JP2007222797A - 熱伝導性シート及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、優れた熱伝導性、可撓性を有し、かつ折り曲げるなどの大きな変形を加えても、ひび割れ等の欠陥を生ずることなく、ショート等の事故を確実に防止することができて信頼性の高い熱伝導性シートの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 未硬化樹脂が塗布される開口領域を有するスクリーンにスキージを摺動させて、前記スクリーンを通して前記未硬化樹脂をグラファイトシートの上面に塗布する熱伝導性シートの製造方法において、前記開口領域にはグラファイトシートの端面に位置する余剰領域が設けられ、前記スキージが余剰領域の下部の空間に前記未硬化樹脂を浸出させて前記グラファイトシートの端面に前記未硬化樹脂を塗布する熱伝導性シートの製造方法である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱伝導性シートに関する。特に、各種の電気及び電子機器の発熱性部品から発生する熱を効率よく伝熱ないし放熱するための部材として好適に用いられる熱伝導性シート及びその製造方法に関する。

近年、電子機器の小型化、高性能化が進むにつれて、高密度に集積されたＣＰＵを搭載する機器や微細な制御を必要とする半導体製造装置などにおいては、その発熱量の増加に対して十分な冷却能力を確保することが困難になる各種の電気及び電子機器においては、発熱性部品から発生する熱を効率よく伝熱ないし放熱することが、誤作動を防止したり、製品寿命を延ばしたりする上で重要な課題となっている。したがって、そのような発熱を伴う電気及び電子機器においては、従来、伝熱ないし放熱のためにアルミニウム板、銅板、あるいは熱伝導性樹脂シートなどの熱伝導性シートを取り付けることが一般に行われている。

この熱伝導性シートとして、グラファイトを主材料とするグラファイトシートが知られている。例えば、（特許文献１）には、ポリ（ピロメリットイミド）などの高分子のフィルムを不活性ガス又は真空中４００〜７００℃の温度範囲で自己収縮を防止するように熱処理し、しかる後に１８００℃以上の温度で熱処理することを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法が開示されている。このグラファイトフィルム（グラファイトシート）は、金属板と比較すると軽く柔軟性があり、且つ熱伝導性が良いという特長を有するために、電子機器や装置、設備の熱伝導シートとして期待されている。また、グラファイトシートとしては、他にも、黒鉛粉末をバインダー樹脂と混合してシート状にするもの、あるいは膨張黒鉛を圧延してシート状にするものが知られている。

しかし、上述のようなグラファイトシートは、それ自体が電気伝導性を有するため、電子機器内に取付けた場合に部品間で電気的ショートを生ずる恐れがあった。また、表面から炭素粉が磨耗・落下するなどして電気的に悪影響を及ぼす恐れもあった。さらに、グラファイトシートを湾曲させるなどして変形させた際、あるいは保管時に積層させている保護フィルムや離型シートを、使用するにあたって除去する際に、グラファイトに部分的な応力が集中して発生し、そのため強度低下や割裂を生じる場合があった。したがって、割裂などを生じた部分でショートを起こす可能性があり、使用時における信頼性の点で問題があった。この問題は、近年の電子機器の小型化に伴い、熱伝導性シートをより小さな空間に組み込むことが要求される中でますます重要になっている。

これに対し、グラファイトシートの表面を樹脂の被覆層で覆うことで、上述のようなショートの問題を回避し、また機械的強度に優れて折り曲げにも強い熱伝導性シートが知られている。例えば（特許文献２）には、セラミックシートやフィルムで被覆層が表面に設けられたグラファイトシートが開示されている。しかしながら、表面のセラミックシートやフィルムは熱伝導度が低いためできるだけ薄いフィルムを使用することが望ましいが、薄いフィルムは取り扱いが困難であるという問題があった。

また、（特許文献３）には、グラファイトシート上に蒸着やＣＶＤなどの真空蒸着法を用いて被覆層を設ける工程を有する熱伝導性シートの製造方法が記載されている。しかしながら、熱伝導性シートの用途によっては、シートに要求される性能として真空蒸着まで必要としない場合があり、その場合には上記（特許文献２）などの従来技術は量産性に劣り、コストも高いという問題点があった。また、熱伝導性シートの用途や取り付け位置によっては、絶縁する部分をシート面の一部に限ったり、シートの絶縁性が面内で一様でなく、部分部分で異なるように形成することが望まれるが、従来の真空蒸着による方法では上記要望に対応し難かった。

さらに、（特許文献４）には、グラファイトシートの表面に、ディッピング、スピンコート、スクリーン印刷、刷毛塗りなどのコーティング方法で樹脂コーティング膜を設けたグラファイトシートが提案されている。しかしながら、上述のコーティング方法においては、表面のみならず端面などにも被覆膜を設けるという試みはなされておらず、グラファイトシートの端面からグラファイト粉末が脱離してしまうという問題が依然としてあった。

特公平１−４９６４２号公報（請求項１） 特開２００１−２８７２９９号公報 特開２００１−２８７２９９号公報（請求項８） 特開２００２−０１２４８５号公報（請求項６）

そこで本発明は、上記従来の状況に鑑み、優れた熱伝導性、可撓性を有し、かつ折り曲げるなどの大きな変形を加えても、ひび割れや端面からのグラファイト粉末の脱離などの欠陥を生ずることなく、ショートなどの事故を確実に防止することができる信頼性の高い熱伝導性シートの製造方法を提供することを目的とする。
また本発明は、量産性、コストに優れ、効率的に製造できて積層不良などの問題を生じない、新規な熱伝導性シートの製造方法を提供することを目的とする。
さらに本発明は、絶縁性の大きさをシートの表面上の位置によって自在に制御することが容易な、熱伝導性シートの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の熱伝導性シートの製造方法は、請求項１として、未硬化樹脂が塗布される開口領域を有するスクリーンにスキージを摺動させて、前記スクリーンを通して前記未硬化樹脂をグラファイトシートの上面に塗布する熱伝導性シートの製造方法であって、前記開口領域にはグラファイトシートの端面に位置する余剰領域が設けられており、前記スキージが余剰領域の下部の空間に前記未硬化樹脂を浸出させて前記グラファイトシートの端面に前記未硬化樹脂を塗布することを特徴とする。

上記手段によれば、未硬化樹脂が塗布される開口領域を有するスクリーンにスキージを摺動させて未硬化樹脂を塗布するので、グラファイトシートの所望の位置に未硬化樹脂をコーティングすることができる。また、開口領域にはグラファイトシートの端面に対応する位置にグラファイトシート上面に対して重なり合わない余剰領域が設けられており、スキージが余剰領域に位置する場合にはスクリーンの下部の空間に未硬化樹脂を落とし込むのでグラファイトシートの端面に対して確実に未硬化樹脂が塗布される。

また、請求項２では、請求項１記載の熱伝導性シートの製造方法において、未硬化樹脂は、グラファイトシートの上面及び端面を覆うように塗布されることを特徴とする。

上記手段によれば、グラファイトシートの上面及び端面が絶縁化される、機械的強度が向上し、グラファイトシートの粉末が脱離するのを防止できる。

また、請求項３では、請求項１記載の熱伝導性シートの製造方法において、未硬化樹脂は、グラファイトシートの上面の一部と端面とを覆うように塗布されることを特徴とする。

上記手段によれば、グラファイトシートの上面の一部と端面に被覆層を形成しているので、機械的強度が向上し、グラファイトシートの粉末が脱離するのを防止でき、さらには被覆層が形成されていない面では電気伝導性も有することとなる。

また、請求項４では、請求項１〜３のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、開口領域の余剰領域は、開口領域の境界からグラファイトシートの端面に対応する位置までの余剰長さがグラファイトシートの厚みの０．２〜１０倍となるように設けられたことを特徴とする。

上記手段によれば、開口領域の余剰領域における開口領域の境界からグラファイトシートの端面に対応する位置までの余剰長さが、グラファイトシートの側面に十分に未硬化樹脂を塗布する観点からグラファイトシートの厚みとの関係で最適化される。

また、請求項５では、請求項４記載の熱伝導性シートの製造方法において、開口領域の余剰領域は、開口領域のスキージ摺動開始側の境界からグラファイトシートのスキージ摺動開始側の端面に対応する位置までの余剰長さが、他の余剰領域における余剰長さの１．５〜２．５倍であることを特徴とする。

上記手段によれば、スキージの進行方向に向かって手前の余剰領域における開口領域の境界からグラファイトシートの端面に対応する位置までの余剰長さが、グラファイトシートの側面に十分に未硬化樹脂を塗布する観点から最適化される。

また、請求項６では、請求項１〜５のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、スクリーンとグラファイトシートとの間の距離が０．１〜２ｍｍであることを特徴とする。

また、請求項７では、請求項１〜６のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、スキージの進行方向前面の傾斜角度が２５〜７０°であることを特徴とする

上記各手段によれば、グラファイトシートの上面や端面に均一かつ十分に塗布するために、最適なスクリーン上の未硬化樹脂が塗布された開口領域、スクリーンとグラファイトシートとの間の距離、又はスキージの進行方向前面の傾斜角度が選択される。

さらに、請求項８では、請求項１〜７のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートの上面が予め平坦化処理されていることを特徴とする。

上記手段によれば、グラファイトシートの上面や端面に均一かつ十分に塗布するために、グラファイトシートの形状が最適化される。

さらに、請求項９では、請求項１〜８のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられていることを特徴とする。

上記手段によれば、熱伝導性シートの電子機器や電気機器への取付けが容易になる。

また、請求項１０では、請求項９記載の熱伝導性シートの製造方法において、複数個のグラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられていることを特徴とする。

また、請求項１１では、請求項１０記載の熱伝導性シートの製造方法において、複数個のグラファイトシートが複数種類の形状を有することを特徴とする。

上記手段によれば、１枚の離型シート上に複数個ないし複数種類のグラファイトシートが設けられているので効率よく熱伝導性シートを製造することが可能となる。

また、請求項１２では、請求項９〜１１のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられた積層体は、前記グラファイトシート及び前記粘着層が所定の形状にカットされ、それ以外のグラファイトシート不要部及び粘着層不要部は除去されたものであることを特徴とする。

上記手段によれば、離型シート上にグラファイトシートを設けた場合における、グラファイトシート、粘着層、及び離型シートから構成される積層体の製造方法が最適化される。

さらに、本発明の熱伝導性シートは、請求項１３として、請求項１〜１２記載の熱伝導性シートの製造方法により製造された熱伝導性シートであることを特徴とする。

上記手段によれば、グラファイトシートの端面が被覆層により覆われているので、端面からグラファイト粉末が脱離することがない。

以上のように、本発明の熱伝導性シート及びその製造方法によれば、優れた熱伝導性、可撓性を有し、かつ折り曲げるなどの大きな変形を加えても、ひび割れなどの欠陥を生ずることなく、ショートなどの事故を確実に防止することができて信頼性が高い。
さらに本発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、被覆層をシートの表面上に任意の位置に任意の大きさで形成することが容易になる。
また本発明の熱伝導性シート及びその製造方法によれば、量産性、コストに優れ、効率的に製造できて積層不良などの問題を生じることがない。

以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
まず、本発明の熱伝導性シートの製造方法を実施の形態（１）に基づいて詳細に説明する。本発明の熱伝導性シートを製造するために用いるスクリーン印刷装置の概略構造を図１に示している。支持台４０上には、スクリーン印刷の対象物となるグラファイトシート１０が載置されている。そして、支持台４０の上方には、スクリーン枠２２にスクリーン２１が張られているスクリーン印刷板２０が設けられている。そして、スクリーン印刷版２０の上方にはスクリーン２１を加圧・摺動することによってスクリーン２１に塗布された未硬化樹脂をグラファイトシート１０に押し出すためのスキージ３０が設けられている。なお、グラファイトシート１０は、離型シート１３上に粘着層１２を介して設けられている。

まず、スクリーン印刷に用いるスクリーン印刷版２０について説明する。スクリーン印刷版２０は、スクリーン枠２２に張られたスクリーン２１にはスクレッパー等により未硬化樹脂２３が塗布されてなる。スクリーン２１は、スクリーンメッシュに感光乳剤樹脂を全面に塗布し、所定の領域の感光乳剤を露光・現像することで作成される。作成されたスクリーン２１は、図２に示すように、スクリーンメッシュが剥き出しとなり未硬化樹脂２３が塗布される開口領域２１１と感光乳剤樹脂が残りメッシュ孔が充填された非開口領域２１２とを有する。開口領域２１１は塗布対象物であるグラファイトシート１０の大きさや形状に応じて適宜設定されるが、グラファイトシート１０の上面と端面１０１にコーティングする場合には、図２に示すようにグラファイトシート１０の上面に対応する上面対応領域２１１ｅと、グラファイトシート１０の端面に対応する位置の周囲に余剰領域２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄが設けられる。余剰領域の大きさは、具体的には図２に示すように、スキージ３０の進行方向に向かって手前のスキージ摺動開始側における余剰領域２１１ａは、余剰領域２１１ａのスキージ摺動開始側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動開始側における端面１０１ａに対応する位置までの余剰長さａがグラファイトシート１０の厚みｄの０．２〜１０倍であることが好ましく、１〜１０倍であることが特に好ましい。また、スキージ３０の進行方向に沿った左右の各余剰領域２１１ｂ、２１１ｃは、各余剰領域２１１ｂ、２１１ｃのスキージ摺動方向に沿った境界からグラファイトシート１０のスキージ進行方向に沿った端面１０１ｂに対応する位置までの余剰長さｂ１、ｂ２がそれぞれグラファイトシート１０の厚みｄの０．２〜１０倍であることが好ましく、１〜５倍であることが特に好ましい。また、同様にスキージ３０の進行方向に向かって奥のスキージ摺動終了側における余剰領域２１１ｄは、余剰領域２１１ｄのスキージ摺動終了側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動終了側における端面１０１ｃに対応する位置までの余剰長さｃがそれぞれグラファイトシート１０の厚みｄの０．２〜１０倍であることが好ましく、１〜５倍であることが特に好ましい。そして、特に、スキージ３０の進行方向に向かって手前の開口領域２１１の余剰長さａは、スキージ３０の進行方向に向かって奥の開口領域２１１の余剰長さｃに対して１．５〜２．５倍程度であることが好ましい。スキージ３０の進行方向に向かって手前では、余剰長さａを大きくとっておくことで、スキージ３０の進行方向に向かって手前に位置するグラファイトシート１０の端面１０１ａにも十分量の未硬化樹脂２３を塗布することが可能となる。なお、スキージ３０が余剰領域２１１ａに位置しておりグラファイトシート１０の端面１０１ａに対応する位置まで移動するまでは、スキージ３０によるスクリーン２１への押圧が十分ではないため、余剰長さａが短い場合にはグラファイトシート１０の端面１０１ａへの未硬化樹脂２３の塗布量が不十分となる場合がある。

また、スクリーン２１と印刷対象物であるグラファイトシート１０との距離ｈについては、０．１〜２ｍｍであることが好ましく、０．５〜１．５ｍｍであることが特に好ましい。スクリーン２１とグラファイトシート１０との距離ｈが大きい場合には、スクリーン２１とグラファイトシート１０との間に形成される角度αが大きくなるため、スクリーン２１とグラファイトシート１０との接触面積が小さくなり、グラファイトシート１０の端面１０１において未硬化樹脂２３が十分に押し出されず、グラファイトシート１０の端面１０１への未硬化樹脂２３の塗布が不十分となる場合がある。また、距離ｈが小さい場合には、スキージ３０が通過した際のスクリーン２１のグラファイトシート１０からの版離れが悪く、未硬化樹脂２３のスクリーン２１からグラファイトシート１０表面への移行がスムーズに行われないことがある。

また、スクリーン２１の材質としては、通常、ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、シルク繊維、ステンレス鋼などの金属製のスクリーンが好適に用いられる。この中でも金属製のスクリーンはテンションが高いため特に好適に用いられる。スクリーン２１のテンションとしては１５００Ｎ／ｍｍ^２〜３５００Ｎ／ｍｍ^２の範囲内が好ましく、特に２０００Ｎ／ｍｍ^２〜３０００Ｎ／ｍｍ^２であることが好ましい。スクリーン２１としてこのような高いテンションを有するものを用いることで、スキージ３０が通過した際のスクリーン２１のグラファイトシート１０からの版離れを良くすることができる。また、スクリーン２１のテンションが高いので、スクリーン２１とグラファイトシート１０との距離ｈを小さくし、好適な距離に保持することが可能となる。なお、スクリーン２１のテンションが低い場合には、スキージ３０が通過した際のスクリーン２１のグラファイトシート１０からの版離れが悪く、未硬化樹脂２３のスクリーン２１からグラファイトシート１０表面への移行がスムーズに行われないことがある。また、スクリーン２１のメッシュについては、塗布する未硬化樹脂の種類などに応じて適宜設定されるが、メッシュ数は通常２００〜５００ｍｅｓｈ（１ｉｎｃｈ当たりの網目の数）であり、特に３００〜４００ｍｅｓｈのものが好適に用いられる。また、目開きは通常３０〜７５μｍであり、４０〜５０μｍであることが好ましい。

さらに、未硬化樹脂２３としては、特に限定されるものではないが、硬化させた際に耐熱性と可撓性を有することが好ましい。硬化させた際に耐熱性と可撓性を有する未硬化樹脂２３としては、架橋樹脂が好ましく、各種の熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂、あるいは電子線硬化樹脂が好適に用いられる。具体的には、ポリイソシアネート未硬化樹脂、ポリエステル未硬化樹脂、アクリル系未硬化樹脂、ポリアミド未硬化樹脂、ポリイミド未硬化樹脂、フェノール未硬化樹脂、シリコーン未硬化樹脂、ポリビニルアルコール未硬化樹脂などを用いることができる。なお、未硬化樹脂２３の粘度としては１０００ｃｐｓ〜２００００ｃｐｓであることが好ましく、３０００ｃｐｓ〜１５０００ｃｐｓであることが特に好ましい。粘度が低い場合には、グラファイトシート１０の端面１０１に塗布される未硬化樹脂２３が離型シート１３上に拡がってしまい、端面１０１に対して十分に塗布できない場合がある。一方、粘度が高い場合には、スクリーン２１からグラファイトシート１０へ未硬化樹脂２３がスムーズに移行しないことがある。また、未硬化樹脂２３の粘度を制御することが重要となる場合には、チキソトロピック性を付与することも好ましく、各種無機顔料や脂肪酸誘導体などの添加剤を混合しても良い。

また、未硬化樹脂２３には、必要に応じて、熱伝導性のフィラーを配合することができる。これにより、被覆層１１の熱抵抗を低下させ、熱伝導性シート１全体としての放熱性をより高めることができる。熱伝導性のフィラーとしては、未硬化樹脂２３に対する分散性に優れ、また用途によっては電気絶縁性を有するものが要求される。具体的には、軟磁性又は硬軟磁性フェライト、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタン、窒化ジルコニウムなどの窒化物、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化ケイ素、酸化ホウ素、酸化チタン、酸化ジルコニウムなどの酸化物、純鉄、金属ケイ素、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイルなどを挙げることができる。その中でも、Ｎｉ−Ｚｎ系軟磁性フェライト、及びアルミナは、相応に熱伝導性が高く、シリコーンの硬化阻害を起こし難く、またシリコーンへの分散性にも優れているため特に好ましく用いられる。なお、上記の各種フィラーは複数種を併用しても良い。熱伝導性フィラーの形状は、球状、繊維状、不定形状などの任意の形状が適用可能である。また、その大きさは、シリコーンに対する分散性などの観点から、粒径３〜５０μｍ程度とすることが好ましい。さらに、熱伝導性フィラーの配合量は、シリコーンエラストマー層１２の良好な成形性を確保し、かつ十分な熱伝導性を付与するために、シリコーンエラストマー層１２の全体に対して２０〜８０重量％とすることが適当である。その他にも、未硬化樹脂２３には、本発明の目的を損なわない範囲で、可塑材、着色剤、難燃剤、硬化剤、硬化促進剤などの一般的な添加剤を適宜配合することができる。

なお、未硬化樹脂２３の硬化方法としては、架橋樹脂である熱硬化樹脂を用いる場合には、熱風乾燥炉や近赤外線乾燥炉を使用し、紫外線硬化樹脂を用いる場合には、高圧水銀ランプやメタルハライドランプや高出力ＵＶ−ＬＥＤランプを使用するなどして未硬化樹脂２３の種類に応じて適当な硬化方法を用いて硬化することができる。

また、スキージ３０は、通常のスクリーン印刷で用いられているものと同様の形状及び構造のものが使用でき、例えばゴム板をホルダーに挟んだものなどが用いられる。なお、スキージ３０の進行方向前面の傾斜角度θについては、好ましくは２５°〜７０°であり、特に好ましくは３０°〜５５°である。スキージ３０の進行方向前面の角度θが小さい場合には、スクリーン２１とグラファイトシート１０との間に形成される角度αが大きくなり、スクリーン２１とグラファイトシート１０との接触面積が小さくなる。このため、グラファイトシート１０の端面１０１において未硬化樹脂２３が十分に押し出されず、グラファイトシート１０の端面１０１への未硬化樹脂２３の塗布が不十分となる場合がある。なお、スキージ３０の硬度は、ショア硬度６０°〜８０°程度であることが好ましく、硬度が８０°より大きい場合には、スクリーン２１がグラファイトシート１０と接触した際にグラファイトシート１０の上面との間に形成される接触角度αが大きくなるため、スクリーン２１とグラファイトシート１０との接触面積が小さくなる。このため、グラファイトシート１０の端面１０１において未硬化樹脂２３が十分に押し出されず、グラファイトシート１０の端面１０１への未硬化樹脂２３の塗布が不十分となる場合がある。また、スキージ３０の硬度が６０°より小さい場合には、スキージ３０のスクリーン２１への接触が不安定となり、結果としてグラファイトシート１０に形成された被覆層１１の表面にムラが発生したりや、グラファイトシート１０の端面１０１への未硬化樹脂２３の押し出し量にムラが発生することがある。

そして、未硬化樹脂２３の塗布対象物となるグラファイトシート１０としては、従来知られた各種の黒鉛シートを適宜選択して用いることができる。例えば、天然黒鉛から製造したシートや、高分子化合物を黒鉛化してシート状としたものなどが挙げられるが、その製造由来は問わない。天然黒鉛からグラファイトシートを製造する方法としては、例えば、天然鱗状黒鉛などの黒鉛構造を有する素材を濃硫酸と酸化剤の混合溶液中に分散させた後に高温急加熱して、その後圧延処理、脱硫酸処理を行うことで黒鉛層が積層されたグラファイトシート１０を得ることができる。また、高分子化合物を黒鉛化してグラファイトシートを製造する方法としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスオキサゾールなどの高分子化合物を焼成した後、必要に応じて圧延処理することでグラファイトシートを得ることが可能である。また、グラファイトシート１０としては、取り付け対象部品に沿って密着させるため、可撓性を有することが好ましい。また、グラファイトシート１０の厚さは、厚過ぎると可撓性が損なわれ、逆に薄いと強度が低下するため、これらのバランスを考慮して適宜設定される。具体的には、０．０８〜０．５ｍｍ程度とすることが適当である。

また、グラファイトシート１０には、各種電気及び電子機器に対して簡便に取り付け可能となるように、粘着層１２を介して離型シート１３が設けられた積層体となっている。粘着層１２は、ポリエステルフィルムや不織布などの基材の両面に粘着剤を形成した両面テープや、基材を使用しない両面テープ、または、液状の粘着剤をグラファイトシートに直接コーティングして得られるものであっても良い。前記の粘着剤１２としては、天然ゴム系、合成ゴム系、アクリル系、シリーコン系などの各種粘着剤を用いることができる。粘着層１２の厚みは１０〜８０μｍであることが好ましく、粘着層１２が厚い場合には、折り曲げて使用する際に表面コーティングの変形量が大きくなるため、ヒビが入りやすくなり粉落ちなどの問題を解決することが困難となり、薄い場合には、粘着力が不足しやすく、長期使用時などに機器内でグラファイトシートが落下するなどの問題の原因となることがある。

離型シート１３としては、各種高分子材料、紙などを適宜選択して用いることができるが、使用する未硬化樹脂２３に対する濡れ性が低く、空気中の水分による収縮や膨張によるうねりを生じない吸湿性の低い材料を用いることが好ましい。このような離型シート１３の具体例としては、ポリエチレンまたはポリプロピレンなどの高分子シート、ポリエチレンなどの高分子がラミネートされた紙、あるいは、ポリエステルフィルムやポリエチレンがラミネートされた紙の表面に反応性シリコーン樹脂が塗布されたシート等が挙げられる。未硬化樹脂２３に対する濡れ性が低いものを用いることで、未硬化樹脂２３をグラファイトシート１０に塗布した際に、端面１０１に塗布された未硬化樹脂２３が離型シート上に拡がることを抑制することができる。一方、紙などの未硬化樹脂２３に対する濡れ性の高い材料を用いた場合には、グラファイトシート１０の端面１０１に塗布された未硬化樹脂２３が離型シート上に広がり、端面１０１に対するコーティングも不十分となる恐れがある。また、離型シート１３の厚みは、５０〜２００μｍ程度が好ましく、これより薄いと離型シート１３を残してグラファイトシート１０と粘着層１２を所定の部品形状にカットする（ハーフカットする）際に、離型シート１３まで切れないようにするために加工精度が高くする必要が生じコストアップの要因となる。一方、離型シート１３の厚みが厚い場合には、材料費と廃棄物の量が増加するため好ましくない。

離型シート１３上に設けられた、粘着層１２とグラファイトシート１０は、通常未硬化樹脂２３を塗布して被覆層１１を形成する前に、各種用途に応じて適した形状にハーフカットが行われる。さらにハーフカットした形状以外のグラファイトシート１０と粘着層１２の不要部は少なくともを被覆層１１を形成する前に除去され、離型シート１３上にグラファイトシート１０と粘着層１２が積層された部品のみが形成された状態とする。なお、離型シート１３上に形成されるグラファイトシート１０と粘着層１２からなる部品は複数個を多面付けしても良い。また、複数の種類の部品が存在する場合には、二種以上の部品を有する複数個の部品を多面付してもよい。さらには、複数の種類の部品が存在する場合には、二種以上の部品をペアにして多面付けすることも可能である。これは、部品の大きさとスクリーン（スクリーン印刷機）の大きさにもよるが、生産性の観点から多面付けして一度に複数個の部品をコーティングすることが好ましい。

また、本発明の熱伝導性シートを作製するに当たっては、連続するロール状のグラファイトシートに粘着層の形成、離型シートのラミネート（もしくは両面テープのラミネート）をおこなった後に、連続するシートの状態のままで部品のハーフカットと不要部位の除去、スクリーン印刷によるコーティングと未硬化樹脂の硬化をおこなった後、用途に合わせた適切な大きさに切断しても良いし、再度ロールに巻き取っても良い。ロールに巻き取る際には、グラファイトシートの厚みによる制約が発生し、厚すぎるとグラファイトシート部品が離型シートに追従しにくくなるため、グラファイトシート部品の設計にもよるが、概ねグラファイトシートの厚みを０．３μｍ以下とすることが好ましい。

なお、グラファイトシート１０は、通常未硬化樹脂２３の塗布を行う前に、各種用途に応じて適した形状にカッティングが行われるが、カッティングの際にグラファイトシート１０の上面端部が盛り上がり、凸部が形成されることがある。この場合には、グラファイトシート１０を予め平坦化処理することが好ましい。平坦化処理の方法としては、図３に示すようにローラー５０を用いて盛り上がった凸部１０２を圧縮する方法が挙げられる。グラファイトシート１０の上面端部の盛り上がりによる凸部１０２を平坦化することにより、樹脂を塗布する際にグラファイトシート１０の上面端部から端面１０１に向けてスムーズに未硬化樹脂２３が押し出されるので、端面１０１のコーティングをムラ無く均一に行うことが可能となる。なお、グラファイトシート１０の上面端部が盛り上がっている場合には、樹脂２３の塗布を行う際に、形成された凸部によりグラファイトシート１０の端面１０１に未硬化樹脂２３が十分に流れ落ちず端面１０１に対するコーティングが十分に行われない場合がある。また、グラファイトシート１０の上面端部の盛り上がりを抑制するために、グラファイトシート１０をカッティングする際にカッター５１の刃として片刃のものを用いることもできる。片刃のものを用いることで、図４に示すようにグラファイトシート１０の盛り上がりが抑制されることとなる。なお、他方の盛り上がったグラファイトシート不要部１０ａ及び粘着層不要部１２ａは除去される。

続いて、図５及び図６に基づいて本発明の熱伝導性シートの製造方法について説明する。図５に示すように、本発明の熱伝導性シートの製造方法では、支持台４０上に載置されたグラファイトシート１０の表面に、未硬化樹脂２３が塗布されているスクリーン２１をスキージ３０により加圧・摺動して、未硬化樹脂２３をグラファイトシート１０の表面に押し出すことで、未硬化樹脂２３からなる被覆層１１が上面及び端面１０１に形成された熱伝導性シートが得られる。

具体的には、まず、図６（ａ）に示すようにスクリーン２１の上面に配置されたスキージ３０が下降し、開口領域２１１の余剰領域２１１ａの境界に接触し、スクリーン２１の下面がグラファイトシート１０の上面よりも低い位置まで押し下げる。そして、スキージ３０を水平移動させることで、図６（ｂ）に示すようにスキージ３０が余剰領域２１１ａに位置する場合に余剰領域２１１ａに塗布された未硬化樹脂２３はスキージ３０によりスクリーン２１の下部の空間に落とし込まれ、スクリーン２１と離型シート１３との間の空間に充填される。これにより、グラファイトシート１０の端面１０１ａに未硬化樹脂２３が塗布され、被覆層１１が形成される。この際、余剰部分２１１ａが、余剰領域２１１ａの境界からグラファイトシート１０の端面１０１ａに対応する位置までの余剰長さａを適宜設定することで、未硬化樹脂２３が離型シート１３上に大きくはみ出すこと無く、グラファイトシート１０の端面１０１ａにのみ未硬化樹脂２３が押し出され被覆層１１が形成されることが可能となる。続いて、図６（ｃ）に示すように、スキージ３０はグラファイトシート１０の上面に対応する上面対応領域２１１ｅを移動し、グラファイトシート１０の上面に未硬化樹脂２３が塗布される。この際、スキージ３０をグラファイトシート１０の上面とスクリーン２１とが接触するように摺動することで、グラファイトシート１０の上面に未硬化樹脂２３を薄く塗布することが可能となる。また、この際グラファイトシート１０の進行方向に沿った端面１０１ｂには余剰領域２１１ｂ及び２１１ｃに塗布された未硬化樹脂２３がスキージ３０によりスクリーン２１の下部の空間に落とし込まれる。これにより、スクリーン２１と離型シート１３との間の空間に充填され、端面１０１ｂには樹脂２３が塗布される。次に、スキージ３０は、図６（ｄ）に示すように、スキージ３０が余剰領域２１１ｄに位置する場合には、余剰領域２１１ｄの未硬化樹脂２３はスキージ３０によりスクリーン２１の下部の空間に落とし込まれ、スクリーン２１と離型シート１３との間の空間に充填され、グラファイトシート１０の端面１０１ｃにも未硬化樹脂２３が塗布されることになる。そして、図６（ｅ）に示すように、最後にスキージ３０が上昇し、スクリーン２１は印刷対象物であるグラファイトシート１０から離れる。

なお、スキージ３０の圧力については、図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、グラファイトシート１０の形状に沿ってスムーズに移動するような圧力に設定することがが好ましく、通常は０．１〜２．０ＭＰａ程度であり、好ましくは０．２〜１．０ＭＰａである。スキージ３０の高さ位置については、スキージ３０を降下させた際にスクリーン２１の下面が印刷対象物であるグラファイトシート１０上面の高さよりも低くなるように設定することが好ましい。具体的には、スキージ３０を降下させた際にスクリーン２１の下面の高さ位置が、グラファイトシート１０上面の高さよりも０．０２〜０．２ｍｍ程度低くなるように設定することが好ましい。

以上のように、グラファイトシート１０に対して未硬化樹脂２３をスクリーン印刷によりコーティングすることで図７に示すような上面及び端面１０１に被覆層１１が形成された熱伝導性シート１が得られる。なお、本発明の熱伝導製シートの製造方法によれば、上面に形成された被覆層１１は、１０〜３０μｍの厚みの薄い被膜が均一に形成される。また、グラファイトシートの端面１０１に形成された被覆層１１の厚みは、グラファイトシート１０の厚みｄに対して０．３〜１倍程度の薄い被覆層１１を形成することが可能となる。具体的には、５０μｍ〜１ｍｍの厚みの被覆層１１が形成される。

なお、グラファイトシート１０に対する未硬化樹脂２３の塗布量は、少な過ぎるとグラファイトシートの粉落ちを防止できない、十分な電気絶縁性が得られないことがあり、逆に多過ぎると全体の熱伝導性が阻害されるため、これらのバランスを考慮して適宜調節される。具体的には、完全なオイルバリア性を発揮させ、かつ熱伝導シート全体としての熱抵抗を低い水準に維持するためには、固形分（乾燥重量）にして１〜３ｇ／ｍ^２とすることが好ましい。また、未硬化樹脂２３からなる被覆層１１の厚さは適宜設定することができるが、取り付け対象部品との密着性を確保するために、硬化後の厚さで、少なくとも１５μｍ以上が好ましく、その中でも１８μｍ〜１ｍｍが特に好ましい。また、熱伝導性シート１の全体の厚さ、すなわちグラファイトシート層１０、被覆層１１を合計した厚さは、０．１５〜１．６ｍｍ（上面最小厚さ〜両面最大厚さ）が適当であるが、これに限定されるものではない。

以上のように、実施の形態（１）の熱伝導性シートの製造方法によれば、優れた熱伝導性、可撓性を有し、信頼性が高い熱伝導性シートが得られる。また本発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、量産性、コストに優れ、効率的に製造できて積層不良などの問題を生じることがない。さらに本発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、絶縁性の大きさをシートの表面上の位置によって自在に制御することが容易になる。また、本発明の熱電創世シートによれば、グラファイトシートの端面１０１が被覆層により覆われているので、端面１０１からグラファイト粉末が脱離することがなく、電子機器内に取付けた場合に電気的に悪影響を及ぼす恐れがない。

続いて、本発明の実施の形態（２）に係る熱伝導性シートの製造方法を図５及び６に基づいて詳細に説明する。
実施の形態（２）においては、図８に示すように塗布対象物であるグラファイトシート１０が楕円形状であり、また、スクリーン印刷版２０のスクリーン２１に未硬化樹脂２３が塗布された開口領域２１１がグラファイトシート１０の上面端部と端面１０３に対応する領域のみであり、その領域以外は何も塗布されていない非開口領域２１２であること以外は実施の形態（１）と同様に行った。

スクリーン印刷に用いるスクリーン印刷版２０について図９に基づいて具体的に説明する。スクリーン印刷版２０は、スクリーン枠２２に張られたスクリーン２１に未硬化樹脂２３が塗布されてなる。スクリーン２１は、図９に示すように、スクリーンメッシュが剥き出しとなり未硬化樹脂２３が塗布される開口領域２１１と感光乳剤樹脂が残りメッシュ孔が充填された非開口領域２１２とを有する。そして、開口領域２１１はグラファイトシート１０の上面の端部と端面１０３に樹脂をコーティングするので、図９に示すようにグラファイトシート１０の上面の端部に対応する上面対応領域２１１ｇと、グラファイトシート１０の上面に対して余剰領域２１１ｈが生じるように設けられる。また、グラファイトシート１０の中央部に対応する位置は非開口領域２１２となっている。そして、余剰領域の大きさは、具体的には図９に示すように、スキージ３０の進行方向に向かって手前のスキージ摺動開始側においては、余剰領域２１１ａのスキージ摺動開始側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動開始側における端面１０３に対応する位置までの楕円の長軸付近における余剰長さａがグラファイトシート１０の厚みｄの０．３〜５倍であることが好ましい。また、スキージ３０の進行方向に沿った各余剰領域２１１ｂ、２１１ｃのスキージ摺動方向に沿った境界からグラファイトシート１０の端面１０３に対応する位置までの楕円の短軸付近の余剰長さｂ１、ｂ２はそれぞれグラファイトシート１０の厚みｄの０．２〜３倍であることが好ましい。また、同様にスキージ３０の進行方向に向かって奥のスキージ摺動終了側におけるスキージ摺動終了側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動終了側における端面１０３に対応する位置までの楕円の長軸付近における余剰長さｃがそれぞれグラファイトシート１０の厚みｄの０．２〜３倍であることが好ましい。

上記のようなスクリーン印刷版２０を用いて実施の形態（１）と同様にグラファイトシートに対してスクリーン印刷を行うと図１０に示すように上面の端部及び端面１０３のみに未硬化樹脂２３が塗布され被覆層１１が形成された熱伝導性シート１が得られる。

以上のように、実施の形態（２）の熱伝導性シートの製造方法によれば、（実施の形態（１）と同様の効果を奏する以外にも、スクリーン２１への開口領域２１２の大きさ及び位置を適宜設定することで、グラファイトシート１０の表面上の位置に応じてシートの絶縁性を自在に制御することが容易になる。また、得られた熱伝導性シートによれば、被覆層１１が形成されていない領域では電気伝導性を有するので、電気伝導性が必要とされる用途において好適に用いられる。

以下、本発明について、実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例に特に限定されるものではない。

（実施例１〜１４）
各実施例の実施条件を表１に示す。コーティング対象物であるグラファイトシート１０としては、図１１に示すように離型シート上に粘着層を介して８面付されたものを用いた。なお、グラファイトシート１０には、表１に示すような厚さを有する幅１００ｍｍ×長さ５０ｍのロールのグラファイトシート（λ−ＧＳ、鈴木総業製）を用いた。また、粘着層１２及び離型シート１３としては、アクリル系粘着剤を用いた厚さ０．０３ｍｍで幅１００ｍｍ×長さ５０ｍのロールの両面テープ（７０７、寺岡製作所製）を用いた。それらを上面からグラファイトシート１０、両面テープの粘着層１２、両面テープの離型シート１３の順になるようにラミネータ（大成ラミネータ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（０．８ｋｇ／ｃｍ²）しながら連続して貼り合わせた後、そのまま、図１１に示すような８面付けのパターンにてグラファイトシート１０と粘着層１２をトムソン刃（片刃）を用いて順にハーフカットして、グラファイトシート不要部と粘着層不要部を取り除いた。なお、ここでハーフカットとは、グラファイトシートと粘着層はカットされ剥離紙はカットされていない状態を表す。

そして、図１０に示すような開口領域２１１と非開口領域２１２とを有するパターンで現像したステンレス製のスクリーン２０を用いて、スクリーン印刷装置（ＬＳ−２５ＧＸ、ニューロング製）により、グラファイトシートの表面及び端面に未硬化樹脂をコーティングした。なお、未硬化樹脂２３としては希釈しないアクリルウレタン樹脂のＵＶ硬化型樹脂（ＵＶ ＦＩＬ−３８３クリヤー、帝国インキ製造製）を用いた。また、スクリーンとしては、メッシュ数が３２５Ｍｅｓｈで目開きが４８μｍのものを使用した。最後に、高圧水銀灯によるＵＶ硬化装置により未硬化樹脂を硬化して、離型シートを切断して熱伝導製シートを得た。スクリーン印刷の各条件（グラファイトシートの厚み、樹脂の粘度、スクリーンとグラファイトシートとの間の距離ｈ、スキージの進行方向前面の傾斜角度θ、開口領域２１１のスキージ摺動開始側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動開始側における端面１０１ａに対応する位置までの余剰長さａ、開口領域２１１のスキージ進行方向に沿った境界からグラファイトシート１０のスキージ進行方向に沿った端面１０１ｂに対応する位置までの余剰長さｂ、開口領域２１１のスキージ摺動終了側の境界からグラファイトシート１０のスキージ摺動終了側における端面１０１ｃに対応する位置までの余剰長さｃ）を表１に示す。なお、各工程の間には必要に応じてバッファを設け、各工程所要時間のズレを吸収できるようにした。

（比較例１）
実施例１と同様にグラファイトシートと粘着層から成るグラファイトシート部品が積層された離型シートを形成した後、実施例と同様の厚さのコーティング膜を得るために、ＭＥＫで５０ｗｔ％に希釈した未硬化樹脂を用い、ロールコーターで塗工、乾燥、及び紫外線硬化したところ、グラファイト表面のコーティング膜は１６μｍの厚さであった。その後は実施例１と同様にしてコーティングを施した熱伝導性シートを得た。得られた熱伝導性シートの上面の被覆膜は１８μｍであった。

（比較例２）
実施例１と同様にグラファイトシートと粘着層から成るグラファイトシート部品が積層された離型シートを形成した後、実施例と同様の未硬化樹脂を用い、実施例１と同様のパターンでフレキソ印刷版を用いてフレキソ印刷方式で塗工、乾燥、及び紫外線硬化したところ、グラファイト表面のコーティング膜は２０μｍの厚さであった。その後は実施例１と同様にしてコーティングを施した熱伝導性シートを得た。

（評価試験１）
デジタルマイクロ顕微鏡を用いて、図の四角形の部品のスキージ摺動開始側（余剰距離ａ側）における端面１０１ａと、スキージ摺動方向に沿った（余剰距離ａ側の端面と直交する）端面１０１ｂと、スキージ摺動終了側（余剰距離ｃ側）の端面１０１ｃ、それぞれの端面に関し、グラファイトシート端面のコーティングの均一性を確認した。以下に評価指標を示す。結果を表２に示す。
◎ ； 端面に沿って直線状に安定して樹脂が充填された。
○ ； 樹脂の充填が途切れる箇所はないが波打つよう不安定になった。
△ ； 樹脂の充填が概ね充填できた。
×１ ； 樹脂が離型シート上にも流れて、汚れとなった。
×２ ； 樹脂がグラファイトシート端面に全く充填されなかった。

（評価試験２）
デジタルマイクロ顕微鏡を用いて、図１２に示すように得られた楕円形の熱伝導性シートのスキージ摺動開始側における端面、スキージ摺動方向に沿った端面、及びスキージ摺動終了側における端面に形成された被覆層１１の厚みをそれぞれ以下のように測定した。グラファイトシート１０の端面と楕円形短軸との交点で余剰距離ａ側の点における被覆層１１の厚みｐと、グラファイトシート１０の端面と楕円形長軸との交点の点における被覆層１１の厚みｑと、グラファイトシート１０の端面と楕円形短軸の交点で余剰距離ｃ側の点における被覆層１１の厚みｒを、各交点と、各交点の軸延長線上の被覆層１１の境界との距離を上方からデジタルマイクロ顕微鏡を用いて測定した。その結果を表２に示す。

（評価試験３）
得られた部品をコーティング側を外側にして９０°に折り曲げて、表面及び端面のコーティング樹脂のヒビ割れを、以下の評価指標で評価した。結果を表２に示す。
○ ； 表面樹脂のヒビ割れ、及び端面の剥がれ浮き、ともに無し。
△ ； 表面樹脂のヒビ割れは無いが、端面樹脂の剥がれ浮きほぼ無し。
×１ ； 表面樹脂のヒビ割れが見られ、端面樹脂は剥がれ浮き無し。
×２ ； 表面樹脂のヒビ割れが見られ、端面樹脂も一部剥がれた。

（評価試験４）
スクリーン印刷時の版離れを確認した。
○ ； 問題なく版離れした。
△ ； 版離れが遅れ気味であった。
× ； 版離れをおこなうための対策を要した。

表１から（実施例１〜１４）で得られた熱伝導性シートは、（比較例１及び２）で得られた熱伝導性シートと比較して端面における樹脂の塗布が良好に行われたことが分かる。

本発明の実施の形態（１）に係る熱伝導性シートの製造方法に用いるスクリーン印刷装置の概略構成を示す図である。 本発明の実施の形態（１）において用いるスクリーンを示す上面図である。 本発明の実施の形態（１）において用いるグラファイトシートの平坦化処理を示す図である。 本発明の実施の形態（１）において用いるグラファイトシートのカッティング処理を示す図である。 本発明の実施の形態（１）に係る熱伝導性シートの製造方法を示す図である。 本発明の実施の形態（１）に係る熱伝導性シートの製造方法を示す図である。 本発明の実施の形態（１）に係る熱伝導性シートの製造方法により得られた熱伝導性シートを示す図である。 本発明の実施の形態（２）に係る熱伝導性シートの製造方法に用いるスクリーン印刷装置の概略構成を示す図である。 本発明の実施の形態（２）において用いるスクリーンを示す上面図である。 本発明の実施の形態（２）に係る熱伝導性シートの製造方法により得られた熱伝導性シートを示す図である。 本発明の実施例において用いたスクリーンを示す上面図である。 本発明の実施例において得られた熱伝導性シートを示す上面図である。

符号の説明

１ 熱伝導性シート
１０ グラファイトシート
１１ 被覆層
１２ 粘着層
１３ 離型シート
２０ スクリーン印刷板
２１ スクリーン
２１１ 開口領域
２１１ａ〜２１１ｄ、２１１ｈ 余剰領域
２１１ｅ、２１１ｇ 上面対応領域
２１２ 非開口領域
２２ スクリーン枠
２３ 未硬化樹脂
３０ スキージ
４０ 支持台
５０ ローラー
５１ カッター

Claims (13)

1. 未硬化樹脂が塗布される開口領域を有するスクリーンにスキージを摺動させて、前記スクリーンを通して前記未硬化樹脂をグラファイトシートの上面に塗布する熱伝導性シートの製造方法において、
   前記開口領域にはグラファイトシートの端面に位置する余剰領域が設けられ、前記スキージが余剰領域の下部の空間に前記未硬化樹脂を浸出させて前記グラファイトシートの端面に前記未硬化樹脂を塗布する熱伝導性シートの製造方法。
2. 請求項１記載の熱伝導性シートの製造方法において、未硬化樹脂は、グラファイトシートの上面及び端面を覆うように塗布されることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
3. 請求項１記載の熱伝導性シートの製造方法において、未硬化樹脂は、グラファイトシートの上面の一部と端面とを覆うように塗布されることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、開口領域の余剰領域は、開口領域の境界からグラファイトシートの端面に対応する位置までの余剰長さがグラファイトシートの厚みの０．２〜１０倍となるように設けられたことを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
5. 請求項４記載の熱伝導性シートの製造方法において、開口領域の余剰領域は、開口領域のスキージ摺動開始側の境界からグラファイトシートのスキージ摺動開始側の端面に対応する位置までの余剰長さが、他の余剰領域における余剰長さの１．５〜２．５倍であることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
6. 請求項１〜５のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、スクリーンとグラファイトシートとの間の距離が０．１〜２ｍｍであることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
7. 請求項１〜６のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、スキージの進行方向前面の傾斜角度が２５〜７０°であることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
8. 請求項１〜７のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートの一面が予め平坦化処理されていることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
9. 請求項１〜８のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられていることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
10. 請求項９記載の熱伝導性シートの製造方法において、複数個のグラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられていることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
11. 請求項１０記載の熱伝導性シートの製造方法において、複数個のグラファイトシートが複数種類の形状を有することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
12. 請求項９〜１１のいずれか記載の熱伝導性シートの製造方法において、グラファイトシートが粘着層を介して離型シートの上に設けられた積層体は、前記グラファイトシート及び前記粘着層が所定の形状にカットされ、それ以外のグラファイトシート不要部及び粘着層不要部は除去されたものであることを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
13. 請求項１〜１２記載の熱伝導性シートの製造方法により製造された熱伝導性シート。

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