JP2007273382A - Light source device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light source device in which whether a discharge lamp mounted on the light source device is an adapted one is automatically determined, and if this is correct one, a usage state and a usage history of the discharge lamp are managed. <P>SOLUTION: This is the light source device which has the discharge lamp having a base 1 that is constituted of a cylindrical base part 11 of a large diameter wherein one end face is sealed by a disk-shaped contact face 12 and that is constituted of a protruding part 13 of a small-diameter planted coaxially through the center of the disk-shaped contact face, and having a lamp data display part 2 wherein the lamp data related to the discharge lamp are displayed at this base 1, and which has a base holder 3 wherein the base of this discharge lamp is held and power supply is carried out, and in which a reading device for reading data of the lamp data display part 2 is installed at the base holder 3. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体デバイス（ＩＣ）、液晶表示パネル（ＬＣＤ）、プリント配線基板（ＰＣＢ）などの製造工程において露光に使用されて紫外線を発生する放電ランプを備えた光源装置に関し、特に放電ランプごとに、各放電ランプの属性および設定仕様を表示するランプ・データ表示部を設け、この属性および設定仕様を読み取ることにより、放電ランプの使用状態および履歴を管理できるように構成した光源装置に関する。   The present invention relates to a light source device including a discharge lamp that is used for exposure in a manufacturing process of a semiconductor device (IC), a liquid crystal display panel (LCD), a printed wiring board (PCB), etc., and generates ultraviolet rays. Further, the present invention relates to a light source device that is provided with a lamp data display unit that displays attributes and setting specifications of each discharge lamp, and can manage the use state and history of the discharge lamp by reading the attributes and setting specifications.

図１８に示すように、従来の光源装置において使用する放電ランプは、ボール状の膨出部51および２つの封止管部52よりなる石英バルブ５と、膨出部51の中に対向配置された陽極53および陰極54と、これら陽極53および陰極54を支持するとともに通電を行う内部リード棒55と、外部リード棒56と、この内部リード棒55と外部リード棒56とをモリブデン箔57によって接続して気密に封止する封止管部52とにより構成され、さらに、封止管部52に口金１が固定されている。   As shown in FIG. 18, the discharge lamp used in the conventional light source device is disposed opposite to the quartz bulb 5 including the ball-like bulged portion 51 and the two sealing tube portions 52 and the bulged portion 51. The anode 53 and the cathode 54, the internal lead rod 55 that supports and supplies current to the anode 53 and the cathode 54, the external lead rod 56, and the internal lead rod 55 and the external lead rod 56 are connected by a molybdenum foil 57. The sealing tube portion 52 is hermetically sealed, and the base 1 is fixed to the sealing tube portion 52.

従来の口金１は、図１９の縦断面図に示すように、一端面を円板状の当接面12で封じた大径の円筒状のベース部11と、円板状の当接面12の中央を貫通して同軸状に植設された小径の突出部13とにより構成され、大径のベース部11を封止管部52に接着剤58で接着し、小径の突出部13に外部リード棒56を挿通して銀蝋59で蝋付けしている。   As shown in the longitudinal sectional view of FIG. 19, the conventional base 1 has a large-diameter cylindrical base portion 11 whose one end surface is sealed with a disk-shaped contact surface 12, and a disk-shaped contact surface 12. A small-diameter protruding portion 13 that is coaxially planted through the center of the base, and a large-diameter base portion 11 is bonded to the sealing tube portion 52 with an adhesive 58, and the small-diameter protruding portion 13 is externally attached. Lead rod 56 is inserted and brazed with silver wax 59.

凹面反射鏡を備えた光源装置に放電ランプを取り付ける際には、光源装置の平坦な当接面31を有する金属製の口金ホルダ３の孔32に、口金３の突出部13を挿し込んで放電ランプを保持させ、口金ホルダ３を介して通電している。   When a discharge lamp is attached to a light source device having a concave reflecting mirror, the protrusion 13 of the base 3 is inserted into the hole 32 of the metal base holder 3 having the flat contact surface 31 of the light source device to discharge. The lamp is held and energized through the base holder 3.

光源装置において、凹面反射鏡の前面で放電ランプの輝点位置が変わると、規定の光学的性能が得られなくなるので、輝点は凹面反射鏡の前面で常に一定の位置に設定しなければならない。そのために、放電ランプごとの輝点位置にバラツキがあると、放電ランプを交換するごとに、凹面反射鏡における輝点の位置を調整する必要があり、熟練を要する面倒な作業である。   In the light source device, if the luminescent spot position of the discharge lamp changes in front of the concave reflector, the specified optical performance cannot be obtained. Therefore, the luminescent spot must always be set at a constant position in front of the concave reflector. . Therefore, if there is a variation in the luminescent spot position for each discharge lamp, it is necessary to adjust the position of the luminescent spot in the concave reflecting mirror every time the discharge lamp is replaced, which is a troublesome work requiring skill.

そこで、放電ランプを交換しても輝点位置の再現性を保つために、従来の光源装置においては、口金ホルダ３の孔32に放電ランプの口金１の突出部13を挿し込んで、口金１の円板状の当接面12を口金ホルダ３に当接させることにより、輝点位置の再現性を確保している。   Therefore, in order to maintain the reproducibility of the bright spot position even when the discharge lamp is replaced, in the conventional light source device, the protruding portion 13 of the discharge lamp base 1 is inserted into the hole 32 of the base holder 3 so that the base 1 is inserted. The disc-shaped contact surface 12 is brought into contact with the base holder 3 to ensure reproducibility of the bright spot position.

しかし、従来の光源装置においては、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号などの各放電ランプごとの固有の属性について管理していない。   However, the conventional light source device does not manage the unique attributes for each discharge lamp such as the date of manufacture, manufacturer name, manufacturing location, manufacturing line, lamp type, product number, lot number, identification number, etc. .

また、光源装置に適合しないので使用できない型式の放電ランプを間違えて取り付けたり、純正放電ランプ以外の放電ランプ、特に光源装置が許容する設定仕様を無視した不正な放電ランプを点灯させた場合には、光源装置の寿命を短くしたり故障の原因ともなるだけでなく、放電ランプが破裂する原因にもなって光源装置に多大な被害を受けることがある。   In addition, when a wrong type of discharge lamp cannot be used because it is not compatible with the light source device, or when a discharge lamp other than a genuine discharge lamp is turned on, particularly an illegal discharge lamp that ignores the setting specifications allowed by the light source device is turned on. In addition to shortening the life of the light source device and causing failure, the light source device may be damaged, causing the discharge lamp to burst.

直流点灯のショートアーク型放電ランプにおいては、光源装置に接続する極性（陰極と陽極）が定められている。極性を間違えて接続すると、陰極が著しく消耗して、寿命が著しく短くなるので、放電ランプの口金等に、極性を明確に表示して放電ランプの取付方向の注意を促したり、逆の極性に接続できないように端子の形状を陰極と陽極で異なるようにしている。   In a DC-lighted short arc discharge lamp, the polarity (cathode and anode) connected to the light source device is determined. If the polarity is wrongly connected, the cathode will be consumed significantly and the life will be shortened. Therefore, the polarity should be clearly displayed on the base of the discharge lamp, etc. The shape of the terminal is made different between the cathode and the anode so that they cannot be connected.

さらに、放電ランプごとの履歴管理、例えば、未使用の放電ランプか、途中まで使用した放電ランプであるのか、旧仕様の放電ランプか、最新仕様の放電ランプであるかなどの放電ランプごとの履歴管理は、ランプ使用者の記録に頼らざるを得なかった。   In addition, history management for each discharge lamp, for example, whether it is an unused discharge lamp, a discharge lamp that has been used halfway, an old specification discharge lamp, or a latest specification discharge lamp. Management had to rely on lamp user records.

このように、放電ランプの使用者が、放電ランプごとの属性および設定仕様を認識するだけではなく、光源装置が放電ランプの属性および設定仕様を認識し、その履歴を管理する必要がある。特に、使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を超過した放電ランプの点灯、または使用点灯時間をリセットして使用点灯時間が適切に管理されていない放電ランプの点灯は、部分的な異常な発熱などにより放電ランプが破裂することがあった。   Thus, the user of the discharge lamp not only recognizes the attributes and setting specifications for each discharge lamp, but also the light source device needs to recognize the attributes and setting specifications of the discharge lamp and manage the history thereof. In particular, lighting of a discharge lamp that exceeds the usage limit lighting time and the usage limit blink count, or resetting the usage lighting time and the lighting of the discharge lamp whose usage lighting time is not properly managed will cause partial abnormal heat generation, etc. As a result, the discharge lamp sometimes burst.

放電ランプにおいては、放電ランプの品種ごとに定格ランプ電流、定格ランプ電圧、冷却条件、装置への取付方向、使用限度点灯時間および使用限度点滅回数など設定仕様が定められているが、従来の光源装置においては、放電ランプの管理はランプ使用者に頼らざるを得なかった。   For discharge lamps, setting specifications such as rated lamp current, rated lamp voltage, cooling conditions, installation direction to the device, usage limit lighting time and usage limit flashing frequency are set for each type of discharge lamp. In the apparatus, the management of the discharge lamp has to rely on the lamp user.

放電ランプの種別および使用時間を示すランプ・データ担持部をランプユニットに設け、このランプ・データを読み出すことによりランプユニットを管理することが下記特許文献１に提案されている。   Patent Document 1 below proposes that a lamp / data holding unit indicating the type and usage time of a discharge lamp is provided in the lamp unit and the lamp unit is managed by reading out the lamp data.

下記特許文献１で提案されているランプ・データ担持部は、複数のヒューズを配列し、これら複数のヒューズを部分的に溶断することによりランプ・データを担持させるもので、出荷時に放電ランプの種別を表す部分的な溶断を行い、光源装置に取り付けたときに、放電ランプの種別を読み取る。   The lamp data holding unit proposed in the following Patent Document 1 is arranged to carry lamp data by arranging a plurality of fuses and partially fusing the plurality of fuses. When a partial fusing is performed and attached to the light source device, the type of the discharge lamp is read.

そして、光源装置において、読み取った放電ランプの種別より、寿命時間を判断し、使用時間が一定時間経過するごとにランプ・データ担持部のヒューズを順次に溶断させて、ヒューズの溶断の有無を電気的に検出することによりランプ・データ担持部に残存寿命時間を担持させている。   Then, in the light source device, the life time is determined from the read type of the discharge lamp, and the fuse of the lamp / data carrying part is blown out sequentially every time the usage time elapses, and the presence / absence of blowout of the fuse is electrically Thus, the remaining life time is carried on the lamp / data carrying unit.

このランプ・データ担持部は、放電ランプを保持するランプユニットに取り付けられているので、ランプユニットから放電ランプを取り外して、別の放電ランプと交換されると、放電ランプのデータが連続しなくなる。   Since the lamp / data holding unit is attached to the lamp unit that holds the discharge lamp, when the discharge lamp is removed from the lamp unit and replaced with another discharge lamp, the data of the discharge lamp is not continuous.

このようなランプ・ランプ・データ担持手段によると、光源装置に予め登録された仕様の放電ランプのみについて適用できるが、新たに開発された仕様の放電ランプは適用することができない。また、光源装置の設定を更新することもできないので、使用できる放電ランプが制限されるという問題がある。
特開２００４−６３６０号公報 According to such a lamp / lamp / data holding means, it can be applied only to a discharge lamp having a specification previously registered in the light source device, but a discharge lamp having a newly developed specification cannot be applied. Moreover, since the setting of the light source device cannot be updated, there is a problem that usable discharge lamps are limited.
JP 2004-6360 A

そこで、本発明は、光源装置に取り付けた放電ランプが適合した放電ランプであるか否かを自動的に判断して、正しい放電ランプであれば、放電ランプの使用状態および使用履歴を管理することを目的として考えられたものである。   Therefore, the present invention automatically determines whether or not the discharge lamp attached to the light source device is a suitable discharge lamp, and if it is a correct discharge lamp, manages the use state and use history of the discharge lamp. It was thought for the purpose.

本発明の光源装置は、一端面を円板状の当接面で封じた大径の円筒状のベース部と、上記円板状の当接面の中央を貫通して同軸状に植設された小径の突出部とよりなる口金およびこの口金に放電ランプに係るランプ・データを表示したランプ・データ表示部を有する放電ランプと、この放電ランプの口金を保持して通電を行う口金ホルダを有する光源装置であって、上記口金ホルダに上記ランプ・データ表示部のデータを読み取る読取装置を設けたものである。   The light source device of the present invention is coaxially implanted through a large-diameter cylindrical base portion whose one end surface is sealed with a disk-shaped contact surface and the center of the disk-shaped contact surface. A discharge lamp having a base composed of a small-diameter protruding portion, a lamp data display portion displaying lamp data related to the discharge lamp on the base, and a base holder for holding the discharge lamp base and energizing the base In the light source device, a reading device for reading data of the lamp / data display unit is provided in the base holder.

放電ランプとは分離不可能な口金に、放電ランプの属性（製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号など）および設定仕様（定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向）のランプ・データを表示し、放電ランプの取付時または交換時に光源装置においてランプ・データを読み取るように構成したので、放電ランプの使用者は、その放電ランプの出所を確認し、その光源装置に適合した放電ランプであることを確認することができる。   On the base that cannot be separated from the discharge lamp, the attributes of the discharge lamp (manufacturing date, manufacturer name, manufacturing location, manufacturing line, lamp model, model number, lot number, identification number, etc.) and setting specifications (rated current) Lamp data of the rated voltage, cooling conditions, installation direction to the device), and the lamp data is read by the light source device when installing or replacing the discharge lamp. The origin of the discharge lamp can be confirmed, and it can be confirmed that the discharge lamp is suitable for the light source device.

このように、放電ランプの取付時または交換時に、光源装置に適合した純正品であるか否かを確認でき、設定仕様どおり放電ランプが光源装置に間違いなく正しい状態で取り付けられていることを確認することができる。適正な放電ランプであっても取付状態が正しくない場合には、ランプ・データを読み取ることができないので、間違った状態の点灯を防ぐことができる。   In this way, when installing or replacing the discharge lamp, you can check whether it is a genuine product that is compatible with the light source device, and confirm that the discharge lamp is installed correctly in the light source device according to the set specifications. can do. Even if it is a proper discharge lamp, if the mounting state is not correct, the lamp data cannot be read, so that lighting in the wrong state can be prevented.

また、光源装置の記憶装置に、放電ランプの品種ごとの使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を格納しておき、光源装置において、格納された使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を参照して使用点灯時間の管理ができる。したがって放電ランプの使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を超えた点灯を防ぐことができる。   Also, the usage limit lighting time and the usage limit blink count for each type of discharge lamp are stored in the storage device of the light source device, and the light source device refers to the stored use limit lighting time and the usage limit blink count. Use lighting time can be managed. Accordingly, it is possible to prevent the discharge lamp from being lit beyond the use limit lighting time and the use limit blinking frequency.

光源装置において、ランプ・データを読み取る読取装置を、放電ランプのランプ・データ表示部と外光を遮蔽して対向させることにより、ノイズ光の侵入を防いでランプ・データを正確に読み取ることができ、放電ランプから放射される紫外線が入射することがないので光学的読取手段を劣化させることはない。   In the light source device, the reading device that reads the lamp data is opposed to the lamp data display section of the discharge lamp so as to oppose the outside light, so that the intrusion of noise light can be prevented and the lamp data can be read accurately. Since the ultraviolet rays emitted from the discharge lamp do not enter, the optical reading means is not deteriorated.

光源装置の口金ホルダに読取装置を設けることにより、従来の光源装置と比較して、装置の構成を大幅に変更する必要がなく、大型化することもない。そのために、既存の装置を改造して読取装置を設けることが容易である。   By providing the reading device in the base holder of the light source device, the configuration of the device does not need to be significantly changed and the size is not increased as compared with the conventional light source device. Therefore, it is easy to modify the existing device and provide a reading device.

本発明の実施形態について、図１〜図１５を参照しながら詳細に説明する。なお、各実施形態を通じて同一部分は同一符号で表し、重複する説明を省略する。   Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. In addition, the same part is represented with the same code | symbol through each embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態は、放電ランプの口金１の円筒状のベース部11の側面にランプ・データ表示部２を設け、ランプ・データ表示部２に表示されたランプ・データ（放電ランプの属性および仕様）を光学的読取装置により読み取って、取り付けた放電ランプの属性および設定仕様を光源装置に取り込むように構成したものである。 (First embodiment)
In the first embodiment of the present invention, a lamp data display unit 2 is provided on a side surface of a cylindrical base portion 11 of a base 1 of a discharge lamp, and lamp data displayed on the lamp data display unit 2 (of a discharge lamp). Attributes and specifications) are read by an optical reading device, and the attributes and setting specifications of the attached discharge lamp are taken into the light source device.

図１に示すように、口金１の大径の円筒状のベース部11の側面に、放電ランプの属性および設定仕様を表示したランプ・データ表示部２を形成する。そして、図３に示すように、光源装置の口金ホルダ３の当接面31にあけた孔32に口金１の小径の突出部13を挿し込んで放電ランプを取り付けたとき、読取装置４と対向させるように構成されている。   As shown in FIG. 1, a lamp / data display unit 2 displaying the attributes and setting specifications of a discharge lamp is formed on the side surface of a large-diameter cylindrical base unit 11 of a base 1. Then, as shown in FIG. 3, when the discharge lamp is mounted by inserting the small-diameter protrusion 13 of the base 1 into the hole 32 formed in the contact surface 31 of the base holder 3 of the light source device, it faces the reading device 4. It is configured to let you.

表示する放電ランプに係るランプ・データには、放電ランプごとの属性と放電ランプの設定仕様に分類することができる。放電ランプごとの属性は、製造年月日、放電ランプの製造者名、製造場所、製造ライン、放電ランプの型式、品種番号、ロット番号、識別番号などであり、そのうちの１つまたは複数の組み合せから成る。放電ランプの設定仕様は、定格ランプ電流、定格ランプ電圧、冷却条件、装置への取付方向などの光源装置において放電ランプを使用するための条件であり、そのうちの１つまたは複数の組み合わせから成る。   The lamp data relating to the discharge lamp to be displayed can be classified into attributes for each discharge lamp and set specifications for the discharge lamp. The attributes for each discharge lamp include the date of manufacture, the manufacturer name of the discharge lamp, the manufacturing location, the manufacturing line, the model of the discharge lamp, the model number, the lot number, the identification number, etc., and one or more combinations thereof Consists of. The setting specification of the discharge lamp is a condition for using the discharge lamp in the light source device such as a rated lamp current, a rated lamp voltage, a cooling condition, a mounting direction to the apparatus, and the like, and includes a combination of one or more of them.

放電ランプのランプ・データ表示部２の表示内容は、文字、記号、符号、図形、模様などのいずれかまたは、それらの組み合せにより表示される。図２に示すバーコード、２次元コードの他に、文字（符号）または製造会社のマークなどの図形で表示される。   The display content of the lamp data display unit 2 of the discharge lamp is displayed by any one of a character, a symbol, a sign, a figure, a pattern, or a combination thereof. In addition to the bar code and the two-dimensional code shown in FIG. 2, it is displayed as a character (symbol) or a graphic such as a manufacturer's mark.

ランプ・データは、光の反射率の相違、正反射部分および乱反射部分の組み合わせにより表示される。このデータ表示部２の形成方法には、切削、彫刻、刻印、蝕刻の他に、レーザ光線の照射などによって形成することができる。また、図３の断面図に示すように、円筒状のベース部11の側面に予め凹部を形成しておき、この凹部にランプ・データを表示させたプレートを嵌め込んで取り付けてもよいのである。   The lamp data is displayed by a difference in reflectance of light, a combination of a regular reflection portion and a irregular reflection portion. The data display unit 2 can be formed by laser beam irradiation in addition to cutting, engraving, marking, and etching. In addition, as shown in the cross-sectional view of FIG. 3, a concave portion is formed in advance on the side surface of the cylindrical base portion 11, and a plate on which lamp data is displayed may be fitted and attached to the concave portion. .

なお、このように口金にランプ・データ表示部２を形成することにより、従来の放電ランプと外形が同じであるから、読取装置４を有しない光源装置に取り付けて点灯させることができる。   By forming the lamp / data display unit 2 on the base in this way, the outer shape is the same as that of a conventional discharge lamp, so that the lamp / data display unit 2 can be mounted and lighted on a light source device that does not have the reading device 4.

図３の縦断面図（Ａ）および横断面図（Ｂ）に示すように、口金にランプ・データ表示部２を形成した放電ランプを光源装置に取り付けたとき、光源装置の光学的読取装置４がランプ・データ表示部２に対向させる。読取装置４には、放電ランプから放射される光などの外光を遮断するように配置されたＬＥＤなどの光源およびＣＣＤなどの画像認識手段を備えており、ランプ・データ表示部２の表示内容を光学的に読み取って光源装置のランプ・データ記憶装置に格納するものである。読取装置が外光を遮断するように構成することにより、光ノイズを防げるので読取装置はランプ・データを正確に認識できる。また、放電ランプの強力な紫外線による読取装置の劣化を防ぐことができる。   As shown in the longitudinal sectional view (A) and the transverse sectional view (B) of FIG. 3, when the discharge lamp having the lamp / data display portion 2 formed on the base is attached to the light source device, the optical reading device 4 of the light source device. Faces the lamp / data display 2. The reading device 4 includes a light source such as an LED and an image recognition unit such as a CCD arranged so as to block external light such as light emitted from the discharge lamp. Is optically read and stored in the lamp data storage device of the light source device. By configuring the reader to block outside light, optical noise can be prevented, so that the reader can accurately recognize the lamp data. Further, it is possible to prevent the reading apparatus from being deteriorated by the strong ultraviolet rays of the discharge lamp.

次に、図４のフローチャートにより、取り付けられた放電ランプが、光源装置に適合したものか否かを判断し、点灯の可否および光源装置に設定するランプ・データの更新の要否を判断する過程を説明する。   Next, referring to the flowchart of FIG. 4, it is determined whether or not the attached discharge lamp is suitable for the light source device, and whether or not lighting is possible and whether or not the lamp data set in the light source device needs to be updated are determined. Will be explained.

光源装置のランプ・データ記憶装置（Ａ）には、予め、光源装置に適合した放電ランプ（互換性ランプを含む）のランプ・データ（属性および設定仕様）が格納され、さらに現在使用中の放電ランプの使用履歴が格納されている。   The lamp data storage device (A) of the light source device stores in advance lamp data (attributes and setting specifications) of discharge lamps (including compatible lamps) suitable for the light source device, and further discharges currently in use. Stores lamp usage history.

作業者が放電ランプを光源装置に取り付けたとき（Ｂ）、または、光源装置の電源が投入されて放電ランプが点灯待機状態となると、読取装置４を動作させて、ランプ・データ表示部２のランプ・データを光学的に読み取って（Ｃ）、情報処理部（Ｄ）に入力する。   When the operator attaches the discharge lamp to the light source device (B) or when the light source device is turned on and the discharge lamp is in a lighting standby state, the reading device 4 is operated and the lamp / data display unit 2 The lamp data is optically read (C) and input to the information processing unit (D).

情報処理部（Ｄ）においては、読み取った放電ランプの属性および設定仕様と光源装置に予め格納されている適合放電ランプの属性および設定仕様との照合を行い、取り付けられた放電ランプの点灯の可否を判断する。さらに、適合した放電ランプであっても、使用履歴を参照して、使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を超過しているか否かを判断する。また、使用を終えた放電ランプを取り外す際には、その放電ランプを属性とともに使用不可放電ランプとしてランプ・データ記憶装置に記録する。   In the information processing unit (D), the read discharge lamp attribute and setting specifications are compared with the appropriate discharge lamp attribute and setting specifications stored in advance in the light source device, and whether or not the attached discharge lamp can be lit is checked. Judging. Furthermore, even if it is a suitable discharge lamp, it is judged with reference to a use history whether the use limit lighting time and the use limit blink frequency are exceeded. When a discharge lamp that has been used is removed, the discharge lamp is recorded in the lamp data storage device as an unusable discharge lamp together with the attribute.

新たに開発した放電ランプのランプ・データを設定する場合には、新しい放電ランプが光源装置に取り付けられた際に、新しい放電ランプのランプ・データ表示部２を基にして光源装置のランプ・データ記憶装置に適合な放電ランプとしてランプ・データを追加登録または更新登録する。新しい放電ランプの登録は、誤りを防ぐために予め知らされたパスワードを併用することが好ましい。   When setting the lamp data of the newly developed discharge lamp, the lamp data of the light source device is set based on the lamp data display section 2 of the new discharge lamp when the new discharge lamp is attached to the light source device. The lamp data is additionally registered or updated as a discharge lamp suitable for the storage device. Registration of a new discharge lamp preferably uses a previously known password in order to prevent errors.

光源装置に取り付けられた放電ランプが適正であって点灯可能と判断（Ｅ）した場合には、光源装置は、放電ランプの点灯を許容させる状態になる。しかし、光源装置に取り付けられた放電ランプが点灯を許容できない不適合なものと判断した場合や、使用履歴より使用限度点灯時間および使用限度点滅回数に達している場合には、強制的に点灯を許容しない状態とするか、警報を発生させる。   If it is determined that the discharge lamp attached to the light source device is appropriate and can be turned on (E), the light source device is allowed to turn on the discharge lamp. However, if it is determined that the discharge lamp attached to the light source device is incompatible with lighting, or if the usage limit lighting time and the number of flashing usage limits have been reached from the usage history, lighting is forcibly permitted. Set to a state that does not, or generate an alarm.

以上のように構成することにより、取り付けた放電ランプの設定仕様（定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向など）を光源装置により自動的に正確に認識できるので、取付け間違いを防止できる。また、光源装置においても、間違った仕様の放電ランプを点灯させることを防止できる。   By configuring as described above, the setting specifications (rated current, rated voltage, cooling conditions, mounting direction to the device, etc.) of the installed discharge lamp can be automatically and accurately recognized by the light source device, preventing incorrect mounting. it can. Also, in the light source device, it is possible to prevent the discharge lamp having the wrong specification from being lit.

放電ランプの仕様履歴を管理しているので、使用限度点灯時間および使用限度点滅回数に達した場合には、使用者はその放電ランプの使用限度点灯時間および使用限度点滅回数を認識することができ、寿命を過ぎた放電ランプの点灯を防止することができる。   Since the specification history of the discharge lamp is managed, when the use limit lighting time and the use limit blink count are reached, the user can recognize the use limit lighting time and the use limit blink count of the discharge lamp. Therefore, it is possible to prevent the discharge lamp from turning on after the end of its life.

放電ランプの属性を光源装置により自動的に認識できるので、使用者は、その放電ランプの出所を認識し、その光源装置が適合した放電ランプ（純正品）であることを認識することができる。   Since the attribute of the discharge lamp can be automatically recognized by the light source device, the user can recognize the origin of the discharge lamp and recognize that the light source device is a suitable discharge lamp (genuine product).

（第２実施形態）
本発明の光源装置の第２実施形態は、図５の縦断面図に示すように、放電ランプの口金の円筒状のベース部11の下方にランプ・データ表示部２を設け、このランプ・データ表示部２のデータを読み取る読取装置４を口金ホルダ３の当接面31の側方に設けたものである。このように読取装置４を口金ホルダ３と一体化することにより、光源装置の構造を簡略化することができる。 (Second Embodiment)
In the second embodiment of the light source device of the present invention, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 5, a lamp data display unit 2 is provided below the cylindrical base portion 11 of the base of the discharge lamp. A reading device 4 for reading data on the display unit 2 is provided on the side of the contact surface 31 of the base holder 3. Thus, the structure of the light source device can be simplified by integrating the reading device 4 with the base holder 3.

（第３実施形態）
本発明の光源装置の第３実施形態は、図６の縦断面図に示すように、放電ランプの口金の円板状の当接面12にランプ・データ表示部２を設け、光源装置の口金ホルダ３の当接面31に形成した凹部33に、放電ランプのランプ・データ表示部２のデータを読み取る読取装置４を遮光空間を介して設けたものである。このように構成すると、口金ホルダ３の大きさに変化がなく、装置を小型化することができる。 (Third embodiment)
In the third embodiment of the light source device of the present invention, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 6, the lamp / data display unit 2 is provided on the disc-shaped contact surface 12 of the base of the discharge lamp, and the base of the light source device is provided. In the recess 33 formed on the contact surface 31 of the holder 3, a reading device 4 for reading the data of the lamp / data display unit 2 of the discharge lamp is provided through a light shielding space. If comprised in this way, there will be no change in the magnitude | size of the nozzle | cap | die holder 3, and an apparatus can be reduced in size.

（第４実施形態）
本発明の光源装置の第４実施形態は、図７の縦断面図に示すように、放電ランプの口金の小径の突出部１３の先端面にランプ・データ表示部２を設け、このランプ・データ表示部２のランプ・データを読み取る読取装置４を口金ホルダ３にあけた孔32の底面に設けたものである。このように構成すると、口金ホルダ３の大きさに変化がなく、装置の小型化することができる。 (Fourth embodiment)
In the fourth embodiment of the light source device of the present invention, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 7, a lamp data display unit 2 is provided on the tip surface of the small-diameter protrusion 13 of the base of the discharge lamp, and this lamp data The reading device 4 for reading the lamp data of the display unit 2 is provided on the bottom surface of the hole 32 formed in the base holder 3. If comprised in this way, there will be no change in the magnitude | size of the nozzle | cap | die holder 3, and an apparatus can be reduced in size.

（第５実施形態）
本発明の光源装置の第５実施形態は、図８の側面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、放電ランプの口金１の円板状の当接面12に位置決め用の凸部121を形成し、この凸部121の先端面にランプ・データ表示部２を設ける。図９の縦断面図に示すように、光源装置の口金ホルダ３の当接面31に放電ランプの位置決め用の凸部121が嵌合す凹部311を形成し、この凹部311の底面にランプ・データを読み取る読取装置４を設けたものである。 (Fifth embodiment)
As shown in a side view (A) and a bottom view (B) of FIG. 8, the fifth embodiment of the light source device of the present invention has a positioning projection on the disc-shaped contact surface 12 of the base 1 of the discharge lamp. A portion 121 is formed, and the lamp / data display portion 2 is provided on the tip surface of the convex portion 121. As shown in the longitudinal sectional view of FIG. 9, a concave portion 311 into which a convex portion 121 for positioning the discharge lamp is fitted is formed on the contact surface 31 of the base holder 3 of the light source device. A reading device 4 for reading data is provided.

このように構成すると、放電ランプを光源装置に取り付ける際に位置決めすることができ、かつ、放電ランプのランプ・データ表示部２と光源装置の読取装置４とを正確に対向させることができる。   With this configuration, the discharge lamp can be positioned when attached to the light source device, and the lamp / data display unit 2 of the discharge lamp and the reading device 4 of the light source device can be accurately opposed to each other.

（第６実施形態）
本発明の光源装置の第６実施形態は、図１０の側面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、放電ランプの口金１の円板状の当接面12に位置決め用の凸部121を形成し、この凸部121の先端に凹部122を形成し、この凹部122の底面にランプ・データ表示部２を設ける。図１１の縦断面図に示すように、第５実施形態と同様に光源装置の口金ホルダ３の当接面31に放電ランプの位置決め用の凸部121が嵌合する凹部311を形成し、この凹部311の底面にランプ・データを読み取る読取装置４を設けたものである。 (Sixth embodiment)
In the sixth embodiment of the light source device of the present invention, as shown in a side view (A) and a bottom view (B) of FIG. 10, a positioning projection is formed on the disc-shaped contact surface 12 of the base 1 of the discharge lamp. The concave portion 122 is formed at the tip of the convex portion 121, and the lamp / data display portion 2 is provided on the bottom surface of the concave portion 122. As shown in the longitudinal sectional view of FIG. 11, a concave portion 311 is formed on the contact surface 31 of the base holder 3 of the light source device to fit the convex portion 121 for positioning the discharge lamp, as in the fifth embodiment. A reading device 4 for reading lamp data is provided on the bottom surface of the recess 311.

このように構成すると、放電ランプを光源装置に取り付ける際に位置決めすることができ、かつ、放電ランプのランプ・データ表示部２と光源装置の読取装置４とを正確に対向させることができる。さらに、凹部122の底面にランプ・データ表示部２を設けているので、ランプ・データ表示部２が保護され、口金ホルダ３の当接面31などに接しても、表示に傷がつくことはないのである。   With this configuration, the discharge lamp can be positioned when attached to the light source device, and the lamp / data display unit 2 of the discharge lamp and the reading device 4 of the light source device can be accurately opposed to each other. Furthermore, since the lamp / data display unit 2 is provided on the bottom surface of the recess 122, the lamp / data display unit 2 is protected, and even if it contacts the contact surface 31 of the base holder 3, the display may be damaged. There is no.

（第７実施形態）
本発明の光源装置の第７実施形態は、図１２の側面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、放電ランプの口金１の円板状の当接面12に位置決め用の凹部123を形成し、この凹部123の底面にランプ・データ表示部２を設ける。図１３の縦断面図に示すように、光源装置の口金ホルダ３の当接面31に放電ランプの位置決め用の凹部123に嵌合する凸部312を形成し、この凸部312に凹部313を形成し、凹部313の底面にランプ・データを読み取る読取装置４を設けたものである。 (Seventh embodiment)
As shown in a side view (A) and a bottom view (B) of FIG. 12, the seventh embodiment of the light source device of the present invention has a positioning recess on the disc-shaped contact surface 12 of the base 1 of the discharge lamp. 123 is formed, and the lamp / data display unit 2 is provided on the bottom surface of the recess 123. As shown in the longitudinal sectional view of FIG. 13, a convex portion 312 that fits into the concave portion 123 for positioning the discharge lamp is formed on the contact surface 31 of the base holder 3 of the light source device, and the concave portion 313 is formed on the convex portion 312. The reading device 4 that is formed and reads the lamp data is provided on the bottom surface of the recess 313.

このように構成すると、第６実施形態と同様に放電ランプを光源装置に取り付ける際に位置決めすることができ、かつ、放電ランプのランプ・データ表示部２と光源装置の読取装置４とを正確に対向させることができる。さらに、凹部123の底面にランプ・データ表示部２を設けているので、ランプ・データ表示部２が保護され、口金ホルダの当接面などに接しても、表示に傷がつくことはないのである。   If comprised in this way, it can position when attaching a discharge lamp to a light source device similarly to 6th Embodiment, and the lamp | ramp data display part 2 of a discharge lamp and the reader 4 of a light source device can be set correctly. Can be opposed. Further, since the lamp / data display unit 2 is provided on the bottom surface of the recess 123, the lamp / data display unit 2 is protected, and even if it contacts the contact surface of the base holder, the display is not damaged. is there.

（第８実施形態）
本発明の光源装置の第８実施形態は、図１４の側面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、放電ランプの口金１の円筒状のベース部11の側面の下部に予め位置決め用の平坦面111を形成しておき、この平坦面111にランプ・データ表示部２を設ける。図１５の縦断面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、光源装置の口金ホルダ３に、放電ランプの位置決め用の平坦面111に当接するブロック34を口金ホルダ３と一体に形成し、このブロック34に形成した凹部341にランプ・データを読み取る読取装置４を設けたものである。 (Eighth embodiment)
In the eighth embodiment of the light source device of the present invention, as shown in a side view (A) and a bottom view (B) in FIG. 14, the positioning is previously performed at the lower portion of the side surface of the cylindrical base portion 11 of the base 1 of the discharge lamp. The flat surface 111 is formed, and the lamp / data display unit 2 is provided on the flat surface 111. As shown in a longitudinal sectional view (A) and a bottom view (B) in FIG. 15, a block 34 that contacts the flat surface 111 for positioning the discharge lamp is formed integrally with the base holder 3 in the base holder 3 of the light source device. The reading device 4 for reading the lamp data is provided in the concave portion 341 formed in the block 34.

（第９実施形態）
本発明の光源装置の第９実施形態は、図１６の側面図（Ａ）および底面図（Ｂ）に示すように、放電ランプの口金１の突出部13の一部の側面に位置決め用の平坦面131を形成し、この平坦面131にランプ・データ表示部２を設ける。図１７の縦断面図（Ａ）および横断面図（Ｂ）に示すように、光源装置の口金ホルダ３の孔32には、その内周面を膨出させて位置決め用の平坦面321を形成し、この孔32に放電ランプ口金の突出部13を嵌合させて位置決めを行う。 (Ninth embodiment)
In the ninth embodiment of the light source device of the present invention, as shown in a side view (A) and a bottom view (B) of FIG. 16, a flat surface for positioning is provided on a part of the side surface of the protrusion 13 of the base 1 of the discharge lamp. A surface 131 is formed, and the lamp / data display unit 2 is provided on the flat surface 131. As shown in a longitudinal sectional view (A) and a transverse sectional view (B) of FIG. 17, a flat surface 321 for positioning is formed in the hole 32 of the base holder 3 of the light source device by expanding its inner peripheral surface. Then, the protrusions 13 of the discharge lamp cap are fitted into the holes 32 for positioning.

口金ホルダ３の孔32の平坦面321には横方向に凹部322が形成され、この凹部322にランプ・データを読み取る読取装置４を設けて、口金１の突出部13のランプ・データ表示部２と対向させたものである。   A concave portion 322 is formed in the flat surface 321 of the hole 32 of the base holder 3 in the lateral direction. A reading device 4 for reading the lamp data is provided in the concave portion 322, and the lamp data display portion 2 of the protruding portion 13 of the base 1. It is a thing facing.

本発明の第１実施形態におけるランプ・データ表示部を有する口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態におけるランプ・データの記載例を示す図である。It is a figure which shows the example of description of the ramp data in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態におけるランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing the state where the mouthpiece which has a lamp data display part in a 1st embodiment of the present invention was held by the mouthpiece holder which has a reading device. 本発明の第１実施形態における光源装置が、放電ランプの点灯可否および光源装置に設定・更新の要否を判断する流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow in which the light source device in 1st Embodiment of this invention judges the lighting decision | availability of a discharge lamp, and the necessity of setting and updating to a light source device. 本発明の第２実施形態におけるランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state with which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in 2nd Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 本発明の第３実施形態におけるランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state with which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in 3rd Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 本発明の第４実施形態におけるランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state with which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in 4th Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 本発明の第５実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を設けた口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which provided the lamp data display part in the positioning part in 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state by which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in the positioning part in 5th Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 本発明の第６実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which has a lamp data display part in the positioning part in 6th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state by which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in the positioning part in 6th Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 本発明の第７実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in the positioning part in 7th Embodiment of this invention. 本発明の第７実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing the state where a mouthpiece which has a lamp data display part in a positioning part in a 7th embodiment of the present invention was held by a mouthpiece holder which has a reading device. 本発明の第８実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which has a lamp data display part in the positioning part in 8th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing the state where a mouthpiece which has a lamp data display part in a positioning part in an 8th embodiment of the present invention was held by a mouthpiece holder which has a reading device. 本発明の第９実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金を示す図である。It is a figure which shows the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in the positioning part in 9th Embodiment of this invention. 本発明の第９実施形態における位置決め部にランプ・データ表示部を有する口金が読取装置を有する口金ホルダに保持された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state by which the nozzle | cap | die which has a lamp | ramp data display part in the positioning part in 9th Embodiment of this invention was hold | maintained at the nozzle | cap | die holder which has a reader. 従来の口金を有する放電ランプの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the discharge lamp which has the conventional nozzle | cap | die. 従来の放電ランプの口金を光源装置の口金ホルダに保持させた状態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the state which hold | maintained the nozzle | cap | die of the conventional discharge lamp to the nozzle | cap | die holder of a light source device.

符号の説明Explanation of symbols

１ 口金
11 円筒状のベース部
12 円板状の当接面
13 突出部
２ ランプ・データ表示部
３ 口金ホルダ
31 当接面
４ 読取装置 1 base
11 Cylindrical base
12 Disc-shaped contact surface
13 Protruding part 2 Lamp / data display part 3 Cap holder
31 Abutment surface 4 Reader

Claims (7)

一端面を円板状の当接面で封じた大径の円筒状のベース部と、上記円板状の当接面の中央を貫通して同軸状に植設された小径の突出部とよりなる口金および該口金に放電ランプに係るランプ・データを表示したランプ・データ表示部を有する放電ランプと、
該放電ランプの口金を保持して通電を行う口金ホルダを有する光源装置であって、上記口金ホルダに上記ランプ・データ表示部のデータを読み取る読取装置を設けたことを特徴とする光源装置。 A large-diameter cylindrical base portion whose one end surface is sealed with a disk-shaped contact surface, and a small-diameter projecting portion that is coaxially planted through the center of the disk-shaped contact surface. A discharge lamp having a lamp data display unit that displays lamp data related to a discharge lamp on the base and the base;
A light source device having a base holder for holding a base of the discharge lamp and energizing, wherein the base holder is provided with a reading device for reading data of the lamp / data display section. 口金の円筒状のベース部にランプ・データ表示部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein a lamp data display unit is provided on a cylindrical base portion of the base. 口金の円板状の当接面にランプ・データ表示部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。   2. The light source device according to claim 1, wherein a lamp / data display section is provided on a disk-shaped contact surface of the base. 口金の突出部にランプ・データ表示部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein a lamp data display unit is provided on the protruding portion of the base. 読取装置は、凹部を有し、該凹部の底部に光学的読取手段を設け、放電ランプの口金に接したとき、凹部により外光を遮蔽してランプ・データを読み取ることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の光源装置。   The reading device has a concave portion, optical reading means is provided at the bottom of the concave portion, and when the reading device comes into contact with the base of the discharge lamp, the concave portion shields external light and reads the lamp data. The light source device according to claim 1. 放電ランプに係るランプ・データは、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、放電ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号などの放電ランプの属性と、定格放電電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向、使用限度点灯時間および使用限度点滅回数などの設定仕様であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の光源装置。   The lamp data related to the discharge lamp includes the discharge lamp attributes such as date of manufacture, manufacturer name, manufacturing location, production line, discharge lamp model, product number, lot number, identification number, rated discharge current, and rated voltage. The light source device according to any one of claims 1 to 4, wherein the light source device has setting specifications such as a cooling condition, a mounting direction to the device, a use limit lighting time, and a use limit flashing number. 放電ランプに係るランプ・データの表示は、光学的に読み取り可能なバーコード、２次元コード、文字、記号、符号、図形、模様の何れか、またはそれらの組合せであることを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
The display of lamp data relating to the discharge lamp is an optically readable bar code, a two-dimensional code, a character, a symbol, a sign, a figure, a pattern, or a combination thereof. 5. The light source device according to 5.
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