JP2007263554A - 排ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バーナ部10と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスG1を導入し、該排ガスを酸化分解させる排ガス処理装置において、前記バーナ部は、頂部閉塞し下部が開口した筒状体を具備し、該筒状体の頂部に排ガス導入口を設けると共に、側壁の所定の位置に空気ノズルを設け、開口近傍の側壁に助燃ガスノズル16を設け、前記排ガス導入口より導入された排ガスと前記空気ノズル15から吹き出された空気を混合すると共に、前記助燃ノズルから吹き出された助燃ガスに着火し、前記開口下方に向かって燃焼炎を形成するように構成し、前記助燃ガスノズルに燃料ガスを導入する助燃ガス導入部を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
還元炎中の還元分解反応としては、
CF4+H2→CHmFn+HF+F2 (m,nは0〜4)
さらに酸化分解反応としては、
CHmFn+O2→CO2+H2O
燃焼室30においては、内壁を構成するセラミックスが耐熱性及び耐食性に優れており、熱や腐食による消耗が少ないばかりではなく、繊維に強化されているもので熱応力による割れも防止され、長期に渡って使用が可能である。しかも、金属の場合のような触媒効果がないために燃焼室30が高温になってもサーマルNOxの発生が抑制される。ハロゲン系のガスを分解処理しても、それに伴い生成するハロゲンガス(HCl、HF等)による内壁35の高温下での腐食やエッチングが抑制される。
処理するガス:N2ガス
排出ガスのNOx濃度
セラミックス製の内壁:25ppm
ステンレス製の内壁:数100〜数1000ppm
図3及び図4は本発明の排ガス処理装置のバーナー部の他の構成例を示す図で、図3は縦断面図、図4は図3の矢視A図である。同図において、図1及び図2と同じ符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。また、他の図面においても同様とする。本バーナ部10は円筒体11の外周部に助燃ガス室20に隣接して冷却ジャケット21を設けている。該冷却ジャケット21には冷却媒体を供給している。該冷却ジャケット21に冷却媒体を供給することにより、該冷却ジャケット21は開口部に形成される火炎により加熱された円筒体11を冷却する。冷却媒体には、温度差のあるものならばよく、水等の液体や空気等の気体を用いる。
また、請求項10乃至12に記載の発明によれば、空気ノズルは開口下方に向かって形成された燃焼炎に旋回空気流を下方に向かって吹き付けるように構成した空気ノズルとしたので、ノズル部の内壁にダストの付着しにくい、排ガス処理装置となる。
Claims (14)
- バーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスを導入し、該排ガスを酸化分解させる排ガス処理装置において、
前記バーナ部は、頂部閉塞し下部が開口した筒状体を具備し、該筒状体の頂部に排ガス導入口を設けると共に、側壁の所定の位置に空気ノズルを設け、開口近傍の側壁に助燃ガスノズルを設け、前記排ガス導入口より導入された排ガスと前記空気ノズルから吹き出された空気を混合すると共に、前記助燃ノズルから吹き出された助燃ガスに着火し、前記開口下方に向かって燃焼炎を形成するように構成し、
前記助燃ガスノズルに燃料ガスを導入する助燃ガス導入部を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項1に記載の排ガス処理装置において、
前記助燃ガス導入部は前記筒状体の外周側に設けた助燃ガス室又は助燃ガス導入管であり、前記助燃ガスノズルは該助燃ガス室又は助燃ガス導入管の先端に助燃ガスを前記燃焼室の中心部に向かって吹き出すように設け、前記冷却手段は前記助燃ガス室又は助燃ガス導入管に隣接して設けた冷却ジャケットに冷却媒体を供給して該助燃ガス室又は助燃ガス導入管を冷却するように構成したことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項1又は2項に記載の排ガス処理装置において、
前記冷却媒体が水、空気、又はその他の液体、気体のいずれかであることを特徴とする排ガス処理装置。 - バーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスを導入して、該排ガスを酸化分解させる排ガス処理装置において、
前記バーナ部及び/又は燃焼室内壁に付着したダストの除去又はダストを付着しないようにするダスト除去手段を設けたことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項4記載の排ガス処理装置において、
前記ダスト除去手段は、前記バーナ部及び/又は燃焼室内を上下動するシャフトにダスト掻き取り板を取りつけて構成したことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項4に記載の排ガス処理装置において、
前記ダスト除去手段は、前記バーナ部及び/又は燃焼室内の内壁面に沿って空気流層を形成し、該空気流層で前記バーナ部及び/又は燃焼室内壁面にダストが付着しないように構成したことを特徴とする排ガス処理装置。 - ダストを多く含むガス体が流れる配管内壁に付着するダストを除去するダスト除去装置であって、
前記配管内に配置され主軸に配管長手方向に伸びる棒状の掻き取り部材を取り付けた構成の掻き取り機構と、該騒き取り機構の主軸を騒き取り部材が配管内面に接触し又は微小な間隔をおいて内周方向に移動するよう支持する支持機構と、該掻き取り機構を主軸を中心に連続的又は周期的に揺動又は回転させる駆動機構を具備することを特徴とするダスト除去装置。 - 請求項7に記載のダスト除去装置において、
前記掻き取り部材及び主軸は中空のパイプからなり、該掻き取り部材と主軸の中空は連通すると共に、該掻き取り部材の先端に中空に連通する開口を設け、前記配管外部から前記主軸及び掻き取り部材の中空を通し、該開口からクリーニングガスを吹き出すことを特徴とするダスト除去装置。 - 請求項7又8に記載のダスト除去装置において、
前記掻き取り部材及び主軸は中空のパイプからなり、該掻き取り部材と主軸の中空は連通すると共に、該掻き取り部材及び主軸の双方又は掻き取り部材の表面には中空部に連通する多数の孔又はスリットを設け、前記配管外部から前記主軸及び騒き取り部材の中空を通し、該多数の孔又はスリットからクリーニングガスを吹き出すことを特徴とするダスト除去装置。 - バーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスを導入し、該排ガスを酸化分解させる排ガス処理装置において、
前記バーナ部は、頂部閉塞し下部が開口した筒状体を具備し、該筒状体の頂部に排ガス導入口を設けると共に、側壁の所定の位置に空気ノズルを設け、開口近傍の側壁に助燃ガスノズルを設け、
前記空気ノズルは、前記助燃ガスノズルから噴射された助燃ガスに着火し、前記開口下方に向かって形成された燃焼炎に、旋回空気流を下方に向かって吹き付けるように構成した空気ノズルであることを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項10に記載の排ガス処理装置において、
前記空気ノズルは、その中心線が該中心線に平行な内壁面接線に内壁面で空気の滞留が発生しないように、接近させて設けたことを特徴とする排ガス処理装置。 - 請求項10又は11に記載の排ガス処理装置において、
前記空気ノズルと助燃ガスノズルは、該空気ノズルと助燃ガスノズルの間にあるダストを該空気ノズルから吹き出される空気で吹き飛ばすことができるように接近させて設けたことを特徴する排ガス処理装置。 - バーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、前記バーナ部より前記燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に排ガスを導入し、該排ガスを酸化
分解させる排ガス処理装置において、
前記バーナ部は、頂部閉塞し下部が開口した筒状体を具備し、該筒状体の頭部に排ガス導入口を設けると共に、側壁の所定の位置に空気ノズルを設け、開口近傍の側壁に助燃ガスノズルを設け、
前記排ガス導入口及び/又は前記筒状体の内径は前記燃焼室に向かって徐々に大きくなっていることを特徴とする排ガス処理装置。 - バーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室と、該燃焼室の下流側に設けた燃焼ガス冷却部とを一体的に設け、
前記バーナ部には排ガスを導入する排ガス導入口と、空気を導入し旋回空気流を発生させる空気ノズルと、助燃ガスを導入する助燃ガスノズルとを設け、
前記燃焼ガス冷却部には燃焼室から流入する排ガスを冷却し該排ガス中のダストを捕捉するための液体を噴霧する液体噴霧ノズルと、該排ガスを排出するための排気管と、該液体噴霧ノズルで噴霧された液体を排液するための排液管とを設けたことを特徴とする排ガス処理装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011016393A1 (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | 株式会社 荏原製作所 | 燃焼式排ガス処理装置 |
JP2014040662A (ja) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co Kg | フッ素含有及び貴金属含有製品の熱処理のための装置及び方法 |
JP2014081188A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Global Standard Technology Co Ltd | CO,NOx個別制御方式を利用した低公害燃焼方法 |
JP2014529680A (ja) * | 2011-08-17 | 2014-11-13 | エドワーズ リミテッド | ガス流処理装置 |
WO2018034331A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
CN110026045A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-07-19 | 四川大学青岛研究院 | 一种系统快捷的废气处理装置 |
US10920981B2 (en) | 2016-08-19 | 2021-02-16 | Ebara Corporation | Burner head for exhaust gas processing apparatus, manufacturing method of the same, combustion chamber for exhaust gas processing apparatus, and manufacturing method and maintenance method of the same |
CN113058356A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-02 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 一种处理半导体dpy工艺的废气处理装置 |
CN114216122A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-03-22 | 江西鑫德环保设备有限公司 | 一种环保高效火化机 |
JP2023044295A (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-30 | エドワーズ株式会社 | 除害装置、堆積物除去手段、及び堆積物除去方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58108322A (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-28 | ミツドランド−ロス・コ−ポレ−シヨン | ガスバ−ナ− |
JPS58184421A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-27 | ザ・エア・プレヒ−タ−・コンパニ−・インコ−ポレ−テツド | ヒユ−ム焼却炉 |
-
2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58108322A (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-28 | ミツドランド−ロス・コ−ポレ−シヨン | ガスバ−ナ− |
JPS58184421A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-27 | ザ・エア・プレヒ−タ−・コンパニ−・インコ−ポレ−テツド | ヒユ−ム焼却炉 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10174942B2 (en) | 2009-08-07 | 2019-01-08 | Ebara Corporation | Combustion-type exhaust gas treatment apparatus |
JP2011038666A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Ebara Corp | 燃焼式排ガス処理装置 |
EP2463579A4 (en) * | 2009-08-07 | 2016-12-07 | Ebara Corp | DEVICE FOR TREATING COMBUSTION EXHAUST GASES |
WO2011016393A1 (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | 株式会社 荏原製作所 | 燃焼式排ガス処理装置 |
JP2014529680A (ja) * | 2011-08-17 | 2014-11-13 | エドワーズ リミテッド | ガス流処理装置 |
US9371581B2 (en) | 2011-08-17 | 2016-06-21 | Edwards Limited | Apparatus for treating a gas stream |
JP2014040662A (ja) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co Kg | フッ素含有及び貴金属含有製品の熱処理のための装置及び方法 |
JP2014081188A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Global Standard Technology Co Ltd | CO,NOx個別制御方式を利用した低公害燃焼方法 |
US9182120B2 (en) | 2012-10-16 | 2015-11-10 | Global Standard Technology Co., Ltd. | Low-pollution burning method using system for individually controlling CO and NOx |
WO2018034331A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
US10920981B2 (en) | 2016-08-19 | 2021-02-16 | Ebara Corporation | Burner head for exhaust gas processing apparatus, manufacturing method of the same, combustion chamber for exhaust gas processing apparatus, and manufacturing method and maintenance method of the same |
CN110026045A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-07-19 | 四川大学青岛研究院 | 一种系统快捷的废气处理装置 |
CN110026045B (zh) * | 2019-05-20 | 2024-03-29 | 四川大学青岛研究院 | 一种系统快捷的废气处理装置 |
CN113058356A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-02 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 一种处理半导体dpy工艺的废气处理装置 |
JP2023044295A (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-30 | エドワーズ株式会社 | 除害装置、堆積物除去手段、及び堆積物除去方法 |
JP7458356B2 (ja) | 2021-09-17 | 2024-03-29 | エドワーズ株式会社 | 除害装置、堆積物除去手段、及び堆積物除去方法 |
CN114216122A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-03-22 | 江西鑫德环保设备有限公司 | 一种环保高效火化机 |
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Publication number | Publication date |
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JP4579944B2 (ja) | 2010-11-10 |
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