JP2007245121A - 膜分離装置及びその洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】配管構造を簡素化して小型化を図ることができる膜分離装置の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】複数段の濾過ユニット１，２，３と、最前段の濾過ユニット１に原水を供給する原水供給管７と、前段の濾過ユニット１（２）からの濃縮水を原水として後段の濾過ユニット２（３）へと導く連結管４（５）と、最後段の濾過ユニット３からの濃縮水を排出する排水管１２と、各濾過ユニット１，２，３の軸線方向の一方の側から洗浄水（原水）を供給するとともに他方の側から洗浄廃流体（洗浄水と洗浄空気）を排出する洗浄手段を備えて成る膜分離装置の洗浄方法において、前記洗浄手段は、洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニット１（３）から次の段の濾過ユニット２，３（２，１）へと順次供給するとともに、各濾過ユニット１，２，３に洗浄ガスを順次供給することによって、各濾過ユニット１，２，３毎に洗浄を順次行う。
【選択図】図３

Description

本発明は、複数段の濾過ユニットを洗浄する洗浄手段を備えた膜分離装置及びその洗浄方法に関するものである。

図６に従来の膜分離装置の基本構成を示すが、図示の膜分離装置は、２段の濾過ユニット１’，２’を備え、前段の濾過ユニット１’からの濃縮水を連結配管３’によって後段の濾過ユニット２’の原水として利用するよう構成されている（特許文献１参照）。ここで、各濾過ユニット１’，２’は、スパイラル型モジュール４’を円筒状の耐圧容器５’内に同軸的に収容して構成されており、膜モジュール４’の軸線方向が上下となるよう配置されている。尚、図示例では、各集水管６’の透過水取入口が各濾過ユニット１’，２’の上端側になるよう配置されている。

而して、原水は、原水ポンプ７’によって原水供給管８’から前段の濾過ユニット１’の下端に導入され、該濾過ユニット１’の膜モジュール４’によって膜分離処理を受け、透過水は、集水管６’内に流入し、配管９’，１０’を経て取り出される。

他方、濃縮水は、濾過ユニット１’，２’の上部同士を連結している前記連結配管３’を通って後段の濾過ユニット２’の上端側に導入され、該濾過ユニット２’の膜モジュール４’によって膜分離処理を受ける。そして、この後段の濾過ユニット２’においては、透過水は、集水管６’から配管１１’及び透過水取出用配管１０’を経て取り出され、濃縮水は、濾過ユニット２’の下端に接続された濃縮水取出用配管１２’から排出される。

ところで、前記連結配管３’には洗浄流体供給用の配管１３’が接続されており、この配管１３’には、空気供給用配管１４’と洗浄水供給用配管１５’及び洗浄薬液供給用配管１６’が接続されおり、これらの配管１４’，１５’，１６’には開閉弁Ｖ１’，Ｖ２’，Ｖ３’がそれぞれ設けられている。

他方、原水供給管８’からは洗浄流体排出用の配管１７’が分岐しており、この配管１７’には開閉弁Ｖ４’が設けられている。又、後段の濾過ユニット２’から延出する濃縮水排出用配管１２’からは洗浄廃流体排出用の配管１８’が分岐しており、この配管１８’の途中には開閉弁Ｖ５’が設けられている。

而して、以上の構成を有する膜分離装置においては、原水中に含まれる懸濁成分（ＳＳ成分）が通水運転時間の経過と共に各濾過ユニット１’，２’の膜エレメント４’に付着してその分離性能の低下等を招くため、水フラッシング、薬液洗浄、空気洗浄等によって各膜エレメントが定期的に又は随時に洗浄される。

即ち、洗浄に際しては、開閉弁Ｖ１’，Ｖ２’，Ｖ３’の何れか１つ又は２つ以上が開かれるとともに、開閉弁Ｖ４’，Ｖ５’が開かれ、洗浄空気、洗浄水、洗浄薬液の１又は２以上が配管１３’から連結配管３’を経て各濾過ユニット１’，２’に供給されて各膜エレメント４’の洗浄に供された後、配管１７’，１８’から排出される。
特開２００１−２５９３８１号公報

ところが、上記従来の膜分離装置においては、洗浄水供給管１５’をそれぞれの濾過ユニット１’，２’毎に設ける必要があるため、配管構造が複雑となって装置が大型化するという問題があった。

本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、配管構造を簡素化して小型化を図ることができる膜分離装置及びその洗浄方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、複数段の濾過ユニットと、最前段の濾過ユニットに原水を供給する原水供給管と、前段の濾過ユニットからの濃縮水を原水として後段の濾過ユニットへと導く連結配管と、最後段の濾過ユニットからの濃縮水を排出する排水管と、各濾過ユニットの軸線方向の一方の側から洗浄流体を供給するとともに他方の側から洗浄廃流体を排出する洗浄手段を備えて成る膜分離装置において、
前記洗浄手段は、洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給する洗浄水供給手段と、各濾過ユニットの洗浄に供された洗浄水を洗浄廃水として各濾過ユニットから排出する洗浄廃水排出手段と、各濾過ユニットに洗浄ガスを供給する洗浄ガス供給手段を有することを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記洗浄廃水排出手段は、前記連結配管及び前記排水管から分岐する分岐管と、各分岐管に設けられた開閉弁を有し、
前記洗浄ガス供給手段は、洗浄ガス供給源から分岐して前記原水供給管及び前記連結配管に接続された分岐管と、各分岐管に設けられた開閉弁を有することを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の膜分離装置の洗浄方法において、
洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給する洗浄水供給工程と、各濾過ユニットに洗浄ガスを順次供給する洗浄ガス供給工程とを有し、各濾過ユニット毎に該洗浄水供給工程と洗浄ガス供給工程とを順次繰り返し行うことを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、洗浄水として原水を用いることを特徴とする。

請求項５記載の発明は、請求項３又は４記載の発明において、前記洗浄水供給工程と前記洗浄ガス供給工程とを同時に行うことを特徴とする。

請求項１及び３記載の発明によれば、洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給し、同時に又は／及びその前或は後に各濾過ユニットに洗浄ガスを順次供給することによって、各濾過ユニット毎に洗浄を順次行うようにしたため、膜分離時に使用される原水供給ライン（原水供給管と連結配管）を洗浄時の洗浄水供給ラインとして共用することができ、従来は濾過ユニット毎に設けられていた洗浄水供給管を省略することができ、この結果、配管構造が簡素化されて装置の小型化が図られる。

又、各濾過ユニット毎に洗浄を順次行うことによって、全濾過ユニットを一括に洗浄実施する場合に発生する可能性があった、各濾過ユニットへの洗浄流体の不均一供給（片流れ）を原因とする洗浄効果の不均一を回避でき、各濾過ユニットにおいて均一な洗浄効果を得ることができる。

請求項２記載の発明によれば、連結配管及び排水管から分岐する各分岐管に設けられた開閉弁を順次開閉することによって洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給し、又は／及び洗浄ガス供給源から分岐する各分岐管に設けられた開閉弁を順次開閉することによって各濾過ユニットに洗浄ガスを順次供給することができ、これによって各濾過ユニット毎に洗浄を順次行うことができる。

請求項４記載の発明によれば、洗浄水として原水をそのまま用いるため、専用の洗浄水が不要となり、洗浄を低コストで行うことができる。

請求項５記載の発明によれば、各濾過ユニットの洗浄を洗浄水と洗浄ガスとの気液混合流によって効果的に行うことができる。

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
［膜分離装置の構成］
図１は本発明に係る膜分離装置の基本構成図であり、図示の膜分離装置は、３段の濾過ユニット１，２，３を備え、第１段（最前段）の濾過ユニット１からの濃縮水を連結配管４によって第２段の濾過ユニット２の原水として利用し、第２段の濾過ユニット２からの濃縮水を連結配管５によって第３段（最後段）の濾過ユニット３の原水として利用するよう構成されている。

上記各濾過ユニット１，２，３は、内部が分離膜６によって一次側の給水室Ｓ１と二次側の透過水室Ｓ２とに区画されており、第１段の濾過ユニット１の給水室Ｓ１の下部には原水供給管７が接続され、該原水供給管７には原水ポンプ８が設けられている。そして、第１段の濾過ユニット１の給水室Ｓ１の上部からは前記連結配管４が導出しており、この連結配管４は、第２段の濾過ユニット２の給水室Ｓ１の下部に接続されている。又、第１段の濾過ユニット１の透過水室Ｓ２からは透過水配管９が導出している。

第２段の濾過ユニット２においては、給水室Ｓ１の上部からは前記連結配管５が導出しており、この連結配管５は、第３段の濾過ユニット３の給水室Ｓ１の下部に接続されている。又、透過水室Ｓ２からは透過水配管１０が導出している。

第３の濾過ユニット３おいては、給水室Ｓ１の上部からは排水管１２が導出しており、この排水管１２の途中には開閉弁Ｖ２が設けられている。又、透過水室Ｓ２からは透過水配管１１が導出している。

ここで、各濾過ユニット１，２，３の透過水室Ｓ２からそれぞれ導出する透過水配管９，１０，１１は１本の透過水配管１４に合流しており、この透過水配管１４の透過水配管１１合流点よりも下流側には開閉弁Ｖ１が設けられている。

又、前記連結配管４，５及び排水管１２からは分岐管１５，１６，１７がそれぞれ分岐しており、これらの分岐管１５，１６，１７は１本の洗浄廃水管１８に合流している。そして、各分岐管１５，１６，１７には開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５がそれぞれ設けられており、洗浄廃水管１８は、前記排水管１２に接続されている。

尚、各濾過ユニット１，２，３の形式は特に限定されず、中空糸、管状、スパイラル形式等の任意のものを使用することができる。又、分離膜６の種類も特に限定されず、ＭＦ膜（精密濾過膜）、ＵＦ膜（限外濾過膜）、ナノ濾過膜、ＲＯ膜（逆浸透膜）の任意のものを使用することができる。更に、スパイラル形式の膜モジュールを用いる場合には、空気洗浄の際に膜面を均一に洗浄するために、膜モジュールは、その軸線方向（洗浄流体の供給方向）が上下方向となるよう配置されることが好ましい。

而して、以上説明した原水供給管７と原水ポンプ８及び連結配管４，５は、洗浄水を第１段の濾過ユニット１から第２の濾過ユニット２、第３の濾過ユニット３へと順次供給する洗浄水供給手段を構成している。又、前記分岐管１５，１６，１７と洗浄廃水管１８、排水管１２及び開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５は、各濾過ユニット１，２，３の洗浄に供された洗浄水と洗浄空気を洗浄廃流体として各濾過ユニット１，２，３から排出する洗浄廃水排出手段を構成している。

他方、不図示の洗浄空気供給源から延びる洗浄空気管１９からは３つ分岐管２０，２１，２２が分岐しており、図示のように、分岐管２０は原水供給管７に接続され、分岐管２１，２２は、連結配管４，５にそれぞれ接続されている。そして、各分岐管２０，２１，２２には開閉弁Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８がそれぞれ設けられている。

而して、上記洗浄空気管１９と、分岐管２０，２１，２２及び開閉弁Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８は、各濾過ユニット１，２，３に洗浄空気を供給する洗浄ガス供給手段を構成している。
［膜分離処理］
次に、以上の構成を有する膜分離装置において実施される原水の膜分離処理を図２に基づいて説明する。尚、図２に示す開閉弁Ｖ１〜Ｖ８の白抜き表示は「開」を示し、黒塗り表示は「閉」を示す。

膜分離処理時には、図２に示すように、開閉弁Ｖ１とＶ２を開とし、他の全ての開閉弁Ｖ３〜Ｖ８を閉とした上で、原水ポンプ８を駆動する。

すると、原水が原水供給管７から第１段の濾過ユニット１の給水室Ｓ１へと導入されて膜分離処理を受け、透過水は、透過水室Ｓ２から透過水配管９，１４を経て取り出され、濃縮水は、給水室Ｓ１から連結配管４を通って第２段の濾過ユニット２に導入されて該濾過ユニット２の原水として利用される。即ち、第１段の濾過ユニット１からの濃縮水は、連結配管４から第２段の濾過ユニット２の給水室Ｓ１へと導入されて膜分離処理を受け、透過水は、透過水室Ｓ２から透過水配管１０，１４を経て取り出され、濃縮水は、給水室Ｓ１から連結配管５を通って第３段の濾過ユニット３に導入されて該濾過ユニット３の原水として利用される。

そして、第３の濾過ユニット３においては、第２段の濾過ユニット２からの濃縮水が連結配管５から給水室Ｓ１へと導入されて膜分離処理を受け、透過水は、透過水室Ｓ２から透過水配管１１，１４を経て取り出され、濃縮水は、給水室Ｓ１から排水管１２へと排水される。

ところで、上記膜分離処理が継続的に行われると、原水中に含まれる懸濁（ＳＳ）成分によって各濾過ユニット１，２，３の分離膜６が汚染され、その分離性能が低下したり、圧力損失の増加を招くため、各濾過ユニット１，２，３の分離膜６を定期的に又は随時に洗浄する必要がある。
［洗浄方法］
以下、本発明に係る洗浄方法を図３〜図５に基づいて説明する。尚、図３〜図５は本発明に係る膜分離装置の各濾過ユニット毎の洗浄を示す基本構成図であり、これらの図においても、図２と同様に開閉弁Ｖ１〜Ｖ８の白抜き表示は「開」を示し。黒塗り表示は「閉」を示す。

本発明に係る洗浄方法は、洗浄水を最前段の第１段の濾過ユニット１から次の段の濾過ユニット２，３へと順次供給し又は／及び各濾過ユニット１，２，３に洗浄空気を順次供給することによって、各濾過ユニット１，２，３毎に洗浄を順次行うことを特徴としている。

而して、本実施の形態では、洗浄水として原水を用い、洗浄には洗浄水と洗浄空気を各濾過ユニット１，２，３に順次供給し、各濾過ユニット１，２，３の洗浄を洗浄水と洗浄空気との気液混合流によって行うようにしている。以下、各濾過ユニット１，２，３の洗浄方法について説明する。

１）第１段の濾過ユニット：
洗浄に際しては、先ず、最前段の第１段の濾過ユニット１に対して洗浄が実施され、この第１段の濾過ユニット１の洗浄に際しては、図３に示すように、開閉弁Ｖ３，Ｖ６を開、他の開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ７，Ｖ８が閉とした上で、原水ポンプ８を駆動する。すると、洗浄水としての原水が原水供給管７から第１段の濾過ユニット１へと導入される。

又、同時に不図示の洗浄空気供給源から供給される洗浄空気は、洗浄空気管１９から分岐管２０へと流れて第１段の濾過ユニット１へと導入される。

従って、第１段の濾過ユニット１内には洗浄水と洗浄空気による気液混合流が発生し、粘性の異なる気液が交互に分離膜６の面を通過することによって、分離膜６の面に付着した堆積物に振動が与えられ、この振動によって堆積物の剥離効果が高められる。この結果、分離膜６の面に付着した堆積物が確実に除去され、分離膜６が効果的に洗浄される。そして、分離膜６の洗浄に供された洗浄水と洗浄空気は、連結管４から分岐管１５及び洗浄廃水管１８を通って第２段及び第３段の濾過ユニット２，３をバイパスして排水管１２へと流れて排水される。

２）第２段の濾過ユニット：
上述のようにして第１段の濾過ユニット１の洗浄が終了すると、次に第２段の濾過ユニット２の洗浄が行われる。この第２段の濾過ユニット２の洗浄に際しては、図４に示すように、開閉弁Ｖ３とＶ６が閉じられ、開閉弁Ｖ４とＶ７が開けられ、他の開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ５，Ｖ８はそのまま閉じられた状態に保持される。すると、洗浄水としての原水が原水供給管７から第１段の濾過ユニット１を通過して連結配管４を流れ、第２段の濾過ユニット２へと導入される。

又、同時に不図示の洗浄空気供給源から供給される洗浄空気は、洗浄空気管１９から分岐管２１へと流れて第２段の濾過ユニット２へと導入される。

従って、第２段の濾過ユニット２内には洗浄水と洗浄空気による気液混合流が発生し、この気液混合流によって該濾過ユニット２の分離膜６が洗浄される。そして、分離膜６の洗浄に供された洗浄水と洗浄空気は、連結配管５から分岐管１６及び洗浄廃水管１８を通って第３段の濾過ユニット３をバイパスして排水管１２へと流れて排水される。

而して、この第２段の濾過ユニット２の洗浄においては、前段の第１の濾過ユニット１の洗浄は既に終了しており、洗浄水が第１段の濾過ユニット１を通過して第２段の濾過ユニット２に供給されても、第１段の濾過ユニット１からの汚れ成分が第２段の濾過ユニット２へと持ち越されて流入することはない。

２）第３段の濾過ユニット：
上述のようにして第２段の濾過ユニット２の洗浄が終了すると、次に最終段である第３段の濾過ユニット３の洗浄が行われる。この第３段の濾過ユニット３の洗浄に際しては、図５に示すように、開閉弁Ｖ４とＶ７が閉じられ、開閉弁Ｖ５とＶ８が開けられ、他の開閉弁Ｖ１〜Ｖ３，Ｖ６はそのまま閉じられた状態に保持される。すると、洗浄水としての原水が原水供給管７から第１段の濾過ユニット１、連結配管４、第２段の濾過ユニット２を通過して連結配管５を流れ、第３段の濾過ユニット３へと導入される。

又、同時に不図示の洗浄空気供給源から供給される洗浄空気は、洗浄空気管１９から分岐管２２へと流れて第３段の濾過ユニット３へと導入される。

従って、第３段の濾過ユニット３内には洗浄水と洗浄空気による気液混合流が発生し、この気液混合流によって該濾過ユニット３の分離膜６が洗浄される。そして、分離膜６の洗浄に供された洗浄水と洗浄空気は、排水管１２から分岐管１７及び洗浄廃水管１８を通って排水管１２へと流れて排水される。

而して、この第３段の濾過ユニット３の洗浄においても、前段の第１及び第２の濾過ユニット１，２の洗浄は既に終了しており、洗浄水が第１段及び第２段の濾過ユニット１，２を通過して第３段の濾過ユニット３に供給されても、第１段及び第２段の濾過ユニット１，２からの汚れ成分が第３段の濾過ユニット３へと持ち越されて流入することはない。

以上説明した洗浄方法によれば、洗浄水と洗浄空気を最前段の第１段の濾過ユニット１からそれに続く次の段の濾過ユニット２，３へと順次供給することによって、各濾過ユニット１，２，３毎に洗浄を順次行うようにしたため、膜分離時に使用される原水供給ラインである原水供給管７と連結配管４，５を洗浄時の洗浄水供給ラインとして共用することができ、従来は濾過ユニット毎に設けられていた洗浄水供給管（図６の１５’）を省略することができ、この結果、配管構造が簡素化されて膜分離装置の小型化が図られる。

又、各濾過ユニット１，２，３毎に洗浄を順次行うことによって、全濾過ユニットを一括に洗浄実施する場合に発生する可能性があった、各濾過ユニットへの洗浄流体の不均一供給（片流れ）を原因とする洗浄効果の不均一を回避でき、各濾過ユニット１，２，３において均一な洗浄効果を得ることができる。

又、本実施の形態では、洗浄水として原水をそのまま用いるため、専用の洗浄水が不要となり、洗浄を低コストで行うことができる。

更に、本実施の形態では、各濾過ユニット１，２，３の洗浄を洗浄水と洗浄空気との気液混合流によって行うようにしたため、粘性の異なる気液が交互に分離膜６の面を通過することによって、分離膜６の面に付着した堆積物に振動が与えられ、この振動によって堆積物の剥離効果が高められ、この結果、分離膜６の面に付着した堆積物が確実に除去されて分離膜６が効果的に洗浄される。

尚、本実施の形態では、洗浄水と洗浄空気を最前段の第１段の濾過ユニット１から次の段の濾過ユニット２，３へと順次供給することによって、各濾過ユニット１，２，３をこの順に個別に洗浄する方式を採用したが、洗浄水と洗浄空気を最後段の第３段の濾過ユニット３からこれよりも前段の濾過ユニット２，１へと順次供給することによって、各濾過ユニット３，２，１をこの順に個別に洗浄する方式を採用しても良い。

又、本実施の形態では、洗浄流体として洗浄水と洗浄空気を併用する洗浄方法を採用したが、洗浄方法としては他に以下の方法が考えられる。

１）洗浄ガスのみを供給し、この洗浄ガスと濾過ユニット内の保有水との混合によって気液混相状態として洗浄する方法
２）濾過ユニットの水抜きを実施した後、洗浄ガスを供給し、濾過ユニット内に僅かに残存した保有水との混合により気液洗浄（気液比を大きくした洗浄）し、最後に洗浄液を供給して汚れ成分を押し出してこれを除去する方法
３）洗浄ガスと洗浄液とを同時に供給し、気液混相状態にて洗浄する方法
ところで、洗浄流体として洗浄水と洗浄空気を併用する洗浄方法においては、気液比には特に制限はなく、好ましくは液相の流量を通水時の流量の２倍以上、気相の流量も通水時の液流量の２倍以上とし、気液比を２：１〜１：２とする。

又、洗浄ガスにも特に制限はなく、空気はコンプレッサーを用いるだけで良いためにガスボンベ等の準備が不要なことから好適に用いることができる。洗浄液にも特に制限はなく、ＲＯ給水を洗浄液として用いても良い。

更に、洗浄時の洗浄流体の流れ方向にも特に制限はなく、膜分離処理時と同方向である順方向、或は逆方向に流す方法、更には順方向と逆方向に交互に流す方法を採用することができる。

又、気液洗浄の実施時間についても特に制限はないが、洗浄時間が長ければ長い程、気液洗浄に用いる水量（排水する水量）が増えて水回収率が低下することとなる。気液洗浄時の流量にもよるが、洗浄時間は１０秒〜５分程度が望ましい。気液洗浄の実施頻度についても特に制限はないが、実施頻度の増加は、前述の実施時間と同様に水回収率の低下を招くため、３０分〜数日に１回程度の実施頻度が好ましい。

本発明に係る膜分離装置の基本構成図である。 本発明に係る膜分離装置の膜分離処理を示す基本構成図である。 本発明に係る膜分離装置の各濾過ユニット毎の洗浄（第１段の濾過ユニットの洗浄）を示す基本構成図である。 本発明に係る膜分離装置の各濾過ユニット毎の洗浄（第２段の濾過ユニットの洗浄）を示す基本構成図である。 本発明に係る膜分離装置の各濾過ユニット毎の洗浄（第３段の濾過ユニットの洗浄）を示す基本構成図である。 従来の膜分離装置の基本構成図である。

符号の説明

１〜３ 濾過ユニット
４，５ 連結配管
６ 分離膜
７ 原水供給管
８ 原水ポンプ
９〜１１ 透過水配管
１２ 排水管
１４ 透過水配管
１５〜１７ 分岐管
１８ 洗浄廃水管
１９ 洗浄空気管
２０〜２２ 分岐管
Ｓ１ 給水室
Ｓ２ 透過水室
Ｖ１〜Ｖ８ 開閉弁

Claims (5)

1. 複数段の濾過ユニットと、最前段の濾過ユニットに原水を供給する原水供給管と、前段の濾過ユニットからの濃縮水を原水として後段の濾過ユニットへと導く連結配管と、最後段の濾過ユニットからの濃縮水を排出する排水管と、各濾過ユニットの軸線方向の一方の側から洗浄流体を供給するとともに他方の側から洗浄廃流体を排出する洗浄手段を備えて成る膜分離装置において、
   前記洗浄手段は、洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給する洗浄水供給手段と、各濾過ユニットの洗浄に供された洗浄水を洗浄廃水として各濾過ユニットから排出する洗浄廃水排出手段と、各濾過ユニットに洗浄ガスを供給する洗浄ガス供給手段を有することを特徴とする膜分離装置。
2. 前記洗浄廃水排出手段は、前記連結配管及び前記排水管から分岐する分岐管と、各分岐管に設けられた開閉弁を有し、
   前記洗浄ガス供給手段は、洗浄ガス供給源から分岐して前記原水供給管及び前記連結配管に接続された分岐管と、各分岐管に設けられた開閉弁を有することを特徴とする請求項１記載の膜分離装置。
3. 請求項１又は２記載の膜分離装置の洗浄方法において、
   洗浄水を最前段又は最後段の濾過ユニットから次の段の濾過ユニットへと順次供給する洗浄水供給工程と、各濾過ユニットに洗浄ガスを順次供給する洗浄ガス供給工程とを有し、各濾過ユニット毎に該洗浄水供給工程と洗浄ガス供給工程とを順次繰り返し行うことを特徴とする膜分離装置の洗浄方法。
4. 洗浄水として原水を用いることを特徴とする請求項３記載の膜分離装置の洗浄方法。
5. 前記洗浄水供給工程と前記洗浄ガス供給工程とを同時に行うことを特徴とする請求項３又は４記載の膜分離装置の洗浄方法。

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