JP2007214369A - 半導体装置用パッケージとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】熱歪みが生じない表面活性化接合法を採用しながら、2つのウェハを精度良く位置合わせした半導体パッケージを実現する。
【解決手段】第一のウェハ1と第二のウェハ2とに、互いを接合する接合部13,23と接合位置を案内する位置合わせ手段19,29を有する非接合部14,24とを備え、第一のウェハ1の非接合部14は、接合部13が非接合部14に対して空間を形成する脚部11と、接合部13に対して折り曲がる溝が形成された折れ曲り部15を備えた構造とする。2つの非接合部14,24を遮蔽した状態で、イオンビームにより接合部13,23のみを表面活性化した後、位置合わせ手段19,29により第一のウェハ1と第二のウェハ2との接合位置を合わせ、接合部13の接合面とは反対の面側から接合部13を加圧することにより、折れ曲り部15を接合部13に対して折り曲げて、接合部13,23同士を接触させて表面活性化接合する。
【選択図】図1
【解決手段】第一のウェハ1と第二のウェハ2とに、互いを接合する接合部13,23と接合位置を案内する位置合わせ手段19,29を有する非接合部14,24とを備え、第一のウェハ1の非接合部14は、接合部13が非接合部14に対して空間を形成する脚部11と、接合部13に対して折り曲がる溝が形成された折れ曲り部15を備えた構造とする。2つの非接合部14,24を遮蔽した状態で、イオンビームにより接合部13,23のみを表面活性化した後、位置合わせ手段19,29により第一のウェハ1と第二のウェハ2との接合位置を合わせ、接合部13の接合面とは反対の面側から接合部13を加圧することにより、折れ曲り部15を接合部13に対して折り曲げて、接合部13,23同士を接触させて表面活性化接合する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体パッケージとその製造方法に関し、特に、第一のウェハと第二のウェハとを表面活性化接合して製造される半導体パッケージに関する。
ボロメータ方式やサーモパイル方式の赤外線検出器に適用されている中空形状の半導体パッケージを小型、低コストで実現する従来技術として、特許文献1に示す特開平11−326037号公報「赤外線検出器用真空パッケージおよびその製造方法」が提案されている。該特許文献1においては、シリコンの受光基板上に形成した赤外線受光部の前面に真空気密な空隙を設けて配置する必要がある赤外線透過窓を接着した後、赤外線透過窓を接着した受光基板を真空中に置くことによって、赤外線透過窓に設けた貫通穴から空隙部の空気を排気させて、真空状態にした後、貫通穴を封止する製法が採用されている。この封止を行うために、気密に接着することができる接着材料と貫通穴を封止する封止材料として、真空封止用のハンダが用いられている。
特開平11−326037号公報
前記特許文献1のような従来の技術は、赤外線透過窓を気密に接着する工程で、ハンダを溶融するために、赤外線透過窓を高温下におく必要があり、特に、赤外線光学窓ウェハと受光基板ウェハとを接着する場合のように、2枚のウェハが異種材料であった場合には、熱歪みが発生してしまうという問題があった。
一方、ウェハ同士を熱歪みを生じないように結合させる技術として、表面活性化接合法が、最近用いられるようになってきている。ここで、表面活性化接合法とは、真空チャンバ内にて、接合させる2つのウェハの表面の汚染物をそれぞれビームエッチングして清浄化することにより、それぞれのウェハ表面に結合手を出現させ、しかる後、結合手が出現した状態のウェハ清浄面同士を加圧して接触させることによって、2つのウェハを化学的に結合させるというものである。
しかしながら、表面活性化接合法を適用して、赤外線光学窓ウェハと受光基板ウェハなどのように、2つのウェハを接合する場合、表面活性化処理されたウェハ同士が接触すると、瞬時に化学結合してしまい、接合位置を再度調整し直すことができなくなる。このため、マイクロレンズアレイ等を持った赤外線光学窓ウェハとアレイ状に並ぶ受光素子を持った受光基板ウェハとの場合においては、ウェハ同士を接触させる前に正確に位置合わせをしなければならず、所望の機能・性能を有した半導体パッケージを製造することが困難であった。
本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであり、第一のウェハと第二のウェハ、例えば、赤外線光学窓ウェハと受光基板ウェハ、との接合を行う際に、熱歪みを生じることがない表面活性化接合法を採用しながら、精度良く位置合わせがなされ、さらに、その最中に、接合面が誤って結合してしまう問題も解決可能な半導体パッケージとその製造方法とを提供することを目的としている。
本発明は、前述の課題を解決するために、表面活性化接合する2つのウェハにおいて、それぞれのウェハに、表面を活性化してウェハ同士を接合するための接合部と、表面活性化させることなく、互いの接合位置を案内する位置合わせ手段を形成した非接合部とを備え、少なくとも一方のウェハの接合部の接合面側が、非接合部に対して空間を形成する脚部を当該非接合部に有することにより、2つのウェハの接合部同士が接合しない状態で、位置合わせ手段によって2つのウェハの接合位置を合わせた後、一方のウェハの接合部に圧力を加えて、当該ウェハの非接合部に設けた折れ曲り部を折り曲げて、2つのウェハの接合部同士を接合して半導体パッケージを完成させることを特徴としている。
本発明の半導体装置用パッケージとその製造方法によれば、熱歪みが生じない表面活性化接合法により、2つのウェハ同士を化学的に接合を行うとともに、2つのウェハの位置合わせを行う際に、2つのウェハの互いの接合面を接触させない状態で、位置合わせ手段により接合位置を微調整して高精度な位置合わせを行うことが可能であり、所望の機能・性能を有する半導体パッケージを容易に製造することができる。
以下に、本発明による半導体装置用パッケージとその製造方法の最良の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
まず、本発明に関わる半導体パッケージに用いる2つのウェハの構造について説明する。図1は、本発明の半導体パッケージに用いる2つのウェハの構造の一例を示す斜視図である。本発明の半導体パッケージ10は、第一のウェハ1と第二のウェハ2とを表面活性化接合法によって接合して製造されるものであり、製造された半導体パッケージ10をあらかじめ設定されている所定のサイズの複数のチップにダイシングすることによって、例えば赤外線検出素子などの半導体チップとして利用されるものである。
図1に示すように、第一のウェハ1、第二のウェハ2には、それぞれ、接合部13,23、非接合部14,24、位置合わせ手段19,29を備えて構成されている。また、第一のウェハ1は、非接合部14の一部に、上面と下面とにそれぞれ緩和溝16、折れ曲り溝17を有する折れ曲り部15が形成され、折れ曲り部15を有する非接合部14と接合部13とが一体化されている。
さらに、第一のウェハ1の接合部13の下面(第二のウェハ2と接合する接合面)が、第一のウェハ1の非接合部14に対して空間を有するように、第一のウェハ1の非接合部14の上下方向の厚さは、第一のウェハ1の接合部13の上下方向の厚さよりもあらかじめ定めた厚みtだけ厚くなる脚部11を非接合部14に有している。
その結果、第一のウェハ1と第二のウェハ2との2枚のウェハを単に重ね合わせただけでは、非接合部14,24同士が当接し合う状態になり、それぞれの接合部13,23同士は接しない構造とされている。
さらに、折れ曲り部15は、前述のように、上面と下面とにそれぞれ緩和溝16、折れ曲り溝17が穿設されており、折れ曲り部15の下面は、折れ曲り溝17により、非接合部14に対してはもちろん、接合部13に対してもさらに空間を有した構造になっていて、第一のウェハ1の接合部13の上方向から加圧して第二のウェハ2の接合部23に接合する接合工程において折れ曲がり易い構造になっている。
一方、折れ曲り部15の上面の緩和溝16は、接合部13の第二のウェハ2と接合する接合面と反対の面側から当該接合部13に加圧して、折れ曲り部15が折れ曲がる際に、非接合部14の上側の先端部が非接合部14に当接して、接合部13に対する応力が発生しないように、接合部13に対する応力を緩和することができる緩和機構として備えられているものであり、当該緩和溝16の空間に向かって、非接合部14の先端部が倒れるように傾斜していくことにより、非接合部14には当接しない構造とされている。
なお、ここでは、第一のウェハ1の非接合部14に設けられる折れ曲り部15の一例として、非接合部14の上面(すなわち、第一のウェハ1と第二のウェハ2とを接合する接合工程において、第一のウェハ1の接合部13を加圧する面と同じ側の面)に緩和溝16を穿設する例を説明したが、緩和機構としてはかかる場合のみに限るものではない。
例えば、第一のウェハ1の内部にレーザを照射して、折れ曲り部15に該当する箇所に、すなわち、折れ曲がる際に非接合部14の先端部が当接しそうな非接合部14の位置に沿って、第一のウェハ1の剛性を弱くする改質を施した改質層を形成させることにより、第一のウェハ1と第二のウェハ2との接合部13,23同士を接合する接合工程において、第一のウェハ1の接合部13を加圧した際に、第一のウェハ1の改質層に亀裂を成長させるようにしても良い。その結果、加圧した際に、改質層が折れ曲り部15として折り曲げられることになり、接合部13に対する応力を緩和することができる。
なお、本実施形態で用いる第一のウェハ1、第二のウェハ2の材料として、互いに異なる材料からなっている場合であっても良く、例えば、第一のウェハ1が、ガラス、シリコン、ゲルマニウム、硫化亜鉛、カルコゲナイドガラスのような特定の波長の光線を通す材料や、セラミクスや炭化シリコンといった材料であり、第二のウェハ2が、半導体プロセスにてトランジスタやセンサ素子を形成可能なシリコンや炭化シリコンといった材料を用いても良い。
また、第一のウェハ1を製造する場合、中央部の接合部13よりも厚みtだけ厚くする脚部11を有する非接合部14を周辺部に備え、かつ、該非接合部14の一部には、緩和溝16、折れ曲り溝17を有する折れ曲り部15を備える第一のウェハ1の構造を成形するために、例えば、既存のエッチング技術、切削技術を用いて作製しても良いし、あるいは、特に、硫化亜鉛やカルコゲナイドガラスのような材料を用いる場合には、粉末やフリットから、モールド成形(すなわち、型による成形)を行うことも可能である。このようなモールド成形技術を用いることにすれば、より簡便に第一のウェハ1を作製することができる。また、第二のウェハ2についても、既存のエッチング技術、切削技術を用いても良いし、モールド成形技術を用いて作製してももちろんかまわない。
一方、第二のウェハ2において、シリコンや炭化シリコンといった材料を用いる接合部23の表面には、複数個の半導体装置(回路パターン)が既存のLSI技術などにより別途形成されている。このような半導体装置(回路パターン)が形成された第二のウェハ2の接合部23に第一のウェハ1の接合部13を接合することにより、第一のウェハ1が、第二のウェハ2の半導体装置(回路パターン)の“蓋”として(例えば、赤外線検出素子の場合、赤外線透過窓として)機能することになる。このように、第一のウェハ1と第二のウェハ2とを接合することによって作製した半導体パッケージ10をあらかじめ定めた所定のサイズにダイシングすることにより、複数個の半導体チップを同時に製造することができる。
図11は、半導体パッケージ製造装置100へ第一のウェハ1と第二のウェハ2とを取り付けた様子を示す模式図であり、図示していない真空チャンバ内部の状態を示しているものである。
第一のウェハ1と第二のウェハ2とは真空チャンバ内の第一のステージ101と第二のステージ102とにそれぞれ固定される。第二のステージ102は、真空チャンバ内に固定設置されているが、第一のステージは、多軸アクチュエータによって、少なくとも、左右・上下方向への移動、中心軸を中心に時計・反時計方向への回転が自在な構造とされている。
また、第一のステージ101は、第一のウェハ1の接合部13の接合裏面(図1の第一のウェハ1の上面:第二のウェハ2と接合する面の反対側の面)のみに接した状態で固定保持することができ、第一のウェハ1の非接合部14とは接していない状態で固定保持される。また、第一のステージ101は、前述のように、多軸アクチュエータを駆動して上下、左右、回転の各方向に自在に移動させることにより、第一のステージ101に固定保持されている第一のウェハ1を、第二のステージ102に固定保持されている第二のウェハ2に対して位置の調整を行ったり、接触させたりすることが可能である。
カメラ103は、第二のステージ102の下側に取り付けられて、少なくとも第二のステージ102上に載置された第二のウェハ2について透明な波長域を用いて撮像可能なものであり、第二のウェハ2の接合裏面(図1の第二のウェハ2の下面:第一のウェハ1と接合する接合面の反対側の面)より、第一、第二のウェハ1,2の非接合部14,24それぞれに設けられている位置合わせ手段19,29の状態を撮影する。なお、第二のステージ102は、位置合わせ手段19,29をカメラ103によって撮像することができるように、カメラ103に対して、透明、あるいは、開口されている。
イオンビーム源104は、イオンビーム(アルゴンイオンArなどのビーム)を発生させ、第一のウェハ1と第二のウェハ2との表面の汚染物を除去して清浄化し、それぞれのウェハ表面に原子の結合手を出現させる。これを、ウェハ表面の”活性化”と呼び、活性化されたウェハ表面同士が接触すると、瞬時に化学的な結合が生じて、強固に接合された状態になる。
以下に、第一のウェハ1と第二のウェハ2とを表面活性化接合することにより製造する本発明の半導体パッケージの製造方法の一例について、図2ないし図5を参照しながら説明する。
まず、図示していないウェハ製造工程において、第一のウェハ1と第二のウェハ2とは、接合部13,23、非接合部14,24や、脚部11、折れ曲り部15などを有する前述したような形状のウェハとして、モールド成形技術などを用いて作製される。
しかる後、半導体パッケージ製造装置100の真空チャンバ内の第一のステージ101、第二のステージ102それぞれに第一のウェハ1、第二のウェハ2が取り付けられた後、真空チャンバ内は排気されて、真空状態にされる。その後、表面活性化工程において、第一のウェハ1、第二のウェハ2は、図2に示すように、イオンビーム源7からのイオンビームによって、それぞれの接合部13,23の表面(接合面)が活性化される。図2は、本発明の半導体パッケージを製造するためのウェハ表面活性化工程の一例を示す模式図である。
このとき、図2に示すように、非接合部14は、左右の方向に非接合部14の接触面側に沿って移動可能な遮蔽手段105によって、イオンビーム源104から照射されるイオンビームが遮蔽された状態になるので、接合部13,23の接合面側の表面のみが活性化され、非接合部14、24の表面にはイオンビームが照射されず、表面が活性化されることはない。
ここで、遮蔽手段105としては、例えば金属板を用いても良い。この場合、イオンビーム源104からのイオンビーム照射前に、第一のウェハ1、第二のウェハ2の非接合部14,24それぞれを覆うように前進移動し、イオンビーム照射によって接合部13,23の表面を活性化した後、接合部13,23同士の接合を行うべき接合位置を合わせるために、非接合部14,24それぞれに設けられている位置合わせ手段19,29による、第一のウェハ1、第二のウェハ2の位置合わせを邪魔しない位置にまで後退移動する。
この他、非接合部14,24の表面を活性化させない方法としては、例えば、第一のウェハ1、第二のウェハ2それぞれを第一のステージ101、第二のステージ102に取り付ける前の前記ウェハ製造工程で、非接合部14,24表面に、イオンビームの遮蔽可能なポリイミドなどのフィルムを付着させて覆った状態にしておいて、接合部13,23の表面活性化処理後に、真空チャンバ内で非接合部14,24に付着していたフィルムを剥がす等の作業をさせても良く、先の移動可能な金属板による遮蔽手段105の場合と同じ効果を得ることができる。
第一のウェハ1、第二のウェハ2それぞれの接合部13,23の表面が活性化された後、位置合わせ工程において、図3(A)に示すように、第一のウェハ1と第二のウェハ2との非接合部14,24同士を接触させた後、図3(B)、(C)に示すように、第一のウェハ1、第二のウェハ2それぞれの位置合わせ手段19,29とカメラ103とを用いて、2枚のウェハの接合位置を合わせる。ここに、図3は、本発明の半導体パッケージを製造するためのウェハ位置合わせ工程の一例を示す模式図である。
図3(A)が、図11に示した第一のステージ101の左右・上下方向の移動により、第一のウェハ1と第二のウェハ2との非接合部14,24を互いに接触させた状態を示している。また、図3(B)、(C)は、いずれも、非接合部14,24それぞれの接触面またはその近傍に画像パターンとして描画されている位置合わせ手段19,29を拡大して表示している平面図である。図3(B)が、カメラ103により撮像された位置合わせ手段19,29の画像パターンを用いて、第一のステージ101の回転・左右方向の微調整をするとともに、微調整後の上下方向の移動により、互いの位置を合わせるように非接合部14,24同士を接触させる状態を示し、図3(C)が、位置合わせ手段19,29が互いに所定の位置に位置合わせされ、所定の合成画像形状が形成されて位置決めされた状態に達したことを示している。
すなわち、位置合わせ工程においては、非接合部14,24それぞれの先端部に形成されている位置合わせ手段19,29の画像パターンの状態が、カメラ103で撮像され、位置合わせ手段19,29それぞれの画像パターンの画像処理的な確認結果として、図3(C)のように、互いに嵌合されたような所定の位置関係になる微調整が第一のステージ101の移動によって行われ、非接合部14,24の精密な位置合わせと接触とが行われる。
ここで、図3においては、図3(B)に示すように、第二のウェハ2の非接合部24における位置合わせ手段29が、十字形状の画像パターンであり、第一のウェハ1の非接合部14における位置合わせ手段19は、第二のウェハ2の位置合わせ手段29の十字形状の4隅の溝部に嵌め込むような4つの円形状の画像パターンである場合を一例として示しているが、本発明における位置合わせ手段19,29は、このような形状の画像パターンに限るものではなく、互いの位置合わせが可能な形状であれば、いかなる形状であってもかまわない。
また、第一のウェハ1と第二のウェハ2との非接合部14,24を互いに接触した状態では、図3(A)に示すように、第一のウェハ1と第二のウェハ2との接合部13,23の接合面の間に、第一のウェハ1の非接合部14に形成した脚部11の厚みt分の接合部空間18が保たれており、接合部13,23の活性化した表面同士が接触することはなく、位置合わせ工程において、位置決めがなされていない誤った位置関係で互いに接合されてしまうようなことは生じない。
その結果、位置合わせ手段19,29、カメラ103の撮像画像パターン、第一のステージ101の移動によって、表面活性化接合を採用しながらも第一のウェハ1の位置調整を繰り返して行うことができるようになる。
なお、位置合わせ手段19,29は、非接合部14,24の接触面やその近傍に描画されたこのような画像パターンに限るものではなく、互いに機械的な嵌合が可能な凹凸形状とするなど、任意の形状としても良く、レーザやサンドブラスト、エッチングなどによって非接合部14,24の接触面の表面に溝や山などの凹凸を付けるなどして作製しても良い。さらに、その溝に金属蒸着などを施して金属を埋めて、カメラ103で位置合わせ手段19,29がより鮮明に撮像できるようにしても良い。
位置合わせ手段19,29の機械的な嵌合機構として、図6に示すように、例えば、第一のウェハ1の非接合部14に凹形状(例えば円形穴形状)の位置合わせ手段19Aを、また、第二のウェハ2の非接合部24に凸形状(例えば円筒形状)の位置合わせ手段29Aを、エッチング、切削、スパッタ、蒸着、型成形などで作製し、ウェハの位置合わせ工程では、それらの凹形状(例えば円形穴形状)の位置合わせ手段19Aと凸形状(例えば円筒形状)の位置合わせ手段29Aとを互いに嵌め込むことにより機械的に位置決めをしても良い。図6は、本発明の半導体パッケージを製造するためのウェハ位置合わせ工程の異なる例を示す模式図であり、機械的な位置決めを行う場合を示している。
さらには、前述した画像処理的手法と機械的手法とを組み合わせて、互いの位置決めを行うようにしても良い。
第一のウェハ1と第二のウェハ2との位置が正確に合わされた後、次の接合工程において、図4に示すように、第一のウェハ1の接合部13を第一のステージ101により上方向から加圧(加重)する。すると、第一のウェハ1の接合部13と第二のウェハ2の接合部23との活性化された表面同士が接触して化学的な接合がなされ、半導体パッケージ10が完成する。この時、接合部13への応力の緩和機構として、第一のウェハ1の非接合部14の上端部(先端部)が折れ曲り部15の緩和溝16に沿って中央部側に折れ曲がることにより、接合部13への応力を緩和し、接合部13側(半導体パッケージ10が形成されている領域)への亀裂の進入を防ぐことができる。ここに、図4は、本発明の半導体パッケージを製造するためのウェハ接合工程の一例を示す模式図である。
なお、第一のウェハ1の折れ曲り部15をより折り曲げやすくするため、図7に示すように、第一のウェハ1の非接合部14に形成した脚部11の下面すなわち第二のウェハ2との接触面側の形状を面取り形状または円弧状とするようにしても良い。図7は、本発明の半導体パッケージを製造するための第一のウェハ1の異なる形状を説明するための模式図であり、脚部11の端部に面取り部12を形成している場合を例示している。
また、図8に示すように、第一のウェハ1の非接合部14と相対する第二のウェハ2の非接合部24の一部に緩和溝26を設けるようにしても良い。図8は、本発明の半導体パッケージを製造するための第二のウェハ2の異なる形状を説明するための模式図であり、第一のウェハ1の非接合部14が折れ曲がる脚部11の端部に相対する非接合部24の位置に、第二のウェハ2の非接合部24に当接しそうになる箇所に沿って、緩和溝26を形成している。
これにより、第一のウェハ1の非接合部14を折り曲げた際に、第一のウェハ1の非接合部14すなわち脚部11の端部が第二のウェハ2の非接合部24と当接しないようにし、第一のウェハ1の折れ曲り部15をより折り曲げやすくするとともに、第二のウェハ2の接合部23に対する引っ張り応力を緩和する緩和機構を実現している。また、第二のウェハ2側に設けられる緩和機構として、緩和溝26を穿設する代わりに、第一のウェハ1側の緩和機構として前述した場合と同様に、第一ウェハ1の非接合部14の端部が、第二のウェハ2の非接合部24に当接しそうになる箇所に沿って、剛性を弱くする改質を施した改質層を形成するようにしても良い。
なお、図6に示す第一、第二のウェハ1,2、図7に示す第一のウェハ1や図8に示す第二のウェハ2のような形状を形成する場合についても、エッチング技術、切削技術、モールド成形技術などによって形成することができる。
図4の接合工程により第一のウェハ1の接合部13と第二のウェハ2の接合部23とを表面活性化接合して、半導体パッケージ10を完成させた後、図5に示すように、ダイシング工程において、完成した半導体パッケージ10を、ダイシンライン106に沿って、所定の大きさの半導体チップ20にダイシングする。これにより、複数のパッケージ済み半導体装置すなわち複数の半導体チップ20を同時に得ることができる。図5は、本発明の半導体パッケージ10を複数の半導体チップ20にダイシングするダイシング工程の一例を示す模式図である。
なお、以上の本発明による実施形態においては、第一のウェハ1の非接合部14が接合部13の厚さよりも厚くなるような脚部11を備えて、接合部13が非接合部14に対して接合部空間18を有する場合を説明したが、逆に、図9に示すように、第二のウェハ2の非接合部24が接合部23の厚さよりも厚くなるような脚部21を備えて、接合部23が非接合部24に対して接合部空間28を有するようにしても良い。ここに、図9は、本発明の半導体パッケージを製造するための第二のウェハ2のさらに異なる形状を説明するための模式図である。
さらには、前述した実施形態においては、図1に示すように、第一のウェハ1の非接合部14を2箇所に備えているような構造としていたが、図10に示すように、非接合部14が3箇所以上に(図10の場合、図の上下にそれぞれ2箇所の非接合部14を設けて、合計4個の非接合部14に)分かれていても良い。ここに、図10は、本発明の半導体パッケージを製造するための第一のウェハ1のさらに異なる形状を説明するための模式図である。
以上に詳細に説明したように、本発明によれば、 表面活性化接合する第一ウェハ1、第二のウェハ2において、それぞれのウェハに、イオンビーム源104からのイオンビームの照射により表面を活性化した接合部13,23と、遮蔽手段105によりイオンビームを遮蔽して表面活性化させることなく、互いの接合位置を案内する位置合わせ手段19,29または19A,29Aを形成した非接合部14,24とを備え、少なくとも一方のウェハの接合部13または23の接合面側が、非接合部14または24に対して空間を形成する脚部11または21を有することにより、2つのウェハの接合部13,23同士が接合しない状態で、2つのウェハの接合位置を位置合わせ手段19,29または19A,29Aによって正確に位置合わせをし、しかる後、第一のウェハ1の接合部13に圧力を加えて、当該第一のウェハ1の非接合部14に設けた折れ曲り部15を折り曲げて、接合部13,23同士を接触させることにより、第一ウェハ1、第二のウェハ2の接合部13,23同士を表面活性化接合して半導体パッケージ10を完成させるので、次のような効果を奏することができる。
熱歪みが生じない表面活性化接合法により、2つのウェハすなわち第一ウェハ1、第二のウェハ2同士を化学的に接合するとともに、2つのウェハの位置合わせを行う際に、表面活性化接合を採用しながらも2つのウェハの互いの接合面を接触させない状態で、位置合わせ手段19,29または19A,29Aにより接合位置を微調整して高精度な位置合わせを行うことが可能であり、所望の機能・性能を有する半導体パッケージを容易に製造することができる。
また、脚部11または21の接触面を、面取り形状または円弧状とすることにより、第一のウェハ1の接合部に圧力を加えたとき、折れ曲り部15の曲がりを促進することができるとともに、ひび割れが接合部13側に侵入することを防止することができる。
さらに、非接合部14または24に、第一のウェハ1の接合部13に圧力が加えられることにより生じる接合部13,23に対する応力を緩和する緩和機構が設けられているので、第一のウェハ1の折れ曲り部15が折れ曲がったとき、第一のウェハ1の接合部13に加わる応力を緩和することができ、接合部13,23が変形してしまったり、ひび割れを生じたりすることを抑えることができる。
さらに、接合部13、非接合部14、緩和溝16や折れ曲り溝17などを備えた折れ曲り部15、さらには、脚部11などを有する第一のウェハ1や、接合部23、非接合部24、緩和溝26、場合によっては、脚部21などを有する第二のウェハ2を、モールド成形技術により一体成型して簡単に製造することができる。
1…第一のウェハ、2…第二のウェハ、10…半導体パッケージ、11…脚部、12…面取り部、13…接合部、14…非接合部、15…折れ曲り部、16…緩和溝、17…折れ曲り溝、18…接合部空間、19,19A…位置合わせ手段、20…半導体チップ、21…脚部、23…接合部、24…非接合部、26…緩和溝、28…接合部空間、29,29A…位置合わせ手段、100…半導体パッケージ製造装置、101…第一のステージ、102…第二のステージ、103…カメラ、104…イオンビーム源、105…遮蔽手段、106…ダイシングライン。
Claims (15)
- 第一のウェハと第二のウェハとの2つのウェハを表面活性化接合して製造される半導体パッケージにおいて、前記該第一のウェハと前記第二のウェハとは、表面が活性化された状態で互いに接合する接合部と、表面が活性化されることなく、前記接合部の互いの接合位置を案内する位置合わせ手段を有する非接合部と、を備え、前記第一のウェハの前記非接合部が当該接合部に対して折れ曲がる折れ曲り部を有し、当該折れ曲り部が、前記第一のウェハと前記第二のウェハとの前記非接合部同士を前記位置合わせ手段により位置合わせして当接させた状態で、前記第二のウェハの前記接合部と接合する接合面の反対の面側から前記第一のウェハの前記接合部を加圧した際に、前記第一のウェハと前記第二のウェハとの前記接合部同士を接触させるように折れ曲がることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、前記第一のウェハの前記非接合部の前記第二のウェハとの接触面側の形状が、面取り形状または円弧状であることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項1または2に記載の半導体パッケージにおいて、前記第一のウェハまたは前記第二のウェハの前記非接合部に、前記第一のウェハの前記接合部が加圧されて前記折れ曲り部が折れ曲がることにより生じる当該接合部に対する応力を緩和する緩和機構が設けられていることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項3に記載の半導体パッケージにおいて、前記第一のウェハの前記非接合部に設けられる前記緩和機構として、少なくとも、折れ曲がる際に前記第一のウェハの前記非接合部の先端部が当該第一のウェハの前記非接合部に当接する箇所に沿って、空間を形成する緩和溝を穿設するか、あるいは、剛性を弱くする改質を施した改質層を形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項3または4に記載の半導体パッケージにおいて、前記第二のウェハの前記非接合部に設けられる前記緩和機構として、少なくとも、折れ曲がる際に前記第一のウェハの前記非接合部の端部が前記第二のウェハの非接合部側に当接する箇所に沿って、空間を形成する溝を穿設するか、あるいは、剛性を弱くする改質を施した改質層を形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体パッケージにおいて、2つの前記ウェハの前記非接合部に形成される前記位置合わせ手段として、少なくとも、2つの前記非接合部の互いの接触面またはその近傍それぞれに、カメラにより撮像して画像処理することにより双方の位置関係を識別可能な画像パターンを描画するか、あるいは、2つの前記非接合部の互いの接触面それぞれに、互いに機械的に嵌合可能な凹凸形状のパターンを形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージ。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の半導体パッケージにおいて、2つの前記ウェハの形状がモールド成形技術により製造されることを特徴とする半導体パッケージ。
- 第一のウェハと第二のウェハとの2つのウェハを表面活性化接合して製造する半導体パッケージの製造方法において、前記第一のウェハと前記第二のウェハとは、表面が活性化された状態で互いに接合する接合部と、表面が活性化されることなく、前記接合部の互いの接合位置を案内する位置合わせ手段を有する非接合部と、を備え、前記第一のウェハと前記第二のウェハのうち少なくとも一方のウェハの前記接合部の接合面側が前記非接合部に対して空間を形成する脚部を当該非接合部に有し、かつ、前記第一のウェハの前記非接合部が、前記接合部に対して折れ曲がる折れ曲り部を有するウェハをそれぞれ製造するウェハ製造工程と、2つの前記ウェハの前記非接合部を遮蔽手段により表面活性化しないように遮蔽した状態で、イオンビームによって2つの前記ウェハの前記接合部を表面活性化する表面活性化工程と、2つの前記ウェハそれぞれに設けられた前記位置合わせ手段によって、前記第一のウェハと前記第二のウェハとの接合位置を合わせる位置合わせ工程と、前記第一のウェハの前記第二のウェハとの接合面の反対の面側から当該第一のウェハの前記接合部に対して圧力が加えられ、当該第一のウェハの前記非接合部に設けられた前記折れ曲り部が前記接合部に対して折れ曲がることにより、2つの前記ウェハの前記接合部を互いに表面活性化接合する接合工程とを有することを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項8に記載の半導体パッケージの製造方法において、前記第一のウェハの前記非接合部の前記第二のウェハとの接触面側の形状が、面取り形状または円弧状であることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項8または9に記載の半導体パッケージの製造方法において、イオンビームを2つの前記ウェハの前記非接合部に照射しないように遮蔽する前記遮蔽手段として、少なくとも、前記表面活性化工程におけるイオンビームの照射時に、移動可能な金属板により前記非接合部を覆うか、あるいは、前記ウェハ製造工程でイオンビームを遮蔽可能なフィルムにより覆った状態で前記第一のウェハ、前記第二のウェハそれぞれの前記非接合部を作製し、前記表面活性化工程におけるイオンビームの照射後に前記フィルムをそれぞれの前記非接合部から剥がすか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項8ないし10のいずれかに記載の半導体パッケージの製造方法において、前記第一のウェハまたは前記第二のウェハの前記非接合部に、前記第一のウェハの前記接合部が加圧されて前記折れ曲り部が折れ曲がることにより生じる当該接合部に対する応力を緩和する緩和機構が設けられていることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項11に記載の半導体パッケージの製造方法において、前記第一のウェハの前記非接合部に設けられる前記緩和機構として、少なくとも、折れ曲がる際に前記第一のウェハの前記非接合部の先端部が当該第一のウェハの非接合部側に当接する箇所に沿って、空間を形成する緩和溝を穿設するか、あるいは、剛性を弱くする改質を施した改質層を形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項11または12に記載の半導体パッケージの製造方法において、前記第二のウェハに設けられる前記緩和機構として、少なくとも、折れ曲がる際に前記第一のウェハの前記非接合部の端部が前記第二のウェハの非接合部側に当接する箇所に沿って、空間を形成する溝を穿設するか、あるいは、剛性を弱くする改質を施した改質層を形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項8ないし13のいずれかに記載の半導体パッケージの製造方法において、2つの前記ウェハの前記非接合部に形成される前記位置合わせ手段として、少なくとも、2つの前記非接合部の互いの接触面またはその近傍それぞれに、カメラにより撮像して画像処理することにより双方の位置関係を識別可能な画像パターンを描画するか、あるいは、2つの前記非接合部の互いの接触面それぞれに、互いに機械的に嵌合可能な凹凸形状のパターンを形成するか、のいずれかを用いることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
- 請求項8ないし14のいずれかに記載の半導体パッケージの製造方法において、2つの前記ウェハの形状をモールド成形技術を用いて製造することを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006032719A JP2007214369A (ja) | 2006-02-09 | 2006-02-09 | 半導体装置用パッケージとその製造方法 |
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JP2007214369A true JP2007214369A (ja) | 2007-08-23 |
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JP (1) | JP2007214369A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2028353A2 (en) | 2007-08-21 | 2009-02-25 | Nissan Motor Co., Ltd. | Acceleration shock reduction apparatus for vehicle |
-
2006
- 2006-02-09 JP JP2006032719A patent/JP2007214369A/ja active Pending
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