JP2006179119A - 積層圧電アクチュエータを用いた移動機構及びそのような移動機構を有する磁気ディスク装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気ディスク装置12の磁気ヘッドを有するスライダ16は、積層圧電アクチュエータ30を介してサスペンション18に取り付けられる。積層圧電アクチュエータ30は、2個の積層圧電素子32,34により構成され、スライダ16は積層圧電アクチュエータ30によりサスペンション18に対して移動される。積層圧電素子32,34は、圧電体層40と電極層42,44とを交互に積層して形成された積層体であり、その最外層として、電極層42A,44Aが設けられる。
【選択図】 図6
Description
該積層圧電アクチュエータを構成する積層圧電素子と、該積層圧電アクチュエータにより移動される移動部と、該積層圧電アクチュエータを支持する支持部とを有し、
前記積層圧電素子は、圧電体層と電極層とを交互に積層して形成された積層体であって、その最外層の少なくとも一方は該電極層であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
前記最外層の電極層の表面に絶縁コーティングが施されていることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、2個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の20%以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
前記2個の積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の15%以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、2個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の15%以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、
前記支持部は該スライダを支持するサスペンションであり、
前記積層圧電アクチュエータは前記スライダと前記サスペンションとの間に設けられて前記スライダを前記サスペンションに対して移動させることを特徴とする磁気ディスク装置。
2個の前記積層圧電素子が前記スライダと前記サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の20%以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
前記2個の積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の15%以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
2個の前記積層圧電素子が前記スライダと前記サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の15%以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
18 サスペンション
18a ジンバル部
30 マイクロアクチュエータ
32 第1の圧電素子
34 第2の圧電素子
40 圧電体層
42,42A,44,44A 電極層
46,48 側面電極
Claims (5)
- 積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
該積層圧電アクチュエータを構成する積層圧電素子と、該積層圧電アクチュエータにより移動される移動部と、該積層圧電アクチュエータを支持する支持部とを有し、
前記積層圧電素子は、圧電体層と電極層とを交互に積層して形成された積層体であって、その最外層の少なくとも一方は該電極層であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。 - 請求項1記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記最外層の電極層の表面に絶縁コーティングが施されていることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。 - 請求項1又は2記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、2個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の20%以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。 - 請求項1又は2記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、2個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の15%以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。 - 請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構を有する磁気ディスク装置であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、
前記支持部は該スライダを支持するサスペンションであり、
前記積層圧電アクチュエータは前記スライダと前記サスペンションとの間に設けられて前記スライダを前記サスペンションに対して移動させることを特徴とする磁気ディスク装置。
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JP2004371354A JP2006179119A (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | 積層圧電アクチュエータを用いた移動機構及びそのような移動機構を有する磁気ディスク装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008114345A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッド支持体および磁気ディスク装置 |
JP2010073281A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Nhk Spring Co Ltd | ヘッドサスペンション |
JP2013012658A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Tdk Corp | 圧電素子 |
-
2004
- 2004-12-22 JP JP2004371354A patent/JP2006179119A/ja active Pending
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WO2008114345A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッド支持体および磁気ディスク装置 |
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US8199441B2 (en) | 2008-09-19 | 2012-06-12 | Nhk Spring Co., Ltd. | Head suspension |
JP2013012658A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Tdk Corp | 圧電素子 |
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