JP2007242142A

JP2007242142A - 圧電アクチュエータ及び磁気ディスク装置

Info

Publication number: JP2007242142A
Application number: JP2006063282A
Authority: JP
Inventors: Tamotsu Yamamoto; 保山本; Katsuharu Hida; 勝春肥田; Shigeyoshi Umemiya; 茂良梅宮
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2006-03-08
Filing date: 2006-03-08
Publication date: 2007-09-20
Anticipated expiration: 2026-03-08
Also published as: JP4384642B2; US20070211390A1

Abstract

【課題】微小な位置制御を可能としつつ磁気ディスク装置の組み立て作業を容易なものにすることができる圧電アクチュエータ及び磁気ディスク装置を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ５３の一方の表面が接着剤５４を介してサスペンション５１に貼付されている。圧電アクチュエータ５３のサスペンション５１への接着は、連結部を間に挟む２箇所で行われている。即ち、この接着は、２つの圧電活性部の各一方の端部において行われ、且つ、これらの端部は、連結部を基準として逆側に位置している。この接着に際しては、２つの圧電活性部が連結部を介して一体化されているため、圧電活性部間の相対的な位置の調整は容易である。更に、サスペンション５１上に形成された配線パターンと接続するための端子は２個のみ（端子５７及び５８）であり、ボンディングに際してサスペンション５１を１８０度回転させる必要もないので、ボンディングに要する時間は短い。
【選択図】図１０

Description

本発明は、微小な位置制御に好適な圧電アクチュエータ及び磁気ディスク装置に関する。

近年、パーソナルコンピュータの記憶装置として搭載されているハードディスクドライブに対して、動画及び音楽等の大容量のデータを記録する要求が大きくなり、記録密度の向上が急速に進められている。ハードディスクドライブには、記録媒体である磁気ディスク、及びこの磁気ディスクに対して記録ビットを読み書きする磁気ヘッドが備えられている。更に、磁気ヘッドを磁気ディスクに近接させて保持する揺動アーム、及びこの揺動アームを駆動することにより磁気ヘッドを磁気ディスクに沿って移動させる電磁型のアクチュエータも備えられている。磁気ヘッドはヘッドスライダに固定されており、また、揺動アームと磁気ヘッドの間には、揺動アームの先端から延びるヘッドサスペンションが設けられている。そして、ヘッドスライダとヘッドサスペンションとの間に、ヘッドサスペンションを基準としたヘッドスライダの姿勢を変化させるマイクロアクチュエータが備えられている。

記録密度向上のためには記録ビットの微細化が必要であり、これに対応することが可能な磁気ヘッドの位置決め精度の向上技術が不可欠とされている。そこで、例えば特許文献１に、マイクロアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用いたヘッドアセンブリが開示されている。特許文献１に記載されたヘッドアセンブリには、互いに平行に延びる２本の圧電アクチュエータが設けられている。２本の圧電アクチュエータの同じ側の端部が１個の固定片に固定され、他方の端部が他の１個の固定片に固定されている。そして、一方の固定片がヘッドサスペンションに接着され、他方の固定片がヘッドスライダに接着されている。

このようなヘッドアセンブリでは、圧電アクチュエータの伸縮に付随して、ヘッドスライダが、圧電アクチュエータとヘッドサスペンションとの接着部を中心にして揺動移動する。即ち、ヘッドスライダが例えば磁気ディスクの半径方向に微小に変位する。この結果、ヘッドスライダに取り付けられた磁気ヘッドが、高い精度で磁気ディスク上の記録トラックを追従し続けることが可能となる。

しかし、この構造では、ヘッドスライダと圧電アクチュエータとを含む振動系の共振周波数が低い。共振周波数より高い周波数での位置制御はできないため、位置精度の向上は十分ではない。

そこで、共振周波数を高くすることが可能なヘッドアセンブリが開発された（特許文献２）。特許文献２に記載されたヘッドアセンブリには、図１４及び図１５に示すように、互いに平行に延びる２本の圧電アクチュエータ１５３が設けられているが、サスペンション１５１及びスライダ１５２に接着される端部が相違している。即ち、一方の端部では、１本の圧電アクチュエータ１５３がサスペンション１５１に接着剤１５４を介して接着され、他の圧電アクチュエータ１５３がスライダ１５２に接着剤１５５を介して接着されている。このため、高い共振周波数が得られている。

しかしながら、このようなヘッドアセンブリにおいて、スライダ１５２に取り付けられた磁気ヘッド１５６の高い精度で位置制御を行うためには、２本の圧電アクチュエータ１５３と、スライダ１５２及びサスペンション１５１とを高い精度で組み立てておくことが必要とされる。高い精度で組み立てる方法として次のような方法が挙げられる。先ず、治具に２本の圧電アクチュエータ１５３を固定しておき、これらをサスペンション１５１に接着した後に治具を取り外す。次いで、スライダ１５２を圧電アクチュエータ１５３に接着する。但し、圧電アクチュエータ１５３のサイズは小さいため、この方法では、２本の圧電アクチュエータ１５３を高い位置精度で治具へ取り付けることが煩雑であり、この作業に要する時間が長くなってしまう。

また、特許文献２に記載されたヘッドアセンブリでは、２本の圧電アクチュエータ１５３を個別に駆動する必要があるため、各々に２個の端子１５７及び１５８が設けられており、端子１５７及び１５８をサスペンション１５１の表面に沿って延びる配線パターンに接続させる必要がある。しかし、２本の圧電アクチュエータ１５３の間では、サスペンション１５１との接着部が反対側の端部にある（回転中心を基準として１８０°ずれた位置にある）。このため、ボンディング作業の際には、１本の圧電アクチュエータ１５３の端子のボンディングを行った後に、サスペンション１５１を１８０度回転させ、もう１本の圧電アクチュエータ１５３のボンディングを行う必要がある。このような作業に対して時間短縮の要請がある。

特開平１１−２７３０４１号公報特開２００３−１２３４１６号公報国際公開００／３００８０号公報特開２００３−２８４３６２号公報特開２００３−６１３７０号公報国際公開０２／３５６９５号公報

本発明は、微小な位置制御を可能としつつ磁気ディスク装置の組み立て作業を容易なものにすることができる圧電アクチュエータ及び磁気ディスク装置を提供することを目的とする。

本発明に係る圧電アクチュエータには、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部が設けられている。そして、前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されている。

本発明に係る磁気ディスク装置には、サスペンションと、前記サスペンションに取り付けられた圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに取り付けられたスライダと、前記スライダに取り付けられた磁気ヘッドと、が設けられている。そして、前記圧電アクチュエータは、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有しており、前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されている。

本発明によれば、煩雑な位置合わせを行わずとも第１及び第２の圧電活性部の相対的な位置関係を適切なものとすることができる。このため、磁気ディスク装置を組み立てる際の作業数を低減すると共に、所要時間を短縮することができる。特に、第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子を１個ずつとすることも可能であるため、ボンディング作業をも容易にし、また、ボンディングに要する時間を短縮することも可能である。

以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。

先ず、本発明の実施形態に係る磁気ディスク装置の一例としてハードディスクドライブについて説明する。図１は、本発明の実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部の構成を示す図である。

このハードディスクドライブ１００のハウジング１０１には、回転軸１０２に装着されて回転する磁気ディスク１０３と、磁気ディスク１０３に対して情報記録及び情報再生を行う磁気ヘッドが搭載されたスライダ１０４と、スライダ１０４を保持するサスペンション１０８と、サスペンション１０８が固着されてアーム軸１０５を中心に磁気ディスク１０３表面に沿って移動するキャリッジアーム１０６と、キャリッジアーム１０６を駆動するアームアクチュエータ１０７とが収容されている。図１には図示しないが、スライダ１０４とサスペンション１０８との間には、以下に説明する圧電アクチュエータが設けられている。

次に、本発明の実施形態に係る圧電アクチュエータについて説明する。但し、ここでは、便宜上、圧電アクチュエータの構造については、その製造方法と共に説明する。

本実施形態では、先ず、図２Ａに示すように、グリーンシート（圧電セラミックス層）１１上に、全面的に電極層１２を形成する。グリーンシート１１としては、例えばＰｂＮｉ_1/3Ｎｂ_2/3Ｏ₃の粉末、ＰｂＴｉＯ₃の粉末及びＰｂＺｒＯ₃の粉末を含有するものを用いる。また、グリーンシート１１の厚さは、例えば２０μｍ〜３０μｍ程度とする。電極層１２の形成に当たっては、例えばＰｔペーストのスクリーン印刷を行う。なお、Ｐｔペーストには、ＰｂＮｉ_1/3Ｎｂ_2/3Ｏ₃の粉末、ＰｂＴｉＯ₃の粉末及びＰｂＺｒＯ₃の粉末を総計で５体積％〜５０体積％程度含有させておくことが好ましく、１０体積％〜３０体積％程度含有させておくことが好ましい。例えば２０体積％程度含有させておく。これは、グリーンシート１１との高い密着性を確保するためである。但し、導電性が確保できるのであれば、より多量の粉末を含有させておいてもよく、より高い導電性を確保する必要がある場合には、より少量の粉末を含有させておいてもよい。上記数値範囲の上限を超えると、導電性が低くなりすぎる虞があり、下限を下回ると、十分な密着性を得ることができない虞がある。

同様に、図２Ｂに示すように、グリーンシート２１上に、選択的に電極層２２を形成する。グリーンシート２１としては、例えばグリーンシート１１と同様のものを用いる。また、電極層２２は、例えば電極層１２と同様の材料を用いて同様の方法により形成する。

なお、電極層１２及び２２のパターンは特に限定されない。例えば、電極層１２のパターンは、図２Ａに示すような矩形状とする。また、電極層２２のパターンは、図２Ｂに示すように、電極層１２のパターンに対して、一方の脇の近傍において外部への引き出し部を異ならせたものとする。

なお、グリーンシート２１上への電極層２２の形成を、グリーンシート１１上への電極層１２の形成よりも先に行ってもよい。

その後、図３に示すように、電極層１２が形成されたグリーンシート１１と電極層２２が形成されたグリーンシート２１とを、交互に総計で７個重ね合わせ、更にグリーンシート３１を最上部に重ね合わせる。グリーンシート３１としては、例えばグリーンシート１１及び２１と同様のものを用いる。次いで、大気中で脱脂処理を行うことにより、グリーンシート１１、２１及び３１に含有されている有機成分を除去する。

続いて、大気中で焼成を行うことにより、グリーンシート及び電極層が一体化した積層体３２を得る。次に、図４に示すように、積層体３２の型抜きを行うことにより、矩形の開口部３３を等間隔で形成する。このとき、開口部３３を形成する位置は、例えば電極層１２同士の隙間及び電極層２２同士の隙間と一致させ、隣り合う開口部３３の間に電極層１２及び２２を残す。

次いで、図５に示すように、隣り合う開口部３３の中間位置に、ダイシングソー等を用いて、積層体３２の両脇から幅方向に延びる切欠き３４を形成する。この結果、積層体３２が切欠き３４により複数の矩形状の部位に区画され、互いに対向する切欠き３４の間に位置する部分により各部位が連結された構造となる。

その後、図６に示すように、積層体３２の両脇を長手方向に沿って切断することにより、積層体３２の幅を、形成しようとする圧電アクチュエータの長さと一致させる。

続いて、図７に示すように、切欠き３４によって区画された部位毎に端子５７及び５８を形成する。このとき、端子５７は各電極層１２に接続されるように形成し、端子５８は各電極層２２に接続されるように形成する。また、端子５７及び５８は、積層体３２の一方の脇においてのみ形成する。更に、端子５７及び５８の位置は、切欠き３４によって区画された部位内で、一方の切欠き３４側に偏らせる。端子５７及び５８の形成は、例えばスパッタリング法、蒸着法等により行うことができる。

次に、図８に示すように、切欠き３４によって区画された部位を積層体３２の両脇から幅方向に切断することにより、積層体３２から複数個の圧電アクチュエータ５３を切り出す。圧電アクチュエータ５３には、積層体３２の幅方向に延びる２個の圧電活性部５３ａ及び５３ｂと、圧電活性部５３ａ及び５３ｂを連結する連結部５３ｃとが存在している。即ち、２個の圧電活性部５３ａ及び５３ｂが一体化された圧電アクチュエータ５３が得られる。そして、全体の平面形状は、実質的に「Ｈ」の字型となっている。

圧電アクチュエータ５３内では、電極層１２及び２２の各パターンは、夫々図９Ａ及び図９Ｂに示すようなものとなっている。即ち、電極層１２には、圧電活性部５３ａ及び５３ｂに一致する部分と連結部５３ｃに一致する部分とが存在する。そして、圧電活性部５３ｂに一致する部分の端部に端子５７が接続されている。一方、電極層２２には、圧電活性部５３ａに一致する部分と連結部５３ｃに一致する部分とが存在し、更に、圧電活性部５３ｂに概ね一致しつつ端子５８への引き出し部が形成された部分が存在する。

このような方法によって製造された圧電アクチュエータ５３においては、電極層１２及び２２に挟まれた部分が活性層として機能する。そして、端子５７及び５８への電圧の印加に伴って、圧電活性部５３ａ及び５３ｂ内の活性層が長手方向に沿って収縮する。連結部５３ｃも若干収縮するが、圧電活性部５３ａ及び５３ｂと比較すると、その量は極めて小さく無視し得る程度である。

次に、上述のような圧電アクチュエータを備えたハードディスクドライブのヘッドアセンブリについて説明する。図１０は、ヘッドアセンブリの一例を示す分解斜視図である。また、図１１は、圧電アクチュエータ５３とサスペンション５１との位置関係を示す図である。

このヘッドアセンブリには、図１０に示すように、上述の実施形態に係る圧電アクチュエータ５３が用いられている。そして、圧電アクチュエータ５３の一方の表面が接着剤５４を介してサスペンション５１に貼付されている。なお、圧電アクチュエータ５３のサスペンション５１への接着は、連結部５３ｃを間に挟む２箇所で行われている。即ち、この接着は、圧電活性部５３ａ及び圧電活性部５３ｂの各一方の端部において行われ、且つ、これらの端部は、連結部５３ｃを基準として逆側に位置している。なお、この接着に際しては、圧電活性部５３ａ及び５３ｂが連結部５３ｃを介して一体化されているため、圧電活性部５３ａ及び５３ｂ間の相対的な位置の調整は容易である。更に、図１０及び図１１に示すように、サスペンション５１上に形成された配線パターンと接続するための端子は２個のみ（端子５７及び５８）であり、ボンディングに際してサスペンション５１を１８０度回転させる必要もないので、ボンディングに要する時間は、従来のものと比較して著しく短縮される。

また、各圧電アクチュエータ５３の他方の表面に接着剤５５を介して、磁気ヘッド５６が取り付けられたスライダ５２が貼付されている。なお、スライダ５２の圧電アクチュエータ５３への接着は、連結部５３ｃを間に挟む２箇所で行われている。但し、この接着は、圧電アクチュエータ５３のサスペンション５１への接着とは、圧電活性部５３ａ及び５３ｂの反対側の端部において行われている。

なお、サスペンション５１は、図１中のサスペンション１０８に相当し、スライダ５２は、図１中のスライダ１０４に相当する。

このように構成されたヘッドアセンブリにおいては、圧電アクチュエータ５３に電圧が印加されていない状態では、圧電活性部５３ａ及び５３ｂは直線状に延びた状態となっている。これに対し、電圧が印加されると、各圧電活性部５３ａ及び５３ｂが収縮しようとする。このとき、いずれの圧電活性部５３ａ及び５３ｂも、互いの拘束力に伴って直線的に収縮するのではなく、内側に湾曲される。この結果、スライダ５２がサスペンション５１に対して回転することとなる。従って、圧電アクチュエータ５３に印加する電圧を制御することにより、スライダ５２の微小な回転量を制御することができ、磁気ヘッド５６を所望の位置に移動させることが可能となる。このため、このヘッドアセンブリを備えた磁気ディスク装置では、磁気ヘッド５６の位置の微小な制御が可能である。

実際に、本願発明者が上述の実施形態に沿ってヘッドアセンブリを作製し、その制御特性を検証したところ、十分な結果が得られた。この検証で用いた圧電アクチュエータでは、圧電活性部の長さを０．８５ｍｍ、圧電活性部の幅を０．１ｍｍ、活性層の数を６層とした。そして、３０Ｖの電圧を端子間に印加したところ、磁気ヘッドの変位量は９００ｎｍとなった。この変位量は、特許文献２に記載されている従来のヘッドアセンブリのものと同等である。そして、ヘッドアセンブリの作製に要した時間は約半分になった。これは、位置合わせが容易になり、また、端子の総数が少なくなったためである。

なお、圧電アクチュエータの平面形状は、上述の実施形態のような「Ｈ」の字型である必要はない。例えば、図１２に示すように、「Ｎ」の字型としてもよい。また、図１３に示すように、「Ｈ」の字型から２箇所の切欠き３４の位置を互いにずらしたものとしてもよい。つまり、圧電活性部５３ａ及び５３ｂの一方の端部から長手方向の中心までの幅を、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広くし、圧電活性部５３ａの幅が広い部分を圧電活性部５３ｂの幅が狭い部分と対向させ、圧電活性部５３ａの幅が狭い部分を圧電活性部５３ｂの幅が広い部分と対向させてもよい。特に図１３に示す平面形状では、切欠き３４同士が向かい合わず、幅が狭い連結部５３ｃに相当する部分が実質的に存在しないため、上述の実施形態と比較して高い強度が得られる。

また、上述の実施形態では、電極層の総数を７層とし、活性層を６層としているが、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータに用いる場合には、７〜１０層程度とすることが好ましい。また、例えば、長手方向の長さは１ｍｍ程度とし、幅は１００μｍ〜５００μｍ程度とすることが好ましい。

また、２個の圧電活性部が連結されていれば、ヘッドアセンブリの組み立ての際の位置合わせが容易となるため、端子は２個である必要はなく、従来のように４個あってもよい。但し、上述のように、ボンディング作業を容易にするためには、端子を２個とすることが好ましい。

また、上述の実施形態では、圧電アクチュエータの製造に際して、焼成を行った後に型抜きを行っているが、焼成前に型抜きを行ってもよい。但し、この場合には、型抜きの際に、焼成の際に開口部の大きさが変化する量を見込んで設計された型を用いることが必要とされる。

また、上述の実施形態では、圧電アクチュエータの製造に際して、グリーンシート等の積層体から複数の圧電アクチュエータを１次元的に切り出しているが、より大きなグリーンシートを用いて圧電アクチュエータを２次元的に切り出してもよい。つまり、図２Ａ及び図２Ｂ等において、図の上下方向に繰り返しのパターンを設けてもよい。

以下、本発明の諸態様を付記としてまとめて記載する。

（付記１）
互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

（付記２）
前記活性層は、圧電セラミック層であることを特徴とする付記１に記載の圧電アクチュエータ。

（付記３）
前記第１の電極層及び第２の電極層は、前記圧電セラミック層を構成するものと同一の組成の粉末を５体積％乃至５０体積％含有することを特徴とする付記２に記載の圧電アクチュエータ。

（付記４）
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

（付記５）
前記第１の圧電活性部にのみ、前記第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子が設けられていることを特徴とする付記４に記載の圧電アクチュエータ。

（付記６）
前記第１及び第２の圧電活性部の一方の端部から長手方向の中心までの幅は、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広く、
前記第１の圧電活性部の幅が広い部分が前記第２の圧電活性部の幅が狭い部分と対向し、
前記第１の圧電活性部の幅が狭い部分が前記第２の圧電活性部の幅が広い部分と対向していることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

（付記７）
前記第１及び第２の圧電活性部は、それらの長手方向の実質的な中心の位置同士で連結されていることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

（付記８）
サスペンションと、
前記サスペンションに取り付けられた圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータに取り付けられたスライダと、
前記スライダに取り付けられた磁気ヘッドと、
を有し、
前記圧電アクチュエータは、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする磁気ディスク装置。

（付記９）
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする付記８に記載の磁気ディスク装置。

（付記１０）
前記第１の圧電活性部にのみ、前記第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子が設けられ、
前記２個の接続端子は、前記サスペンション上に形成された配線パターンに接続されていることを特徴とする付記９に記載の磁気ディスク装置。

（付記１１）
前記第１及び第２の圧電活性部の一方の端部から長手方向の中心までの幅は、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広く、
前記第１の圧電活性部の幅が広い部分が前記第２の圧電活性部の幅が狭い部分と対向し、
前記第１の圧電活性部の幅が狭い部分が前記第２の圧電活性部の幅が広い部分と対向していることを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。

（付記１２）
前記第１及び第２の圧電活性部は、それらの長手方向の実質的な中心の位置同士で連結されていることを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。

（付記１３）
基材と、
前記基材に取り付けられた圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータに取り付けられた被駆動部材と、
を有し、
前記圧電アクチュエータは、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする駆動装置。

（付記１４）
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする付記１３に記載の駆動装置。

（付記１５）
前記第１の圧電活性部にのみ、前記第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子が設けられ、
前記２個の接続端子は、前記サスペンション上に形成された配線パターンに接続されていることを特徴とする付記１４に記載の駆動装置。

（付記１６）
前記第１及び第２の圧電活性部の一方の端部から長手方向の中心までの幅は、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広く、
前記第１の圧電活性部の幅が広い部分が前記第２の圧電活性部の幅が狭い部分と対向し、
前記第１の圧電活性部の幅が狭い部分が前記第２の圧電活性部の幅が広い部分と対向していることを特徴とする付記１３乃至１５のいずれか１項に記載の駆動装置。

（付記１７）
前記第１及び第２の圧電活性部は、それらの長手方向の実質的な中心の位置同士で連結されていることを特徴とする付記１３乃至１５のいずれか１項に記載の駆動装置。

本発明の実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部の構成を示す図である。本発明の実施形態に係る圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。同じく、本発明の実施形態に係る圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。図２Ａ及び図２Ｂに引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す分解斜視図である。図３に引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。図４に引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。図５に引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。図６に引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。図７に引き続き、圧電アクチュエータの製造方法を示す平面図である。圧電アクチュエータ内での電極層１２のパターンを示す図である。圧電アクチュエータ内での電極層２２のパターンを示す図である。本発明の実施形態に係るヘッドアセンブリの一例を示す分解斜視図である。圧電アクチュエータ５３とサスペンション５１との位置関係を示す図である。圧電アクチュエータの平面形状の一例を示す図である。圧電アクチュエータの平面形状の他の一例を示す図である。従来のヘッドアセンブリの一例を示す分解斜視図である。圧電アクチュエータ１５３とサスペンション１５１との位置関係を示す図である。

符号の説明

１１、２１、３１：グリーンシート
１２、２２：電極層
３２：積層体
３３：開口部
３４：切欠き
５１：サスペンション
５２：スライダ
５３：圧電アクチュエータ
５３ａ、５３ｂ：圧電活性部
５３ｃ：連結部
５４、５５：接着剤
５６：磁気ヘッド
５７、５８：端子

Claims

互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
前記第１の圧電活性部にのみ、前記第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
前記第１及び第２の圧電活性部の一方の端部から長手方向の中心までの幅は、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広く、
前記第１の圧電活性部の幅が広い部分が前記第２の圧電活性部の幅が狭い部分と対向し、
前記第１の圧電活性部の幅が狭い部分が前記第２の圧電活性部の幅が広い部分と対向していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
サスペンションと、
前記サスペンションに取り付けられた圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータに取り付けられたスライダと、
前記スライダに取り付けられた磁気ヘッドと、
を有し、
前記圧電アクチュエータは、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ディスク装置。
前記第１の圧電活性部にのみ、前記第１の電極層用の接続端子及び前記第２の電極層用の接続端子が設けられ、
前記２個の接続端子は、前記サスペンション上に形成された配線パターンに接続されていることを特徴とする請求項６に記載の磁気ディスク装置。
前記第１及び第２の圧電活性部の一方の端部から長手方向の中心までの幅は、他方の端部から長手方向の中心までの幅よりも広く、
前記第１の圧電活性部の幅が広い部分が前記第２の圧電活性部の幅が狭い部分と対向し、
前記第１の圧電活性部の幅が狭い部分が前記第２の圧電活性部の幅が広い部分と対向していることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
基材と、
前記基材に取り付けられた圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータに取り付けられた被駆動部材と、
を有し、
前記圧電アクチュエータは、互いに平行に延びる第１及び第２の圧電活性部を有し、
前記第１及び第２の圧電活性部は一体化されており、夫々、共通接続された複数の第１の電極層と共通接続された複数の第２の電極層とがこれらの間に活性層を挟んで交互に積層されて構成されていることを特徴とする駆動装置。
前記第１の圧電活性部内の第１の電極層と前記第２の圧電活性部内の第１の電極層とが互いに接続され、
前記第１の圧電活性部内の第２の電極層と前記第２の圧電活性部内の第２の電極層とが互いに接続されていることを特徴とする請求項９に記載の駆動装置。