JP2007217767A - 基板ホルダ及び基板ホルダの取扱方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板ホルダWHは、成膜対象である基板Wの一部を覆うパターンを有するマスクMと、マスクMを搭載するマスクフレームFと、マスクフレームFとの間でマスクMとその上に搭載される基板Wとを挟持するホルダHと、マスクフレームF及びホルダHの一方に設けられた位置決め突起60と、マスクフレームF及びホルダHの他方に設けられ、位置決め突起60が挿通されて、ホルダHとマスクフレームFとを位置決めする位置決め穴80と、位置決め穴80に隣接して設けられ、位置決め突起60の先端部が係合される係合部82と、を備え、位置決め突起60の先端部が係合部82に係合された状態では、マスクMから離間してマスクフレームF上でホルダHを支持可能である。
【選択図】 図1
Description
基板ホルダは、マスクフレーム及びホルダの一方に設けられた位置決め突起と、マスクフレーム及びホルダの他方に設けられ、位置決め突起が挿通されて、ホルダとマスクフレームとを位置決めする位置決め穴と、を備えると好ましい。挟持工程では、位置決め穴を位置決め突起に挿通して位置決めして、マスクと基板とを挟持すると共に、支持工程では、ホルダとマスクフレームとの相対位置を水平方向にシフトさせ、位置決め突起を介してマスクフレーム上でホルダを支持させると好ましい。このようにすれば、位置決め突起を介してマスクフレーム上でホルダを確実に支持させることができる。
Claims (8)
- 成膜対象である基板の一部を覆うパターンを有するマスクと、
前記マスクを搭載するマスクフレームと、
前記マスクフレームとの間で前記マスクとその上に搭載される前記基板とを挟持するホルダと、
前記マスクフレーム及び前記ホルダの一方に設けられた位置決め突起と、
前記マスクフレーム及び前記ホルダの他方に設けられ、前記位置決め突起が挿通されて、該ホルダと該マスクフレームとを位置決めする位置決め穴と、
前記位置決め穴に隣接して設けられ、前記位置決め突起の先端部が係合される係合部と、を備え、
前記位置決め突起の先端部が前記係合部に係合された状態では、前記マスクから離間して前記マスクフレーム上で前記ホルダを支持可能であることを特徴とする基板ホルダ。 - 前記位置決め穴は貫通穴であり、前記係合部は有底穴であることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記係合部は、前記位置決め穴よりもサイズが小さい係合穴であり、
前記位置決め突起は、前記係合穴よりサイズが大きく前記位置決め穴に挿通可能な大径部と、該大径部よりも先端側に設けられ前記係合穴に挿通可能な小径部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。 - 前記係合部は、前記位置決め穴よりもサイズが小さい係合穴であり、
前記位置決め突起は、前記係合穴よりサイズの小さい先端から基端に向けて該係合穴よりサイズが大きくなるように拡径していることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。 - 前記位置決め突起の先端には磁石が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記ホルダは磁性を有することを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 成膜対象である基板の一部を覆うパターンを有するマスクと、前記マスクを搭載するマスクフレームと、前記マスクフレームとの間で前記マスクとその上に搭載される前記基板とを挟持するホルダと、を備えた基板ホルダの取扱方法であって、
前記ホルダと前記マスクフレームとの間で前記マスクと前記基板とを挟持する挟持工程と、
前記基板ホルダから前記基板を取外した後、前記マスクフレーム上の前記マスクと前記ホルダとを離間させた状態で、該マスクフレーム上で該ホルダを支持させる支持工程と、
を備えることを特徴とする基板ホルダの取扱方法。 - 前記基板ホルダは、前記マスクフレーム及び前記ホルダの一方に設けられた位置決め突起と、前記マスクフレーム及び前記ホルダの他方に設けられ、前記位置決め突起が挿通されて、該ホルダと該マスクフレームとを位置決めする位置決め穴と、を備え、
前記挟持工程では、前記位置決め穴を前記位置決め突起に挿通して位置決めして、前記マスクと前記基板とを挟持すると共に、
前記支持工程では、前記ホルダと前記マスクフレームとの相対位置を水平方向にシフトさせ、前記位置決め突起を介して該マスクフレーム上で前記ホルダを支持させる、ことを特徴とする請求項7に記載の基板ホルダの取扱方法。
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