JP2007229648A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. スピンコート法にてレンズに塗布処理を施すスピンコート装置であって、
   上面に前記レンズを載置して垂直軸回りに回転する回転保持台と、
   前記回転保持台の周囲を覆うスピンカップと、
   前記レンズに塗布液を吐出する吐出部と、を備え、
   前記スピンカップの側壁に、回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液を回収する開口部が設けられ、
   回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液の前記スピンカップ側壁への到達位置が前記開口部位置となるよう、前記スピンカップと前記回転保持台とを、前記レンズのレンズ面形状および前記レンズを回転させる際の回転数に基づき、前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動することを特徴とするレンズのスピンコート装置。
2. 請求項１に記載のレンズのスピンコート装置において、
   前記スピンコート装置は、
   前記回転保持台の垂直軸方向に沿って、前記開口部を挟んだ前記スピンカップ側壁の上下面にそれぞれ前記塗布液を検出する一対の検出センサを、さらに備え、
   前記一対の検出センサが前記回転するレンズから振り切られた塗布液の付着を検出したとき、前記スピンカップと前記回転保持台とを前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動する位置補正が行われることを特徴とするレンズのスピンコート装置。