JP2007271363A - 強誘電体特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電圧源14は三角波電圧を出力する。電流電圧変換器16は強誘電体薄膜試料10に流れる電流を読み取って電圧変換して測定信号を出力する。参照信号源17は、電流電圧変換器16が出力する測定信号に含まれる強誘電体薄膜試料10の漏洩電流による信号成分と、測定系の寄生容量および強誘電体薄膜試料10の静電容量による信号成分とを重畳した信号を参照信号として出力する。差動増幅器21は、電流電圧変換器16が出力する測定信号から参照信号源17が出力する参照信号を差し引き、差動増幅器21の出力信号を強誘電体薄膜試料10の分極反転電流のみを反映した測定信号とする。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1実施形態の構成図である。図1中、10は本発明の第1実施形態が測定対象とする強誘電体薄膜試料であり、FeRAMに搭載される強誘電体薄膜セルを試料化したものである。強誘電体薄膜試料10において、11は強誘電体薄膜、12は強誘電体薄膜11の上部に設けられた上部電極、13は強誘電体薄膜11の下部に設けられた下部電極である。
図6は本発明の第2実施形態の構成図である。本発明の第2実施形態は、図1に示す本発明の第1実施形態が備える参照信号源17の代わりに、参照信号源17とは構成の異なる参照信号源40を設け、その他については、図1に示す本発明の第1実施形態と同様に構成したものである。
図12は本発明の第3実施形態の構成図である。本発明の第3実施形態は、図6に示す本発明の第2実施形態が備える参照信号源40の代わりに、参照信号源40と構成の異なる参照信号源70を設け、その他については、図6に示す本発明の第2実施形態と同様に構成したものである。
図14は本発明の第4実施形態の構成図である。本発明の第4実施形態は、図1に示す本発明の第1実施形態と同様に、電圧源14と、プローブ15と、電流電圧変換器16を備えるほかに、A/Dコンバータ85、86と、DSP(デジタルシグナルプロセッサ)87と、電流モニタ88と、ヒステリシス特性表示手段89を備えている。
漏洩抵抗測定モード時には、以下のステップS1〜S8の動作を順に実行する。
(S1)可変利得増幅器100の利得を0に初期化する。これは、利得調整器101が出力する乗算の係数を0にすることにより行う。
(S2)電圧源14から適当な直流電圧を出力する。例えば、強誘電体薄膜試料10の分極−電界ヒステリシス特性測定に使用する三角波電圧の最大電圧とする。
(S4)利得調整器98は、バッファ91からのデータ値が0の場合には、漏洩電流は流れていないので、漏洩抵抗を無限大(DSP87で扱える最大の数値)にする。これに対して、バッファ91からのデータ値が0でなかった場合には、漏洩電流が流れているので、バッファ92からのデータ値をバッファ91からのデータ値で除し、これを漏洩抵抗にする。利得調整器98は、漏洩抵抗の値を可変利得増幅器97の増幅率(乗数)とする。
(S6)加算器102は、可変利得増幅器97の計算結果に可変利得増幅器100の計算結果を加える。ただし、漏洩抵抗測定モードでは、可変利得増幅器100の乗数は0なので、可変利得増幅器97の計算結果のままになる。
(S8)差動増幅器96の計算結果を漏洩電流データとしてバッファ93に書き込む。また、バッファ92のデータ値を印加電圧データとしてそのままバッファ95に書き込む。これら印加電圧データおよび漏洩電流データから、漏洩電流が元々0であった、もしくはキャンセルにより0になったことが確認される。
漏洩抵抗測定モードの次に設定する寄生容量測定モード時には、次のステップU1〜U18の動作を順に実行する。なお、寄生容量設定モードは、漏洩抵抗測定モードで可変利得増幅器97の乗数が設定され、漏洩電流がキャンセルされていることを前提とする。
(U2)電圧源14から三角波電圧を出力する。
(U3)タイミング抽出器105は、測定開始のタイミングを見つける。すなわち、バッファ92から印加電圧データを取り出して調べ、この印加電圧データが負から正になるタイミングを見つける。このタイミングがt=0となり、次のt=0までの時間を周期Tとする。
(U5)タイミング抽出器105は、微分データから印加電圧が最小値、最大値をとるタイミング(印加電圧が減少から増加に転ずる時点、増加から減少に転ずる時点)を見つける。このタイミングをそれぞれtmin、tmaxとする。
(U7)バッファ92から印加電圧データを取り出す。
(U8)可変利得増幅器97は、バッファ92から取り出した印加電圧データ値に漏洩抵抗の値を乗じてキャンセルすべき漏洩電流値を計算する。
(U10)加算器102は、可変利得増幅器97の計算結果に可変利得増幅器100の計算結果を加える。
(U12)差動増幅器96は、バッファ91のデータ値から加算器102の計算結果を減ずる。
(U13)差動増幅器96の計算結果を電流データとしてバッファ93に書き込む。バッファ92のデータ値を印加電圧データとしてそのままバッファ95に書き込む。
(U15)バッファ94に積分器107の積分結果を書き込む。
(U17)積分器104は、「t>tmaxかつt<T/2」ならば、絶対値発生器103の計算結果を積分器104に加える。「t≧T/2かつt<tmin」ならば、その時点での積分器104の値を積分器104の積分結果とし、積分器104の値を0にする。あわせて積分器104による積分完了フラグを立てる。
寄生容量測定モードの次に設定するヒステリシス測定モード時には、以下のステップW1〜W14の動作を順に実行する。なお、ヒステリシス測定モードは、漏洩抵抗測定モードで可変利得増幅器97の乗数が設定され、漏洩電流がキャンセルされていること、および、寄生容量測定モードで可変利得増幅器100の乗数が設定され、測定系の寄生容量および強誘電体薄膜試料10の静電容量による電流がキャンセルされていることを前提とする。
(W2)タイミング抽出器105は、測定開始のタイミングを見つける。すなわち、バッファ92から印加電圧データを取り出して調べ、この印加電圧データが負から正になるタイミングを見つける。このタイミングがt=0となり、次のt=0までの時間を周期Tとする。
(W4)タイミング抽出器105は、微分データから印加電圧の最小値、最大値をとるタイミング(印加電圧が減少から増加に転ずる時点、増加から減少に転ずる時点)を見つける。このタイミングをそれぞれtmin、tmaxとする。
(W6)バッファ92から印加電圧データを取り出す。
(W7)可変利得増幅器97は、バッファ92から取り出した印加電圧データ値に漏洩抵抗の値を乗じてキャンセルすべき漏洩電流値を計算する。
(W9)加算器102は、可変利得増幅器97の計算結果に可変利得増幅器100の計算結果を加える。
(W11)差動増幅器96は、バッファ91のデータ値から加算器102の計算結果を減ずる。
(W12)差動増幅器96の計算結果を電流データとしてバッファ93に書き込む。バッファ92のデータ値を印加電圧データとしてそのままバッファ95に書き込む。
(W14)バッファ94に積分器107の積分結果を書き込む。
Claims (5)
- 電圧源と、
該電圧源が出力する電圧を強誘電体に印加するプローブと
前記電圧源と前記プローブとの間に接続され、前記強誘電体に流れる電流を電圧変換して第1の測定信号を生成する第1の電流電圧変換器と、
前記第1の測定信号中の前記強誘電体の分極反転による信号成分以外の信号成分を参照信号として生成する参照信号源と、
前記第1の測定信号から前記参照信号を差し引いて第2の測定信号を生成する差引回路を有することを特徴とする強誘電体特性測定装置。 - 前記参照信号源は、
可変抵抗と可変容量を並列接続した並列回路と、
前記電圧源と前記並列回路との間に接続され、前記並列回路に流れる電流を電圧変換して前記参照信号を出力する第2の電流電圧変換器
を有することを特徴とする請求項1記載の強誘電体特性測定装置。 - 前記参照信号源は、さらに、
前記差引回路の出力信号を入力し、前記可変抵抗を駆動して前記可変抵抗の抵抗値を調整する可変抵抗駆動回路と、
前記差引回路の出力信号を絶対値化して絶対値信号を生成する絶対値回路と、
前記絶対値回路の出力信号を積分する積分器と、
前記積分器における積分時間を制御する積分制御回路と、
前記積分器の出力を入力し、前記可変容量を駆動して前記可変容量の容量値を調整する可変容量駆動回路
を有することを特徴とする請求項2記載の強誘電体特性測定装置。 - 前記参照信号源は、
固定抵抗と、
前記電圧源と前記固定抵抗との間に接続され、前記固定抵抗に流れる電流を電圧変換した第1の電圧信号を出力する第2の電流電圧変換器と、
前記第1の電圧信号を増幅する第1の可変利得増幅器と、
固定容量と、
前記電圧源と前記固定容量との間に接続され、前記固定容量に流れる電流を電圧変換した第2の電圧信号を出力する第3の電流電圧変換器と、
前記第2の電圧信号を増幅する第2の可変利得増幅器と、
前記第1の可変利得増幅器の出力信号と前記第2の可変利得増幅器の出力信号とを加算して前記参照信号を出力する加算器と、
前記差引回路の出力信号を入力し、前記第1の可変利得増幅器の利得を調整する第1の利得調整回路と、
前記差引回路の出力信号を絶対値化して絶対値信号を生成する絶対値回路と、
前記絶対値回路の出力信号を積分する積分器と、
前記積分器における積分時間を制御する積分制御回路と、
前記積分器の出力を入力し、前記第2の可変利得増幅器の利得を調整する第2の利得調整回路
を有することを特徴とする請求項1記載の強誘電体特性測定装置。 - 前記参照信号源および前記差引回路は、プロセッサで実現されることを特徴とする請求項1記載の強誘電体特性測定装置。
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