JP2007212206A - マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 - Google Patents
マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007212206A JP2007212206A JP2006030521A JP2006030521A JP2007212206A JP 2007212206 A JP2007212206 A JP 2007212206A JP 2006030521 A JP2006030521 A JP 2006030521A JP 2006030521 A JP2006030521 A JP 2006030521A JP 2007212206 A JP2007212206 A JP 2007212206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mapping
- point
- sample
- spectrum
- values
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】試料面上の複数の点での分光スペクトル測定で得られたマッピングデータを表示手段へ表示する方法であって、試料面上の各点で得られたスペクトルデータの複数の波数での値から各点における、主成分スコア、所定の既知物質との類似度、濃度、厚み、物性値、からなる一群から選択される1または複数の演算値を演算する演算工程と、演算工程にて演算した演算値に関する情報の2次元または3次元のマッピング図を作成するマッピング図作成工程と、マッピング図作成工程で作成されたマッピング図を表示手段に表示するマッピング図表示工程と、を備えたことを特徴とするマッピングデータ表示方法。
【選択図】図2
Description
通常、マッピング測定の結果を2次元もしくは3次元マッピング図として表示する場合、採取した赤外スペクトルのうち特定のピークに着目し、そのピーク高さや、ピーク面積などによりマッピング図を作成している(例えば、特許文献1参照)。
本発明の目的は、取得したスペクトルマッピングデータから、十分な情報を抽出したマッピング図を表示し、客観的な分析を可能にするマッピングデータ表示方法、プログラム、装置を提供することにある。
上記のマッピングデータ表示方法において、前記マッピング図作成工程では、前記複数の演算値の組に基いて試料面上の少なくとも一部の領域内の各点を複数のグループに分割し、試料面上の各点がどのグループに属しているかという情報のマッピング図を作成することが好適である。
上記のマッピングデータ表示方法において、前記グループ分けの基準を設定する設定工程をさらに備えることが好適である。
上記のマッピングデータ表示方法において、前記各点での試料の物性値は、屈折率または誘電率であることが好適である。
本発明のマッピングデータ表示プログラムは、上記のマッピングデータ表示方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とする。
類似度演算部28は、記憶手段18の既知物質データベースに記憶された各既知物質のスペクトルデータと、試料面上の各点でのスペクトルデータとの類似度を演算する。類似度は、相関係数、ユークリッド距離などによって評価される。
濃度演算部30は、測定したスペクトルデータから所望の物質の濃度を算出する。濃度の算出は、あらかじめ記憶手段18に記憶しておいた所望の物質に対する検量モデルを用いて行う。
物性値演算部32は、測定したスペクトルデータから物性値の演算を行う。物性値としては、屈折率、誘電率などが挙げられる。例えば、反射スペクトルからの屈折率、誘電率の算出は、K−K変換(クラマース−クローニッヒ変換)などの公知の方法によって行えばよい。
膜厚演算部34は、測定したスペクトルデータから膜厚の算出を行う。この膜厚は公知の方法、例えば、スペクトルデータの干渉波形を抽出し、その干渉波形の周期から求めるといった方法(例えば特開平7−4922号公報等)で求めることができる。
マッピングデータ取得工程
マッピングデータ取得工程S10では、分光測定装置12によって、試料面上の所定区域を小領域に分け、それぞれの小領域での分光スペクトル(吸収スペクトル、反射スペクトルなど)をマッピング測定する。このとき、小領域の位置座標の情報とそこでの分光スペクトルデータとの組であるマッピングデータは、マッピングデータ解析装置10の記憶手段18に記憶される。
演算工程S12では、マッピング測定によって得られた試料面上の少なくとも一部の領域内の各点のスペクトルデータを各サンプルとして、各サンプルに対し所望の演算を施す。つまり、主成分演算部26、類似度演算部28、濃度演算部30、物性値演算部32、膜厚演算部34は、記憶手段18から各点でのスペクトルデータを読み出し、読み出したスペクトルデータから、各点での主成分スコア、類似度、濃度、物性値、膜厚等の演算値を求める。求めた各サンプルの主成分スコア、類似度、濃度、物性値、膜厚等の演算値は、試料面上の位置情報と関係付けて記憶手段18に記憶される。ここで、演算工程S12で求める演算値としては、使用者が適宜必要なものを選択して求めることができる。
設定工程S14では、次のマッピング図作成工程S16における作成条件の設定を行う。使用者は入力手段16を介して、設定手段36により作成するマッピング図に対する条件を目的に応じて設定することができる。ここでは複数の演算値に基いて試料面上の各点を複数のグループに分割したマッピング図を作成する場合について説明する。
この場合、複数の演算値を軸としたグラフ上で試料面上の各点がどのように分布しているかを示す散布図(図3参照)を表示し、該散布図に基いてグループ分けの基準を設定することが好適である。つまり、図1に示した散布図作成手段38により、所定の演算値を軸にとった散布図が作成され、その散布図は表示制御手段24によって表示手段14に表示される。使用者は入力手段16を介して設定手段36によって、どの演算値を軸として散布図を作成するかを設定することができる。その設定情報は散布図作成手段38に送られ、散布図作成手段38では軸となる各サンプル(試料面上の各点)の演算値を記憶手段18から読み出し、散布図を作成する。作成された散布図は表示制御手段24によって表示手段14に表示される。例えば、第1主成分スコア、相関係数(類似度)の2つの演算値を軸として選択すると、図3に示すような二次元散布図が表示される。また、相関係数、膜厚、濃度の3つの演算値を軸として選択すると、図4に示すような3次元の散布図を表示することができる。
マッピング図作成工程S16では、上記の設定工程S14で設定した条件に従い、マッピング図を作成する。上記のグループ分けの例では、設定したグループ分けの条件に基づいて、試料面上の各点がどのグループに属しているかを示す、2次元もしくは3次元のマッピング図を表示する。マッピング図作成手段22は、記憶手段18から、上記のグループ分けの条件、グループ分けの基準に用いる各サンプルの演算値、を読み出し、そのサンプルがどのグループに属しているのかを上記のグループ分けの条件により判断し、グループ分けマッピング図を作成する。作成したマッピング図のデータは記憶手段18に記憶される。
表示工程S18では、マッピング図作成工程S16で作成されたマッピング図を表示制御手段24によって表示手段14に表示する。図5にグループ分けのマッピング図の例を示す。図5のマッピング図は、横軸、縦軸が試料面の位置座標(X座標、Y座標)を示し、各点(図中の格子で区切られた四角形の一つ一つ)は属しているグループ毎に色分けされている。ここでは、3つのグループに分けた例を示したが、この数は特に限定されない。
12 分光測定装置
14 表示手段
16 入力手段
18 記憶手段
20 演算手段
22 マッピング図作成手段
24 表示制御手段
Claims (7)
- 試料面上の複数の点での分光スペクトルを分光測定装置で測定して得られたマッピングデータを表示手段へ表示する方法であって、
前記試料面上の少なくとも一部の領域内の各点で得られたスペクトルデータの複数の波数での値から、各スペクトルデータを個々のサンプルとしスペクトルデータの複数の波数での値を変量として主成分分析を行ったときの各サンプルの主成分スコア、各点のスペクトルと所定の既知物質のスペクトルとの類似度、所定の物質の各点での濃度、各点での試料の厚み、各点での試料の物性値、からなる一群から選択される1または複数の演算値を演算する演算工程と、
前記演算工程にて演算した演算値に関する情報の2次元または3次元のマッピング図を作成するマッピング図作成工程と、
前記マッピング図作成工程で作成されたマッピング図を前記表示手段に表示するマッピング図表示工程と、
を備えたことを特徴とするマッピングデータ表示方法。 - 請求項1記載のマッピングデータ表示方法において、
前記演算工程では、各点ごとに複数の演算値を求め、
前記マッピング図作成工程では、前記複数の演算値を組として、該演算値の組に対応する情報のマッピング図を作成することを特徴とするマッピングデータ表示方法。 - 請求項2に記載のマッピングデータ表示方法において、
前記マッピング図作成工程では、前記複数の演算値の組に基いて試料面上の少なくとも一部の領域内の各点を複数のグループに分割し、試料面上の各点がどのグループに属しているかという情報のマッピング図を作成することを特徴とするマッピングデータ表示方法。 - 請求項3に記載のマッピングデータ表示方法において、
前記グループ分けの基準を設定する設定工程をさらに備えたことを特徴とするマッピングデータ表示方法。 - 請求項1から4に記載のマッピングデータ表示方法において、
前記各点での試料の物性値は、屈折率または誘電率であることを特徴とするマッピングデータ表示方法。 - 請求項1から5に記載のマッピングデータ表示方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 試料面上の複数の点での分光スペクトルを分光測定装置で測定して得られたマッピングデータを表示手段に表示する装置であって、
前記試料面上の少なくとも一部の領域内の各点で得られたスペクトルデータの複数の波数での値から、各スペクトルデータを個々のサンプルとしスペクトルデータの複数の波数での値を変量として主成分分析を行ったときの各サンプルの主成分スコア、各点のスペクトルと所定の既知物質のスペクトルとの類似度、所定の物質の各点での濃度、各点での試料の厚み、各点での試料の物性値、からなる一群から選択される1または複数の演算値を演算する演算手段と、
前記演算工程にて演算した演算値に関する情報の2次元または3次元のマッピング図を作成するマッピング図作成手段と、
を備え、
前記マッピング図作成手段で作成されたマッピング図を前記表示手段に表示することを特徴とするマッピングデータ表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006030521A JP4856436B2 (ja) | 2006-02-08 | 2006-02-08 | マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006030521A JP4856436B2 (ja) | 2006-02-08 | 2006-02-08 | マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007212206A true JP2007212206A (ja) | 2007-08-23 |
JP4856436B2 JP4856436B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=38490801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006030521A Expired - Fee Related JP4856436B2 (ja) | 2006-02-08 | 2006-02-08 | マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4856436B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012098244A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | National Agriculture & Food Research Organization | 成分分布分析方法、成分分布分析装置、および、プログラム |
JP2015007619A (ja) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | キヤノン株式会社 | 分光画像データ処理装置および2次元分光装置 |
WO2016120958A1 (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社島津製作所 | 3次元スペクトルデータ処理装置及び処理方法 |
CN110442092A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-12 | 柳州钢铁股份有限公司 | 一种基于热连轧生产的自动统计和分析方法 |
JP2020047245A (ja) * | 2018-02-16 | 2020-03-26 | 富士電機株式会社 | 分析装置および分析方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06258259A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 面内分布測定方法及び装置 |
JPH1096691A (ja) * | 1991-03-19 | 1998-04-14 | Tokai Rika Co Ltd | 面分析方法及び面分析装置 |
JP2001523334A (ja) * | 1997-03-25 | 2001-11-20 | アプライド スペクトラル イメージング リミテッド | 細胞分類のためのスペクトル生体結像方法 |
JP2005201636A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Shizuoka Prefecture | 腐敗部判定方法及び判定装置 |
WO2005079661A1 (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Waseda University | 表在性化学種測定方法および測定装置 |
JP2008500541A (ja) * | 2004-05-26 | 2008-01-10 | ピコメトリクス、エルエルシー | 荷物及び人を検査するための反射及び透過モードのテラヘルツ画像化 |
-
2006
- 2006-02-08 JP JP2006030521A patent/JP4856436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1096691A (ja) * | 1991-03-19 | 1998-04-14 | Tokai Rika Co Ltd | 面分析方法及び面分析装置 |
JPH06258259A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 面内分布測定方法及び装置 |
JP2001523334A (ja) * | 1997-03-25 | 2001-11-20 | アプライド スペクトラル イメージング リミテッド | 細胞分類のためのスペクトル生体結像方法 |
JP2005201636A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Shizuoka Prefecture | 腐敗部判定方法及び判定装置 |
WO2005079661A1 (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Waseda University | 表在性化学種測定方法および測定装置 |
JP2008500541A (ja) * | 2004-05-26 | 2008-01-10 | ピコメトリクス、エルエルシー | 荷物及び人を検査するための反射及び透過モードのテラヘルツ画像化 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012098244A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | National Agriculture & Food Research Organization | 成分分布分析方法、成分分布分析装置、および、プログラム |
JP2015007619A (ja) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | キヤノン株式会社 | 分光画像データ処理装置および2次元分光装置 |
JP2019045514A (ja) * | 2013-05-30 | 2019-03-22 | キヤノン株式会社 | 分光画像データ処理装置および2次元分光装置 |
JP2020101564A (ja) * | 2013-05-30 | 2020-07-02 | キヤノン株式会社 | 分光画像データ処理装置および2次元分光装置 |
WO2016120958A1 (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社島津製作所 | 3次元スペクトルデータ処理装置及び処理方法 |
JPWO2016120958A1 (ja) * | 2015-01-26 | 2017-07-06 | 株式会社島津製作所 | 3次元スペクトルデータ処理装置及び処理方法 |
JP2020047245A (ja) * | 2018-02-16 | 2020-03-26 | 富士電機株式会社 | 分析装置および分析方法 |
JP7283105B2 (ja) | 2018-02-16 | 2023-05-30 | 富士電機株式会社 | 分析装置および分析方法 |
CN110442092A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-12 | 柳州钢铁股份有限公司 | 一种基于热连轧生产的自动统计和分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4856436B2 (ja) | 2012-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7515769B2 (en) | Mapping-data analyzing method and apparatus | |
JP5624881B2 (ja) | 位置特有のマルチパラメータデータセットを分析し比較するグラフィックユーザインターフェイス | |
JP4856436B2 (ja) | マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置 | |
JP2010276371A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
JP2003344029A (ja) | 半導体ウェハの微細パターンの寸法及び3次元形状測定方法とその測定装置 | |
JP7076463B2 (ja) | スペクトル分析装置およびスペクトル分析方法 | |
WO2014076789A1 (ja) | 分析対象領域設定装置 | |
Dubey et al. | Analysis of pharmaceutical tablet coating uniformity by laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) | |
JP2019045514A (ja) | 分光画像データ処理装置および2次元分光装置 | |
JP2015028466A (ja) | 分光情報を処理する情報処理装置及び情報処理方法 | |
CN106841167A (zh) | 果蔬农药残留的无损检测方法 | |
JP2013101109A (ja) | 照明装置及び画像取得装置 | |
JP5020491B2 (ja) | Nmrデータの処理装置及び方法 | |
JP2006322772A (ja) | 分光分析装置 | |
US20120265487A1 (en) | Method and Apparatus of Analyzing Sample Surface Data | |
JP6669189B2 (ja) | 赤外顕微鏡 | |
JP5415476B2 (ja) | Nmrデータの処理装置及び方法 | |
JPH0560686A (ja) | 皮脂成分測定装置 | |
JP2004138454A (ja) | 光学的散乱特性推定方法および装置 | |
CN110579466B (zh) | 一种激光诱导击穿光谱筛选方法 | |
JP6436649B2 (ja) | データの処理方法及び装置 | |
JP6372018B2 (ja) | 計測装置および計測方法 | |
KR20200136037A (ko) | 측정 장치, 프로그램 및 측정 장치의 제어 방법 | |
JP2018072038A (ja) | 多変量解析用データ作成プログラム及びそのプログラムを備えたデータ解析装置 | |
CN103714233A (zh) | 一种单、多元变量相结合的数据分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111028 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4856436 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |