JP2007266139A - 半導体装置及び基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ワイヤーボンディング手法を使用することなく、積層されたチップと基板とを電気的に接続することを可能にした半導体装置及びそれに用いられる基板を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数のチップ3a,3b,3c,3dと各チップに電気的に接続する基板5とを備えた半導体装置1では、基板5には段差によって生じる断面積が異なる複数の層状の開口領域からなる凹み部7であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口領域が当該開口領域よりも上層にある開口領域に包含される凹み部7が形成されており、複数のチップ3a,3b,3c,3dは各開口領域に対応する形状のものを含み、基板5の凹み部7に形成された接続端子は、開口領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 複数のチップ3a,3b,3c,3dと各チップに電気的に接続する基板5とを備えた半導体装置1では、基板5には段差によって生じる断面積が異なる複数の層状の開口領域からなる凹み部7であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口領域が当該開口領域よりも上層にある開口領域に包含される凹み部7が形成されており、複数のチップ3a,3b,3c,3dは各開口領域に対応する形状のものを含み、基板5の凹み部7に形成された接続端子は、開口領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置及び基板に関し、複数のチップと前記各チップに電気的に接続する基板とを備えた半導体装置、及び、それに用いられる基板に関する。
近年LSI製造プロセス技術の進歩によりLSIの基板への集積度が一層進んでおり、SiP(System In a Package)という概念も出てきた。SiPは、微小なプリント基板(多層基板を含む)上に複数のICチップ(以下、チップという。)や受動素子を実装して微小なシステムを製造する技術をいう。シリコンチップ上に回路を書き込んでシステムを作製するSoC(System On a Chip)に比較して、i)既存のチップを用いれば短期間に量産が可能、ii)小さな設備投資で、iii)少量多品種の生産に有利などの利点を有する。
ところで、チップと基板との電気的接続には、通常、ワイヤーボンディングという手法が用いられる。特に、チップが重ねられた場合には、2段目以降には、ワイヤーボンディングが使われている(非特許文献1、非特許文献2、特許文献1、特許文献2参照)。なお、特許文献3、4に示されるように、ワイヤーボンディングが使われていない場合もあるが、いずれもチップの積層を前提とした場合ではなく、1つのチップに対して一つの基板というセットが前提とされている。
ルネサス システムインパッケージ総合カタログ(2005.4)
TOSHIBA システムカタログ SiP(System in Package) 2004 semiconductor
特開2001−148457号公報
特開平7−106465号公報
特開2005−183924号公報
特開2001−168269号公報
しかしながら、上記のように、特にチップが積層された場合にはワイヤーボンディングが使われており、以下のような問題がある。
ワイヤーが使用されるため、組み立ての際にピンセットがワイヤーに引っかかって切れることがある。
また、ワイヤーによる配線部分が生じる結果、特にチップの積層によって生じるワイヤーの配線部分が長くなってしまう傾向があり、信号の遅延時間が長くなってしまう傾向がある。
さらに、チップの積層による多層化が進む結果、同一平面上に形成される基板側の接続口(接続端子)の数が増えてしまって配置位置が過密化するとともに、ワイヤー同士が接触して短絡しないようにした状態で基板側の接続口(接続端子)の配置位置を考慮しなければならず、このような制約下での配置には限界が生じやすかった。
さらに、チップの表面が基板側に向いてワイヤーボンディングが行われるため、チップ表面のパターンが露出してしまい、傷がついてしまう場合があった。
ゆえに、本発明は、上記問題を解決するために、ワイヤーボンディング手法を使用することなく、積層されたチップと基板とを電気的に接続することを可能にした半導体装置及びそれに用いられる基板を提供することを目的とする。
請求項1に係る発明は、複数のチップと前記各チップに電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、前記基板には、段差によって生じる断面積が異なる複数の層状の開口領域からなる凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口領域が当該開口領域よりも上層にある開口領域に包含される凹み部が形成されており、前記複数のチップは前記各開口領域に対応する形状のものを含み、前記基板の凹み部に形成された接続端子は、前記開口領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とするものである。
請求項2に係る発明は、請求項1において、前記各開口領域の断面が多角形であるものである。
請求項3に係る発明は、複数のチップと前記各チップに電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、前記基板には、凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口断面領域が当該開口断面領域よりも上部側にある開口断面領域に含まれる凹み部が形成されており、前記複数のチップは前記各開口断面領域に対応する形状のものを含み、前記基板の凹み部に形成された接続端子は、前記開口断面領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とするものである。
請求項4に係る発明は、複数のチップが積層されたチップ群と前記チップ群に電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、前記チップ群又は前記基板には、凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口断面領域が当該開口断面領域よりも開口表層側にある開口断面領域に含まれる凹み部が形成されており、前記基板又は前記チップ群には、前記凹み部に対応する形状部分が形成されており、前記凹み部に形成された接続端子は、前記凹み部に対応する形状部分に形成された接続端子に直結することを特徴とするものである。
請求項5に係る発明は、請求項1から4のいずれかにおいて、前記直結する接続端子のいずれか一方が雄形状をしており、他方が雌形状をしていることを特徴とするものである。
請求項6に係る発明は、請求項1から5のいずれかに記載の半導体装置に用いられる基板である。
請求項7に係る発明は、請求項6において、低温焼成セラミックスによって成形されたき基板である。
以上のような構成により、ワイヤーが使用されることなく、基板側と積層されたチップ側の接続端子が直結するため、例えば組み立ての際にピンセットがワイヤーに引っかかって切れることも起きない。また、ワイヤーが使用されないことから、ワイヤーの配線部分が生じない結果、その配線部分による信号の遅延時間が発生することを抑えることができる。さらに、基板側と積層されたチップの接続端子が平面的に配置されるのではなく、空間的な配置が可能となって、その配置の自由度が大きくなり、チップの積層化を進めて集積度を大きくできる。さらに接続端子の配置関係からチップ表面のパターンが基板側に向かわせることも容易である結果、パターンに傷がついてしまうことを防止できる。さらに、凹み部が形成されてその凹み部が利用されてチップと基板との電気的接続が行われる結果、半導体装置としての厚みを薄くできる方向とできる。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の概略断面図である。図2は図1の基板5の部分を示した断面図である。図3は図2の要部拡大図である。図4は図3の開口方向から見た状態を示した図である。図5は、図1のチップの接続端子の状態を説明するための図である。
半導体装置1は、複数のチップ3a,3b,3c,3dとそれぞれに電気的に接続する基板5とを備えている。複数のチップ3a〜3dは積層されてチップ群3として基板5の凹み部7に取り付けられる。凹み部7は、図3に示すように、段差部9a,9b,9cによる段差によって生じる断面積が異なる複数の層状の開口領域8a,8b,8cが含まれるように形成されている。また、凹み部7は、図4に示すように、図3に示す開口方向に対して投射が行われた場合に各開口領域8a,8b,8cが当該開口領域よりも上層にある開口領域に包含されるように形成されている。具体的に説明すると、開口領域8cはそれよりも上層にある開口領域8a,8bに含まれ、開口領域8bはそれよりも上層にある開口領域8aに含まれている。
チップ群3は基板5と電気的に接続するために、基板5の凹み部7における第3層の開口領域8cに対応する形状のチップ3dが開口領域8cに位置づけられ、第2層の開口領域8bに対応する形状のチップ3cがチップ3dよりも上に積層されて開口領域8bに位置づけられ、第1層の開口領域8aに対応する形状のチップ3bがチップ3cよりも上に積層されて開口領域8aに位置づけられ、チップ3aがチップ3bの上に積層される。チップ3aの形状は図5に示すように直方体であり、チップ3d,3c,3bの形状も開口領域8c、8b、8aに対応する形状であって直方体である。したがって、チップ3a〜3dの断面は、四角形である。
上記四角形のような多角形とすることで、チップ3d、3c、3bと開口領域8c,8b,8aとの位置決めが容易となる関係ができている。
また、図5に示すように、チップ3aにはその表面にパッドを形成した後に針を接続した雄形状の接続端子13が設けられており、この接続端子13に対応する雌形状の接続端子11が基板5に設けられている。他の雌形状の接続端子11に対応する雄形状の接続端子が各チップ3b、3c、3dに設けられている。雄雌形状による接続によって、取り付けの容易化が可能であり、また取り付け後の固定力・支持力を担保できる。そして、チップ3a〜3dの接続端子と基板の接続端子11とは、ワイヤーボンディングを用いることなく、取り付け状態において直結できる位置関係となっている。
このようにしてチップ群3の各チップ3a,3b,3c,3dと基板5内とが電気的に接続し、基板5内の内部配線を通じて信号のやりとりが行われ、半導体装置1として動作可能となっている。
図6は、本発明の他の実施の形態に係る半導体装置の概略断面図である。以下、
図1の場合と異なる点を述べる。
図1の場合と異なる点を述べる。
図6の実施の形態では、半導体装置15の基板17の接続端子とチップ群19のチップ19a,19b,19c,19dの接続端子間との電気的接続に、チップ側の表面にはんだバンプを形成して基板とをフリップチップボンドにより方法が利用されている。このような雄雌形状による接続ではなくても、ワイヤーボンディングを用いずに電気的に直結させるようなものであっても、凹み部を用いること、或いはワイヤーボンディングを使わないことによる効果は得られる。
その効果を簡単にまとめると、以下のものがある。第1に、ワイヤーが使用されることなく、基板側と積層されたチップ側の接続端子が直結するため、例えば組み立ての際にピンセットがワイヤーに引っかかって切れることも起きない。第2に、ワイヤーが使用されないことから、ワイヤーの配線部分が生じない結果、その配線部分による信号の遅延時間が発生することを抑えることができる。第3に、基板側と積層されたチップの接続端子が平面的に配置されるのではなく、空間的な配置が可能となって、その配置の自由度が大きくなり、チップの積層化を進めて集積度を大きくできる。第4に、接続端子の配置関係からチップ表面のパターンが基板側に向かわせることも容易である結果、パターンに傷がついてしまうことを防止できる。第5に、凹み部が形成されてその凹み部が利用されてチップと基板との電気的接続が行われる結果、半導体装置としての厚みを薄くできる方向とできる。
なお、上記実施の形態では基板側に凹み部を設けたが、チップ群側に凹み部を設けるような工夫を行うことを妨げるものではない。
また、図1〜図5に示した接続端子の雄雌形状の関係において、チップ側を雄形状としたが、基板側を雄形状としてもよい。
さらに、上記実施の形態では、凹み部が図3に示すように断面積が異なる四角柱の形の開口領域が層状になったものを示したが、四角柱に限らず、他の多角柱、円柱、その他の柱状体、さらには、円筒、筒状体、これらの組合せが層状になったものでもよい。
さらに、上記実施の形態では、凹み部が段差によって層状で各層毎に断面積を同じ積層形式としたが、各層毎の面積が同一である必要は無く、例えば、上方に向いて広がるテーパ状のものでもよい、さらには凹み部が半球状のものであってもよい。すなわち、凹み部が、その開口方向に対して投射が行われた場合に各開口断面領域が当該開口断面領域よりも上部側にある開口断面領域に含まれるものであってもよい。
さらに、上記実施の形態では、段差を生じさせるように段差部をリング状に形成したが、その一部だけを形成するようにしてもよい。
さらに、上記実施の形態では、基板の接続端子の配置位置が凹み部の開口方向に対して垂直方向としているが、平行な関係で配置してもよい。その場合、チップ側の接続端子の配置もそれに直結するような位置に設ければよい。
さらに、上記実施の形態では、基板の材質は特に限定されず、低温焼成セラミックス基板、他の無機系材料基板(セラミックス基板、金属系基板、その他の基板(ガラス基板、シリコン基板を含む))、有機系材料基板(紙基材銅張積層板、ガラス基材銅張積層板、コンポジット銅張積層板、耐熱熱可塑性基板、フレキシブル基板など)であってもよい。また、セラミックス基板は、強度、耐熱などの点から多層基板として好ましく、上記した低温焼成セラミックス(LTCC)基板のほか、アルミナ基板(HTCC)、AlN(窒化アルミニウム)基板、SiC(炭化けい素)基板であってもよい。
1,15 半導体装置
3,19 チップ群
3a,3b,3c,3d チップ
5,17 基板
7 凹み部
8a,8b,8c 開口領域
9a,9b,9c 段差部
11,13 接続端子
3,19 チップ群
3a,3b,3c,3d チップ
5,17 基板
7 凹み部
8a,8b,8c 開口領域
9a,9b,9c 段差部
11,13 接続端子
Claims (7)
- 複数のチップと前記各チップに電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、
前記基板には、段差によって生じる断面積が異なる複数の層状の開口領域からなる凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口領域が当該開口領域よりも上層にある開口領域に包含される凹み部が形成されており、
前記複数のチップは前記各開口領域に対応する形状のものを含み、前記基板の凹み部に形成された接続端子は、前記開口領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とする、半導体装置。 - 前記各開口領域の断面は多角形である、請求項1記載の半導体装置。
- 複数のチップと前記各チップに電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、
前記基板には、凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口断面領域が当該開口断面領域よりも上部側にある開口断面領域に含まれる凹み部が形成されており、
前記複数のチップは前記各開口断面領域に対応する形状のものを含み、前記基板の凹み部に形成された接続端子は、前記開口断面領域に対応して積層されたチップに形成された接続端子に直結されることを特徴とする、半導体装置。 - 複数のチップが積層されたチップ群と前記チップ群に電気的に接続する基板とを備えた半導体装置であって、
前記チップ群又は前記基板には、凹み部であってその開口方向に対して投射が行われた場合に各開口断面領域が当該開口断面領域よりも開口表層側にある開口断面領域に含まれる凹み部が形成されており、
前記基板又は前記チップ群には、前記凹み部に対応する形状部分が形成されており、前記凹み部に形成された接続端子は、前記凹み部に対応する形状部分に形成された接続端子に直結することを特徴とする、半導体装置。 - 前記直結する接続端子のいずれか一方が雄形状をしており、他方が雌形状をしていることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載の半導体装置に用いられる基板。
- 低温焼成セラミックスによって成形された請求項6記載の基板。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
US8304895B2 (en) | 2009-08-31 | 2012-11-06 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
US8455992B2 (en) | 2010-10-12 | 2013-06-04 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
JP2022145598A (ja) * | 2021-03-19 | 2022-10-04 | ナントン アクセス セミコンダクター シーオー.,エルティーディー | 埋め込みパッケージ構造及びその製造方法 |
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2006
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8304895B2 (en) | 2009-08-31 | 2012-11-06 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
US8697491B2 (en) | 2009-08-31 | 2014-04-15 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
US8455992B2 (en) | 2010-10-12 | 2013-06-04 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
US8633057B2 (en) | 2010-10-12 | 2014-01-21 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Semiconductor package and method of fabricating the same |
JP2022145598A (ja) * | 2021-03-19 | 2022-10-04 | ナントン アクセス セミコンダクター シーオー.,エルティーディー | 埋め込みパッケージ構造及びその製造方法 |
JP7405888B2 (ja) | 2021-03-19 | 2023-12-26 | ナントン アクセス セミコンダクター シーオー.,エルティーディー | 埋め込みパッケージ構造及びその製造方法 |
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