JP2007227541A - パワー半導体装置の製造方法及びパワー半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】アスペクト比が高いドリフト領域を備える半導体装置を、容易に製造する。
【解決手段】SOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、第1導電型半導体材料(N型Si)32からなるトレンチ36を形成する。続いて、トレンチ36の底面36aを除いてトレンチ36の壁を覆う第2導電型+半導体層(P型Si)38を形成し、更に、第2導電型半導体層38を覆う第1導電型半導体層40を形成し、第1導電型半導体層40を覆う第2導電型半導体層42を形成する工程を繰り返す。これにより、半導体基板30上に、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層が形成されることなく、トレンチ36内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成することが可能となる。したがって、N型半導体層とP型半導体層との間での相互拡散を引起こす、半導体基板30と平行な方向に広がる半導体層15を熱処理する工程が不要となる。
【選択図】図1
【解決手段】SOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、第1導電型半導体材料(N型Si)32からなるトレンチ36を形成する。続いて、トレンチ36の底面36aを除いてトレンチ36の壁を覆う第2導電型+半導体層(P型Si)38を形成し、更に、第2導電型半導体層38を覆う第1導電型半導体層40を形成し、第1導電型半導体層40を覆う第2導電型半導体層42を形成する工程を繰り返す。これにより、半導体基板30上に、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層が形成されることなく、トレンチ36内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成することが可能となる。したがって、N型半導体層とP型半導体層との間での相互拡散を引起こす、半導体基板30と平行な方向に広がる半導体層15を熱処理する工程が不要となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、スーパージャンクション構造を有するパワー半導体装置に関するものである。
近年の省エネ、装置の小型、軽量化の要求から、スイッチング素子を使用した各種のパワー半導体装置の需要が拡大している。パワー半導体素子の一つであるパワーMOSFETは、従来、スイッチング速度が高速である反面、高耐圧、大容量の素子を得ることが困難であるという欠点を有していたが、以下の「スーパージャンクション構造」を採用することで、かかる欠点の解消を図っている。
スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET10は、図4に示されるように、半導体基板と直交する方向に広がるN型領域、P型領域が交互に配置されて構成されたドリフト領域12を備えている。そして、各領域のコラム長Lがより長いほど高耐圧が得られ、コラム幅Wが狭いほど低損失となる。この、コラム長Lとコラム幅Wとの比(アスペクト比)を高めることが望まれており、種々の製造方法が開発されている。
スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET10は、図4に示されるように、半導体基板と直交する方向に広がるN型領域、P型領域が交互に配置されて構成されたドリフト領域12を備えている。そして、各領域のコラム長Lがより長いほど高耐圧が得られ、コラム幅Wが狭いほど低損失となる。この、コラム長Lとコラム幅Wとの比(アスペクト比)を高めることが望まれており、種々の製造方法が開発されている。
図5には、その製造手順の一例が示されている。まず、図5(a)に示されるように、N+型半導体基板14の上に、P型半導体層16を形成し、P型半導体層16にトレンチ18(半導体素子上に掘られた溝)を形成する。続いて、エピタキシャル成長方法により、図5(b)に示されるように、トレンチ18内を均一にN型半導体層20で覆う。続いて、N型半導体層20をP型半導体層22で覆う。更に、P型半導体層22をN型半導体層24で覆い、N型半導体層24をP型半導体層26で覆い、トレンチ18の内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成する。ここで、N+型半導体基板14の上を覆う、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層は、エミッタ−コレクタ間の電流を阻止してしまう不必要な層であることから、熱処理によって、N+型半導体基板14からの不純物を上方に拡散し、N+型基板領域を上方に拡張する。更に、図5(d)に示されるように、CMPによる研磨を行うことで、表面の平坦化を行う。その後、図4に示されるように、ドリフト領域12上にボディ領域28を形成することで、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET10が製造される(例えば、特許文献1参照。)。
このように、図5に示された製造方法によれば、高いアスペクト比のドリフト領域12を備えるパワーMOSFET10を得ることが出来る。しかしながら、この製造方法は、N+型半導体基板14の上を覆う半導体基板と平行な方向に広がる不要な半導体層15を除去する必要があり(図5(b)から(c))、この熱処理の際に、各N型半導体層と各P型半導体層との間で相互拡散を引起こし、所望の特性を得ることができないといった問題があった。
本発明は、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET等の半導体装置の製造方法の欠点を解消し、従来、製造が困難であったアスペクト比が高いドリフト領域を備える半導体装置を、容易に得ることを目的とするものである。
本発明は、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET等の半導体装置の製造方法の欠点を解消し、従来、製造が困難であったアスペクト比が高いドリフト領域を備える半導体装置を、容易に得ることを目的とするものである。
上記課題を解決するための、本発明に係るパワー半導体装置の製造方法は、半導体基板と直交する方向に広がる第1導電型半導体層領域及び第2導電型半導体層領域が、基板と平行な方向に交互に配置されて構成されたドリフト領域を備えるパワー半導体装置の製造方法であって、半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すことを特徴とするものである。
本発明によれば、半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すことで、半導体基板上に、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層が形成されることなく、前記トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成することが可能となる。したがって、従来問題となっていた、N型半導体層とP型半導体層との間での相互拡散を引起こす、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層を熱処理する工程が不要となる。
本発明においては、前記第1導電型半導体材料からなるトレンチを、SOIの酸化膜層上に形成することが望ましい。若しくは、前記第1導電型半導体材料からなるトレンチの底面に酸素を注入し、その後に不活性雰囲気でアニール処理し、トレンチの底面に酸化膜層を形成することとしても良い。
又、選択エピタキシャル成長方法を用い、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、更に、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すこととする。
しかも、選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることが望ましい。
しかも、選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることが望ましい。
なお、本発明において、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞し、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去することとする。
又、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞する前に、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去し、その後、トレンチ内部を閉塞し、なおかつ、一方の導電型の半導体層で表面を覆うこととしても良い。
この場合、必要に応じ、前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整することとする。
この場合、必要に応じ、前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整することとする。
又、上記課題を解決するための、本発明に係るパワー半導体装置は、半導体基板と直交する方向に広がる第1導電型半導体層領域及び第2導電型半導体層領域が、基板と平行な方向に交互に配置されて構成されたドリフト領域を備えるパワー半導体装置であって、半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成してなることを特徴とするものである。
本発明によれば、半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すことで、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層が形成されることなく、前記トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成することが可能となる。したがって、従来問題となっていた、N型半導体層とP型半導体層との間での相互拡散を引起こす、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層を熱処理する工程が不要となる。
本発明においては、前記第1導電型半導体材料からなるトレンチを、SOIの酸化膜層上に形成する。若しくは前記第1導電型半導体材料からなるトレンチの底面に酸素を注入し、その後に不活性雰囲気でアニール処理し、トレンチの底面に酸化膜層を形成してなるものであっても良い。
又、選択エピタキシャル成長方法を用い、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すこととする。
しかも、選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることが望ましい。
しかも、選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることが望ましい。
なお、本発明において、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞し、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去することとする。
又、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞する前に、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去し、その後、トレンチ内部を閉塞し、なおかつ、一方の導電型の半導体層で表面を覆ってなる物であっても良い。
この場合、必要に応じ、前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整してなるものとする。
この場合、必要に応じ、前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整してなるものとする。
本発明はこのように構成したので、従来、製造が困難であったアスペクト比が高いドリフト領域を備える半導体装置を、容易に得ることが可能となる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、従来技術と同一部分、若しくは相当する部分については同一符号で示し、詳しい説明を省略する。
図1には、本発明の第1の実施の形態に係る、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFETの製造方法が示されている。以下、各工程を(a)〜(j)で表すと共に、図1中の該当する各工程にも同一符号を付している。
(a)先ず、半導体基板であるSOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、ドリフト領域12のコラム長L(図4参照)として求められる厚さとなるように、N型Si層(第1導電型半導体層)32を形成する。そして、N型Si層32の表面に、マスク材34により、ドリフト領域12のコラム幅W(図4参照)として求められる幅の、トレンチマスクパターンを形成する。
(b)トレンチマスクパターンに沿ってN型Si層32にエッチング等を施すことで、SOIの酸化膜層30上に、トレンチ36を形成する。
(c)マスク材34を除去する。
(a)先ず、半導体基板であるSOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、ドリフト領域12のコラム長L(図4参照)として求められる厚さとなるように、N型Si層(第1導電型半導体層)32を形成する。そして、N型Si層32の表面に、マスク材34により、ドリフト領域12のコラム幅W(図4参照)として求められる幅の、トレンチマスクパターンを形成する。
(b)トレンチマスクパターンに沿ってN型Si層32にエッチング等を施すことで、SOIの酸化膜層30上に、トレンチ36を形成する。
(c)マスク材34を除去する。
(d)選択エピタキシャル成長方法を用い、トレンチ36の底面36aを除いてトレンチ36の壁(N型Si層32)を覆うP型Si層(第2導電型半導体層)38を形成する。P型Si層38の膜厚は、トレンチマスクパターンと同じであるように調整され、この膜圧が、ドリフト領域12のコラム幅W(図4参照)となる。P型Si層38の選択エピタキシャル成長に用いられるガスは、ジボラン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。このように、塩酸を含むことで、酸化層膜30上のP型Si層の形成を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能である。
(e)更に、P型Si層38を覆うN型Si層40を形成し、N型Si層40を覆うP型Si層42を形成する。そして、P型、N型の各Si層を形成する工程を繰り返す。なお、N型Si層40の選択エピタキシャル成長に用いられるガスは、ホスフィン又はアルシン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。N型Si層の形成時にも、ガス中に塩酸を含むことで、酸化層膜30上のN型Si層の形成を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能である。
(f)更に、P型Si層42を覆うN型Si層44を形成し、N型Si層44を覆うP型Si層46を形成し、トレンチ36が閉塞されるまで、P型及びN型のSi層を交互に積層させていく。なお、図示の例では、最終的にN型Si層48によってトレンチ36が完全に閉塞されているが、トレンチ36の幅、各層の膜厚によっては、交互に各Si層が堆積された結果、P型Si層が最表面に表れる場合もある。又、P型及びN型の層の段数も、トレンチ36の幅、各層の膜厚によって変化するものである。
(e)更に、P型Si層38を覆うN型Si層40を形成し、N型Si層40を覆うP型Si層42を形成する。そして、P型、N型の各Si層を形成する工程を繰り返す。なお、N型Si層40の選択エピタキシャル成長に用いられるガスは、ホスフィン又はアルシン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。N型Si層の形成時にも、ガス中に塩酸を含むことで、酸化層膜30上のN型Si層の形成を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能である。
(f)更に、P型Si層42を覆うN型Si層44を形成し、N型Si層44を覆うP型Si層46を形成し、トレンチ36が閉塞されるまで、P型及びN型のSi層を交互に積層させていく。なお、図示の例では、最終的にN型Si層48によってトレンチ36が完全に閉塞されているが、トレンチ36の幅、各層の膜厚によっては、交互に各Si層が堆積された結果、P型Si層が最表面に表れる場合もある。又、P型及びN型の層の段数も、トレンチ36の幅、各層の膜厚によって変化するものである。
(g)CMP(化学機械研磨)やエッチングを用い、最初にトレンチ36を形成したN型Si層32の高さL((b)参照)に合せて、不要なSi層50(表面に形成された半導体基板と平行な半導体層)を除去することで、ドリフト領域12を形成する。
(h)続いて、ウェットエッチング等の手法を用い、酸化膜層30とドリフト領域12とを切り離す。
(i)ドリフト領域12の裏面(下面)全体をN型Siとするために、P型Siからなるコラムに対し集中的に、かつ、全体の不純物濃度を高濃度にするように、ボロン等をイオンインプラントする(図中、概略的に矢印で示す)。
(j)フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ドリフト領域12の裏面から必要な厚みの部分に、N型Si層52を形成する。従って、N型Si層52の厚みの分だけ、ドリフト領域12の長さは減少する。
なお、本実施の形態においても、適当な時点で、図4に示されるように、ドリフト領域12上にボディ領域28を形成する。
(h)続いて、ウェットエッチング等の手法を用い、酸化膜層30とドリフト領域12とを切り離す。
(i)ドリフト領域12の裏面(下面)全体をN型Siとするために、P型Siからなるコラムに対し集中的に、かつ、全体の不純物濃度を高濃度にするように、ボロン等をイオンインプラントする(図中、概略的に矢印で示す)。
(j)フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ドリフト領域12の裏面から必要な厚みの部分に、N型Si層52を形成する。従って、N型Si層52の厚みの分だけ、ドリフト領域12の長さは減少する。
なお、本実施の形態においても、適当な時点で、図4に示されるように、ドリフト領域12上にボディ領域28を形成する。
上記構成をなす、本発明の第1の実施の形態によれば、次のような作用効果を得ることが可能となる。まず、半導体基板であるSOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、第1導電型半導体材料(N型Si)32からなるトレンチ36を形成し、トレンチ36の底面36aを除いてトレンチ36の壁を覆う第2導電型半導体層(P型Si)38を形成し、更に、第2導電型半導体層38を覆う第1導電型半導体層40を形成し、第1導電型半導体層40を覆う第2導電型半導体層42を形成する工程を繰り返す。これにより、半導体基板30上に、半導体基板と平行な方向に広がる半導体層15(図5(b)参照)が形成されることなく、トレンチ36内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成することが可能となる。したがって、従来問題となっていた、N型半導体層とP型半導体層との間での相互拡散を引起こす、半導体基板30と平行な方向に広がる半導体層15を熱処理する工程(図5(b)から(c)参照)が不要となる。
上記工程において、トレンチ36内部に異なる導電型(P型、N型)の半導体層を交互に形成する手法として、選択エピタキシャル成長方法を用い、なおかつ、選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に塩酸を含めることで、酸化層膜30上のP型、N型の各Si層の成長を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能となる。
しかも、本実施の形態では、SOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上にドリフト領域12を形成していることから、ウェットエッチング等の手法を用い、酸化膜層30とドリフト領域12とを切り離すことのみによって、安定的にドリフト領域12の薄膜化が可能となる。したがって、例えば、研磨による薄膜化を行う場合に想定される欠陥等の発生を回避することが可能となる。
しかも、本実施の形態では、SOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上にドリフト領域12を形成していることから、ウェットエッチング等の手法を用い、酸化膜層30とドリフト領域12とを切り離すことのみによって、安定的にドリフト領域12の薄膜化が可能となる。したがって、例えば、研磨による薄膜化を行う場合に想定される欠陥等の発生を回避することが可能となる。
そして、本発明の実施の形態では、異なる導電型(P型、N型)の半導体層を交互に形成する工程を繰り返すことで、トレンチ36内部を交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞した後(図1(d)〜(f))、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層50を除去して(図1(g))ドリフト領域12を形成し、ドリフト領域12上にボディ領域28(図4参照)を形成することで、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET10が得られる。
しかも、上記工程を経て製造された、本発明の第1の実施の形態に係るパワーMOSFETは、図1(j)に示されたN型Si層52が、フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ドリフト領域12の裏面から必要な厚みの部分に形成されている。よって、N型Si層52とドリフト領域12との間に生じるコラムの相互拡散は、極わずかな厚みに抑えられ、図5に例示した従来の製造方法によるものとは、構造的にも明確に区別することが可能である。
続いて、図2を参照しながら、本発明の実施の形態に係る本発明の第2の実施の形態に係る、パワー半導体装置の製造方法を説明する。なお、本実施の形態においては、各工程を(a’)〜(h’)で表すと共に、図2中の該当する各工程にも同一符号を付している。
(a’)N型Siで構成されたバルク基板54の表面に、マスク材56によりトレンチマスクパターンを形成する。そして、トレンチマスクパターンに沿ってバルク基板54にエッチング等を施すことで、トレンチ58を形成する。トレンチ58の深さは、ドリフト領域12のコラム長L(図4参照)として求められる厚さと一致するように形成される。
(b’)トレンチ加工時のマスク材56を残したまま、トレンチの底面58aに酸素60を注入する。酸素の注入量は、例えば1018atoms/cm2程度が望ましい。
(c’)マスク材34を除去する。
(a’)N型Siで構成されたバルク基板54の表面に、マスク材56によりトレンチマスクパターンを形成する。そして、トレンチマスクパターンに沿ってバルク基板54にエッチング等を施すことで、トレンチ58を形成する。トレンチ58の深さは、ドリフト領域12のコラム長L(図4参照)として求められる厚さと一致するように形成される。
(b’)トレンチ加工時のマスク材56を残したまま、トレンチの底面58aに酸素60を注入する。酸素の注入量は、例えば1018atoms/cm2程度が望ましい。
(c’)マスク材34を除去する。
(d’)不活性雰囲気中(He、Ar雰囲気等)でアニール処理し、酸素注入がされているトレンチの底面58aにのみ酸化膜層62を形成する。
(e’)選択エピタキシャル成長方法を用い、トレンチ58の底面58aを除いてトレンチ58の壁(N型Siで構成されたバルク基板54)を覆うP型Si層(第2導電型半導体層)64を形成する。P型Si層64の膜厚は、トレンチマスクパターンと同じとなるように調整され、この膜圧が、ドリフト領域12のコラム幅W(図4参照)となる。更に、P型Si層64を覆うN型Si層66を形成する。P型Si層64の選択エピタキシャル成長に用いられるガスは、第1の実施の形態と同様に、ジボラン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。又、N型Si層66の選択エピタキシャル成長に用いられるガスも、第1の実施の形態と同様に、ホスフィン又はアルシン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。これによって、酸化層膜62上のP型、N型の各Si層の形成を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能である。
(f’)トレンチ58が閉塞されるまで、P型及びN型のSi層を交互に積層させていく。なお、本実施の形態でも、最終的にN型Si層によってトレンチ58が完全に閉塞されているが、トレンチ58の幅、各層の膜厚によっては、交互に各Si層が堆積された結果、P型Si層が最表面に表れる場合もある。又、P型及びN型の層の段数も、トレンチ58の幅、各層の膜厚によって変化するものである。
(e’)選択エピタキシャル成長方法を用い、トレンチ58の底面58aを除いてトレンチ58の壁(N型Siで構成されたバルク基板54)を覆うP型Si層(第2導電型半導体層)64を形成する。P型Si層64の膜厚は、トレンチマスクパターンと同じとなるように調整され、この膜圧が、ドリフト領域12のコラム幅W(図4参照)となる。更に、P型Si層64を覆うN型Si層66を形成する。P型Si層64の選択エピタキシャル成長に用いられるガスは、第1の実施の形態と同様に、ジボラン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。又、N型Si層66の選択エピタキシャル成長に用いられるガスも、第1の実施の形態と同様に、ホスフィン又はアルシン、シラン又はジクロロシラン、水素及び塩酸である。これによって、酸化層膜62上のP型、N型の各Si層の形成を抑制した、選択エピタキシャル成長が可能である。
(f’)トレンチ58が閉塞されるまで、P型及びN型のSi層を交互に積層させていく。なお、本実施の形態でも、最終的にN型Si層によってトレンチ58が完全に閉塞されているが、トレンチ58の幅、各層の膜厚によっては、交互に各Si層が堆積された結果、P型Si層が最表面に表れる場合もある。又、P型及びN型の層の段数も、トレンチ58の幅、各層の膜厚によって変化するものである。
(g’)CMP(化学機械研磨)やエッチングを用い、最初に形成されたN型Si層からなるトレンチ58の高さL((a’)参照)に合せて、不要なSi層68(表面に形成された半導体基板と平行な半導体層)を除去し、ドリフト領域12を形成する。
(h’)続いて、研磨、エッチング等の手法を用い、ドリフト領域12の底部の酸化膜層62が除去されるまで、薄板加工を施す。
この後、本発明の第1の実施の形態における(i)の工程と同様に、ドリフト領域12の裏面(下面)全体をN型Siとするために、P型Siからなるコラムに対し集中的に、かつ、全体の不純物濃度を高濃度にするように、ボロン等をイオンインプラントする。さらに、同(j)の工程と同様に、フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ドリフト領域12の裏面から必要な厚みの部分に、N型Si層を形成する。なお、本実施の形態においても、適当な時点で、図4に示されるように、ドリフト領域12上にボディ領域28を形成する。
(h’)続いて、研磨、エッチング等の手法を用い、ドリフト領域12の底部の酸化膜層62が除去されるまで、薄板加工を施す。
この後、本発明の第1の実施の形態における(i)の工程と同様に、ドリフト領域12の裏面(下面)全体をN型Siとするために、P型Siからなるコラムに対し集中的に、かつ、全体の不純物濃度を高濃度にするように、ボロン等をイオンインプラントする。さらに、同(j)の工程と同様に、フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ドリフト領域12の裏面から必要な厚みの部分に、N型Si層を形成する。なお、本実施の形態においても、適当な時点で、図4に示されるように、ドリフト領域12上にボディ領域28を形成する。
上記構成をなす本発明の第2の実施の形態によれば、N型半導体層材料からなるトレンチ58の底面に酸素60を注入し、その後に不活性雰囲気でアニール処理し、トレンチの底面58aにのみ、酸化膜層62を形成することで、比較的安価なバルク基板を用い、なおかつ、本発明の第1の実施の形態のごとくSOIを用いる場合と同様に、選択エピタキシャル成長方法によるドリフト領域12の形成が可能となる。
又、ドリフト領域12のコラム長を、バルク基板54に施すトレンチエッチングにより、容易に制御することが出来るので、第1の実施の形態のごとくSOIを用いる場合に比べ、ウェーハ面内のコラム長のバラツキを低減させることが容易となる。
その他、本発明の第1の実施の形態と同様の作用効果については、詳しい説明を省略する。
又、ドリフト領域12のコラム長を、バルク基板54に施すトレンチエッチングにより、容易に制御することが出来るので、第1の実施の形態のごとくSOIを用いる場合に比べ、ウェーハ面内のコラム長のバラツキを低減させることが容易となる。
その他、本発明の第1の実施の形態と同様の作用効果については、詳しい説明を省略する。
続いて、図3を参照しながら、本発明の実施の形態に係る本発明の第3の実施の形態に係る、パワー半導体装置の製造方法を説明する。本実施の形態においては、各工程を(a”)〜(e”)で表すと共に、図3中の該当する各工程にも同一符号を付している。
まず、本実施の形態においても、第1の実施の形態に係る(a)〜(e)工程、第2の実施の形態に係る(a’)〜(e’)工程と同様に、トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成する。なお、図3の例では、第1の実施の形態と同様に、半導体基板であるSOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、N型Si層とP型Si層とを交互に形成していることから、第1の実施の形態と共通する部分に同一の符号を付している。
まず、本実施の形態においても、第1の実施の形態に係る(a)〜(e)工程、第2の実施の形態に係る(a’)〜(e’)工程と同様に、トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成する。なお、図3の例では、第1の実施の形態と同様に、半導体基板であるSOIの酸化層膜(BOX酸化膜層)30上に、N型Si層とP型Si層とを交互に形成していることから、第1の実施の形態と共通する部分に同一の符号を付している。
(a”)N型Si層がトレンチ36の内側に面するようにして、トレンチ36の内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞する前に、選択エピタキシャル成長を止める。そして、CMP(化学機械研磨)やエッチングを用い、最初にトレンチ36を形成したN型Si層の高さLに合せて、不要なSi層50(表面に形成された半導体基板と平行な半導体層)を除去する。この時点で残存するトレンチ36の幅WTは、P型及びN型の各層のコラム幅Wよりも幅広となっている。
(b”)低濃度P型Si層70で、トレンチ36を閉塞させ、なおかつ、ドリフト領域12の表面を覆う。低濃度P型Si層70は、他のコラムのSi層とのチャージバランスが一致するように調整されたものである。
(c”)低濃度P型Si層70の表面部分を、研磨、エッチング等の手法を用い、ボディ領域28として必要な膜厚へと整える。
(d”)低濃度P型Si層70の表面部分(ボディ領域28)が、ボディ領域に適した不純物濃度ではない場合には、必要な不純物濃度となるように、ボロン等をイオンインプラントする。一方、(b”)の工程で形成された低濃度P型Si層70が、ボディ領域28に適した不純物濃度であった場合には、かかる工程は必要ない。
(e”)第1の実施の形態に係る(j)の工程と同様に、フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ボディ領域28を活性化させる。
その後、第1の実施の形態に係る(h)〜(j)工程と同様の工程が行われる。
(b”)低濃度P型Si層70で、トレンチ36を閉塞させ、なおかつ、ドリフト領域12の表面を覆う。低濃度P型Si層70は、他のコラムのSi層とのチャージバランスが一致するように調整されたものである。
(c”)低濃度P型Si層70の表面部分を、研磨、エッチング等の手法を用い、ボディ領域28として必要な膜厚へと整える。
(d”)低濃度P型Si層70の表面部分(ボディ領域28)が、ボディ領域に適した不純物濃度ではない場合には、必要な不純物濃度となるように、ボロン等をイオンインプラントする。一方、(b”)の工程で形成された低濃度P型Si層70が、ボディ領域28に適した不純物濃度であった場合には、かかる工程は必要ない。
(e”)第1の実施の形態に係る(j)の工程と同様に、フラッシュランプアニールやレーザーアニールなどの、最表面活性化手法を用いることにより、ボディ領域28を活性化させる。
その後、第1の実施の形態に係る(h)〜(j)工程と同様の工程が行われる。
上記構成をなす本発明の第3の実施の形態によれば、ドリフト領域12と同時にボディ領域28を形成することが可能となり、スーパージャンクション構造を有するパワーMOSFET10を得るための作業工程を、短縮することが可能となる。
その他、本発明の第1、第2の実施の形態と同様の作用効果については、詳しい説明を省略する。
その他、本発明の第1、第2の実施の形態と同様の作用効果については、詳しい説明を省略する。
10:パワーMOSFET、12:ドリフト領域、28:ボディ領域、30:酸化膜層、 32、40、44、48、52:N型Si層、34:マスク材、36:トレンチ、 38、42、46:P型Si層、54:バルク基板、56:マスク材、58:トレンチ、60:酸素、62:酸化膜層、64:P型Si層、66:N型Si層、68:不要なSi層、 70:低濃度P型Si層
Claims (16)
- 半導体基板と直交する方向に広がる第1導電型半導体層領域及び第2導電型半導体層領域が、基板と平行な方向に交互に配置されて構成されたドリフト領域を備えるパワー半導体装置の製造方法であって、
半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、
前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、
更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すことを特徴とするパワー半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電型半導体材料からなるトレンチを、SOIの酸化膜層上に形成することを特徴とする請求項1記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 前記第1導電型半導体材料からなるトレンチの底面に酸素を注入し、その後に不活性雰囲気でアニール処理し、トレンチの底面に酸化膜層を形成することを特徴とする請求項1記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 選択エピタキシャル成長方法を用い、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返すことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることを特徴とする請求項4記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞し、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞する前に、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去し、その後、トレンチ内部を閉塞し、なおかつ、一方の導電型の半導体層で表面を覆うことを特徴とする請求項請求項1から5のいずれか1項記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整することを特徴とする請求項7記載のパワー半導体装置の製造方法。
- 半導体基板と直交する方向に広がる第1導電型半導体層領域及び第2導電型半導体層領域が、基板と平行な方向に交互に配置されて構成されたドリフト領域を備えるパワー半導体装置であって、
半導体基板に第1導電型半導体材料からなるトレンチを形成し、
前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、
更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部に異なる導電型の半導体層を交互に形成してなるパワー半導体装置。 - 前記第1導電型半導体材料からなるトレンチを、SOIの酸化膜層上に形成してなる請求項9記載のパワー半導体装置。
- 前記第1導電型半導体材料からなるトレンチの底面に酸素を注入し、その後に不活性雰囲気でアニール処理し、トレンチの底面に酸化膜層を形成してなる請求項9記載のパワー半導体装置。
- 選択エピタキシャル成長方法を用い、前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成することを特徴とする請求項9から11のいずれか1項記載のパワー半導体装置。
- 選択エピタキシャル製造方法に使用されるガス中に、塩酸を含めることを特徴とする請求項12記載のパワー半導体装置。
- 前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞し、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去してなる請求項9から13のいずれか1項記載のパワー半導体装置。
- 前記トレンチの全底面は覆わずに前記トレンチの壁を覆う第2導電型半導体層を形成し、更に、該第2導電型半導体層を覆う第1導電型半導体層を形成し、該第1導電型半導体層を覆う第2導電型半導体層を形成する工程を繰り返し、前記トレンチ内部を、交互に形成した異なる導電型の半導体層で閉塞する前に、表面に形成された半導体基板と平行な半導体層を除去し、その後、トレンチ内部を閉塞し、なおかつ、一方の導電型の半導体層で表面を覆ってなる請求項9から13のいずれか1項記載のパワー半導体装置。
- 前記表面の、一方の導電型の半導体層を、ボディ領域に要求される不純物濃度に調整してなる請求項14記載のパワー半導体装置。
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JP2006045469A JP2007227541A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | パワー半導体装置の製造方法及びパワー半導体装置 |
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JP2011040556A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 並列pn接合構造を有する半導体基板の製造方法 |
CN102420249A (zh) * | 2010-09-28 | 2012-04-18 | 株式会社东芝 | 功率半导体装置 |
-
2006
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