JP2007250814A - 配線構造とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】InPやGaAsなどを材料とする半絶縁性半導体基板11上に、半導体を保護するための二酸化珪素などの絶縁膜12が形成され、その上に層間膜14が形成され、ビアホール15の壁を含めて、層間膜14の表面に、中心導体17を有する第二層の配線が形成され、該第二層の配線が、絶縁膜である層間膜14または耐湿性保護膜18と接するすべての部分において、二層配線の中心導体17とは異なる導電材料からなる被覆膜である密着性向上膜16、20または21を有することを特徴とする配線構造を構成する。
【選択図】図1
Description
化合物半導体基板上に構成された半導体集積回路中の少なくとも1層の配線構造において、該配線構造が、絶縁膜と接するすべての部分において、該配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる被覆膜を有することを特徴とする配線構造を構成する。
請求項1に記載の配線構造において、前記中心導体が金であるか、または、金を主成分とする金属材料であることを特徴とする配線構造を構成する。
請求項1に記載の配線構造において、前記中心導体とは異なる導電材料がタングステンであるか、または、タングステンを主成分とする導電材料であることを特徴とする配線構造を構成する。
請求項1に記載の配線構造において、該配線構造が、シリコンと窒素とを含む絶縁膜と接していることを特徴とする配線構造を構成する。
請求項1ないし4のいずれかに記載の配線構造を製造する配線構造の製造方法において、第一の絶縁膜の表面に配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第一の被覆膜を形成する工程と、前記第一の被覆膜の表面に前記中心導体からなる1層の配線を形成する工程と、前記配線の上面と両側面に前記中心導体とは異なる導電材料からなる第二の被覆膜を形成する工程と、前記第二の被覆膜の表面に第二の絶縁膜を形成する工程とを有することを特徴とする配線構造の製造方法を構成する。
請求項1ないし4のいずれかに記載の配線構造を製造する配線構造の製造方法において、第一の絶縁膜の表面に第一の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第一の被覆膜を形成する工程と、前記第一の被覆膜の表面に前記第一の配線構造の中心導体からなる1層の第一の配線を形成する工程と、前記第一の配線の上面と両側面に前記第一の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第二の被覆膜を形成する工程と、前記第二の被覆膜の表面に第二の絶縁膜を形成する工程と、前記第二の絶縁膜の表面に第二の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第三の被覆膜を形成する工程と、前記第三の被覆膜の表面に前記第二の配線構造の中心導体からなる1層の第二の配線を形成する工程と、前記第二の配線の上面と両側面に前記第二の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第四の被覆膜を形成する工程と、前記第四の被覆膜の表面に第三の絶縁膜を形成する工程とを有することを特徴とする配線構造の製造方法を構成する。
本発明に係る配線構造の形態例を図1に示す。図において、InPやGaAsなどを材料とする半絶縁性半導体基板11上に、半導体を保護するための二酸化珪素などの絶縁膜12が形成され、その上に、第一層の配線である一層配線13が設けられている。
以下、図1に示した配線構造を製造する、本発明に係る配線構造の製造方法に関して、図3の(a)から図5の(f)までを用いて説明する。なお、以下において、半絶縁性半導体基板11として半絶縁性インジウム燐を用い、二層の層配線を製作する場合を例に挙げて説明するが、半絶縁性半導体基板11として、ガリウム砒素を用いてもよく、二層構造以上の多層配線の場合であってもよい。
以下に、図2に示した配線構造を製造する、本発明に係る配線構造の製造方法に関して説明する。この場合には、第一層の配線の製作と第二層の配線の製作との両方に、本発明に係る配線構造の製造方法を適用する。第二層の配線の製作に本発明に係る配線構造の製造方法を適用する場合については、すでに、実施の形態例2で説明してあるので、以下に、第一層の配線の製作に本発明に係る配線構造の製造方法を適用する場合について、図6の(a)から(c)までを用いて、説明する。
Claims (6)
- 化合物半導体基板上に構成された半導体集積回路中の少なくとも1層の配線構造において、該配線構造が、絶縁膜と接するすべての部分において、該配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる被覆膜を有することを特徴とする配線構造。
- 請求項1に記載の配線構造において、前記中心導体が金であるか、または、金を主成分とする金属材料であることを特徴とする配線構造。
- 請求項1に記載の配線構造において、前記中心導体とは異なる導電材料がタングステンであるか、または、タングステンを主成分とする導電材料であることを特徴とする配線構造。
- 請求項1に記載の配線構造において、該配線構造が、シリコンと窒素とを含む絶縁膜と接していることを特徴とする配線構造。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の配線構造を製造する配線構造の製造方法において、
第一の絶縁膜の表面に配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第一の被覆膜を形成する工程と、
前記第一の被覆膜の表面に前記中心導体からなる1層の配線を形成する工程と、
前記配線の上面と両側面に前記中心導体とは異なる導電材料からなる第二の被覆膜を形成する工程と、
前記第二の被覆膜の表面に第二の絶縁膜を形成する工程とを有することを特徴とする配線構造の製造方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の配線構造を製造する配線構造の製造方法において、
第一の絶縁膜の表面に第一の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第一の被覆膜を形成する工程と、
前記第一の被覆膜の表面に前記第一の配線構造の中心導体からなる1層の第一の配線を形成する工程と、
前記第一の配線の上面と両側面に前記第一の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第二の被覆膜を形成する工程と、
前記第二の被覆膜の表面に第二の絶縁膜を形成する工程と、
前記第二の絶縁膜の表面に第二の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第三の被覆膜を形成する工程と、
前記第三の被覆膜の表面に前記第二の配線構造の中心導体からなる1層の第二の配線を形成する工程と、
前記第二の配線の上面と両側面に前記第二の配線構造の中心導体とは異なる導電材料からなる第四の被覆膜を形成する工程と、
前記第四の被覆膜の表面に第三の絶縁膜を形成する工程とを有することを特徴とする配線構造の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171596A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Mitsubishi Materials Corp | 薄膜サーミスタ素子 |
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JPS62272557A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-11-26 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 半導体素子の製造方法 |
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2006
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Patent Citations (4)
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