JP2007203335A - レーザ加工装置及び加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ5が加工対象物50を保持する。レーザ光源15が加工用のレーザビームを出射する。ステージに保持された加工対象物に対向する位置に光学系20が配置されている。この光学系は、レーザ光源から出射されたレーザビームを、ステージに保持された加工対象物の表面に入射させる。支持機構10が、光学系を、ステージに保持された加工対象物と光学系との距離が変動する方向に移動可能に支持する。光学系に対する相対位置が固定されるようにエアベアリング25が設けられている。エアベアリングは、ステージに保持された加工対象物に対向し、加工対象物に流体を吹き付けて加工対象物の表面との間に間隙を確保する。
【選択図】 図1
Description
5 ステージ
5A 駆動機構
5B トップテーブル
5C 保護プレート
5D 反発力印加機構
6 上方支持部材
7 Zステージ
7A Z軸ガイドレール
7B Z方向可動部
7C 駆動機構
10 支持機構
10A ガイドレール
10B 可動部
14 押し付け機構
15 レーザ光源
16 折り返しミラー
20 光学系
20A レンズ
20B マスク
23 レーザビーム入射位置
25 エアベアリング
25A ガス供給管
25B ガス排気管
25a 環状領域
Claims (8)
- 加工対象物を保持するステージと、
加工用のレーザビームを出射するレーザ光源と、
前記ステージに保持された加工対象物に対向する位置に配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、前記ステージに保持された加工対象物の表面に入射させる光学系と、
前記光学系を、前記ステージに保持された加工対象物と前記光学系との距離が変動する方向に移動可能に支持する支持機構と、
前記光学系に対する相対位置が固定され、前記ステージに保持された加工対象物に対向し、該加工対象物に流体を吹き付けて該加工対象物の表面との間に間隙を確保するエアベアリングと
を有するレーザ加工装置。 - さらに、前記ステージに保持された加工対象物と、前記光学系との一方を他方に対して、該加工対象物の被加工面に平行な方向に移動させる駆動機構を有する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージが、加工対象物を、その被加工面が上方を向くように水平に保持し、前記支持機構が、前記光学系を鉛直方向に移動可能に支持し、前記光学系を下方に変位させる力と、前記エアベアリングによる浮上力とが均衡した位置に前記光学系が静止する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージが、加工対象物を、その被加工面が上方を向くように水平に保持し、前記支持機構が、前記光学系を鉛直方向に移動可能に支持し、
さらに、前記光学系を前記ステージに保持された加工対象物へ押し付ける押し付け機構を有し、該光学系を下方に変位させる力と、前記エアベアリングによる浮上力とが均衡した位置に該光学系が静止する請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記エアベアリングは、前記光学系によるレーザビームの入射位置を取り囲む環状領域に対向している請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 加工対象物を、その被加工面に垂直な第1の方向に変位可能に保持し、保持した加工対象物が外力によって前記第1の方向に変位すると、該加工対象物に、加えられた外力と対抗する向きの反発力を印加するステージと、
加工用のレーザビームを出射するレーザ光源と、
前記ステージに保持された加工対象物に対向するように配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、前記ステージに保持された加工対象物の表面に入射させる光学系と、
前記光学系に対する相対位置が固定され、前記ステージに保持された加工対象物に対向し、該加工対象物に流体を吹き付けて該加工対象物の表面との間に間隙を確保するエアベアリングと、
前記ステージに保持された加工対象物及び前記光学系の一方を他方に対して、該加工対象物の被加工面に平行な方向に移動させる駆動機構と
を有するレーザ加工装置。 - 前記エアベアリングは、前記光学系によるレーザビームの入射位置を取り囲む環状領域に対向している請求項6に記載のレーザ加工装置。
- 加工対象物に対向する光学系に相対位置が固定されたエアベアリングから該加工対象物に流体を吹き付けながら該加工対象物から該光学系までの高さを一定に維持した状態で、該光学系と該加工対象物との一方を他方に対して、該加工対象物の被加工面に平行な方向に移動させながら、該光学系を通して該加工対象物にレーザビームを入射させてレーザ加工を行う方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-02-02 JP JP2006025420A patent/JP2007203335A/ja active Pending
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