JP2007189014A - Component compression-bonding apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent deterioration in yield of products by eliminating defective products by cleaning so that foreign substances on a stage surface may not be scattered. <P>SOLUTION: A component compression-bonding apparatus compression-bonds an electronic component 202 on a panel 200 using a pressurizing device 4, in a state where the panel 200 is placed on a stage surface 17 of a backup end unit 6. The stage surface 17 is cleaned so that foreign substances on the stage surface 17 are swept in a direction opposite to a side where the panel 200 is placed or in a direction opposite to a side of carrying in or out the panel 200, with respect to a support 6 by moving a cleaner 21 provided inclined in an extending direction of the stage surface 17. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、液晶表示パネルなどのフラットディスプレイパネルの製造に用いられ、パネルに電子部品を実装する場合に用いられる部品圧着装置に関する。   The present invention relates to a component crimping apparatus that is used, for example, for manufacturing a flat display panel such as a liquid crystal display panel and used for mounting an electronic component on the panel.

例えば液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルを製造する場合においては、電子部品に相当するTCP(Tape Carrier Package)または、FPC(FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT)を、パネルに圧着実装する電子部品実装装置が用いられる。   For example, in the case of manufacturing a flat display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel, an electronic component mounting apparatus that mounts TCP (Tape Carrier Package) or FPC (FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT) corresponding to the electronic component on the panel by pressure bonding Is used.

この電子部品実装装置は大きく分けて次のステップを行うことによりパネルに電子部品を実装する。すなわち、接合部材である異方性導電テープをパネルに貼り付け、異方性導電テープを介してTCPをパネルに仮圧着し、パネルをバックアップユニットで支持した状態で加圧装置によりTCPを加圧してパネルに本圧着する。   This electronic component mounting apparatus is roughly divided to perform the following steps to mount electronic components on the panel. That is, an anisotropic conductive tape as a joining member is attached to the panel, and the TCP is temporarily pressure-bonded to the panel via the anisotropic conductive tape, and the TCP is pressed with a pressure device while the panel is supported by the backup unit. And press-bond to the panel.

ところで、上述した電子部品実装装置において、特に本圧着を行う本圧着装置においては、図6A,図6Bに示すように、ガラスよりなるパネルの破片等が、バックアップツール150のステージ面151上に異物152として付着することがあり、このような状態下で加圧ツール153を用いてTCP154をパネル155に本圧着を行なうと、パネル155に傷がつき、製品不良が発生し、製品の歩留まりの低下を招いていた。   By the way, in the electronic component mounting apparatus described above, particularly in the main pressure bonding apparatus that performs the main pressure bonding, as shown in FIGS. 6A and 6B, glass panel fragments or the like are formed on the stage surface 151 of the backup tool 150 as foreign matter. In this state, if the pressure bonding tool 153 is used and the TCP 154 is permanently bonded to the panel 155, the panel 155 may be damaged, resulting in product defects and a decrease in product yield. Was invited.

このような問題点を解消すべく、特許文献1には、バックアップユニットのステージ面を清掃する清掃ユニットを設けた電子部品実装装置が開示されている。   In order to solve such a problem, Patent Document 1 discloses an electronic component mounting apparatus provided with a cleaning unit for cleaning the stage surface of a backup unit.

この装置は、ブラシを用いてステージ面上を清掃するものであり、バックアップユニットのパネルが位置する側にブラシを退避させておくと共に、清掃時には、ブラシをバックアップユニット上に移動させてステージ面上の異物を清掃するものである。
特開2003−17528号公報
This device uses a brush to clean the stage surface. The brush is retracted to the side where the panel of the backup unit is located, and at the time of cleaning, the brush is moved onto the backup unit to It is intended to clean foreign matter.
JP 2003-17528 A

しかし、上記装置では、異物を清掃する具体的な方法についてはなされておらず、ステージ面上からは異物が清掃されるかもしれないが、清掃の結果、その周辺に散乱する。当該散乱した異物が実装前のパネルに付着すると却って不良の原因となる。   However, in the above apparatus, there is no specific method for cleaning foreign matter, and foreign matter may be cleaned from the stage surface, but as a result of cleaning, it is scattered around the periphery. If the scattered foreign matter adheres to the panel before mounting, it causes a defect.

特に近年においては、表示するパネルの精細化がすすみ、電子部品とパネルとの間の電極のリードピッチが狭小化してきている。これにより従来よりも異物が製品不良に及ぼす影響は大きく、より厳しい異物対策が必要となってきている。   In particular, in recent years, the display panel has been refined, and the lead pitch of the electrode between the electronic component and the panel has been narrowed. As a result, the influence of foreign substances on product defects is greater than in the past, and stricter countermeasures against foreign substances are required.

したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、ステージ面上に存在する異物が散乱しないように清掃することによって、製品不良をなくして製品の歩留まりの低下を防止することができる部品圧着装置を提供することである。   Therefore, the technical problem to be solved by the present invention is to provide a component crimping apparatus capable of eliminating product defects and preventing a decrease in product yield by cleaning so that foreign matter existing on the stage surface is not scattered. Is to provide.

本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の部品圧着装置を提供する。   In order to solve the above technical problem, the present invention provides a component crimping apparatus having the following configuration.

本発明の第1態様によれば、部品をパネルに圧着可能な部品圧着部と、
部品が圧着されるパネルを支持可能で前記部品圧着部の圧着面に対向したステージ面を有する支持部と、
前記支持部の長手方向に対して傾斜して配置され、前記支持部のステージ面上の異物を前記支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側とは反対側に異物を掃き出すように清掃可能な清掃部と、
前記清掃部を前記支持部の長手方向に沿って駆動させる駆動軸部とを備えた部品圧着装置を提供する。
According to the first aspect of the present invention, a component crimping portion capable of crimping a component to a panel;
A support portion having a stage surface capable of supporting a panel to which a component is crimped and facing the crimp surface of the component crimp portion;
It is arranged to be inclined with respect to the longitudinal direction of the support part, and the foreign matter on the stage surface of the support part is opposite to the side on which the panel is placed with respect to the support part, or the panel loading or unloading side A cleaning part that can be cleaned so as to sweep out foreign matter on the opposite side,
Provided is a component crimping device including a drive shaft portion that drives the cleaning portion along the longitudinal direction of the support portion.

本発明の第2態様によれば、前記駆動軸部の駆動力を前記清掃部に伝達可能で、清掃時に前記清掃部を前記支持部のステージ面に当接可能で、非清掃時には前記支持部のステージ面に当接しないように構成された清掃ユニットを備えた第1態様の部品圧着装置を提供する。   According to the second aspect of the present invention, the driving force of the drive shaft portion can be transmitted to the cleaning portion, the cleaning portion can be brought into contact with the stage surface of the support portion during cleaning, and the support portion when not cleaned. There is provided a component crimping apparatus according to a first aspect including a cleaning unit configured not to contact the stage surface.

本発明の第3態様によれば、前記清掃ユニットは、前記清掃部を前記支持部の長手方向一端側と前記支持部の長手方向他端側との間で往復移動可能に構成され、かつ前記長手方向一端側から前記長手方向他端側の方向までの移動する間は前記ステージ面に前記清掃部が当接可能で、前記長手方向他端側から前記長手方向一端側の方向までの移動する間は前記ステージ面に前記清掃部が非当接となるように構成された第2態様の部品圧着装置を提供する。   According to a third aspect of the present invention, the cleaning unit is configured to be capable of reciprocating the cleaning portion between one end side in the longitudinal direction of the support portion and the other end side in the longitudinal direction of the support portion, and During the movement from one end in the longitudinal direction to the direction in the other end in the longitudinal direction, the cleaning portion can be in contact with the stage surface, and the movement from the other end in the longitudinal direction to the direction in the one end in the longitudinal direction is performed. In the meantime, there is provided a component crimping apparatus according to a second aspect, wherein the cleaning unit is not in contact with the stage surface.

本発明の第4態様によれば、前記清掃ユニットは、
前記清掃部が前記長手方向一端側から前記長手方向他端側へ移動するときは前記清掃部を降下させて前記ステージ面に接触させると共に、前記清掃部が前記長手方向他端側から長手方向一端側へ移動するときは前記清掃部を上昇させて前記ステージ面に非接触となるように前記清掃部を上下移動させる上下移動機構とを備えることを特徴とする、第3態様の部品圧着装置を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, the cleaning unit is
When the cleaning unit moves from one end in the longitudinal direction to the other end in the longitudinal direction, the cleaning unit is lowered and brought into contact with the stage surface, and the cleaning unit is moved from the other end in the longitudinal direction to one end in the longitudinal direction. A component crimping device according to a third aspect, comprising: a vertical movement mechanism that moves the cleaning unit up and down so that the cleaning unit is lifted and moved out of contact with the stage surface when moving to the side. provide.

本発明の第5態様によれば、前記清掃部は、前記支持部の長手方向を基軸として前記清掃部の動作進行方向の向きに傾きを有するように傾斜方向を反転可能に構成されていることを特徴とする、第1又は第2態様の部品圧着装置を提供する。   According to the fifth aspect of the present invention, the cleaning unit is configured to be capable of reversing the inclination direction so as to have an inclination in the direction of the operation progressing direction of the cleaning unit with respect to the longitudinal direction of the support unit. A component crimping device according to the first or second aspect is provided.

本発明の第6態様によれば、前記清掃部は、傾きが可変可能に構成されていることを特徴とする、第1から第3態様のいずれか1つの部品圧着装置を提供する。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the component crimping apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the cleaning section is configured to be variable in inclination.

本発明の第7態様によれば、さらに、パネルが前記支持部に対して、パネルの載置される側または、パネルの搬入あるいは搬出側から前記支持部に向けて気体を吹き出すブロー装置を備えることを特徴とする、第6態様の部品圧着装置を提供する。   According to the seventh aspect of the present invention, the panel further includes a blower that blows gas toward the support portion from the side on which the panel is placed or from the loading or unloading side of the panel with respect to the support portion. A component crimping apparatus according to a sixth aspect is provided.

本発明の第8態様によれば、前記ブロー装置は、前記清掃部の静電気を除去する除電装置を備えることを特徴とする、第7態様の部品圧着装置を提供する。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the component crimping device according to the seventh aspect, characterized in that the blower device includes a static eliminator that removes static electricity from the cleaning unit.

本発明の第9態様によれば、さらに、前記支持部に対してパネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側とは反対側の方向に前記ステージ面から清掃された異物を吸引する吸引部を備えることを特徴とする、第1から第8態様のいずれか1つの部品圧着装置を提供する。   According to the ninth aspect of the present invention, the cleaning is further performed from the stage surface in a direction opposite to the side on which the panel is placed with respect to the support portion or the side opposite to the panel loading or unloading side. Provided is a component crimping device according to any one of the first to eighth aspects, comprising a suction part for sucking foreign matter.

本発明の第10態様によれば、前記清掃部は、金属粉を混入した導電性樹脂で構成されたブラシを備えることを特徴とする、第1から第9態様のいずれか1つの部品圧着装置を提供する。   According to a tenth aspect of the present invention, the cleaning unit includes a brush made of a conductive resin mixed with metal powder, and the component crimping device according to any one of the first to ninth aspects, I will provide a.

本発明の第11態様によれば、前記清掃部のブラシを吸引により清掃する吸引部を備えたことを特徴とする、第10態様の部品圧着装置を提供する。なお、吸引部は第9態様の吸引装置と兼用することもできる。   According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided the component crimping apparatus according to the tenth aspect, comprising a suction portion that cleans the brush of the cleaning portion by suction. The suction unit can also be used as the suction device of the ninth aspect.

本発明の第1形態によれば、支持部の長手方向に対して傾斜した清掃部を用いてステージ面の長手方向に沿って駆動させることによって、その傾斜方向に応じて一定の向きに異物が掃き出される。したがって、ステージ面上の異物を支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃き取るように清掃するため、異物の散乱を防止でき、異物がパネル上に飛び散るなどの問題がない。したがって、パネル上に製品不良をなくして製品の歩留まりの低下を防止することができる。   According to the first aspect of the present invention, the cleaning unit that is inclined with respect to the longitudinal direction of the support unit is driven along the longitudinal direction of the stage surface, so that the foreign matter is in a fixed direction according to the inclination direction. Swept out. Therefore, the foreign matter on the stage surface is cleaned so as to be swept away from the support portion on the side opposite to the side where the panel is placed or on the side opposite to the panel loading / unloading side. It can be prevented, and there is no problem such as foreign matter scattering on the panel. Therefore, it is possible to eliminate product defects on the panel and prevent a decrease in product yield.

本発明の第2形態によれば、清掃部とステージ面との当接、非当接を切換可能に構成されているため、ステージ面を掃き取る清掃部が清掃時において、ステージ面上を常に一方向に掃き出すことができるとともに、非清掃時においては、清掃部による異物の掃き出しが行われないため、異物の飛散を防止することができる。よって、前記ステージ面上に存在する異物を支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃き取ることができる。   According to the second aspect of the present invention, since the contact between the cleaning unit and the stage surface can be switched, the cleaning unit that sweeps the stage surface always moves on the stage surface during cleaning. In addition to being able to sweep out in one direction, foreign objects can be prevented from being scattered because the cleaning unit does not sweep out foreign objects during non-cleaning. Therefore, the foreign matter existing on the stage surface can be swept away with respect to the support portion in the direction opposite to the side on which the panel is placed or the side opposite to the panel loading or unloading side.

本発明の第3形態によれば、支持部の長手方向に清掃部を移動させることによって、ステージ面上の異物を掃き取る場合において、支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側と反対側の方向に掃き取る様に清掃することができる為、異物の飛散を防止することができる。すなわち、清掃部は、支持部の延在方向に対して交差し、また、清掃部の掃き取り動作において一端側から他端側への移動時には、清掃部とステージ面とが当接し、その逆方向の移動時においては非当接となり、ステージ上面を常に一方向に掃き出すことができるとともに、非清掃時においては、清掃部による異物の掃き出しが行われないため、清掃部の往復移動を行う場合に、異物の散乱をおこすことなく、基板上に異物が付着することを防止することができる。   According to the third aspect of the present invention, when the foreign matter on the stage surface is swept away by moving the cleaning portion in the longitudinal direction of the support portion, the side opposite to the side where the panel is placed is opposite to the support portion. Since the cleaning can be performed so as to sweep in the direction opposite to the side or the loading or unloading side of the panel, scattering of foreign matters can be prevented. That is, the cleaning unit intersects with the extending direction of the support unit, and when the cleaning unit moves from one end side to the other end side in the sweeping operation, the cleaning unit and the stage surface abut against each other. When moving in the direction, it is non-contact, and the upper surface of the stage can always be swept out in one direction. In addition, when the cleaning unit is not cleaned, the cleaning unit does not sweep out foreign matter. In addition, it is possible to prevent the foreign matter from adhering to the substrate without scattering the foreign matter.

本発明の第4形態によれば、清掃部を上下移動させることによって当接、非当接の切換を行うため、この切換動作を簡単に行うことができる。   According to the fourth aspect of the present invention, the contact portion and the non-contact state are switched by moving the cleaning unit up and down, so that this switching operation can be easily performed.

本発明の第5形態によれば、清掃部の傾きを反転することにより、清掃部の往動及び復動において、異物の掃き出し方向を常にパネルの反対側にすることができる。   According to the fifth aspect of the present invention, by inverting the inclination of the cleaning unit, the sweeping-out direction of foreign matters can always be on the opposite side of the panel during the forward and backward movement of the cleaning unit.

本発明の第6形態によれば、清掃部と支持部との傾きを可変にすることができるため、例えば、移動方向下流側などにおいて異物が掃き集められた場合など、傾きを調整することによって清掃部自体を異物の飛散防止部材として機能させることにより、異物の飛散を防止することができる。   According to the sixth aspect of the present invention, since the inclination of the cleaning part and the support part can be made variable, for example, when foreign matter is swept up on the downstream side in the movement direction, etc., by adjusting the inclination. By causing the cleaning unit itself to function as a foreign matter scattering prevention member, foreign matter can be prevented from scattering.

本発明の第7形態によれば、ブロー装置によってステージ面に、支持部に対して、パネルの載置される側または、パネルの搬入あるいは搬出側(パネルが設けられている側)から前記支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側と反対側の方向(パネルが設けられていない側)に向けてガスが吹き付けられることにより、異物がパネルに付着することを防止することができる。   According to the seventh aspect of the present invention, the support is provided on the stage surface by the blowing device from the side where the panel is placed or the side where the panel is carried in or out (the side where the panel is provided). When the gas is blown toward the opposite side of the panel to the side where the panel is placed or the direction opposite to the loading or unloading side of the panel (side where the panel is not provided), Can be prevented from adhering to the surface.

本発明の第8形態によれば、ブロー装置に除電装置を備えることにより清掃部に発生する静電気を除去することができ、清掃部に異物が付着することを防止することができる。したがって、先の工程で掃き取った異物を後の工程で再付着させることを防止することができる。   According to the 8th form of this invention, the static electricity which generate | occur | produces in a cleaning part can be removed by providing a static elimination apparatus in a blowing apparatus, and it can prevent that a foreign material adheres to a cleaning part. Therefore, it is possible to prevent the foreign matter swept away in the previous step from being reattached in the subsequent step.

本発明の第9形態によれば、吸引部により清掃部によって掃き取られた異物を吸引することができるため、当該異物が周囲に飛散することがなく、パネルに再付着することを防止することができる。   According to the ninth aspect of the present invention, since the foreign matter swept away by the cleaning portion can be sucked by the suction portion, the foreign matter does not scatter around and prevents reattachment to the panel. Can do.

本発明の第10形態によれば、ブラシを構成する材料として通電性の材質を用いているため、静電気の蓄積を防止することができ、また、高温になるステージ面の熱にも耐えることができ、また、ステージ面を傷つけるようなことがない。   According to the tenth aspect of the present invention, since a conductive material is used as a material constituting the brush, accumulation of static electricity can be prevented, and it can withstand the heat of the stage surface that becomes high temperature. It can be done, and the stage surface is not damaged.

本発明の第11形態によれば、ブラシに付着した異物を吸引除去することができるため、常にブラシに異物が付着していない状態でステージ面上を清掃することができるため、ブラシによるステージ面の汚れを生じさせることがない。   According to the eleventh aspect of the present invention, since the foreign matter attached to the brush can be removed by suction, the stage surface can be cleaned with the foreign matter not always attached to the brush. It will not cause any dirt.

以下、本発明の一実施形態に係る部品圧着装置について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1Aは、本発明の一実施形態にかかる部品圧着装置の外観構成を示す斜視図である。図1Bは、本発明の他の実施形態にかかる部品圧着装置の外観構成を示す斜視図である。本実施形態にかかる部品圧着装置1,1aは、図2に示す液晶等のパネル200にTCP202を本圧着接合して組み立てるための装置であり、具体的には、矩形形状のパネル200の1辺又は複数辺(図2においては3辺)の周縁にそれぞれサブパネル203を取り付けるためのTCP202を本圧着するため装置である。TCP202は、本部品圧着装置において用いられるときには、パネル200の外縁よりも張り出した状態で仮圧着されており、この状態で、本部品圧着装置に供給される。パネル200は予め定められた位置においてTCP202と接着するためのACFが貼り付けられている。当該ACFとTCP202とが、本実施形態にかかる部品圧着装置により本圧着されて、パネル200の電極とTCP202の電極が電気的に接合する。   FIG. 1A is a perspective view showing an external configuration of a component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 1B is a perspective view showing an external configuration of a component crimping apparatus according to another embodiment of the present invention. The component crimping apparatus 1, 1 a according to the present embodiment is an apparatus for assembling the liquid crystal display panel 200 shown in FIG. 2 by bonding the TCP 202 to the panel 200, specifically, one side of the rectangular panel 200. Alternatively, it is an apparatus for main press-bonding the TCP 202 for attaching the sub-panel 203 to the periphery of a plurality of sides (three sides in FIG. 2). When used in the component crimping apparatus, the TCP 202 is temporarily crimped in a state of protruding from the outer edge of the panel 200, and is supplied to the component crimping apparatus in this state. The panel 200 is attached with an ACF for bonding to the TCP 202 at a predetermined position. The ACF and the TCP 202 are finally crimped by the component crimping apparatus according to this embodiment, and the electrode of the panel 200 and the electrode of the TCP 202 are electrically joined.

まず、図1Aを参照して本実施形態にかかる部品圧着の全体構成を説明する。部品圧着装置1は、基台2の上面にパネル載置装置3、圧着装置4及び圧着装置と協働してパネル200の本圧着を行う場合にパネル200を載置する支持部としてのバックアップユニット6が配置されている。また、パネル載置装置3のX軸方向両側方には、パネル200をパネル載置装置110に供給するためのローダ5及び圧着装置4によりパネル200の周縁にTCP202が本圧着された後、組み上げられたパネル200を取り出すためのアンローダ(図示なし)がそれぞれ設けられている。   First, an overall configuration of component crimping according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 1A. The component crimping device 1 is a backup unit as a support unit for placing the panel 200 on the upper surface of the base 2 when the panel 200 is fully crimped in cooperation with the panel placing device 3, the crimping device 4 and the crimping device. 6 is arranged. Further, on both sides of the panel mounting device 3 in the X-axis direction, the TCP 202 is finally press-bonded to the periphery of the panel 200 by the loader 5 and the crimping device 4 for supplying the panel 200 to the panel mounting device 110, and then assembled. Unloaders (not shown) for taking out the panel 200 are provided.

なお、図1Bに示す他の実施形態にかかる部品圧着装置は、上記のローダとアンローダが設けられておらず、装置作動時に装置使用者が手動でパネル200を位置あわせしながら載置して、本圧着動作を行うための装置であり、他の構成については、図1Aに示す装置と大部分を共通にする。   Note that the component crimping apparatus according to another embodiment shown in FIG. 1B is not provided with the loader and unloader, and the apparatus user manually places the panel 200 while positioning the apparatus during operation, It is an apparatus for performing the main press-bonding operation, and the other configuration is mostly the same as the apparatus shown in FIG. 1A.

ローダ5は、X軸方向に延在する一対のガイドレール7と、当該ガイドレール7にそれぞれ設けられ、図示しないアーム駆動装置によりガイドレール7に沿って駆動可能なX軸方向に移動可能なアーム8を備える。ガイドレール7は、組み立て処理が行われるパネル200のサイズに応じてその間隔を変更可能であり、また、パネル載置装置3のパネル載置台(図示なし)に干渉しないようにその終端が、パネル載置装置3に到達しないようになっている。アーム8は、パネル200のY軸方向両端を載置し、パネル200を下方から支持する。   The loader 5 includes a pair of guide rails 7 extending in the X-axis direction, and arms that are provided on the guide rails 7 and that can be driven along the guide rails 7 by an arm driving device (not shown). 8 is provided. The interval between the guide rails 7 can be changed in accordance with the size of the panel 200 to be assembled, and the end of the guide rail 7 is a panel so as not to interfere with a panel mounting table (not shown) of the panel mounting device 3. It does not reach the mounting device 3. The arm 8 mounts both ends of the panel 200 in the Y-axis direction and supports the panel 200 from below.

アンローダは、ローダと同様に、X軸方向に延在する一対のガイドレールと、当該ガイドレールにそれぞれ設けられ、X軸方向に移動可能なアームを備える。アームは、パネル200のY軸方向両端を載置し、パネル200を下方から支持する。   Similar to the loader, the unloader includes a pair of guide rails extending in the X-axis direction, and arms provided on the guide rails and movable in the X-axis direction. The arm places both ends of the panel 200 in the Y-axis direction, and supports the panel 200 from below.

次にパネル載置装置3について説明する。パネル載置装置3は、基台2の上面にY軸方向に延在するガイドレール9を備え、当該ガイドレール9に沿ってYテーブルが移動となっている。また、Yテーブル上には、XテーブルがX軸方向に移動することができるように構成されている。Xテーブルには、回転テーブルが設けられている。回転テーブルは、図示しないθ回転モータにより略90°毎に、Z軸を中心として水平回転可能に構成されており、回転テーブルが作動することにより、載置されているパネル200はその向きを変えることができる。回転テーブルは、Z軸方向に移動可能に構成されている。   Next, the panel mounting device 3 will be described. The panel mounting device 3 includes guide rails 9 extending in the Y-axis direction on the upper surface of the base 2, and the Y table moves along the guide rails 9. On the Y table, the X table can be moved in the X-axis direction. The X table is provided with a rotary table. The rotary table is configured to be horizontally rotatable about the Z axis at about 90 ° by a θ rotation motor (not shown). When the rotary table is operated, the mounted panel 200 changes its orientation. be able to. The rotary table is configured to be movable in the Z-axis direction.

圧着装置4は、基台2上のパネル載置装置3に対してY軸方向端側に設けられ、水平部10a及び脚部10bを備える略コの字形のフレーム10と、当該フレーム10の水平部10aの下方に設けられ、Z軸方向に移動可能に構成された圧着ヘッド11と、圧着ヘッドの上方に位置し、圧着ヘッドをZ軸方向に移動させるヘッド駆動部12とを備えている。なお、図1Aにおいては、フレーム10の一部を破断した状態で図示している。   The crimping device 4 is provided on the Y axis direction end side with respect to the panel mounting device 3 on the base 2, and has a substantially U-shaped frame 10 having a horizontal portion 10 a and a leg portion 10 b, and a horizontal of the frame 10. A crimping head 11 provided below the portion 10a and configured to be movable in the Z-axis direction, and a head drive unit 12 that is positioned above the crimping head and moves the crimping head in the Z-axis direction. In FIG. 1A, a part of the frame 10 is shown in a broken state.

圧着ヘッド11は、ヘッド駆動部12により駆動されてZ軸方向に上下移動する。圧着ヘッド11は、圧着動作時に熱圧着するため、圧着子13を加熱するヒータ15を備えている。圧着ヘッド11に備えられた圧着子13は、バックアップユニット6上方に位置し、圧着ヘッドの下降に伴って、バックアップユニット6と協働してパネル200にTCP202の本圧着を行う。   The pressure bonding head 11 is driven by the head driving unit 12 to move up and down in the Z-axis direction. The crimping head 11 includes a heater 15 that heats the crimper 13 in order to perform thermocompression bonding during the crimping operation. The crimper 13 provided in the crimping head 11 is positioned above the backup unit 6 and performs the final crimping of the TCP 202 to the panel 200 in cooperation with the backup unit 6 as the crimping head is lowered.

本発明の支持部の一例であるバックアップユニット6は、図3Aに示すように、X軸方向に延在する台部16とその上端に設けられたステージ面17とを備える。ステージ面17は、圧着工程において、パネル200が載置され、圧着動作時に圧着ヘッド11の圧着子13とで、これを挟んで圧着するものである。またバックアップユニット6のパネル200が配置される側の台部16のX軸方向端部にはカメラ14が設けられている。パネル載置装置3のXテーブルとYテーブルが作動してパネル200がカメラ14の上方へ移動すると、カメラ14はパネル200に設けられた認識マークの撮影を行い、図示しない制御部が当該マークを基準として位置認識を行い、圧着位置の位置合わせを行う。   As shown in FIG. 3A, the backup unit 6 that is an example of the support portion of the present invention includes a base portion 16 extending in the X-axis direction and a stage surface 17 provided at the upper end thereof. In the crimping step, the stage surface 17 is placed with the panel 200 and is crimped with the crimper 13 of the crimping head 11 during the crimping operation. A camera 14 is provided at the end of the base unit 16 on the side where the panel 200 of the backup unit 6 is arranged in the X-axis direction. When the X table and the Y table of the panel mounting device 3 are operated and the panel 200 moves above the camera 14, the camera 14 captures a recognition mark provided on the panel 200, and a control unit (not shown) Position recognition is performed as a reference, and the crimping position is aligned.

また、バックアップユニット6は、そのステージ面17に存在する異物を清掃するための清掃ユニット18を備えている。バックアップユニット6のパネル200が配置される側の反対側60の面16aには、駆動軸部30が設けられており、当該駆動軸部30により清掃ユニット18の清掃部21が駆動される。   Further, the backup unit 6 includes a cleaning unit 18 for cleaning foreign matter existing on the stage surface 17. A drive shaft portion 30 is provided on the surface 16a of the backup unit 6 opposite to the side on which the panel 200 is disposed, and the cleaning portion 21 of the cleaning unit 18 is driven by the drive shaft portion 30.

清掃ユニット18は、ステージ面17上に存在するパネル200の小片やホコリなどの異物を支持部6に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向に掃き取るものである。これにより、ステージ面17上の異物が除去され、本圧着時において、パネル200への損傷を防止し、生産性を向上させることができる。また、異物は、支持部6に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向(パネルの反対側に)掃き取られるため、パネル上に散乱せず、パネル200に付着したまま圧着処理がなされることがない。   The cleaning unit 18 is configured such that a foreign object such as a small piece or dust of the panel 200 existing on the stage surface 17 is opposite to the side on which the panel 200 is placed with respect to the support portion 6, or the carry-in side or the carry-out side of the panel 200. Sweeps in the opposite direction. As a result, the foreign matter on the stage surface 17 is removed, and damage to the panel 200 can be prevented and the productivity can be improved during the main pressure bonding. Further, since the foreign matter is swept away from the support portion 6 on the side opposite to the side on which the panel 200 is placed or on the side opposite to the carry-in side or the carry-out side of the panel 200 (on the opposite side of the panel), There is no scattering on the panel, and no pressure bonding process is performed while adhering to the panel 200.

次に清掃ユニット18の具体的な構成について説明する。バックアップユニット6は、図3Aに示すように、X軸方向に延在する台部16とその上端に設けられたステージ面17とを備える。ステージ面17は、圧着工程において、パネル200が載置され、圧着動作時に圧着ヘッド11の圧着子13とで、これを挟んで圧着するものである。またバックアップユニット6のパネル200が配置される側の反対側60の面16aには、駆動軸部30が設けられており、当該駆動軸部30により清掃部21が駆動される。   Next, a specific configuration of the cleaning unit 18 will be described. As shown in FIG. 3A, the backup unit 6 includes a base 16 extending in the X-axis direction and a stage surface 17 provided at the upper end thereof. In the crimping step, the stage surface 17 is placed with the panel 200 and is crimped with the crimper 13 of the crimping head 11 during the crimping operation. In addition, a drive shaft portion 30 is provided on the surface 16 a on the opposite side 60 of the backup unit 6 on which the panel 200 is disposed, and the cleaning portion 21 is driven by the drive shaft portion 30.

駆動軸部30は、清掃部21をX軸方向及びZ軸方向に駆動させることができる。X軸方向すなわちステージ面17の長手方向に清掃部21が移動することにより、ステージ面17上の異物の除去を行う。   The drive shaft part 30 can drive the cleaning part 21 in the X-axis direction and the Z-axis direction. The cleaning unit 21 moves in the X-axis direction, that is, in the longitudinal direction of the stage surface 17 to remove foreign matters on the stage surface 17.

駆動軸部30は、X軸方向に延在するX軸方向ガイド31とX軸方向ガイドに沿って移動可能に構成されたX軸方向移動部32を備える。また、X軸方向移動部には、清掃ユニット18のフレーム34にZ軸方向に沿って移動可能なZ軸方向ガイド33が設けられている。これにより、清掃ユニット18のフレーム34はX軸方向及びZ軸方向に移動することができる。   The drive shaft unit 30 includes an X-axis direction guide 31 extending in the X-axis direction and an X-axis direction moving unit 32 configured to be movable along the X-axis direction guide. Further, the X-axis direction moving portion is provided with a Z-axis direction guide 33 that can move along the Z-axis direction on the frame 34 of the cleaning unit 18. Thereby, the frame 34 of the cleaning unit 18 can move in the X-axis direction and the Z-axis direction.

フレーム34には、清掃部21,ステージ面17にガスを吹き出すブロー装置19,ステージ面17から掃き取られた異物を吸引する吸引部20が固定されている。   The frame 34 is fixed with a cleaning unit 21, a blower 19 that blows gas to the stage surface 17, and a suction unit 20 that sucks foreign matter swept from the stage surface 17.

清掃部21は、ステージ面17の図示左手側の先端17aを清掃上流端とし、駆動軸部30によって図示右手側の先端17bを清掃下流端としてステージ面17に沿ってX軸方向に往復移動する。また、駆動軸部30によって、清掃上流端である先端17aから清掃下流端である先端17bに移動する場合、清掃部21は、Z軸方向に下降して清掃部21のブラシ22がステージ面17のステージ面に接触した状態となる。一方、清掃下流端である先端17bから清掃上流端である先端17aへ移動する場合は、Z軸方向に上昇して、清掃部21のブラシ22がステージ面17のステージ面に非当接の状態となる。   The cleaning unit 21 reciprocates in the X-axis direction along the stage surface 17 with the tip 17a on the left hand side of the stage surface 17 shown in the drawing as the upstream cleaning end and the drive shaft 30 using the tip 17b on the right hand side in the drawing as the cleaning downstream end. . Further, when the drive shaft portion 30 moves from the tip 17 a that is the upstream cleaning end to the tip 17 b that is the downstream cleaning end, the cleaning portion 21 is lowered in the Z-axis direction and the brush 22 of the cleaning portion 21 is moved to the stage surface 17. It will be in the state which contacted the stage surface. On the other hand, when moving from the tip 17b, which is the downstream end of cleaning, to the tip 17a, which is the upstream end of cleaning, the brush 22 of the cleaning unit 21 is not in contact with the stage surface of the stage surface 17 as it rises in the Z-axis direction. It becomes.

清掃部21の先端に設けられたブラシ22は、ステージ面17を傷つけることがなく、圧着時において加熱されたステージ面17の余熱で熱的影響を受けることがなく、また、静電気が蓄積しにくい素材が用いられる。具体的には、ポリエチレンテレフタレートなどの樹脂中に鉄などの微細金属粉を混入させ、導電性を持たせた材料が用いられる。この素材は、約70〜80℃程度に加熱されるステージ面17の余熱で影響を受けることがなく、また、ステージ面17よりも柔軟であるため、ステージ面17を損傷させることがない。また、耐摩耗性に優れ金属粉が混入されていることによりイオナイザーを用いて容易に除電可能であり、清掃部21のブラシ22用の素材として好適に用いられる。   The brush 22 provided at the tip of the cleaning unit 21 does not damage the stage surface 17, is not thermally affected by the residual heat of the stage surface 17 that is heated at the time of pressure bonding, and does not easily accumulate static electricity. Material is used. Specifically, a material in which a fine metal powder such as iron is mixed in a resin such as polyethylene terephthalate to provide conductivity is used. This material is not affected by the residual heat of the stage surface 17 heated to about 70 to 80 ° C., and is more flexible than the stage surface 17 so that the stage surface 17 is not damaged. Further, since the metal powder is mixed with excellent wear resistance, it can be easily neutralized using an ionizer, and is suitably used as a material for the brush 22 of the cleaning unit 21.

また、清掃部21は、図4に示すように、ステージ面17の延在方向に対して交差するように傾斜して配置される。ステージ面17の延在方向に対して清掃部21が傾斜して配置されているのは、ステージ面上の異物を支持部6に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向(パネルに対して反対側領域60)に移動させて掃き出すためであり、傾斜の方向は、パネルが配置される側が清掃下流側に近くなる向き、すなわち、反対側領域60にブラシ22の進行方向面が向く方向である。清掃部21の傾斜角度は、概ね10度から80度程度であることが好ましく、さらには、30度から60度程度であることがなお好ましい。清掃部21が清掃上流端である一端17aから清掃下流端である他端17bに移動する場合は、ステージ面17上の異物がブラシによって矢印70の方向に押し出され、パネルが設けられている側の反対側領域60へ移動する。清掃部21は、例えば、100mm/秒程度の速度で移動させることができる。   Further, as shown in FIG. 4, the cleaning unit 21 is arranged to be inclined so as to intersect with the extending direction of the stage surface 17. The cleaning part 21 is arranged to be inclined with respect to the extending direction of the stage surface 17 because the foreign matter on the stage surface is opposite to the side on which the panel 200 is placed with respect to the support part 6 or This is to move the panel 200 in the direction opposite to the carry-in side or the carry-out side (opposite side region 60 with respect to the panel) and sweep it out. The direction of the inclination is the direction in which the side on which the panel is arranged is closer to the cleaning downstream side. That is, the direction of travel of the brush 22 faces the opposite region 60. The inclination angle of the cleaning unit 21 is preferably about 10 degrees to 80 degrees, and more preferably about 30 degrees to 60 degrees. When the cleaning unit 21 moves from the one end 17a, which is the upstream end of cleaning, to the other end 17b, which is the downstream end of cleaning, the foreign matter on the stage surface 17 is pushed out in the direction of the arrow 70 by the brush, and the panel is provided. Move to the opposite side region 60. The cleaning unit 21 can be moved at a speed of about 100 mm / second, for example.

図4の例では、清掃部21は、平板状に構成されているが、例えば、パネルが設けられている側に異物が散乱しないようにするために、パネルが設けられる側に異物の進入を防ぐ防御壁などを清掃部21に設けてもよい。具体的には、清掃部21を断面円弧形状としてもよいし、散乱防止壁を別部材として設けるようにしてもよい。   In the example of FIG. 4, the cleaning unit 21 is configured in a flat plate shape. For example, in order to prevent the foreign matter from being scattered on the side where the panel is provided, the foreign matter enters the side where the panel is provided. You may provide the prevention part etc. in the cleaning part 21 to prevent. Specifically, the cleaning unit 21 may have an arc shape in cross section, or the anti-scattering wall may be provided as a separate member.

フレーム34には、上述のように、ステージ面17にガスを吹き出すブロー装置19、ステージ面17から掃き取られた異物を吸引する吸引部20が設けられる。   As described above, the frame 34 is provided with the blow device 19 that blows the gas to the stage surface 17 and the suction unit 20 that sucks the foreign matter swept away from the stage surface 17.

ブロー装置19は、清掃部21による異物の掃き取りにおいて、異物がパネル側に散乱しないようにし、また、清掃部21への静電気による異物の付着を防止するために除電するために、バックアップユニット6に対して、パネル200の載置される側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の方向からパネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向に向けてガスを吹き出すものである。ブロー装置は、管19aによって除電装置としてのイオナイザー19b(図4参照)に接続されており、イオナイザーにより発生された静電気除去のためのイオンを含む空気をステージ面17に向けて吹き出す。なお、本実施形態においては、ブロー装置19とイオナイザー19bは別体としているが、イオナイザー機能が内蔵されたブロー装置であっても良い。   The blow device 19 prevents the foreign matter from being scattered on the panel side during the sweeping of the foreign matter by the cleaning unit 21, and also removes static electricity to prevent the foreign matter from adhering to the cleaning unit 21 due to static electricity. On the other hand, the side on which the panel 200 is placed, the side opposite to the side on which the panel 200 is placed, or the side opposite to the side on which the panel 200 is carried in or out from the direction of loading or unloading the panel 200 The gas is blown out in the direction. The blower is connected to an ionizer 19b (see FIG. 4) as a static eliminator via a tube 19a, and blows out air containing ions generated by the ionizer for removing static electricity toward the stage surface 17. In the present embodiment, the blow device 19 and the ionizer 19b are separated from each other, but a blow device incorporating an ionizer function may be used.

吸引部20は、ステージ面17から掃き取られた異物を吸引するとともに、清掃部21のブラシに付着した異物を吸引により除去するためのもので、フレーム34の清掃部21近傍に設けられている。吸引部20は、管20aによって図示しない吸引ポンプに接続されており、バックアップユニット6に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向に掃き出された異物の大部分を吸引する。   The suction unit 20 is for sucking out foreign matter that has been swept from the stage surface 17 and for removing foreign matter adhering to the brush of the cleaning unit 21 by suction, and is provided in the vicinity of the cleaning unit 21 of the frame 34. . The suction unit 20 is connected to a suction pump (not shown) by a pipe 20a, and is opposite to the backup unit 6 on the side opposite to the side on which the panel 200 is placed, or on the side opposite to the carry-in side or the carry-out side of the panel 200. Aspirate most of the foreign material swept away in the direction.

本実施形態にかかるブロー装置19と吸引部20は、清掃部21が設けられているフレーム34に固定され、清掃部材21と同時に移動可能に構成されているため、ブロー装置19と吸引部20の吹出口及び吸引口が小さく構成可能である。したがって、高圧空気源及び吸引ポンプを用いても効率がよく、清掃ユニットをコンパクトにすることができる。また、ブロー装置19の風量や吸引部20の吸引力は、常に一定である必要はなく、調整可能である。例えば、清掃部21がステージ面17から離れる瞬間などは、清掃部21のブラシ22に異物が付着した状態とならないように、風量と吸引力を大きくするようにしてもよい。   The blow device 19 and the suction unit 20 according to this embodiment are fixed to the frame 34 provided with the cleaning unit 21 and are configured to be movable simultaneously with the cleaning member 21. A blower outlet and a suction port can be comprised small. Therefore, even if a high-pressure air source and a suction pump are used, it is efficient and the cleaning unit can be made compact. Further, the air volume of the blow device 19 and the suction force of the suction unit 20 do not always need to be constant and can be adjusted. For example, at the moment when the cleaning unit 21 is separated from the stage surface 17, the air volume and the suction force may be increased so that no foreign matter is attached to the brush 22 of the cleaning unit 21.

図3Bは、第2実施形態にかかる部品圧着装置のバックアップユニットを示す図である。この実施形態にかかる装置6bは、吸引部20bの構成において図3Aに示す装置6と異なる。図3Bに示すバックアップ装置6bは、吸引部20bが台部16に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の面16aに設けられている。吸引部20bは、ステージ面の長手方向に平行に伸びる細長い形状であり、図示しない吸引ポンプに接続された2本の吸引管20c、20dにより吸引され、ステージ面17から掃き出された異物を吸引してパネル200に付着しないようにしている。   FIG. 3B is a diagram illustrating a backup unit of the component crimping apparatus according to the second embodiment. The device 6b according to this embodiment is different from the device 6 shown in FIG. 3A in the configuration of the suction unit 20b. In the backup device 6b shown in FIG. 3B, the suction unit 20b is provided on the surface 16a opposite to the side on which the panel 200 is placed, or on the surface 16a on the opposite side of the loading or unloading side of the panel 200. ing. The suction unit 20b has an elongated shape extending in parallel with the longitudinal direction of the stage surface, and sucks out foreign matter sucked out from the stage surface 17 by being sucked by two suction pipes 20c and 20d connected to a suction pump (not shown). Thus, it does not adhere to the panel 200.

図3Bに示すバックアップユニット6bは、上記のように台部の面16aに清掃ユニット18bの清掃部21を駆動するための駆動軸部30bが設けられているため、吸引部20aは、駆動軸部30bとステージ面との間に設けられる。   The backup unit 6b shown in FIG. 3B is provided with the drive shaft portion 30b for driving the cleaning portion 21 of the cleaning unit 18b on the surface 16a of the base portion as described above. 30b and the stage surface.

なお、ステージ面17の掃き出し方向下流側に異物が残らないように、清掃部21は、ステージ面17の清掃下流端17bを超えて、さらに移動するように構成されていてもよい。この場合は、異物がステージ面17の清掃下流端17b側に落下する場合もあるため、後述する吸引部20bをステージ面の清掃下流端17bの面16cに張り出すように配置してもよい。   Note that the cleaning unit 21 may be configured to further move beyond the cleaning downstream end 17b of the stage surface 17 so that no foreign matter remains on the downstream side of the stage surface 17 in the sweeping direction. In this case, since foreign matter may fall to the cleaning downstream end 17b side of the stage surface 17, a suction part 20b described later may be arranged so as to protrude from the surface 16c of the cleaning downstream end 17b of the stage surface.

なお、吸引部20bを作動させ、異物を吸引するための図示しない吸引ポンプは、清掃ユニット18bの清掃部21の位置によって、選択的に作動させるようにしてもよい。例えば、図3Bに示すように、清掃部21が清掃上流端17aに近い位置にいるときは、上流側の吸引管20cに接続されている吸引ポンプを作動させ、清掃部21が下流側に近づくまで下流側の吸引管20dに接続されている吸引ポンプを停止させるようにしてもよい。   In addition, you may make it operate | move the suction part 20b and the suction pump which is not illustrated for attracting | sucking a foreign material selectively to act | operate by the position of the cleaning part 21 of the cleaning unit 18b. For example, as shown in FIG. 3B, when the cleaning unit 21 is in a position close to the cleaning upstream end 17a, the suction pump connected to the upstream suction pipe 20c is operated so that the cleaning unit 21 approaches the downstream side. The suction pump connected to the downstream suction pipe 20d may be stopped.

次に上記第1及び第2実施形態にかかる部品圧着装置の動作について、第1実施形態にかかる部品圧着装置を例にとって説明する。なお、第2実施形態にかかる部品圧着装置であっても、動作フローに大きな違いはない。   Next, the operation of the component crimping apparatus according to the first and second embodiments will be described using the component crimping apparatus according to the first embodiment as an example. Even in the component crimping apparatus according to the second embodiment, there is no significant difference in the operation flow.

図5は、図1Aの部品圧着装置の動作フローを示すフローチャートである。まず、ローダ5からパネル200が供給され、パネル載置装置3に載置される。パネル載置装置3は、XY両軸方向に位置調整を行い、パネル200の圧着したい部分をステージ面17上へ配置する(#10)。ステージ面17上にパネル200が載置されると、圧着ヘッド11が下降を開始する(#11)。加熱された圧着ヘッド11がパネル200の電極に仮圧着されているTCP202のリード部分を介してパネル200の電極部分に押圧し本圧着を行う(#12)。本圧着が完了(#13)すると圧着ヘッドを上昇させ(#14)、パネル200をパネル載置装置3から取り外して搬出する(#15)。   FIG. 5 is a flowchart showing an operation flow of the component crimping apparatus of FIG. 1A. First, the panel 200 is supplied from the loader 5 and placed on the panel placement device 3. The panel placing device 3 adjusts the position in both XY axial directions, and places the part of the panel 200 to be crimped on the stage surface 17 (# 10). When the panel 200 is placed on the stage surface 17, the pressure bonding head 11 starts to descend (# 11). The heated crimping head 11 is pressed against the electrode portion of the panel 200 through the lead portion of the TCP 202 that is temporarily crimped to the electrode of the panel 200 (# 12). When the main pressure bonding is completed (# 13), the pressure bonding head is raised (# 14), and the panel 200 is removed from the panel mounting device 3 and carried out (# 15).

次に、駆動軸部30により清掃部21を下降させ、ブラシ22をステージ面17に当接させる。(#16)。次いで、吸引部20を駆動させて吸引をする(#17)と共に、その後引き続いてブロー装置19の動作を開始させて、ガスを吹き出させる(#18)。   Next, the cleaning portion 21 is lowered by the drive shaft portion 30, and the brush 22 is brought into contact with the stage surface 17. (# 16). Next, the suction unit 20 is driven to perform suction (# 17), and subsequently, the operation of the blow device 19 is started to blow out gas (# 18).

次に清掃ユニットは、清掃部21をX軸方向に移動させて掃き取り動作を開始する(#19)。清掃部21がX軸方向に移動するにしたがって、清掃部21がステージ面17上を掃き取り、ステージ面17上の異物が吸引部20側へ掃き出され、吸引部に吸引除去される。駆動軸部30がフレーム18をステージ面の下流側端17bまで移動させると、掃き取り動作が終了する(#20)。その後、ブロー装置19のブローを停止(#21)吸引部の吸引を停止させ(#22)させる。その後、駆動軸部30によって清掃部21を上昇させ、清掃部21をステージ面17に非接触な状態で上流側端17aまで移動させる。
尚、吸引部の吸引を停止するとしたが、パネルの部品圧着動作に問題がなければ、停止しなくとも良い。
Next, the cleaning unit starts the sweeping operation by moving the cleaning unit 21 in the X-axis direction (# 19). As the cleaning unit 21 moves in the X-axis direction, the cleaning unit 21 sweeps the stage surface 17 and foreign matter on the stage surface 17 is swept to the suction unit 20 side, and is sucked and removed by the suction unit. When the drive shaft 30 moves the frame 18 to the downstream end 17b of the stage surface, the sweeping operation is finished (# 20). Thereafter, the blow of the blow device 19 is stopped (# 21), and the suction of the suction unit is stopped (# 22). Thereafter, the cleaning portion 21 is raised by the drive shaft portion 30, and the cleaning portion 21 is moved to the upstream end 17 a without being in contact with the stage surface 17.
Although the suction of the suction part is stopped, it is not necessary to stop if there is no problem in the component crimping operation of the panel.

引き続きパネル200の部品圧着を行う場合は、最初の動作に戻り、ステップ#10から#22を繰り返す。全てのパネルについて生産が終了すると、装置を停止し、処理を終了する。   In the case where the panel 200 is subsequently subjected to component pressure bonding, the process returns to the initial operation, and steps # 10 to # 22 are repeated. When production is completed for all panels, the apparatus is stopped and the process is terminated.

次に本発明の第3実施形態について説明する。図6A,図6Bは、第3実施形態にかかる部品圧着装置のバックアップユニット6cを示す図である。この実施形態にかかる装置は、清掃ユニットの構成において、図3Aに示すバックアップユニットと異なる。図6A,図6Bに示す部品圧着装置は、バックアップユニット6cの台部16に対してパネル側基台2上に駆動軸部30aが設けられている。また、吸引部20fは、台部16に対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の面16aに設けられる。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. 6A and 6B are views showing a backup unit 6c of the component crimping apparatus according to the third embodiment. The apparatus according to this embodiment is different from the backup unit shown in FIG. 3A in the configuration of the cleaning unit. In the component crimping apparatus shown in FIGS. 6A and 6B, a drive shaft portion 30a is provided on the panel side base 2 with respect to the base portion 16 of the backup unit 6c. The suction part 20f is provided on the surface 16a opposite to the side on which the panel 200 is placed, or on the opposite side to the carry-in side or carry-out side of the panel 200 with respect to the base part 16.

清掃ユニットの駆動軸部30aは、基台2の上に台部16の延在方向に沿って伸びるX軸ガイド31aと、X軸ガイド31aに沿って移動可能なX軸スライダ32aを備える。また、X軸スライダの上面からは、Z軸方向に伸びる下部フレーム33aが設けられ、当該下部フレーム33aの上側に上部フレーム34aが連結される。上部フレーム34aは、図示しないモータあるいはエアーシリンダーによって、下部フレーム33aに対してZ軸方向に伸縮自在に構成されると共に、長手方向を中心軸として回動できるように構成されている。また、上部フレームには、清掃部21aが設けられている。清掃部21aは、ステージ面17のY軸方向寸法に比べて十分に大きい幅寸法を有しており、後述するように、ステージ面17との交差角度を適宜調整、変更することによって、バックアップユニット6cに対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向異物が飛散しないようにすることができる。   The drive shaft portion 30a of the cleaning unit includes an X-axis guide 31a extending on the base 2 along the extending direction of the base portion 16, and an X-axis slider 32a movable along the X-axis guide 31a. A lower frame 33a extending in the Z-axis direction is provided from the upper surface of the X-axis slider, and an upper frame 34a is connected to the upper side of the lower frame 33a. The upper frame 34a is configured to be extendable and contractible in the Z-axis direction with respect to the lower frame 33a by a motor or an air cylinder (not shown) and is configured to be rotatable about the longitudinal direction as a central axis. The upper frame is provided with a cleaning portion 21a. The cleaning unit 21a has a width dimension that is sufficiently larger than the dimension of the stage surface 17 in the Y-axis direction, and, as will be described later, by appropriately adjusting and changing the intersecting angle with the stage surface 17, the backup unit 21a. With respect to 6c, it is possible to prevent scattering of directional foreign matters on the side opposite to the side on which the panel 200 is placed, or on the side opposite to the carry-in side or the carry-out side of the panel 200.

上部フレーム34aが、下部フレーム33aに対して伸縮することにより、清掃部21aのブラシ22がステージ面17に離接し、また、上部フレーム34aが、下部フレーム33aに対して回動することにより清掃部21aがステージ面17に対する角度が変化する。また、X軸スライダ32aがX軸ガイド31aに沿って移動することにより清掃部21aがステージ面17に沿って移動し、ステージ面17上の異物を吸引部20f側へ掃き取ることができる。   The upper frame 34a expands and contracts with respect to the lower frame 33a, so that the brush 22 of the cleaning unit 21a comes in contact with and separates from the stage surface 17, and the upper frame 34a rotates with respect to the lower frame 33a. The angle of 21a with respect to the stage surface 17 changes. Further, the X-axis slider 32a moves along the X-axis guide 31a, whereby the cleaning unit 21a moves along the stage surface 17, and the foreign matter on the stage surface 17 can be swept to the suction unit 20f side.

次に第3実施形態にかかる部品圧着装置の掃き取り動作について説明する。第3実施形態にかかる部品圧着装置の全体的な動作は図5に示した第1実施形態にかかる部品圧着装置の動作とほぼ共通であるが、ステップ#19の清掃部掃き取り動作において異なっている。以下、掃き取り動作についてのみ説明する。   Next, the sweeping operation of the component crimping apparatus according to the third embodiment will be described. The overall operation of the component crimping apparatus according to the third embodiment is substantially the same as the operation of the component crimping apparatus according to the first embodiment shown in FIG. 5, but is different in the cleaning part sweeping operation of Step # 19. Yes. Only the sweeping operation will be described below.

まず、図7Aに示すように、清掃上流端17aの近傍において、上部フレーム34aを矢印80の方向に回転させ、清掃部21aの傾き方向を変更する。このときの傾きの方向は、バックアップユニット6cに対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向側に配置された吸引部20f側が清掃部21aの進行方向である矢印81に向かって前方に位置するような傾きである。このように清掃部21aを傾斜させた状態で、清掃部21aを矢印81に示す方向に移動させると、矢印82に示すように、ステージ面17上に位置する異物が、吸引部20f方向に移動し、吸引部20fによって吸引される。   First, as shown in FIG. 7A, in the vicinity of the cleaning upstream end 17a, the upper frame 34a is rotated in the direction of the arrow 80 to change the inclination direction of the cleaning portion 21a. The direction of inclination at this time is the side of the suction unit 20f disposed on the opposite side of the backup unit 6c from the side where the panel 200 is placed or the opposite side of the loading side or the unloading side of the panel 200. The inclination is such that the cleaning portion 21a is positioned forward in the direction of the arrow 81 that is the traveling direction of the cleaning portion 21a. When the cleaning unit 21a is moved in the direction indicated by the arrow 81 in the state where the cleaning unit 21a is inclined as described above, the foreign matter located on the stage surface 17 moves in the direction of the suction unit 20f as indicated by the arrow 82. And is sucked by the suction part 20f.

また、図7Bに示すように、清掃部21aが清掃下流端17b近傍まで移動すると、上部フレーム34aをさらに矢印83方向に回転させ、清掃部21aとステージ面17との交差する角度を小さくする。このように清掃部21aの傾きを可変することによって、ステージ面17上の異物をバックアップユニット6cに対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向に掃き出すことができる。このように清掃部21aの角度をステージ面と交差する角度が小さくなるようにすることによって、清掃部21aは、異物がパネル側に飛散することを防止する防護壁として機能する。すなわち、清掃部21aの進行方向の下流側になると、ステージ面17上の異物が清掃部21aの移動に伴って清掃部近傍に集められるため、より異物が周囲に飛散しやすくなる。清掃部21aの傾きを可変する本実施形態においては、このような状態においても、異物をバックアップユニット6cに対して、パネル200の載置される側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の方向(パネルが設けられている側)に飛散させないようにすることができる。   Further, as shown in FIG. 7B, when the cleaning unit 21a moves to the vicinity of the cleaning downstream end 17b, the upper frame 34a is further rotated in the direction of the arrow 83 to reduce the angle at which the cleaning unit 21a and the stage surface 17 intersect. By varying the inclination of the cleaning portion 21a in this manner, the foreign matter on the stage surface 17 is moved away from the backup unit 6c on the side on which the panel 200 is placed or on the carry-in side or the carry-out side of the panel 200. Sweep in the opposite direction. In this way, the cleaning unit 21a functions as a protective wall that prevents foreign matter from being scattered on the panel side by reducing the angle of the cleaning unit 21a so as to intersect with the stage surface. That is, when the cleaning unit 21a is located downstream in the traveling direction, the foreign matter on the stage surface 17 is collected near the cleaning unit as the cleaning unit 21a moves, so that the foreign matter is more easily scattered around. In this embodiment in which the inclination of the cleaning unit 21a is variable, even in such a state, the foreign matter is directed toward the backup unit 6c on the side where the panel 200 is placed or on the carry-in side or the carry-out side of the panel 200. It can be prevented from scattering on the side where the panel is provided.

清掃部21aが下流側清掃端17bまで移動すると、図7Cに示すように、上部フレーム34aが矢印84の方向に回転して、清掃部21aの傾きを変更する。このとき、上部フレーム34aの回転方向を矢印84の方向にすることにより、ステージ面17上の下流側端部17b近傍に位置する異物は、吸引部20fの張り出し部分39に掃き出されることとなり、ステージ面17の全面を清掃することができる。次に、清掃部21aは、矢印85に示す方向に復動し、往動時においてステージ面17上に残存した異物を、さらに吸引部20f側に掃き出すことができる。清掃部21aがステージ面17の上流側清掃端17aまで移動すると、掃き取り動作を終了させる。   When the cleaning unit 21a moves to the downstream cleaning end 17b, the upper frame 34a rotates in the direction of the arrow 84 as shown in FIG. 7C, and changes the inclination of the cleaning unit 21a. At this time, by setting the rotation direction of the upper frame 34a to the direction of the arrow 84, the foreign matter positioned in the vicinity of the downstream end 17b on the stage surface 17 is swept out to the protruding portion 39 of the suction portion 20f. The entire surface of the stage surface 17 can be cleaned. Next, the cleaning unit 21a moves backward in the direction indicated by the arrow 85, and can further sweep out the foreign matter remaining on the stage surface 17 during the forward movement toward the suction unit 20f. When the cleaning unit 21a moves to the upstream cleaning end 17a of the stage surface 17, the sweeping operation is terminated.

以上説明したように、本実施形態にかかる部品圧着装置によれば、ステージ面上の異物をバックアップユニット6cに対して、パネル200の載置される側の反対側または、パネル200の搬入側あるいは搬出側の反対側の方向(パネルが配置されていない側)にのみ掃き出すようにして清掃することができるため、異物除去時におきる散乱を防止することができる。したがって、清掃時にステージ面17上の異物がパネル200に飛散することによる本圧着時の製造不良を起こすことがない。   As described above, according to the component crimping apparatus according to the present embodiment, the foreign matter on the stage surface is opposite to the side on which the panel 200 is placed with respect to the backup unit 6c, or the carry-in side of the panel 200 or Since cleaning can be performed by sweeping only in the direction opposite to the carry-out side (side where the panel is not disposed), scattering that occurs during the removal of foreign matter can be prevented. Therefore, the manufacturing defect at the time of this press-fit by the foreign material on the stage surface 17 scattering on the panel 200 at the time of cleaning does not occur.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。例えば、必ずしも清掃動作は1つのパネルの本圧着動作ごとに行う必要はなく、例えば、本圧着動作を2回行うごとに行うようにするなど、複数回の圧着動作ごとに行うようにしてもよい。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement in another various aspect. For example, it is not always necessary to perform the cleaning operation for each main crimping operation of one panel. For example, the cleaning operation may be performed for each of a plurality of crimping operations, such as performing the main crimping operation twice. .

本発明は、液晶表示パネルなどのフラットディスプレイパネルの製造に用いられる部品圧着装置に関し、ステージ面上の異物を前記支持部に対して、パネルの載置される側の反対側または、パネルの搬入あるいは搬出側とは反対側に掃き出すように清掃することにより、異物の散乱を防止でき、異物がパネル上に飛び散ることによるパネルの製品不良をなくし、製品の歩留まりの低下を防止することができる。   The present invention relates to a component crimping apparatus used for manufacturing a flat display panel such as a liquid crystal display panel. Foreign matter on a stage surface is opposite to the side on which the panel is placed with respect to the support portion, or the panel is carried in. Alternatively, cleaning is performed so as to sweep away to the side opposite to the carry-out side, whereby scattering of foreign matter can be prevented, product defects of the panel due to scattering of foreign matter on the panel can be eliminated, and reduction in product yield can be prevented.

本発明の一実施形態にかかる部品圧着装置の外観構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance structure of the component crimping | compression-bonding apparatus concerning one Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態にかかる部品圧着装置の外観構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance structure of the component crimping | compression-bonding apparatus concerning other embodiment of this invention. 図1Aの部品圧着装置により製造される表示パネルの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the display panel manufactured with the component crimping | compression-bonding apparatus of FIG. 1A. 本発明の第1実施形態にかかる図1Aの部品圧着装置に用いられるバックアップユニットに備えられている清掃ユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cleaning unit with which the backup unit used for the component crimping apparatus of FIG. 1A concerning 1st Embodiment of this invention is equipped. 本発明の第2実施形態にかかる部品圧着装置に用いられるバックアップユニットに備えられている清掃ユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cleaning unit with which the backup unit used for the component crimping apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention is equipped. 本発明の第1実施形態にかかる部品圧着装置に用いられるバックアップユニットに備えられている清掃ユニットの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the cleaning unit with which the backup unit used for the component crimping apparatus concerning 1st Embodiment of this invention is equipped. 図1Aの部品圧着装置の動作フローを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement flow of the component crimping | compression-bonding apparatus of FIG. 1A. 本発明の第3実施形態にかかる部品圧着装置に用いられるバックアップユニットに備えられている清掃ユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cleaning unit with which the backup unit used for the component crimping apparatus concerning 3rd Embodiment of this invention is equipped. 他の角度からみた図6Aのバックアップユニットに備えられている清掃ユニットの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cleaning unit with which the backup unit of FIG. 6A was seen from another angle. 図6Aの部品圧着装置清掃ユニットの動作を説明する工程図である。It is process drawing explaining operation | movement of the component crimping | compression-bonding apparatus cleaning unit of FIG. 6A. 図6Aの部品圧着装置清掃ユニットの動作を説明する工程図である。It is process drawing explaining operation | movement of the component crimping | compression-bonding apparatus cleaning unit of FIG. 6A. 図6Aの部品圧着装置清掃ユニットの動作を説明する工程図である。It is process drawing explaining operation | movement of the component crimping | compression-bonding apparatus cleaning unit of FIG. 6A. 従来の部品圧着装置の問題点を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the problem of the conventional component crimping | compression-bonding apparatus. 従来の部品圧着装置の問題点を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the problem of the conventional component crimping | compression-bonding apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1,1a 部品圧着装置
2 基台
3 パネル載置装置
4 圧着装置
5 ローダ
6,6b,6c バックアップユニット、支持部
10 フレーム
11 圧着ヘッド
12 ヘッド駆動部
16 台部
17 ステージ面
18、18a 清掃ユニット
19 ブロー装置
20,20b,20f 吸引部
21 清掃部
22 ブラシ
30,30a 駆動軸部
200 パネル
202 TCP
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1a Component crimping apparatus 2 Base 3 Panel mounting apparatus 4 Crimping apparatus 5 Loader 6, 6b, 6c Backup unit, support part 10 Frame 11 Crimping head 12 Head drive part 16 Stand part 17 Stage surface 18, 18a Cleaning unit 19 Blowing device 20, 20b, 20f Suction part 21 Cleaning part 22 Brush 30, 30a Drive shaft part 200 Panel 202 TCP

Claims (11)

部品をパネル(200)に圧着可能な部品圧着部(4)と、
部品が圧着されるパネルを支持可能で前記部品圧着部(4)の圧着面に対向したステージ面(17)を有する支持部(6)と、
前記支持部(6)の長手方向に対して傾斜して配置され、前記支持部(6)のステージ面(17)上の異物を前記支持部(6)に対して、パネル(200)の載置される側の反対側または、パネル(200)の搬入あるいは搬出側とは反対側に異物を掃き出すように清掃可能な清掃部(21)と、
前記清掃部(21)を前記支持部(6)の長手方向に沿って駆動させる駆動軸部(30、30a、30b)とを備えた部品圧着装置。
A component crimping part (4) capable of crimping the component to the panel (200);
A support portion (6) capable of supporting a panel to which a component is pressure-bonded and having a stage surface (17) facing the pressure-bonding surface of the component pressure-bonding portion (4);
The panel (200) is placed on the stage surface (17) of the support portion (6) with respect to the support portion (6). A cleaning unit (21) that can be cleaned so as to sweep out foreign matter on the side opposite to the side on which it is placed or on the side opposite to the carry-in or carry-out side of the panel (200);
A component crimping apparatus comprising drive shaft portions (30, 30a, 30b) for driving the cleaning portion (21) along the longitudinal direction of the support portion (6).
前記駆動軸部(30、30a、30b)の駆動力を前記清掃部(21)に伝達可能で、清掃時に前記清掃部(21)を前記支持部(6)のステージ面(17)に当接可能で、非清掃時には前記支持部(6)のステージ面(17)に当接しないように構成された清掃ユニット(18)を備えた請求項1記載の部品圧着装置。   The driving force of the drive shaft portion (30, 30a, 30b) can be transmitted to the cleaning portion (21), and the cleaning portion (21) contacts the stage surface (17) of the support portion (6) during cleaning. The component crimping device according to claim 1, further comprising a cleaning unit (18) configured so as not to contact the stage surface (17) of the support portion (6) when not cleaned. 前記清掃ユニット(18)は、前記清掃部(21)を前記支持部(6)の長手方向一端側(17a)と前記支持部(6)の長手方向他端側(17b)との間で往復移動可能に構成され、かつ前記長手方向一端側(17a)から前記長手方向他端側(17b)の方向までの移動する間は前記ステージ面(17)に前記清掃部(21)が当接可能で、前記長手方向他端側(17b)から前記長手方向一端側(17a)の方向までの移動する間は前記ステージ面に前記清掃部(21)が非当接となるように構成された請求項2記載の部品圧着装置。   The cleaning unit (18) reciprocates the cleaning part (21) between one end side (17a) in the longitudinal direction of the support part (6) and the other end side in the longitudinal direction (17b) of the support part (6). The cleaning portion (21) can be brought into contact with the stage surface (17) while moving from the one longitudinal end (17a) to the other longitudinal end (17b). Thus, the cleaning unit (21) is configured not to contact the stage surface during the movement from the other end in the longitudinal direction (17b) to the one end in the longitudinal direction (17a). Item 2. The component crimping apparatus according to Item 2. 前記清掃ユニット(18)は、
前記清掃部(21)が前記長手方向一端側(17a)から前記長手方向他端側(17b)へ移動するときは前記清掃部(21)を降下させて前記ステージ面(17)に接触させると共に、前記清掃部(21)が前記長手方向他端側(17b)から長手方向一端側(17a)へ移動するときは前記清掃部(21)を上昇させて前記ステージ面(17)に非接触となるように前記清掃部(21)を上下移動させる上下移動機構とを備えることを特徴とする、請求項3に記載の部品圧着装置。
The cleaning unit (18)
When the cleaning portion (21) moves from the one longitudinal end (17a) to the other longitudinal end (17b), the cleaning portion (21) is lowered and brought into contact with the stage surface (17). When the cleaning part (21) moves from the other longitudinal end (17b) to the longitudinal end (17a), the cleaning part (21) is lifted so as not to contact the stage surface (17). The component crimping apparatus according to claim 3, further comprising a vertical movement mechanism that moves the cleaning unit (21) up and down.
前記清掃部(21a)は、前記支持部(6)の長手方向を基軸として前記清掃部(21)の動作進行方向の向きに傾きを有するように傾斜方向を反転可能に構成されていることを特徴とする、請求項1又は2のいずれか一つに記載の部品圧着装置。   The cleaning portion (21a) is configured to be capable of reversing the inclination direction so that the cleaning portion (21) has an inclination in the direction of the operation progression direction with the longitudinal direction of the support portion (6) as a base axis. The component crimping apparatus according to claim 1, wherein the component crimping apparatus is characterized. 前記清掃部(21a)は、傾きが可変可能に構成されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の部品圧着装置。   The component crimping device according to any one of claims 1 to 3, wherein the cleaning portion (21a) is configured to be variable in inclination. さらに、パネル(200)が前記支持部(6)に対して、パネル(200)の載置される側または、パネル(200)の搬入あるいは搬出側から前記支持部(6)に向けて気体を吹き出すブロー装置(19)を備えることを特徴とする、請求項1から6のいずれか1つに記載の部品圧着装置。   Further, the panel (200) allows gas to flow toward the support portion (6) from the side on which the panel (200) is placed or the loading or unloading side of the panel (200) with respect to the support portion (6). The component crimping device according to any one of claims 1 to 6, further comprising a blowing device (19) for blowing out. 前記ブロー装置(19)は、前記清掃部(21)の静電気を除去する除電装置(19b)を備えることを特徴とする、請求項7に記載の部品圧着装置。   The component crimping device according to claim 7, wherein the blow device (19) includes a static eliminator (19b) for removing static electricity from the cleaning unit (21). さらに、前記支持部(6)に対してパネル(200)の載置される側の反対側または、パネル(200)の搬入あるいは搬出側とは反対側の方向に前記ステージ面(17)から清掃された異物を吸引する吸引部(20,20b,20f)を備えることを特徴とする、請求項1から8のいずれか1つに記載の部品圧着装置。   Further, cleaning from the stage surface (17) in a direction opposite to the side on which the panel (200) is placed with respect to the support (6) or the side opposite to the loading or unloading side of the panel (200). The component crimping device according to claim 1, further comprising a suction portion (20, 20 b, 20 f) that sucks the foreign matter that has been removed. 前記清掃部(21)は、金属粉を混入した導電性樹脂で構成されたブラシ(22)を備えることを特徴とする、請求項1から9のいずれか1つに記載の部品圧着装置。   The component crimping device according to any one of claims 1 to 9, wherein the cleaning unit (21) includes a brush (22) made of a conductive resin mixed with metal powder. 前記清掃部(21)のブラシ(22)を吸引により清掃する吸引部(20,20b,20f)を備えたことを特徴とする、請求項10に記載の部品圧着装置。
The component crimping device according to claim 10, further comprising a suction part (20, 20b, 20f) for cleaning the brush (22) of the cleaning part (21) by suction.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017144189A (en) * 2016-02-19 2017-08-24 株式会社ジェッター Token polishing device
JP2017144190A (en) * 2016-02-19 2017-08-24 株式会社ジェッター Token polishing device
CN108356031A (en) * 2018-04-09 2018-08-03 朱明恺 The suspended automatic dust exhaust apparatus of books

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6465489B2 (en) 2015-10-23 2019-02-06 ヒューグル開発株式会社 Cleaning head and cleaning method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06140468A (en) * 1992-10-26 1994-05-20 Toshiba Corp Inner lead bonder
JPH06170340A (en) * 1992-12-09 1994-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Cleaning device
JP2003017528A (en) * 2001-07-02 2003-01-17 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus for mounting electronic component and method for mounting the same
JP2003077987A (en) * 2001-09-06 2003-03-14 Sony Corp Substrate holding stage cleaning device and its cleaning method
JP2006269741A (en) * 2005-03-24 2006-10-05 Shibaura Mechatronics Corp Mounting device for electronic component and cleaning method for mounting device
JP2007514177A (en) * 2004-02-10 2007-05-31 シャープ株式会社 Substrate cleaning apparatus and cleaning method, flat display panel, electronic component mounting apparatus and mounting method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06140468A (en) * 1992-10-26 1994-05-20 Toshiba Corp Inner lead bonder
JPH06170340A (en) * 1992-12-09 1994-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Cleaning device
JP2003017528A (en) * 2001-07-02 2003-01-17 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus for mounting electronic component and method for mounting the same
JP2003077987A (en) * 2001-09-06 2003-03-14 Sony Corp Substrate holding stage cleaning device and its cleaning method
JP2007514177A (en) * 2004-02-10 2007-05-31 シャープ株式会社 Substrate cleaning apparatus and cleaning method, flat display panel, electronic component mounting apparatus and mounting method
JP2006269741A (en) * 2005-03-24 2006-10-05 Shibaura Mechatronics Corp Mounting device for electronic component and cleaning method for mounting device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017144189A (en) * 2016-02-19 2017-08-24 株式会社ジェッター Token polishing device
JP2017144190A (en) * 2016-02-19 2017-08-24 株式会社ジェッター Token polishing device
CN108356031A (en) * 2018-04-09 2018-08-03 朱明恺 The suspended automatic dust exhaust apparatus of books
CN108356031B (en) * 2018-04-09 2023-08-04 朱明恺 Suspension type automatic dust collection device for books

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