JP2007235026A - 基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フォトレジストパターンを溶解し所望のレジストパターンを形成するリフロー処理において、パターン形成されたフォトレジストの膜厚を基板面内で均一とし、且つ、パターン形成にかかる処理時間を短縮し生産効率を向上することのできる基板処理方法を提供する。
【解決手段】下地膜のエッチングマスクとして使用されたフォトレジストパターンの一部を再現像処理により除去するステップS2と、再現像処理により下地膜上に残存するフォトレジストパターンに露光処理を施し、フォトレジストパターンを表面改質するステップS3と、露光処理されたフォトレジストパターンを溶剤雰囲気に曝して溶解し、所定エリアをマスクするステップS4とを実行する。
【選択図】図3
【解決手段】下地膜のエッチングマスクとして使用されたフォトレジストパターンの一部を再現像処理により除去するステップS2と、再現像処理により下地膜上に残存するフォトレジストパターンに露光処理を施し、フォトレジストパターンを表面改質するステップS3と、露光処理されたフォトレジストパターンを溶剤雰囲気に曝して溶解し、所定エリアをマスクするステップS4とを実行する。
【選択図】図3
Description
本発明は、フォトリソグラフィ工程により形成されエッチングマスクとして使用されたレジストパターンを溶解し、新たなレジストパターンを形成するリフロー処理を行う基板処理方法に関する。
例えばLCD(液晶ディスプレイ)製造工程におけるアモルファスSiTFT(アモルファスシリコン薄膜トランジスタ)の形成においては、複数回のエッチング処理が必要とされる。このため従来は、複数回のフォトリソグラフィ工程、即ち露光・現像処理を行い、フォトレジストパターンを形成している。
しかしながら、TFT形成工程において、エッチングで得たいパターン毎に塗布現像装置と露光装置とが必要となり、装置にかかるコストが高くなるという課題があった。
しかしながら、TFT形成工程において、エッチングで得たいパターン毎に塗布現像装置と露光装置とが必要となり、装置にかかるコストが高くなるという課題があった。
このような課題に対し、一度エッチングマスクとして使用したレジストパターンを溶解し変形することにより、新たなレジストパターンを形成するリフロー処理が注目されている。このリフロー処理によれば、二度目のレジストパターン形成において、塗布現像装置及び露光装置を用いた処理を必要とせず、装置コストを低減し、製造効率を向上することができる。このリフロー処理を用いたTFT形成工程について図を用いて説明する。
アモルファスSiTFTを形成する場合、図6(a)に示すように、ガラス基板200に形成されたゲート電極201上に、絶縁層202、a−Si層(ノンドープアモルファスSi層)203aとn+a−Si層(リンドープアモルファスSi層)203bからなるSi層203、ドレイン・ソース電極を形成するためのメタル層205が順に積層される。
そして、メタル層205をエッチングするため、フォトリソグラフィ工程により、メタル層205上にフォトレジストが成膜され、露光、現像処理によりレジストパターン206が形成される。但し、このレジストパターン206は、光の透過率に差が設けられたハーフトーンマスクを用いるハーフ露光処理により、異なる膜厚(厚膜部と薄膜部)を有するものとなされる。尚、ハーフ露光技術については、特許文献1に開示されている。
レジストパターン206は、メタル層205をエッチングするためのマスクとして使用され、エッチング後は図6(b)に示すようにメタル層205の非マスク部分がエッチングされる。
レジストパターン206は、メタル層205をエッチングするためのマスクとして使用され、エッチング後は図6(b)に示すようにメタル層205の非マスク部分がエッチングされる。
メタルエッチングによりレジスト層206の表面には、ウェットエッチング液の影響によりレジストが変質した変質層207が形成される。そこで、リフロー処理の前処理として、この変質層207を除去する処理を行う。
この前処理においては、アルカリ溶液がウェットエッチング液として変質層207に滴下され、これにより図6(c)に示すように変質層207が除去される。
次いで再現像処理により、図6(d)に示すように次のレジストパターン形成においてマスクが不要な薄膜部のレジスト206を除去し、マスクしたいターゲットTg周辺のレジスト(厚膜部)のみを残す処理が行われる。
次いで再現像処理により、図6(d)に示すように次のレジストパターン形成においてマスクが不要な薄膜部のレジスト206を除去し、マスクしたいターゲットTg周辺のレジスト(厚膜部)のみを残す処理が行われる。
次いで図6(d)に示すようにレジスト206が残された状態から、レジスト206に溶剤雰囲気を曝すことによりレジスト206の溶解、拡散処理(リフロー処理)が行われ、図6(e)に示すようにターゲットTg上にレジスト層が形成される。
尚、このレジスト層形成後は、図7(a)に示すようにメタル層205をマスクとしてSi層203のエッチングを行い、図7(b)に示すようにレジスト層206を除去する。そして、図7(c)に示すように、チャネル領域におけるn+a−Si層203bのエッチングが行われ、TFTが形成される。
特開2005−108904号公報
尚、このレジスト層形成後は、図7(a)に示すようにメタル層205をマスクとしてSi層203のエッチングを行い、図7(b)に示すようにレジスト層206を除去する。そして、図7(c)に示すように、チャネル領域におけるn+a−Si層203bのエッチングが行われ、TFTが形成される。
ところで、前記リフロー処理において、ターゲットTgをマスクするレジストパターンの膜厚が基板面内で均一となるようレジストを変形させるには、レジスト内に溶剤を充分に浸透させる必要がある。そのため従来から、リフロー処理においては、チャンバ内に載置された基板に対し有機溶剤の雰囲気(例えばシンナーガス)を曝し、時間をかけてレジスト中に溶剤を浸透させている。また、そのときに溶解するレジストの変形量の制御は、レジストパターンの状態(形状、基板温度)及び溶剤雰囲気の状態(組成、濃度)を調整することにより行われている。
しかしながら、そのようにターゲットTgをマスクするレジストパターンの膜厚が基板面内で均一となるようレジストを変形させる場合、前記のようなレジスト変形量の制御方法では、各処理基板に対する長い処理時間を効果的に短縮することができず、生産効率が低下するという課題があった。
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、フォトレジストパターンを溶解し所望のレジストパターンを形成するリフロー処理において、パターン形成されたフォトレジストの膜厚を基板面内で均一とし、且つ、パターン形成にかかる処理時間を短縮し生産効率を向上することのできる基板処理方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明にかかる基板処理方法は、フォトレジストパターンを溶解し、新たなフォトレジストパターンを形成する基板処理方法であって、下地膜のエッチングマスクとして使用されたフォトレジストパターンの一部を再現像処理により除去するステップと、前記再現像処理により前記下地膜上に残存するフォトレジストパターンに露光処理を施し、該フォトレジストパターンを表面改質するステップと、前記表面改質されたフォトレジストパターンを溶剤雰囲気に曝して溶解し、所定エリアをマスクするステップとを実行することに特徴を有する。
尚、前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、露光光源に、UV光を用いることが望ましい。
また、前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、少なくとも300msecの間、フォトレジストパターンに対し露光することが望ましい。
尚、前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、露光光源に、UV光を用いることが望ましい。
また、前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、少なくとも300msecの間、フォトレジストパターンに対し露光することが望ましい。
このように、フォトレジストを溶解するリフロー処理の前に、フォトレジストパターンに対し露光処理を施すことで、有機溶剤の接触角が低下するようレジスト表面が改質される。即ちレジストへの有機溶剤の吸収率が向上するため、リフロー処理において有機溶剤がレジスト全体に浸透しやすくなる。その結果、安定した溶解を行うことができ、形成されたパターンの膜厚を均一とすることができる。
また、有機溶剤のレジスト全体への浸透時間が短縮されるため、生産効率を向上することができる。
また、UV光のように短波長の光であれば、効果的にレジスト表面の高分子を酸化分解することができ、フォトレジストの有機溶剤に対する接触角をより低下させることができる。
また、有機溶剤のレジスト全体への浸透時間が短縮されるため、生産効率を向上することができる。
また、UV光のように短波長の光であれば、効果的にレジスト表面の高分子を酸化分解することができ、フォトレジストの有機溶剤に対する接触角をより低下させることができる。
本発明によれば、フォトレジストパターンを溶解し所望のレジストパターンを形成するリフロー処理において、パターン形成されたフォトレジストの膜厚を基板面内で均一とし、且つ、パターン形成にかかる処理時間を短縮し生産効率を向上することのできる基板処理方法を得ることができる。
以下、本発明に係る基板処理方法につき、実施の形態に基づいて説明する。図1は、本発明に係る基板処理方法を実施するリフローパターン形成装置のレイアウトを示す平面ブロック図である。
図1に示すリフローパターン形成装置1は、例えばTFT形成のため、塗布現像処理装置(COT/DEV)50及び露光装置(Exp)51においてレジストパターン形成、エッチング装置(Etching)52によりエッチング処理が施された基板Gに対し、レジストパターンのリフロー処理を行い、レジストパターンを再形成するための装置である。
このリフローパターン形成装置1は、複数の基板Gをカセット単位で外部(エッチング装置)から搬入出したり、カセットに対して基板Gを搬入出したりするカセットステーション(C/S)2を備える。
また、カセットステーション2に隣接して基板処理部3が設けられ、この基板処理部3は、各ユニット間での基板Gの搬送及び各ユニットに対する基板Gの搬入出を行うアーム装置を有する基板搬送部(M/A)4を有する。そして、図中矢印で示す基板処理方向に沿って基板搬送部4の左右には、基板Gを処理するための複数の処理ユニットが配置されている。
また、カセットステーション2に隣接して基板処理部3が設けられ、この基板処理部3は、各ユニット間での基板Gの搬送及び各ユニットに対する基板Gの搬入出を行うアーム装置を有する基板搬送部(M/A)4を有する。そして、図中矢印で示す基板処理方向に沿って基板搬送部4の左右には、基板Gを処理するための複数の処理ユニットが配置されている。
処理ユニットとして、図中、矢印で示す処理方向に沿って基板搬送部4の右側には、フォトレジストに生じた変質層を除去するための前処理を行うリムーバユニット(RM)5と、再現像処理を行うことにより不要なレジストを除去する再現像ユニット(RDV)6とが配置される。
さらに、リムーバユニット5/再現像ユニット6に隣接して、フォトレジストにUV光を照射し、レジスト表面を親溶剤性に改質するための露光ユニット(UV)7と、フォトレジストを溶解するリフローユニット(RF)8が配置される。
また図中、基板処理方向に沿って基板搬送部4の左側には、複数のホットプレート及びクールプレートからなる熱処理装置(HP/COL)9が配置される。
さらに、リムーバユニット5/再現像ユニット6に隣接して、フォトレジストにUV光を照射し、レジスト表面を親溶剤性に改質するための露光ユニット(UV)7と、フォトレジストを溶解するリフローユニット(RF)8が配置される。
また図中、基板処理方向に沿って基板搬送部4の左側には、複数のホットプレート及びクールプレートからなる熱処理装置(HP/COL)9が配置される。
次に、フォトレジストの溶解が行われるリフローユニット8の構成について説明する。図2は、リフローユニット8の概略構成を示す断面図である。
図示するように、リフローユニット8においては、ベースチャンバ10a上にアッパーチャンバ10bが着脱自在に装着され、アッパーチャンバ10b装着時には内部に密閉空間を形成するチャンバ10を具備する。
図示するように、リフローユニット8においては、ベースチャンバ10a上にアッパーチャンバ10bが着脱自在に装着され、アッパーチャンバ10b装着時には内部に密閉空間を形成するチャンバ10を具備する。
チャンバ10内の中央には、基板Gを基板載置面に載置し、基板載置面の温度を所定温度として基板Gを温度調整するための温調プレート11が設けられる。この温調プレート11の内部には、温調水が循環する温調水流路12が形成され、この温調水流路12は、チャンバ外部に設けられた温調器13に接続されている。即ち、温調器13に循環水が供給され、温調器13において所定の水温に調整されて、温調プレート11が所定の温度に調整されるように構成されている。
また、チャンバ10内には、上方から下方に向けて溶剤雰囲気、またはパージガスとしてのN2ガスが供給される。即ち、アッパーチャンバ10bの天井に形成された複数のガス供給口14から溶剤雰囲気またはN2ガスが供給され、ベースチャンバ10aの底面に形成された複数のガス排気口15から溶剤雰囲気またはN2ガスが排出されるようになされている。
ガス供給口14にはガス供給管16が接続され、このガス供給管16にはガス濃度調整器17により濃度が50〜100%に調整された溶剤雰囲気、あるいはチャンバ内をパージするためのN2ガスが供給されるように構成されている。ガス濃度調整器17には、所定流量のN2ガスが供給され、気化された有機溶剤がN2ガスと共にガス供給管16に供給される。一方、ガス排気口15にはガス排気管18が接続され、チャンバ内の雰囲気を排出するように構成されている。
また、チャンバ10内においては、溶剤雰囲気またはN2ガスをチャンバ内に拡散するための拡散スペーサ19と、拡散スペーサ19により拡散されたガスの流れる方向を均一化するための均一化プレート20と、ガス排気口15に向けてガスを整流するための排気整流板21とが設けられている。
続いて、本発明に係る基板処理方法を実施するリフローパターン形成装置1の処理工程について図3のフローに従い説明する。尚、以下の説明においては、既に説明した図1、図2の装置構成、図6、図7の基板状態図等を適宜用いて説明する。
先ず、エッチング装置52より搬送された基板Gが収容されたカセットステーション2から、1枚の基板Gが基板搬送部4によりリムーバユニット5に搬送される。尚、図6(a)に示すように、この基板Gにおいて、メタル層205(下地膜)上に形成されたフォトレジストパターン206は、塗布現像処理装置50及び露光装置51において、リフロー処理で必要なフォトレジストを厚膜に形成し、不要なフォトレジストを薄膜に形成するハーフ露光処理が施されている。
リムーバユニット5において基板Gは、図6(b)に示すようにエッチング処理によりフォトレジスト206の表面に生じた変質層207を例えばアルカリ溶液に曝すことにより除去する前処理が行われる(図3のステップS1)。
リムーバユニット5での前処理後、図6(c)に示す状態の基板Gは、基板搬送部4により再現像ユニット6に搬送される。
そこで基板Gは、不要な薄膜部分のレジストを除去するために再現像処理が行われ、図6(d)に示すように厚膜部分のレジストが残る状態となされる(図3のステップS2)。即ち、マスクすべき所定エリアであるターゲットTgの周囲にレジスト206が残存する状態になされる。
そこで基板Gは、不要な薄膜部分のレジストを除去するために再現像処理が行われ、図6(d)に示すように厚膜部分のレジストが残る状態となされる(図3のステップS2)。即ち、マスクすべき所定エリアであるターゲットTgの周囲にレジスト206が残存する状態になされる。
次いで基板Gは基板搬送部4により熱処理装置9に搬送されて所定の熱処理が行われた後、基板搬送部4により露光ユニット7に搬送される。この露光ユニット7においては、再現像処理後に図4(a)に示すように形成されたフォトレジスト206に対し、図4(b)に示すように例えばUV光(波長172nm)を露光する処理が行われる(図3のステップS3)。このUV光の露光時間としては、例えば約120secとされる。
尚、この露光ユニット7における露光処理は、レジスト表面を親溶剤性に改質するために行われる。即ち、露光によりレジスト表面の高分子を分解し、レジスト表面に対する有機溶剤の接触角を低下させるための処理である。この処理によりレジスト表面からの有機溶剤の吸収率が向上し、より速くレジスト全体に有機溶剤を浸透させることができる。
また、露光光源としては、レジスト表面の高分子の酸化分解を効果的に行うことができるよう、波長172nmのUV光を用いるのが好ましい。
また、露光光源としては、レジスト表面の高分子の酸化分解を効果的に行うことができるよう、波長172nmのUV光を用いるのが好ましい。
また、この露光処理による効果が期待されるレジストとしては、例えば、東京応化社製OFPR800、住友化学社製PFI−26A9、JSR社製IX−061、JSR社製IX−500EL、東京応化社製IP−3300、東京応化社製IP−3100、東京応化社製IP−1800等が挙げられる。
露光ユニット7においてレジスト表面が親溶剤性に改質された基板Gは、基板搬送部4によりリフローユニット7に搬送され、そこでレジスト206を溶解するリフロー処理が行われる(図3のステップS4)。
具体的には、図2に示した温調プレート11上に基板Gが載置され、温調プレート11の温度が温調器13により所定の温度(例えば24℃)に設定される。
具体的には、図2に示した温調プレート11上に基板Gが載置され、温調プレート11の温度が温調器13により所定の温度(例えば24℃)に設定される。
次いでガス濃度調整器17によって濃度が所定濃度に調整された溶剤雰囲気として、例えばシンナーガスがチャンバ10内に導入されて雰囲気置換され、処理レシピに規定された所定時間の間、レジスト206がシンナーガスに曝される。
ここで、フォトレジスト206は、その表面が露光ユニット7における処理により親溶剤性に改質されているため、有機溶剤であるシンナーの吸収率が向上しており、レジスト全体に速くシンナーが浸透する。このため、従来よりも安定した溶解が速く進行し、パターン形成にかかる処理時間が短縮される。
ここで、フォトレジスト206は、その表面が露光ユニット7における処理により親溶剤性に改質されているため、有機溶剤であるシンナーの吸収率が向上しており、レジスト全体に速くシンナーが浸透する。このため、従来よりも安定した溶解が速く進行し、パターン形成にかかる処理時間が短縮される。
リフローユニット8での溶解処理によりターゲットTgをマスクするレジストパターンが形成されると、基板Gは基板搬送部4により熱処理装置9に搬送され、加熱によるレジストパターンの定着処理が行われる。そして、冷却後、再び基板搬送部4によりカセットステーション2のカセットに戻され、その後、エッチング装置52に搬送される。
このように本発明の基板処理方法に係る実施の形態によれば、フォトレジストを溶解するリフロー処理の前に、フォトレジストに露光処理を施し、有機溶剤の接触角が低下するようレジスト表面が改質される。即ちレジストへの有機溶剤の吸収率が向上するため、リフロー処理において有機溶剤がレジスト全体に浸透しやすくなる。その結果、安定した溶解を行うことができ、形成されたパターンの膜厚を均一とすることができる。
また、有機溶剤のレジストへの浸透時間が短縮されるため、生産効率を向上することができる。
また、有機溶剤のレジストへの浸透時間が短縮されるため、生産効率を向上することができる。
続いて、本発明に係る基板処理方法について、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記した本発明の基板処理方法に係る実施の形態について、その効果を検証した。
具体的には、複数種類のフォトレジストに夫々露光処理を施し、露光後のフォトレジストに対する純水の接触角の変化について検証した。尚、露光条件は、波長172nm、露光時間300msecとした。
具体的には、複数種類のフォトレジストに夫々露光処理を施し、露光後のフォトレジストに対する純水の接触角の変化について検証した。尚、露光条件は、波長172nm、露光時間300msecとした。
この実験の結果を図5のグラフに示す。このグラフに示されるようにレジストR1(東京応化社製OFPR800)、R2(住友化学社製PFI−26A9)、R3(JSR社製IX−061)、R4(JSR社製IX−500EL)、R5(東京応化社製IP−3300)、R6(東京応化社製IP−3100)、R7(東京応化社製IP−1800)の夫々について未露光時に比べ純水の接触角が上昇した。
このように、少なくとも前記した製品名のフォトレジストに対しては、300msecの間、露光処理を施すと、純水の接触角が上昇し、疎水性が強くなると確認された。この結果から、フォトレジストに対して露光処理を施すと、純水の場合とは反対に、レジスト表面における有機溶剤の接触角が低下し、有機溶剤の吸収率が向上すると考察された。
以上の実施例の結果から、本発明の基板処理方法によれば、前記実施の形態に示した効果を得ることができると確認した。
以上の実施例の結果から、本発明の基板処理方法によれば、前記実施の形態に示した効果を得ることができると確認した。
本発明は、複数回に亘りフォトレジストパターンを形成する工程に適用することができ、電子デバイス製造業界等において好適に用いることができる。
1 リフローパターン形成装置
2 カセットステーション
3 基板処理部
4 基板搬送部
5 リムーバユニット
6 再現像ユニット
7 露光ユニット
8 リフローユニット
9 熱処理装置
10 チャンバ
11 温調プレート
12 温調水流水路
13 温調器
14 ガス供給口
15 ガス排気口
16 ガス供給管
17 ガス濃度調整器
18 ガス排気管
19 拡散スペーサ
20 均一化プレート
21 排気整流板
G 基板
2 カセットステーション
3 基板処理部
4 基板搬送部
5 リムーバユニット
6 再現像ユニット
7 露光ユニット
8 リフローユニット
9 熱処理装置
10 チャンバ
11 温調プレート
12 温調水流水路
13 温調器
14 ガス供給口
15 ガス排気口
16 ガス供給管
17 ガス濃度調整器
18 ガス排気管
19 拡散スペーサ
20 均一化プレート
21 排気整流板
G 基板
Claims (3)
- フォトレジストパターンを溶解し、新たなフォトレジストパターンを形成する基板処理方法であって、
下地膜のエッチングマスクとして使用されたフォトレジストパターンの一部を再現像処理により除去するステップと、
前記再現像処理により前記下地膜上に残存するフォトレジストパターンに露光処理を施し、該フォトレジストパターンを表面改質するステップと、
前記表面改質されたフォトレジストパターンを溶剤雰囲気に曝して溶解し、所定エリアをマスクするステップとを実行することを特徴とする基板処理方法。 - 前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、
露光光源に、UV光を用いることを特徴とする請求項1に記載された基板処理方法。 - 前記フォトレジストパターンに露光処理を施すステップにおいて、
少なくとも300msecの間、フォトレジストパターンに対し露光することを特徴とする請求項1または請求項2に記載された基板処理方法。
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---|---|---|---|
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JP2009141226A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Tokyo Electron Ltd | リフロー処理装置およびリフロー処理方法 |
JP2009218340A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法 |
JP2010103551A (ja) * | 2009-12-17 | 2010-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
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- 2006-03-03 JP JP2006057517A patent/JP2007235026A/ja active Pending
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