JP2007266360A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面処理時に基板の帯電を防止することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】フッ酸等の薬液による表面処理が行われた基板に対して酸添加水によるリンス洗浄処理を行う。酸添加水とは、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を微量に添加した処理液である。処理槽に貯留した酸添加水に基板を浸漬することによってリンス洗浄処理を進行させる。リンス洗浄処理後、基板を処理槽から引き揚げつつ酸添加水の蒸気を吹き付けることによって乾燥処理を行う。薬液表面処理、リンス洗浄処理、乾燥処理のいずれの処理工程においても、イオン性物質が介在しているため、摩擦に起因した基板表面への帯電が防止される。
【選択図】図3
【解決手段】フッ酸等の薬液による表面処理が行われた基板に対して酸添加水によるリンス洗浄処理を行う。酸添加水とは、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を微量に添加した処理液である。処理槽に貯留した酸添加水に基板を浸漬することによってリンス洗浄処理を進行させる。リンス洗浄処理後、基板を処理槽から引き揚げつつ酸添加水の蒸気を吹き付けることによって乾燥処理を行う。薬液表面処理、リンス洗浄処理、乾燥処理のいずれの処理工程においても、イオン性物質が介在しているため、摩擦に起因した基板表面への帯電が防止される。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、「基板」と称する)の表面の処理を行う基板処理装置および基板処理方法に関する。
従来より、上記基板には薬液による表面処理、純水による洗浄処理および乾燥処理が順次施されて、一連の基板処理が達成されている。このうち薬液による表面処理は、フッ酸等の薬液中に基板を浸漬してシリコン酸化膜をエッチングしたり、有機物を除去したりする処理である。薬液による処理がなされた基板を純水中に浸漬してその表面を洗浄することによって薬液を洗い流した後、純水から基板を引き揚げて乾燥する。
純水洗浄後に基板を引き揚げて乾燥させる手法としては、例えば特許文献1に開示されているように、純水表面に形成した薄いIPA(イソプロピルアルコール)層に基板を通過させることによって純水をIPAに置換して乾燥するいわゆるマランゴニ乾燥が多く用いられてきた。
一方、近年、基板処理時に基板が帯電してデバイス破壊が生じることが問題となっている。すなわち、純水やIPAは絶縁物であるため、基板表面との摩擦によって基板が電荷を帯びることとなり、その帯電量が大きくなると基板表面に形成されたデバイスが静電破壊されるおそれがある。今後、デバイス微細化のさらなる進展にともなって、帯電によるデバイス破壊の問題が深刻化する懸念がある。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、表面処理時に基板の帯電を防止することができる基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、基板表面の処理を行う基板処理装置において、基板を収容して内部を密閉空間にすることができるチャンバと、前記チャンバ内に配置され、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽に、純水に酸を添加した酸添加水を処理液として供給する酸添加水供給手段と、前記処理槽内の浸漬位置と、前記チャンバ内における前記処理槽よりも上方の引き揚げ位置との間で基板を保持して昇降させる昇降手段と、前記引き揚げ位置に保持された基板に酸添加水の蒸気を吐出する乾燥用蒸気供給手段と、を備える。
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る基板処理装置において、前記酸添加水を、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものとしている。
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明に係る基板処理装置において、前記乾燥用蒸気供給手段が供給する酸添加水の蒸気の温度を100℃以上300℃以下としている。
また、請求項4の発明は、基板表面の処理を行う基板処理方法において、基板の表面を所定の薬液にて処理する薬液処理工程と、前記薬液処理の後に、前記基板の表面を純水に酸を添加した酸添加水にて洗浄する洗浄工程と、前記洗浄処理の後に、前記基板に酸添加水の蒸気を吐出して乾燥する乾燥工程と、を備える。
また、請求項5の発明は、請求項4の発明に係る基板処理方法において、前記酸添加水を、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものとしている。
また、請求項6の発明は、請求項4または請求項5の発明に係る基板処理方法において、前記乾燥工程にて吐出する酸添加水の蒸気の温度を100℃以上300℃以下としている。
請求項1の発明によれば、純水に酸を添加した酸添加水による処理と酸添加水の蒸気を使用した処理とが行われるため、表面処理時にはイオン性物質が存在することとなり、表面処理時に基板の帯電を防止することができる。
また、請求項2の発明によれば、酸添加水が純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものであるため、基板の表面処理時にイオン性物質を供給することができる。
また、請求項3の発明によれば、乾燥用蒸気供給手段が供給する酸添加水の蒸気の温度が100℃以上300℃以下であるため、基板に熱的ダメージを与えることなく乾燥処理を行うことができる。
また、請求項4の発明によれば、基板の表面を純水に酸を添加した酸添加水にて洗浄した後、酸添加水の蒸気を吐出して乾燥しているため、洗浄および乾燥のいずれの工程においてもイオン性物質が存在することとなり、表面処理時に基板の帯電を防止することができる。
また、請求項5の発明によれば、酸添加水が純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものであるため、基板の表面処理時にイオン性物質を供給することができる。
また、請求項6の発明によれば、乾燥工程にて吐出される酸添加水の蒸気の温度が100℃以上300℃以下であるため、基板に熱的ダメージを与えることなく乾燥処理を行うことができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る基板処理装置1の全体構成を示す図である。また、図2は、図1の基板処理装置の側面図である。なお、図1および図2にはそれらの方向関係を明確にするため、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
この基板処理装置1は、1つの処理槽内にて基板に薬液による表面処理とそれに続く水洗処理、およびその後の乾燥処理を行うものである。基板処理装置1は、チャンバ5の内部に、所定の処理液を貯留する処理槽10と、基板Wを昇降させるリフター20と、チャンバ5内に気体を吐出するガスノズル40と、処理槽10に処理液を吐出する処理液ノズル50とを備えている。また、基板処理装置1は、チャンバ5の外部に、ガスノズル40に窒素ガス等の気体を供給するガス供給機構60と、処理液ノズル50にフッ酸等の処理液を供給する処理液供給機構70と、チャンバ5から処理液を排出する排液機構80と、
チャンバ5内から気体を排気して減圧する減圧機構90とを備えている。
チャンバ5内から気体を排気して減圧する減圧機構90とを備えている。
チャンバ5は、基板Wを収容して処理を行うための外槽である。チャンバ5の上部には蓋6が設けられており、蓋6は図示を省略するスライド開閉機構によって開閉可能とされている。蓋6が開放された状態においては、その開放部分を介してリフター20と装置外部の搬送ロボットとの間で基板Wの受け渡しを行い、チャンバ5に対する基板Wの搬出入を行うことができる。一方、蓋6が閉鎖された状態においては、蓋6とチャンバ5との間がO−リング(図示省略)によってシールされ、チャンバ5の内部を密閉空間とすることができる。この状態においては、チャンバ5内のガスが外部に漏れ出ることはなく、またチャンバ5の内部を大気圧よりも低い減圧状態にすることができる。
処理槽10は、フッ酸等の薬液、純水または後述の酸添加水(以下、薬液、純水および酸添加水を総称して「処理液」とする)を貯留して基板Wに順次表面処理を行う槽であり、チャンバ5の内部に収容されている。処理槽10には、後述の処理液ノズル50から処理液を供給することができる。また、処理槽10の上端周辺部には回収槽15が付設されている。処理液ノズル50から供給されて処理槽10の上端から溢れ出た処理液は回収槽15に流れ込んで回収される。
リフター20は、リフターアーム23、3本の保持棒21a、21b、21cおよび昇降駆動部22を備えている。昇降駆動部22は、リフターアーム23を鉛直方向(Z軸方向)に沿って昇降させる機能を有している。リフターアーム23には、3本の保持棒21a、21b、21cがその長手方向が略水平(Y軸方向)となるように固設されており、3本の保持棒21a、21b、21cのそれぞれには基板Wの外縁部がはまり込んで基板Wを起立姿勢にて保持する複数の保持溝が所定のピッチにて配列して設けられている。それぞれの保持溝は、X軸方向に沿って形成された切欠状の溝である。
このような構成により、リフター20は3本の保持部21a、21b、21cによって相互に平行に配列されて保持された複数の基板Wを処理槽10内に貯留されている処理液中に浸漬する浸漬位置(図1の実線位置)とチャンバ5内における処理槽10よりも上方の引き揚げ位置(図1の二点鎖線位置)との間で昇降させることができる。また、リフター20は、基板Wを引き揚げ位置よりもさらに上方の受渡位置(装置外部の搬送ロボットとの間で基板Wの受け渡しを行わせる位置)にまで上昇させることができる。なお、リフター20の昇降駆動部22には、リフターアーム23を昇降させる機構として、ボールネジを用いた送りネジ機構やプーリとベルトを用いたベルト機構など公知の種々の機構を採用することが可能である。
ガスノズル40は、外周面に複数の吐出孔41を有する円筒状部材である。チャンバ5内にはこのようなガスノズル40が2本設けられている。2本のガスノズル40は、チャンバ5内の上部に、それぞれの長手方向をY軸方向に沿わすようにして相互に平行に設置されている。複数の吐出孔41は、保持部21a、21b、21cの保持溝のピッチと同じピッチにてガスノズル40の長手方向に沿って一列に穿設されている。また、複数の吐出孔41は、その吐出方向がXZ平面と平行かつリフター20によって引き揚げ位置に保持された基板Wに向かうように設けられている。そして、1本のガスノズル40に設けられた吐出孔41の数は保持部21a、21b、21cの保持溝の数より少なくとも1つ多く、少なくとも隣接する保持溝の中間点に対応する位置(当該中間点を含むXZ平面がガスノズル40と交わる位置)に吐出孔41が設けられている(図2参照)。従って、ガスノズル40は、リフター20によって引き揚げ位置に保持された隣接する基板W間のそれぞれにガスを吐出することができる。なお、リフター20によって引き揚げ位置に保持された基板Wの周囲に複数個のガスノズル40を配置するようにしてもよい。
2本のガスノズル40に気体を供給するガス供給機構60は、ガス配管42、各種ガスの供給部およびバルブを備えている。2本のガスノズル40にはガス配管42の一端部が連通接続されている。ガス配管42の他端は、配管42a,42bの2本に分岐される。配管42aの基端部は酸添加水蒸気供給部44に連通接続され、その経路途中には酸添加水蒸気バルブ43aが設けられている。酸添加水蒸気バルブ43aを開放することによって、酸添加水蒸気供給部44から2本のガスノズル40に酸添加水の蒸気を送給して吐出孔41から引き揚げ位置に保持された基板Wに酸添加水の蒸気を吐出することができる。一方、酸添加水蒸気バルブ43aを閉鎖すると、ガスノズル40からの酸添加水蒸気吐出が停止される。なお、酸添加水についてはさらに後述する。
配管42bの基端部は窒素ガス供給部45に連通接続され、その経路途中には窒素ガスバルブ43bが設けられている。窒素ガスバルブ43bを開放することによって、窒素ガス供給部45から2本のガスノズル40に窒素ガスを送給して吐出孔41からリフター20に保持された基板Wに窒素ガスを吐出することができる。一方、窒素ガスバルブ43bを閉鎖すると、ガスノズル40からの窒素ガス吐出が停止される。
処理液ノズル50は、上記ガスノズル40と同様の外周面に複数の吐出孔51を有する円筒状部材である。処理槽10内にはこのような処理液ノズル50が2本設けられている。2本の処理液ノズル50は、処理槽10内の底部近傍に、それぞれの長手方向をY軸方向に沿わすようにして相互に平行に設置されている。複数の吐出孔51は、保持部21a、21b、21cの保持溝のピッチと同じピッチにて処理液ノズル50の長手方向に沿って一列に穿設されている。また、複数の吐出孔51は、その吐出方向がXZ平面と平行かつリフター20によって浸漬位置に保持された基板Wに向かうように設けられている。そして、1本の処理液ノズル50に設けられた吐出孔51の数は保持部21a、21b、21cの保持溝の数より少なくとも1つ多く、少なくとも隣接する保持溝の中間点に対応する位置(当該中間点を含むXZ平面が処理液ノズル50と交わる位置)に吐出孔51が設けられている。従って、処理液ノズル50は、リフター20によって処理槽10内の浸漬位置に保持された隣接する基板W間のそれぞれに処理液を吐出することができる。
2本の処理液ノズル50に処理液を供給する処理液供給機構70は、液配管52、各種処理液の供給部およびバルブを備えている。2本の処理液ノズル50には液配管52の先端部が連通接続されている。液配管52の他端は、配管52a,52b,52cの3本に分岐される。配管52aの基端部は薬液供給部54に連通接続され、その経路途中には薬液バルブ53aが設けられている。薬液バルブ53aを開放することによって、薬液供給部54から2本の処理液ノズル50に薬液を送給して吐出孔51から浸漬位置に保持された基板Wに薬液を吐出することができる。薬液供給部54が供給する薬液は、フッ酸(HF)、アンモニア過酸化水素水混合水溶液(SC−1)、塩酸過酸化水素水混合水溶液(SC−2)等である。一方、薬液バルブ53aを閉鎖すると、処理液ノズル50からの薬液吐出が停止される。
配管52bの基端部は酸添加水供給部55に連通接続され、その経路途中には酸添加水バルブ53bが設けられている。酸添加水バルブ53bを開放することによって、酸添加水供給部55から2本の処理液ノズル50に酸添加水を送給して吐出孔51から浸漬位置に保持された基板Wに酸添加水を吐出することができる。一方、酸添加水バルブ53bを閉鎖すると、処理液ノズル50からの酸添加水吐出が停止される。
本実施形態において、「酸添加水」とは、純水に酸を数ppm程度添加したものである。添加する酸としては、炭酸(H2CO3)、フッ酸(HF)、塩酸(Hcl)等を用いることが可能である。また、酸の添加量は、10ppm以下である。これは、酸添加量が10ppmより多いと、酸性の薬液として基板表面に作用するおそれがあるためである。酸添加水供給部55にて酸添加水を生成する際には、例えば、所定量の純水に対して決められた添加量の酸を秤量槽にて秤量し、その秤量された酸を前記所定量の純水に投入するようにすれば良い。この「酸添加水」は、その濃度が希薄であるという点において上記の薬液とは異なるものであり、薬液は少なくとも1%以上の濃度を有している。なお、酸添加水蒸気供給部44から供給する「酸添加水の蒸気」は、このような酸添加水を蒸発させて得られる蒸気である。
配管52cの基端部は純水供給部56に連通接続され、その経路途中には純水バルブ53cが設けられている。純水バルブ53cを開放することによって、純水供給部56から2本の処理液ノズル50に純水(deionized water)を送給して吐出孔51から浸漬位置に保持された基板Wに純水を吐出することができる。一方、純水バルブ53cを閉鎖すると、処理液ノズル50からの純水吐出が停止される。
チャンバ5内を減圧する減圧機構90は、排気管91と排気バルブ92と減圧ポンプ93とを備える。排気管91はチャンバ5の底部に連通接続されている。排気管91の経路途中に、排気バルブ92および減圧ポンプ93が配設されている。蓋6を閉じてチャンバ5内を密閉空間とし、排気バルブ92を開放して減圧ポンプ93を作動させることによってチャンバ5内の気体を排気ドレイン94へと排出してチャンバ5内を大気圧未満に減圧することができる。
また、処理液を排出する排液機構80は、排液管85と排液バルブ86とを備える。排液管85は、回収槽15に連通接続されている。排液管85の経路途中には排液バルブ86が介挿されている。排液バルブ86を開放することにより、処理槽10から溢れ出て回収槽15に流れ込んだ処理液を排液ドレイン87へと排出することができる。排液ドレイン87は、処理液を廃棄処理するものに限定されず、処理液を回収・浄化して再利用するものであっても良い。また、図示は省略しているが、処理槽10内の処理液を急速に排出する機構やチャンバ5底部にこぼれた処理液を排液する機構も設けられている。
さらに、基板処理装置1には装置全体を管理するコントローラ99が設けられている。コントローラ99は、コンピュータを用いて構成されており、昇降駆動部22、減圧ポンプ93および各バルブと電気的に接続され、それらの動作を制御する。
次に、上記構成を有する基板処理装置1の動作について説明する。図3は、基板処理装置1における処理手順を示すフローチャートである。基板処理装置1において実行する処理の概略は、薬液を使用して基板の表面処理を行った後、リンス洗浄処理、乾燥処理を順に行うというものである。
まず、レジスト塗布、露光、現像等の各処理工程を経た複数の基板Wが基板処理装置1に搬入される(ステップS1)。このときには、蓋6が開放されるとともに、リフター20が受渡位置まで上昇している。そして、装置外の搬送ロボットが予め所定ピッチにて積層配列された複数の処理対象基板Wを搬送してそれらを一括してリフター20に渡す。リフター20の保持棒21a、21b、21cは所定ピッチにて積層配列された複数の基板Wを起立姿勢にて保持する。このときに、処理槽10内には薬液供給部54から薬液を供給して貯留しておく。なお、本実施形態において、処理対象となる基板Wは半導体ウェハーである。また、薬液供給部54は、薬液としてフッ酸を処理槽10内に供給している。
次に、リフター20が処理槽10内の浸漬位置まで基板Wを下降させて基板Wをフッ酸中に浸漬させる。これにより、基板Wの表面に対するエッチング処理が進行する(ステップS2)。このフッ酸処理時には、薬液供給部54から処理槽10にフッ酸が供給され続ける。フッ酸は処理液ノズル50から供給されて処理槽10内に貯留され、やがて処理槽10の上端部から溢れ出て回収槽15に回収される。このときには、蓋6が閉鎖されてチャンバ5内が密閉空間とされ、ガスノズル40からチャンバ5内に窒素ガスを供給してチャンバ5内を窒素ガス雰囲気にしておく。チャンバ5内を窒素ガス雰囲気にするのは、チャンバ5内の酸素濃度を低下させるためである。
所定時間のフッ酸処理の後、ステップS3に進み、エッチング処理後の基板Wのリンス洗浄処理が行われる。このときには、基板Wを処理槽10内の浸漬位置に保持したまま薬液バルブ53aを閉鎖して薬液供給部54からのフッ酸供給を停止するとともに、酸添加水バルブ53bを開放して酸添加水供給部55から処理槽10への酸添加水供給を開始する。本実施形態では、酸添加水供給部55が酸添加水として純水に塩酸を添加した液を供給している。これにより、処理槽10内がフッ酸から徐々に酸添加水に置換され、基板Wの表面のエッチングが停止されるとともにエッチング残渣等の洗浄処理が行われる。なお、ステップS3のリンス洗浄処理時においても、ガスノズル40からチャンバ5内に窒素ガスを供給してチャンバ5内を窒素ガス雰囲気にしておく。また、処理槽10の上端部から溢れ出た酸添加水は回収槽15に回収される。
所定時間のリンス洗浄処理の後、ステップS4に進み、酸添加水の蒸気を使用した基板Wの乾燥処理を行う。このときには、リフター20が基板Wを引き揚げ位置まで上昇させる。そして、リフター20が基板Wを引き揚げつつある時点にて、窒素ガスバルブ43bを閉鎖して窒素ガス供給を停止するとともに、酸添加水蒸気バルブ43aを開放してガスノズル40からチャンバ5内に酸添加水の蒸気を吐出する。本実施形態において、酸添加水蒸気供給部44が供給する酸添加水の蒸気は純水に塩酸を添加した酸添加水を気化したものであり、その温度は100℃以上300℃以下である。具体的には、酸添加水蒸気供給部44が内蔵するヒータが酸添加水の蒸気を加熱して加熱蒸気とする。
リフター20によって引き揚げ位置にまで引き揚げられた基板Wに100℃以上300℃以下の高温の蒸気を吹き付けることによって、基板Wに付着していた液滴が乾燥する。ここで、酸添加水蒸気供給部44が供給する酸添加水の蒸気の温度が100℃未満であると蒸気温度が低いために十分な乾燥効果を得ることができない。また、酸添加水の蒸気の温度が300℃より大きいと、基板W表面に形成されているデバイスパターンに熱的ダメージを与えるおそれがある。このため、本実施形態においては、酸添加水蒸気供給部44から供給する酸添加水の蒸気の温度を100℃以上300℃以下としている。なお、ステップS4の時点においては、処理液ノズル50から処理槽10への処理液供給は停止するとともに、処理槽10からはリンス液の急速排液を行う。
また、ガスノズル40から酸添加水の蒸気を供給するとともに、減圧機構90によってチャンバ5内を減圧雰囲気とするようにしても良い。具体的には、減圧ポンプ93による排気流量よりもガスノズル40からの酸添加水蒸気の供給流量が少なくなるようにしておく。このようにすれば、基板Wに高温の蒸気を供給しつつチャンバ5内を大気圧未満にすることができ、その結果基板Wをより迅速に乾燥することができる。
その後、減圧ポンプ93の動作および酸添加水の蒸気の供給を停止するとともに、チャンバ5内に窒素ガスを供給して大気圧まで復圧する。続いて、蓋6が開くとともに、リフター20が複数の基板Wを引き揚げ位置からさらに受渡位置まで上昇させる。そして、装置外の搬送ロボットが処理済の基板Wをリフター20から受け取ってチャンバ5から搬出し、全ての処理が完了する(ステップS5)。
以上の一連の処理において、ステップS2の薬液処理は、イオン性の処理液内にて基板Wの処理が進行するため、基板Wが帯電するおそれはない。本実施形態では、フッ酸によるエッチング処理を行っているため、処理液中にH+やF-のようなイオンが存在することとなり、そのようなイオンが基板Wの帯電を抑制する。
続くステップS3のリンス洗浄処理時においても、本実施形態では純水ではなく酸添加水を使用して基板Wの洗浄処理を行っているため、処理液中にH+やcl-のようなイオン性物質が微量ではあるが存在しており、基板Wの帯電は防止される。このため、リンス洗浄処理時に、アルカリ土類等のメタル成分をも確実に除去することができる。なお、基板Wの帯電を防止する目的のみであれば、イオン性物質が大量に処理液中に存在する必要はない。
さらに、ステップS4の引き揚げ乾燥処理時においても、本実施形態では酸添加水の蒸気を基板Wに吹き付けている。このため、乾燥用蒸気中にも微量にイオン性物質が含まれることとなり、蒸気と基板Wとの摩擦が防止され、その結果、基板Wの帯電が防止されるのである。
このように、薬液処理、リンス洗浄処理、乾燥処理のいずれの工程においても、基板Wの帯電が防止されるため、帯電に起因したデバイス破壊が生じるおそれはない。また、乾燥処理時にIPA等の有機溶剤を使用していないため、有機溶剤の廃棄に伴う別途の処理が不要となり、処理コスト増加を抑制することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態においては、薬液処理としてフッ酸によるエッチング処理を行っていたが、他の薬液、例えばSC−1(アンモニア過酸化水素水混合水溶液)を使用した表面洗浄処理を行うようにしても良い。この場合であっても、処理時にイオン性物質が存在するため、基板Wの帯電は防止される。
また、リンス洗浄処理時および乾燥処理時に使用する酸添加水は純水に塩酸を添加した液に限定されるものではなく、純水にフッ酸や炭酸を添加した液であっても良い。純水にフッ酸や炭酸を添加した酸添加水であっても、上記と同様の帯電防止効果が得られる。
また、上記実施形態においては、リンス洗浄処理時に使用する酸添加水と乾燥処理時に使用する酸添加水とが同じ種類のもの(純水に塩酸を添加した液)であったが、これを異なる種類のもの、すなわち純水に添加する酸を異なるようにしても良い。例えば、リンス洗浄処理時には純水に炭酸を添加した液を使用するとともに、乾燥処理時には純水にフッ酸を添加した液を使用するようにしても良い。
また、ガスノズル40および処理液ノズル50は、複数の吐出孔を有するものに限定されず、1本のスリットを有する形式のものであっても良い。
また、上記実施形態においては、リフター20が複数の基板Wを直接保持するようにしていたが、リフター20が複数の基板Wを収容したキャリアを保持して昇降するようにしても良い。
さらに、上記実施形態においては、基板処理装置1が複数の基板Wを一括して処理するいわゆるバッチ式の処理装置であったが、処理対象の基板Wを一枚ずつ処理するいわゆる枚葉式の基板処理装置であっても本発明に係る技術を適用することができる。すなわち、薬液処理が終了した基板Wを回転させつつ、その表面に酸添加水を吐出してリンス洗浄を行った後、酸添加水の蒸気を吐出して乾燥処理を行うようにしても良い。
1 基板処理装置
5 チャンバ
10 処理槽
20 リフター
40 ガスノズル
44 酸添加水蒸気供給部
50 処理液ノズル
55 酸添加水供給部
60 ガス供給機構
70 処理液供給機構
80 排液機構
90 減圧機構
5 チャンバ
10 処理槽
20 リフター
40 ガスノズル
44 酸添加水蒸気供給部
50 処理液ノズル
55 酸添加水供給部
60 ガス供給機構
70 処理液供給機構
80 排液機構
90 減圧機構
Claims (6)
- 基板表面の処理を行う基板処理装置であって、
基板を収容して内部を密閉空間にすることができるチャンバと、
前記チャンバ内に配置され、処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽に、純水に酸を添加した酸添加水を処理液として供給する酸添加水供給手段と、
前記処理槽内の浸漬位置と、前記チャンバ内における前記処理槽よりも上方の引き揚げ位置との間で基板を保持して昇降させる昇降手段と、
前記引き揚げ位置に保持された基板に酸添加水の蒸気を吐出する乾燥用蒸気供給手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記酸添加水は、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または請求項2記載の基板処理装置において、
前記乾燥用蒸気供給手段が供給する酸添加水の蒸気の温度は100℃以上300℃以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 基板表面の処理を行う基板処理方法であって、
基板の表面を所定の薬液にて処理する薬液処理工程と、
前記薬液処理の後に、前記基板の表面を純水に酸を添加した酸添加水にて洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄処理の後に、前記基板に酸添加水の蒸気を吐出して乾燥する乾燥工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4記載の基板処理方法において、
前記酸添加水は、純水に炭酸、フッ酸または塩酸を添加したものであることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4または請求項5記載の基板処理方法において、
前記乾燥工程にて吐出する酸添加水の蒸気の温度は100℃以上300℃以下であることを特徴とする基板処理方法。
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