JP2007189303A - 超音波センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 送信素子19から送信され障害物Mにて反射された超音波を、受信部31bが露出した状態でバンパ52に配置された受信部材31aで受信する。受信された超音波は伝達部材21とワイヤ61とを介して固体の振動として振動部16に伝達されるため、空間を介して伝達されるものよりも減衰を小さくすることができるので、超音波の振動を振動部16に効率よく伝達することができる。振動部16は直接露出しておらず、受信部材31aと振動部16との間には伝達部材21及びワイヤ61が介在されているため、外力を受けた受信部材31aが振動部16側に変位した場合でも、受信部材31aが振動部16と接触し、振動部16が破損するおそれがない。
【選択図】 図2
Description
例えば、自動車の後部に超音波センサを搭載し、自動車の後方に存在する人間や障害物などに当たって反射された超音波を当該超音波センサで受信して検知するバックソナーを用い、人間や障害物などとの衝突を回避してバックでの駐車を支援する自動駐車支援システムなどが実用化されている。
更に、超音波センサの受信素子としては、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を利用して基板の薄肉部として形成された薄膜部上に圧電体薄膜からなる振動部が形成された、超音波センサの受信素子が注目されている。
そのため、受信素子の汚染や外力の負荷による破壊を防止するための保護構造を備えた超音波センサとして、例えば、特許文献1には、受信素子を外部に露出しないようにアルミケースに内装し、超音波を検出する圧電振動子を振動板に直接取り付けて、振動板の振動によって超音波を受信する超音波センサが開示されている。
また、破損を防止するために、圧電体薄膜を振動板に取り付けずに、圧電体薄膜と振動板との間に空間を設けた場合、超音波を受信素子に効率よく伝達することができないという問題があった。
この受信部材により受信された超音波は、第1の伝達部材と第2の伝達部材とを介して振動部に伝達されるため、従来のように空間を介して伝達されるものよりも超音波の減衰を小さくすることができるので、超音波の振動を振動部に効率よく伝達することができる。
また、振動部は直接露出しておらず、受信部材と振動部との間には、第1及び第2の伝達部材が介在されているため、外力を受けた受信部材が振動部側に変位した場合であっても、受信部材が振動部と接触し、振動部が破損するおそれがない。
つまり、振動部を保護するとともに、被検出体で反射された超音波を効率よく振動部に伝達することができる超音波センサを実現することができる。
また、線状の部材は振動部に比べて体積が小さいため、全体として剛性が高くない。そのため、振動部に過大な力が負荷されることがないので、超音波の振動により振動部が破壊されるおそれがない。
また、受信部材と振動部との間には、第1及び第2の伝達部材が介在されているため、車両の走行中に、例えば、小石などが飛来して受信部材に衝突した場合であっても、受信部材が振動部と接触し、破損するおそれがない。更に、車両が雨やちりなどの異物により汚れた場合であっても、振動部には、水滴や異物が付着しないため、超音波センサを正常な状態で作動させることができる。
つまり、車両に搭載して使用される信頼性の高い超音波センサを実現することができる。
なお、各図では、説明のために一部を拡大して示している。
最初に、超音波センサに備えられた受信素子の構造について説明する。
図1(A)及び(B)に示すように、受信素子10は、SOI(Silicon On Insulator)構造の四角形状の半導体基板11を用いて形成されている。半導体基板11は、シリコンからなる支持部材11aの上面11m上に、第1絶縁膜11b、シリコン活性層11c、第2絶縁膜11dがこの順番で積層されて形成されている。
半導体基板11の中央部は、MEMS技術により、支持部材11a及び第1絶縁膜11bの中央部が四角形状に除去されている。これにより、支持部材11aは中央部が四角柱にくり抜かれた枠状に、残されたシリコン活性層11c及び第2絶縁膜11dは、それぞれ四角形の薄膜状に形成されている。
更に上面電極14の表面には第3絶縁膜15が形成されている。シリコン活性層11c、第2絶縁膜11d、圧電振動子12、下面電極13、上面電極14及び第3絶縁膜15が積層された部分のうち、支持部材11aに形成された枠状の開口部に対応した部分により、支持部材11aにより端部が支持された振動部16が形成される。
このように、MEMS技術を利用して作製された受信素子10は、振動部16が、支持部材11aにより支持されているため、振動部16に接触して振動を拘束する領域が小さくなるので、振動部16の変位を大きくすることができ、振動の受信感度を高めることができる。このため、超音波の受信感度が高いため受信素子として好適である。
図2(A)に示すように、本実施形態の超音波センサ60では、縦横方向に2個ずつ計4個の受信素子10がアレイ状に並べて配置され、各受信素子10は、収容部材23に収容されている。図2(B)に示すように、収容部材23は車両の走行方向に設けられたバンパ52の裏面52bに取り付けられている。なお、受信素子の数は例示であり、4個に限らない。また配置についても、縦横2個とは限らない。
図2(B)及び図3に示すように、収容部材23は、箱状に形成されており、振動部16を取付可能な内面を複数有する。それら複数の内面のうち、バンパ52の裏面52bに対応する内面23cには、電極18、18が取り付けられている。受信素子10の下面電極13上には電極パッド13aが、上面電極14上には電極パッド14aが電気的に接続されており、各電極パッド13a、14aは、それぞれ導電性のバンプ17を介して電極18、18と電気的に接続されている。つまり、受信素子10は、受信素子10を取付可能な収容部材23の内面のうち、後述する受信部31bで受信した超音波の振動が振動部16に伝達されるまでの伝達時間が最も短くなる内面23cに取り付けられている。ここで、バンプ17は、例えば、金属製の球形部材であり、熱圧接により、各電極パッド13a、14aと各電極18とをそれぞれ接合する。
各電極18は、圧電振動子12から出力される電圧信号を検知する回路(図示せず)にそれぞれ電気的に接続されており、その回路は、車両に備えられたECU(Electronic Control Unit)に電気的に接続されている。
バンパ52には、取付部23bを挿通可能な大きさに前後方向に貫通形成された取付部52aが設けられており、この取付部52aに収容部材23の取付部23bが、バンパ52の裏面52bから挿通される。また、バンパ52の裏面52bと収容部材23の外側面23aとの間には、衝撃吸収部材42が介在している。これにより、バンパ52に衝撃が加わった場合でも、収容部材23に伝わる力を小さくすることができるので、収容されている受信素子10が破損するおそれが少ない。
各受信部材31aは、超音波を受信する四角形状の受信部31bをそれぞれ備える。各受信部31bは、それぞれ車両の外部であって、被検出体たる障害物Mが存在する空間側に露出しており、バンパ52の前方から見て縦横方向に2個ずつの計4個配置されている。各受信部材31aの隣接する側面間と、各受信部材31及び取付部23b間とには、超音波の伝達を防止する遮蔽材41がそれぞれ介在されている。
ここで、受信部材31aは、互いに隣り合った受信部材31aの受信部31bの中心部の間隔が、超音波の半波長に等しくなるように配置されている。
各伝達部材21は、それぞれ受信された超音波を個体の振動として伝達可能な材料、例えば、金属箔により形成されている。
伝達部材21は、受信部31bと異なる位置であれば、例えば、受信部材31aの側面において連結してもよい。
本実施形態では、ワイヤ61は、伝達部材21の長手方向に平行に設けられているが、伝達部材21の長手方向に対して斜め方向に設けてもよいし、車両の前方から見て直線状でなくてもよい。
ワイヤ61が、超音波の振動による伝達部材21と振動部16との間の変位に合わせて変形可能であれば、アーチを形成するための接点の数は任意である。
また、複数本のワイヤ61を設けてもよい。このとき、複数本のワイヤ61は平行に設けてもよいし、交差してもよい。
図2(B)に示すように、送信素子19から送信され、被検出体たる障害物Mにて反射された超音波を受信部31bにて受信すると、受信された超音波は、受信部材31aから伝達部材21に固体の振動として伝達される。伝達部材21に伝達された超音波は、ワイヤ61内を伝達し、ワイヤ61と接触している振動部16を振動させる。
ここで、受信部31bにより受信された超音波は、伝達部材21によって固体の振動として伝達されるため、振動の減衰が少ない状態で振動部16に伝達することができる。
ワイヤ61は、超音波の振動による伝達部材21と振動部16との間の変位に合わせて変形可能であるため、振動部16に過大な力が負荷されることがないので、超音波の振動により振動部16が破壊されるおそれがない。
そして、上記回路は圧電振動子12から出力される電圧信号をECUにて処理可能な信号に変換してECUへ出力し、ECUは、入力された信号に基づいて所定の演算処理を行い、例えば、送信素子19から送信した超音波及び各受信素子10で受信した超音波の時間差、位相差を求め、その各差に基づいて、障害物Mとの距離及び位置を測定する。
ここで、本実施形態のように、互いに隣り合った各受信部材31aの受信部31bの中心部の間隔が、超音波の半波長に等しくなるように配置すると、受信した超音波の位相差からも時間差を検出することができるので、各受信部31bにおいて受信した超音波の時間差を精度良く検出することができる。
従って、障害物Mとの距離及び位置の測定精度を向上させることができる。
従って、図中左側の受信部31aにて受信した超音波は、図中左側の受信素子10aの振動部16にだけ伝達され、他の振動部には伝達されない。
これにより、超音波の伝達を各受信部材31a間で分離して行うことが可能になり、各振動部16のクロストーク特性を向上することができる。
従って、各受信部31bで受信した超音波の時間差、位相差を正確に求めることができるので、障害物Mの位置測定の精度を向上させることができる。
各受信部31bと振動部16とからなる組の各組で伝達時間がそれぞれ等しくなるようにするためには、例えば、受信素子10aに対応する受信部31bから振動部16までの距離が各組でそれぞれ等しくなるように構成するとよい。
以上より、受信部材31aを構成する材料としては、本実施形態のステンレス以外には、アルミニウム合金などの各種金属材料が好ましい。また、各種合成樹脂、ガラス、セラミックス、ゴムなども用いることができる。
また、高伝達率化のために、伝達部材の取り回しを行う際に可能な限り直線形状で取り回す、角にRをつけるなどすることが有効である。
本実施形態の変更例について、図を参照して説明する。ここでは、超音波センサを車両に搭載し、障害物センサとして使用する場合を例に説明する。図4及び図5は、伝達部材から振動部に振動を伝達する部材の変更例を示す説明図である。図6は、受信部材の変更例を示す説明図である。図7は、受信素子の配置の変更例を示す説明図である。
これらの構成を使用すると、箔状部材62はワイヤ61より幅が広いため、接触面積が大きくなるので、振動の伝達効率を高めることができる。また、箔状部材62は、超音波の振動による伝達部材21と振動部16との間の変位に合わせて変形可能であるため、振動部16に過大な力が負荷されることがないので、超音波の振動により振動部16が破壊されるおそれがない。
図4(B)に示すように、伝達部材21と振動部16との間に金属や樹脂などからなる弾性を有する綿状部材63を介在させてもよい。また、図4(C)に示すように、伝達部材21と振動部16との間にゲル状物質、例えば、高分子系のゲルからなるゲル状部材64を介在させてもよい。
上記の構成を使用すると、接触面積を大きくすることができ、振動の伝達効率を高めることができる。また、綿状部材63及びゲル状部材64は、超音波の振動による伝達部材21と振動部16との間の変位に合わせて変形可能であるため、振動部16に過大な力が負荷されることがないので、超音波の振動により振動部16が破壊されるおそれがない。
図5(A)に示すように、伝達部材21から振動部16の中心近傍に接触するように突出した半球状の突出部材65を設けてもよい。突出部材65は、伝達部材21の一部を突出させて形成してもよいし、樹脂や接着剤などで形成してもよい。また、突出部材65は、半球状に限らず、角柱状、円柱状などでもよい。更に、突出部材65は1箇所だけでなく、複数箇所に設けてもよい。
また、図5(B)に示すように、振動部16を構成する第3絶縁膜15の中心近傍から伝達部材21に接触するように突出した半球状の突出部材66を設けてもよい。突出部材66は、樹脂や接着剤などで形成することができる。突出部材66は、半球状に限らず、角柱状、円柱状などでもよい。更に、突出部材66は1箇所だけでなく、複数箇所に設けてもよい。
突出部材65、または、突出部材66を介して局所的に固体の振動として伝達されるため、振動部16に接触して振動を拘束する領域が小さくなるので、振動部16の変位を大きくすることができ、振動の伝達効率を高めることができる。また、突出部材65及び突出部材66は、超音波の振動による伝達部材21と振動部16との間の変位に合わせて変形可能であるため、振動部16に過大な力が負荷されることがないので、超音波の振動により振動部16が破壊されるおそれがない。
図6には、受信部材31aを車両外側から見た平面説明図と縦断面説明図とを示す。図6(A)に示すように、受信部材31aと伝達部材21とをそれぞれ同一材料により一体的に形成してもよい。この構成を用いると、受信部材31aから伝達部材21に、直接、振動が伝達するため、振動の減衰を小さくすることができる。また、部品点数を減らすことができる。
受信部31bは、縦断面が四角形状に限らず、図6(B)に示すように円形でもよいし、星形など他の形状でもよい。これにより、受信部31bの意匠性を向上することができる。
また、図6(C)に示すように、伝達部材21を連結する部分の断面積より受信部31bの面積を大きくする構成を用いることもできる。これにより、超音波を受信する面積が大きくなるので、超音波の受信感度を向上させることができる。
いずれの場合においても、隣接する各受信部31bの中心部の間隔を超音波の半波長分離して配置するとよい。
図7(A)に示すように、複数の受信素子、例えば4個の受信素子を一体形成したチップ70を用いてもよい。この構成を使用すると、受信素子が分割されず一体化されているので、配置スペースを小さくすることができる。また、一度分割された受信素子を再度配置する必要がないので、超音波センサを作製するため工程が少なくすることができる。
図7(B)に示すように、受信素子10の取り付け位置は、内面23cに限らず、収容部材23の内面のうち、受信部31bで受信した超音波の振動が振動部16に伝達されるまでの伝達時間が最も長くなる内面23dとすることもできる。
この構成を使用すると、受信素子10が収容部材内でバンパ52から最も距離が遠い位置に配置されるため、バンパ52に衝撃が加わった場合においても、受信素子10が破壊されるおそれが少ない。
この構成を用いると、障害物Mなどで反射した超音波が車両の一部に遮られることがないので、確実に超音波センサ60で検出することができ、障害物センサなどに超音波センサ60を適用する場合に有効である。
更に、超音波センサ60の用途に合わせて、他の部材にも装着可能である。例えば、超音波センサ60を車両側方の障害物センサとして用いる場合には、ドアミラーや車両側面に設けられたウインカーのカバーなどに装着することができる。
(1)送信素子19から送信され、障害物Mにて反射された超音波を、受信部31bが障害物Mの存在する空間側に露出した状態でバンパ52に配置された受信部材31aで受信することができる。
この受信部材31aにより受信された超音波は、伝達部材21とワイヤ61とを介して、固体の振動として振動部16に伝達されるため、従来のように空間を介して伝達されるものよりも超音波の減衰を小さくすることができるので、超音波の振動を振動部16に効率よく伝達することができる。
また、振動部16は直接露出しておらず、受信部材31aと振動部16との間には、伝達部材21及びワイヤ61が介在されているため、外力を受けた受信部材31aが振動部16側に変位した場合であっても、受信部材31aが振動部16と接触し、振動部16が破損するおそれがない。
つまり、振動部16を保護するとともに、障害物Mで反射された超音波を効率よく振動部16に伝達することができる超音波センサ60を実現することができる。
また、受信部材31aと振動部16との間には、伝達部材21及びワイヤ61が介在されているため、車両の走行中に、例えば、小石などが飛来して受信部材31aに衝突した場合であっても、受信部材31aが振動部16などに接触し、破損するおそれがない。更に、車両が雨やちりなどの異物により汚れた場合であっても、振動部16には、水滴や異物が付着しないため、超音波センサ60を正常な状態で作動させることができる。
つまり、車両に搭載して使用される信頼性の高い超音波センサ60を実現することができる。
送信素子19が請求項1に記載の送信手段に、受信部材31aが受信手段に、伝達部材21が第1の伝達部材に、ワイヤ61、箔状部材62、綿状部材63、ゲル状部材64、突出部材65、突出部材66が第2の伝達部材にそれぞれ対応する。遮蔽材41が請求項16に記載の遮蔽手段に、衝撃吸収部材42が請求項21に記載の第1の衝撃吸収手段及び請求項22に記載の第2の衝撃吸収手段にそれぞれ対応する。
11a 支持部材
16 振動部
19 送信素子(送信手段)
21 伝達部材(第1の伝達部材)
23 収容部材
31a 受信部材(受信手段)
31b 受信部
41 遮蔽材(遮蔽手段)
42 衝撃吸収部材(衝撃吸収手段)
52 バンパ
52a 取付部
60 超音波センサ
61 ワイヤ(第2の伝達部材)
62 箔状部材(第2の伝達部材)
63 綿状部材(第2の伝達部材)
64 ゲル状部材(第2の伝達部材)
65、66 突出部材(第2の伝達部材)
M 障害物
Claims (23)
- 超音波を送信する送信手段から送信され、被検出体にて反射された超音波が伝達して振動する振動部を有し、所定の物体に配置される超音波センサにおいて、
前記被検出体にて反射された超音波を受信する受信部が、前記所定の物体において前記被検出体の存在する空間側に露出する受信手段と、
前記受信手段に連結されて設けられ、前記受信部で受信した超音波の振動が伝達される第1の伝達部材と、
前記第1の伝達部材と前記振動部との間に介在し、前記第1の伝達部材に伝達された超音波の振動を前記振動部へ伝達する第2の伝達部材と、を備えたことを特徴とする超音波センサ。 - 前記第2の伝達部材は、前記超音波の振動による前記第1の伝達部材と前記振動部との間の変位に合わせて変形可能であることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、線状の部材からなることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、箔状の部材からなることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、綿状の部材からなることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、ゲル状物質からなることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、前記振動部に接触するように前記第1の伝達部材から突出して設けられた凸状の第1の突出部材であることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記第2の伝達部材は、前記振動部の前記第1の伝達部材側の面に、前記第1の伝達部材に接触するように突出して設けられた凸状の第2の突出部材であることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。
- 前記振動部の端部を支持する支持部材が備えられたことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記受信手段と前記第1の伝達部材とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記第1の伝達部材及び前記第2の伝達部材の音響インピーダンスが等しい、または、ほぼ等しいことを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記振動部を収容するための第1の収容部材を更に備え、
前記所定の物体には、前記第1の収容部材を取り付ける第1の取付部が設けられており、
前記受信部が前記第1の取付部において前記被検出体の存在する空間側に露出した状態で、前記第1の収容部材が前記第1の取付部に取り付けられたことを特徴とする請求項1ないし請求項11のいずれか1つに記載の超音波センサ。 - 前記振動部は、前記振動部を取付可能な前記第1の収容部材の内面のうち、前記受信部で受信した超音波の振動が前記振動部に伝達されるまでの伝達時間が最も短くなる内面に取り付けられたことを特徴とする請求項12に記載の超音波センサ。
- 前記振動部は、前記振動部を取付可能な前記第1の収容部材の内面のうち、前記受信部で受信した超音波の振動が前記振動部に伝達されるまでの伝達時間が最も長くなる内面に取り付けられたことを特徴とする請求項12に記載の超音波センサ。
- 前記振動部と、前記受信手段と、前記第1の伝達部材と、前記第2の伝達部材とからなる組を、複数組備えたことを特徴とする請求項1ないし請求項11のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記各受信手段の間には、前記受信部で受信した超音波の振動の前記各受信手段間での伝達を妨げる遮蔽手段がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項15に記載の超音波センサ。
- 前記各受信部で受信した超音波の振動が前記各振動部に伝達されるまでの伝達時間が前記各組毎に等しい、または、ほぼ等しいことを特徴とする請求項15または請求項16に記載の超音波センサ。
- 前記各振動部を総て収容するための第2の収容部材を更に備え、
前記所定の物体には、前記第2の収容部材を取り付ける第2の取付部が設けられており、
前記各受信手段の受信部が前記第2の取付部においてそれぞれ前記被検出体の存在する空間側に露出した状態で、前記第2の収容部材が前記第2の取付部に取り付けられたことを特徴とする請求項15ないし請求項17のいずれか1つに記載の超音波センサ。 - 前記各振動部は、前記各振動部を取付可能な前記第2の収容部材の内面のうち、前記各受信部で受信した超音波の振動が前記各振動部に伝達されるまでの伝達時間が最も短くなる内面にそれぞれ取り付けられたことを特徴とする請求項18に記載の超音波センサ。
- 前記各振動部は、前記各振動部を取付可能な前記第2の収容部材の内面のうち、前記各受信部で受信した超音波の振動が前記各振動部に伝達されるまでの伝達時間が最も長くなる内面にそれぞれ取り付けられたことを特徴とする請求項18に記載の超音波センサ。
- 前記第1の収容部材と前記所定の物体との間には、前記所定の物体に加わった衝撃の前記第1の収容部材への伝達を妨げる第1の衝撃吸収手段が設けられていることを特徴とする請求項12ないし請求項14のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記第2の収容部材と前記所定の物体との間には、前記所定の物体に加わった衝撃の前記第2の収容部材への伝達を妨げる第2の衝撃吸収手段が設けられていることを特徴とする請求項18ないし請求項20のいずれか1つに記載の超音波センサ。
- 前記所定の物体は、車両であることを特徴とする請求項1ないし請求項22のいずれか1つに記載の超音波センサ。
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