装置は、N型基板6の表面側に設けられたフォトダイオードを構成するN型領域7と、N型領域7の下に設けられた第二のP型領域17と、第二のP型領域17よりもN型基板6の内部に、かつ第二のP型領域17と離間して設けられた第一のP型領域9とを備えている。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1の実施形態における画素の平面図を示す。図2に図1のX1−X2間の本実施形態における画素の断面図、図3に図1のY1−Y2間の本実施形態における画素の断面図を示す。17は第二のP型領域であり、垂直CCD下P型領域10とは離れており、フォトダイオード間分離用P型領域18と重なって形成されている。また、第二のP型領域17は図8に示した垂直CCD3の長手方向に延びて設けられており、水平CCD4の長手方向(X1−X2間)でみるとN型領域7の幅よりも細い幅となっている。
図4は本発明の第2の実施形態における平面図である。図5に図4のX3−X4間の本実施形態における画素の断面図、図6に図4のY3−Y4間の本実施形態における画素の断面図を示す。
図7は本発明の第3の実施形態における平面図である。
2 トランスファ−ゲート
3 垂直CCD
4 水平CCD
5 出力アンプ
6 N型基板
7 フォトダイオードを構成するN型領域
8 垂直CCDを構成するN型領域
9 第一のP型領域
10 垂直CCD下P型領域
11 フォトダイオード表面P+領域
12 トランスファーゲート下P型領域
13 P+チャネルストップ領域
14 ゲート絶縁膜
15 層間絶縁膜
16 遮光膜
17 第二のP型領域
18 フォトダイオード間分離用P型領域
Claims (10)
- 第1導電型基板の表面側に設けられた光電変換部を構成する第一の第1導電型不純物拡散層と、
前記第一の第1導電型不純物拡散層の下に設けられた第一の第2導電型不純物拡散層と、
前記第一の第2導電型不純物拡散層よりも前記第1導電型基板の内部に、かつ前記第一の第2導電型不純物拡散層と離間して設けられた第二の第2導電型不純物拡散層とを備える固体撮像装置。 - 前記光電変換部は行列状に複数配置されており、
前記複数の光電変換部で発生した信号電荷を読み出し転送する複数の垂直CCDが列毎に設けられており、
前記第一の第2導電型不純物拡散層は少なくとも各列に前記垂直CCDの長手方向に延びるように設けられ、かつ行方向の幅が前記第一の第1導電型不純物拡散層の行方向の幅と同じかそれよりも狭いことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は行列状に複数配置されており、
前記複数の光電変換部で発生した信号電荷を読み出し転送する複数の垂直CCDが列毎に設けられており、
前記基板の上から見て、前記第一の第1導電型不純物拡散層の直下に位置する前記第一の第2導電型不純物拡散層の面積が前記第一の第1導電型不純物拡散層の面積よりも狭いことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は行列状に複数配置されており、
前記複数の光電変換部で発生した信号電荷を読み出し転送する複数の垂直CCDが列毎に設けられており、
前記第一の第2導電型不純物拡散層は少なくとも各行に前記垂直CCDの長手方向と垂直な方向に延びるように設けられ、かつ列方向の幅が前記第一の第1導電型不純物拡散層の列方向の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は行列状に複数配置されており、
前記複数の光電変換部で発生した信号電荷を読み出し転送する複数の垂直CCDが列毎に設けられており、
前記第一の第2導電型不純物拡散層は前記第一の第1導電型不純物拡散層の直下で行列方向に十字状に延びるように設けられ、かつ少なくとも行方向の幅が前記第一の第1導電型不純物拡散層の行方向の幅と同じかそれよりも狭いことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第一の第2導電型不純物拡散層の列方向の幅が前記第一の第1導電型不純物拡散層の列方向の幅よりも狭いことを特徴とする請求項5記載の固体撮像装置。
- 前記垂直CCDは電荷転送経路となる第二の第1導電型不純物拡散層を含み、
前記第二の第1導電型不純物拡散層の下には前記第一の第2導電型不純物拡散層と離間して第三の第2導電型不純物拡散層が設けられていることを特徴とする請求項2、3、5、6のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記複数の光電変換部の間には少なくとも前記第一の第1導電型不純物拡散層を電気的に分離するための第四の第2導電型不純物拡散層が前記第一の第2導電型不純物拡散層と離間して設けられていることを特徴とする請求項3ないし7のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記第1導電型基板に電圧を印加する回路をさらに備え、前記第1導電型基板に所定の電圧が印加されると少なくとも前記第一の第2導電型不純物拡散層が前記第一の第1導電型不純物拡散層と前記第1導電型基板との間に形成されるポテンシャルバリアとして機能することを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の固体撮像装置を用いたカメラ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006094024A JP2007273518A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 固体撮像装置及びそれを用いたカメラ |
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Family Applications (1)
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JP2006094024A Ceased JP2007273518A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 固体撮像装置及びそれを用いたカメラ |
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JP (1) | JP2007273518A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846167A (ja) * | 1995-04-22 | 1996-02-16 | Sony Corp | 縦形オーバーフローイメージセンサーの製造方法 |
JP2000223688A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラシステム |
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2006
- 2006-03-30 JP JP2006094024A patent/JP2007273518A/ja not_active Ceased
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