JP2007188887A - 荷電粒子ビーム装置を制御するために、装置のユーザによって入力されたコマンドに応答して動作可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置 - Google Patents

Abstract

【課題】遠隔操作により制御可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置が提供される。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１０は、コンピュータからのデータを携帯電話ネットワーク１４を介してショートメッセージサービス（ＳＭＳ）および／またはマルチメディアメッセージサービス（ＭＭＳ）メッセージの形式でモバイル装置１６，１８，２０に伝送させるように動作可能なインターフェイス２４を含む。荷電粒子ビーム装置１０は、携帯電話１４からＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取り、コンピュータにコマンドを実行させるように動作可能である。
【選択図】図１

Description

発明の分野
本発明は荷電粒子ビーム装置に関し、特に、電子顕微鏡および集束イオンビームシステムに関するが、それらに限定されない。

発明の背景
公知の電子顕微鏡は、顕微鏡において電子を加速させるために用いられる加速電圧（ＥＨＴ）などの、顕微鏡のさまざまな動作パラメータを監視および調整するように動作可能なコンピュータを含む。このコンピュータは、顕微鏡のユーザによって入力された制御アルゴリズムまたはコマンドに従って動作パラメータを調整するように動作可能である。

コンピュータは、インターネットを介して別のコンピュータと通信できる。ユーザは、顕微鏡から遠隔にある可能性がある他のコンピュータから顕微鏡を操作できる。しかしながら、これは、両方のコンピュータがインターネットに接続されることが必要であり、コンピュータ間の常時接続が維持されることが必要である。

電子顕微鏡によって実施される作業は、完了に多くの時間を要する可能性がある。たとえば、鉱物試料のｘ線走査は２０時間またはそれ以上かかる可能性がある。顕微鏡の中には、ミリング（すなわち、イオンビームを用いた標本の層の除去）のための集束イオンビーム（ＦＩＢ）列を含むものもある。ミリング作業は完了に数時間かかる可能性がある。現在のところ、ユーザは顕微鏡または他のコンピュータで作業を開始しなければならず、次いで、顕微鏡が作業を完了したかどうか、または作業の完了を妨げる故障が発生したかどうかを判断するために時折顕微鏡または他のコンピュータに戻らなければならない。

発明の概要
本発明によれば、荷電粒子ビーム装置を制御するために、装置のユーザによって入力されたコマンドに応答して動作可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置が提供され、この装置はさらに、コンピュータからのデータを携帯電話ネットワークを介してショートメッセージサービス（ＳＭＳ）および／またはマルチメディアメッセージサービス（ＭＭＳ）メッセージの形式でモバイル装置に伝送させるように動作可能なインターフェイスを含む。

本明細書では、「モバイル装置」とは、携帯電話ネットワークからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージを受取り、それを表示するように動作可能な装置を意味する。このような装置は、携帯電話およびいくつかのパーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）を含む。

今日では大半の人が携帯電話を有し、ＳＭＳおよびＭＭＳメッセージに精通している。携帯電話などのモバイル装置は、ＳＭＳおよびＭＭＳメッセージを受取ることができるようにするために、ユーザによってプログラミングされる必要がなく、またはいかなるソフトウェアもモバイル装置にインストールさせる必要がない。これによって、このようなモバイル装置は、荷電粒子ビーム装置に関連する事象をユーザに通知するために用いるのに
理想的な装置になる。

本発明は、ユーザのモバイル装置を利用して、装置による動作の完了または装置の動作を中断する故障の発生などの装置に関連する事象を、装置のすぐ近くにいないユーザに通知するように動作可能な荷電粒子ビーム装置を提供できる。

荷電粒子ビーム装置に関連する事象をユーザに通知するためにユーザのモバイル装置を用いることによって、荷電粒子ビーム装置とモバイル装置との間で常時接続が維持される必要性が回避される。荷電粒子ビーム装置は、ユーザに通知するためにユーザの場所を確立する必要がない。なぜなら、これは携帯電話ネットワークによってなされるためである。

さらに、荷電粒子ビーム装置に関連する事象をユーザに通知するためにユーザのモバイル装置および携帯電話ネットワークを用いることは、通知がインターネットを介してもたらされる場合に必要であろうセキュリティプロトコルが必要でないことを意味する。

好ましくは、インターフェイスは、グローバル・システム・フォー・モバイル・コミュニケーションズ（ＧＳＭ）携帯電話ネットワークを介してデータをモバイル装置に伝送させるように動作可能である。

インターフェイスは有利に、携帯電話ネットワークからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取り、コンピュータにコマンドを実行させるように動作可能であってもよい。

本発明はさらに、ユーザのモバイル装置を利用して、起動またはシャットダウンするコマンドなどのコマンドをインターフェイスに伝送することによって、装置のすぐ近くにいないユーザによって制御され得る荷電粒子ビーム装置を提供できる。

インターフェイスは有利に、携帯電話ネットワークを介してデータをモバイル装置に伝送するように動作可能なデータトランシーバとの通信に適合されてもよい。

データトランシーバはたとえば、別のモバイル装置または単にＧＳＭ ＰＣＭＣＩＡモデムカードなどのモデムカードであるかもしれない。

インターフェイスがデータトランシーバとの通信に適合される場合には、インターフェイスは好ましくは、データトランシーバからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取るようにさらに動作可能であり、コマンドは携帯電話ネットワークからデータトランシーバによって受取られ、上記インターフェイスはさらに、コンピュータにコマンドを実行させるように動作可能である。

インターフェイスは有利に、たとえばユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）、シリアルまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）接続を利用してデータトランシーバに接続することによるデータトランシーバとの通信に適合されてもよい。

好ましくは、インターフェイスは、たとえばブルートゥース（Bluetooth）またはワイ−ファイ（Ｗｉ−Ｆｉ）プロトコルに従うデータトランシーバとの無線通信に適合される。

代替的にまたはさらに、インターフェイスは有利に、インターネットを利用するホストコンピュータとの通信に適合されてもよく、ホストコンピュータは携帯電話ネットワーク
を介してデータをモバイル装置に伝送するように動作可能である。

ホストコンピュータは典型的には、ホストコンピュータによるＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの伝送ならびに受取を可能にするようにアプリケーションプログラミングインターフェイス（ＡＰＩ）を実現するために用いられるであろう。このようなＡＰＩの例は、ＭＳＮメッセンジャ（MSN Messenger）、アクティブＸ［ＣＯＭ］（ActiveX［COM］）、ＸＭＬおよび.ＮＥＴである。

インターフェイスがホストコンピュータとの通信に適合される場合には、インターフェイスは好ましくは、ホストコンピュータからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取るように動作可能であり、コマンドは携帯電話ネットワークからホストコンピュータによって受取られ、上記インターフェイスはさらに、装置のコンピュータにコマンドを実行させるように動作可能である。

インターフェイスは有利に、携帯電話ネットワークを介して、装置のコンピュータからのデータを複数のモバイル装置に伝送させるように動作可能であってもよい。

このように、装置を使用するのを待っている数人の他のユーザは、最初のユーザによって開始された動作を装置が完了し、他のユーザが利用可能であることを知らせられることができるであろう。

好ましくは、インターフェイスは、コンピュータからのデータを、装置に関連する第１の事象の発生に応答して第１のモバイル装置に伝送させ、装置に関連する第２の事象の発生に応答して第２のモバイル装置に伝送させるように動作可能である。

一例として、インターフェイスは、装置による動作の完了に応答して、装置が利用可能であることを示すＳＭＳメッセージを装置のユーザのモバイル装置に伝送させ得るのに対して、インターフェイスは、装置の故障の発生の検出に応答して、故障の性質を示すＳＭＳメッセージをサービスエンジニアのモバイル装置に伝送させ得る。故障が装置の動作を中断するようなものである場合には、インターフェイスはさらに、動作の完了が遅れることになることを示すＳＭＳメッセージを装置のユーザのモバイル装置に伝送させ得る。

インターフェイスは好ましくは、装置のユーザが、動作パラメータおよび／または条件のリストから装置の動作パラメータおよび／または条件を選択でき、インターフェイスがＳＭＳメッセージをモバイル装置に伝送することに応答して、各々の選択された動作パラメータまたは条件の値を設定でき、各々の選択された動作パラメータまたは条件について、典型的には電話番号である、ＳＭＳメッセージが伝送されることになるモバイル装置の識別を入力できるように動作可能なユーザインターフェイスを含む。

好ましくは、ユーザインターフェイスは、ウインドウ表示のダイアログシステムである。

このような動作条件は、たとえば装置の動作の完了率であってもよく、そのため、装置の動作の完了を通知されるようにするために、ユーザは動作パラメータのリストから完了率を選択し、完了率について１００％の値を設定し、ユーザのモバイル装置の電話番号を入力するためにユーザインターフェイスを用いるであろう。

好ましくは、ユーザインターフェイスはさらに、装置のユーザが、選択された動作パラメータまたは条件の各々についてテキスト文字列を入力できるように動作可能であり、このテキスト文字列は、そのパラメータまたは条件に関連して識別されるモバイル装置に送
られるＳＭＳメッセージに含まれることになる。

したがって、たとえば、装置が電子顕微鏡である場合には、ユーザインターフェイスは、顕微鏡の電子列のフィラメントが機能しなくなった条件を選択し、サービスエンジニアのモバイル装置の電話番号を入力し、フィラメントの障害の場合にサービスエンジニアのモバイル装置にＳＭＳメッセージとして伝送される「ＳＥＭ２３５７４−フィラメント取替」などのテキスト文字列を入力するために用いられ得るであろう。

ユーザインターフェイスは有利に、インターフェイスによってモバイル装置に伝送されるメッセージをユーザが構成できるように動作可能であってもよい。ユーザインターフェイスは有利に、モバイル装置からインターフェイスによって受取られたＳＭＳまたはＭＭＳメッセージを表示するようにさらに動作可能であってもよい。このように、装置のすぐ近くにいるユーザは、装置のすぐ近くにいないユーザと便利に通信できる。

ユーザインターフェイスは好ましくは、装置のユーザが、装置によって実行可能なコマンドのリストからコマンドを選択し、各々の選択されたコマンドについて、そのコマンドに対応するテキスト文字列を入力できるように動作可能であり、インターフェイスはさらに、テキスト文字列を含むＳＭＳメッセージの受取に応答して、対応するコマンドをコンピュータに実行させるように動作可能である。

コンピュータによって実行可能なこのようなコマンドは、装置を起動またはシャットダウンするコマンドを含んでもよく、これらのコマンドに対応するテキスト文字列はたとえばそれぞれに「スタート」および「ストップ」である。

電子顕微鏡と同様に、装置が標本の画像を生成するように動作可能である場合には、たとえば、装置によって実行可能なコマンドは好ましくは、装置によって生成された標本の画像をＭＭＳメッセージに変換し、そのＭＭＳメッセージをモバイル装置に伝送するコマンドを含む。このコマンドに対応するテキスト文字列はたとえば「画像取得」であるかもしれない。したがって、装置のすぐ近くにいないユーザは、ユーザのモバイル装置を用いて、テキスト文字列「画像取得」を含むＳＭＳメッセージを装置のインターフェイスに伝送でき、ユーザのモバイル装置は標本の画像を含むＭＭＳメッセージを装置のインターフェイスから受取ることになる。

単純な文字列を、装置によって実行可能なコマンドのリストからのコマンドに割当てるこのプロセスによって、この装置は、モバイル装置を用いて遠隔操作するのに非常に単純なものになる。なぜなら、このプロセスでは、いかなるソフトウェアもモバイル装置にインストールされる必要がないためである。

標本をミリングする、すなわち標本から層または層の一部を除去するように動作可能な集束イオンビーム装置の場合と同様に、装置が標本を修正するように動作可能である場合には、インターフェイスは好ましくは、ミリングパターンの画像を含むＭＭＳメッセージをモバイル装置から受取り、ミリングパターンを標本にミリングするためにコンピュータに装置を制御させるように動作可能である。

好ましくは、装置は電子顕微鏡であり、さらにより好ましくは、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）である。

本発明は例示的な例として、添付の図面を参照しながら以下に記載される。

実施例の詳細な説明
図１の通信ネットワークは、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）１０と、ブルートゥースプロトコルに従ってＳＥＭ１０に無線で接続されたローカルな携帯電話１２と、ＧＳＭ携帯電話ネットワーク１４と、それぞれに参照数字１６、１８および２０によって示される第１、第２ならびに第３のリモートの携帯電話とを含む。

ＳＥＭ１０は、制御された静電場および／または磁場を利用して電子のビームが発生、成形および集束され、分析される標本全体にわたって走査される列を発生させるビームを有するという点で、従来の構成および動作を有する。ＳＥＭは、ＳＥＭの動作を制御するためにコンピュータ（図示せず）によって実行可能な制御ソフトウェア２２、および集束イオンビーム（ＦＩＢ）列（図示せず）も含む。ＳＥＭは、上で説明されたようにローカルな携帯電話１２に無線で接続されたインターフェイス２４も含む。ＳＥＭ１０は、図３を参照しながら以下により詳細に記載される。

制御ソフトウェア２２は、電子ビームを生成する電子光学列の加速電圧、標本に対する電子ビームの偏向、標本室における圧力、ＦＩＢ列によって標本上で実施されるミリングリストの進捗状況、および二次電子検出器の加速電圧などのＳＥＭの動作パラメータならびに条件を監視および修正する。

インターフェイス２４は、制御ソフトウェア２２と接続するアプリケーションプログラミングインターフェイスソフトウェアを含む。インターフェイス２４は、制御ソフトウェア２２によって監視される動作パラメータおよび条件のリストをウインドウ表示のダイアログシステムで表示する。ＳＥＭのユーザは、ウインドウ表示のダイアログシステムで制御ソフトウェア２２によって監視される動作パラメータおよび条件のいずれかを選択でき、通知をトリガすることになるそのパラメータまたは条件のトリガ値を入力できる。以下の説明では、そのパラメータまたは条件のトリガ値に達するパラメータまたは条件の事象は、「トリガ事象」と称される。標本室における圧力のパラメータについて、たとえば、ユーザは標本室における圧力が達した場合にＳＥＭの真空システムの故障を示すであろうトリガ値を入力してもよく、そのため、標本室における圧力がそのトリガ値に達した場合に、そのトリガ値は通知をトリガすることになる。

各々の選択された動作パラメータまたは条件について、ユーザはトリガ事象の場合に通知ＳＭＳメッセージが送られることになる携帯電話番号を入力する。ユーザは、通知の発生が許可される時間範囲、たとえば０８．００から１８．３０も入力できる。トリガ事象がこの時間範囲外で発生した場合、通知はトリガされないことになる。これによって、ＳＥＭのユーザは不都合な時間、たとえば家にいるときに通知が確実にモバイル装置に送られないようにできる。

各々の入力されたトリガ事象について、ユーザは、トリガ事象が発生した場合に通知に含まれるようにテキスト文字列も入力する。ＳＥＭの真空システムの故障を示す標本室における圧力のトリガ値の上の例では、テキスト文字列は「警告−標本室高圧」であるかもしれない。選択された動作パラメータおよび条件、携帯電話番号、（もしあれば）時間範囲、ならびにテキスト文字列は、ＳＥＭのコンピュータのハードドライブに格納される。

動作パラメータまたは条件のトリガ値に達した場合には、インターフェイスは、そのトリガ値に関連付けられる携帯電話番号およびテキスト文字列をＳＥＭのコンピュータのハードディスクドライブから検索し、テキスト文字列を含むＳＭＳメッセージを携帯電話番号に伝送させるローカルな携帯電話１２に信号を伝送する。

図１では、リモートの携帯電話１６はＳＥＭの第１のユーザの電話であり、リモートの
携帯電話１８はＳＥＭの第２のユーザの電話である。リモートの携帯電話２０は、ＳＥＭの保守を担当するサービスエンジニアの電話である。

動作パラメータおよび条件のリストは、ＳＥＭの電子光学列のフィラメントの障害などの検出可能な故障条件を含む。ウインドウ表示のダイアログシステムは典型的には、フィラメントの障害の故障条件および入力されたサービスエンジニアの電話２０の電話番号を選択するために用いられるであろう。フィラメントの障害の場合にサービスエンジニアの電話に伝送されるテキスト文字列は、サービスエンジニアがいくつかのＳＥＭの保守を担当している場合、ＳＥＭのシリアル番号などのＳＥＭの識別を含み得る。しかしながら、これは不可欠ではない。なぜなら、ローカルな携帯電話は固有の電話番号を有し、この固有の電話番号は、ＳＭＳメッセージを受取ったモバイル装置の電話番号を表示するようにサービスエンジニアの携帯電話２０が動作可能であれば、ＳＥＭを識別するためにサービスエンジニアによって用いられることができるためである。

インターフェイス２４は、制御ソフトウェア２２によって実行可能なコマンドのリストもウインドウ表示のダイアログシステムで表示する。これらのコマンドは、ＳＥＭを起動およびシャットダウンするコマンド、ＳＥＭの標本室に排出口を設けるコマンド、および標本の画像を生成するコマンドを含む。ＳＥＭのユーザは、コマンドのいずれかを選択でき、テキスト文字列を入力でき、そのテキスト文字列の受取に応答してＳＭＳメッセージにおいてインターフェイス２４は対応するコマンドを実施することになる。

たとえば、ユーザはＳＥＭを起動するコマンドを選択し、テキスト文字列「スタート」を入力するかもしれない。ユーザは次いで、テキスト文字列「スタート」を含むＳＭＳメッセージをローカルな携帯電話１２に伝送するためにリモートの携帯電話を用いることができる。ＳＭＳメッセージを受取ると、ローカルな携帯電話１２はＳＭＳメッセージをインターフェイス２４に伝送し、インターフェイス２４はＳＭＳメッセージの中のテキスト文字列「スタート」を識別し、ＳＥＭのコンピュータにＳＥＭを起動させる。ＳＥＭの起動は２０分から３０分かかる可能性があり、これによって、ユーザは仕事に行く間にＳＥＭを起動でき、そのため職場に到着したときにはＳＥＭはすぐに使用できる。

ユーザはさらに、標本の画像を生成するコマンドを選択し、テキスト文字列「画像取得」を入力するかもしれない。ユーザは次いで、テキスト文字列「画像取得」を含むＳＭＳメッセージをローカルな携帯電話１２に伝送するためにリモートの携帯電話１６を用いることができる。ＳＭＳメッセージを受取ると、ローカルな携帯電話１２はＳＭＳメッセージをインターフェイス２４に伝送し、インターフェイス２４はＳＭＳメッセージの中のテキスト文字列「画像取得」を識別し、コンピュータに標本の画像を入手させ、それをインターフェイス２４に伝送させる。インターフェイス２４は次いで、この画像をＭＭＳメッセージとして伝送するのに好適な形式に変換し、ＭＭＳメッセージをローカルな携帯電話１２に伝送し、ローカルな携帯電話１２はＭＭＳメッセージをユーザのリモートの携帯電話１６に伝送する。

機密保護の目的で、ユーザは各々の選択されたコマンドについて１つ以上の電話番号を入力することも可能であり、電話番号は、ＳＥＭがコマンドを受取り得ることをユーザが望むリモートの携帯電話の電話番号である。コンピュータによって実行可能なコマンドに関連付けられるテキスト文字列を含むＳＭＳメッセージを受取ると、インターフェイスは、ＳＭＳメッセージが受取られたリモートの携帯電話の電話番号がそのコマンドについて入力された電話番号のうちの１つであるかどうかを判断し、そのように判断される場合にのみ、コンピュータにコマンドを実行させる。

図２を参照して、ＳＥＭのコンピュータシステムは、４つの機能ブロック、すなわちＳ
ＥＭの制御ソフトウェア２２と、トリガ事象定義モジュール２４ａと、トリガ事象およびコマンド処理監視モジュール２４ｂと、各々の選択されたトリガ事象またはコマンドについての選択されたトリガ事象、コマンド、テキスト文字列および携帯電話番号が格納されるハードドライブ２６とを含むものとして見なされることができる。

トリガ事象モジュール２４ａは、上で説明されたようにウインドウ表示のダイアログシステムを介してユーザによってアクセスされ、制御可能なパラメータ、条件および実行可能なコマンドのリストを制御ソフトウェア２２から入手する。ユーザによってトリガ事象モジュールに入力された携帯電話番号およびテキスト文字列は、トリガ事象モジュール２４ａによってハードドライブ２６に格納される。トリガ事象およびコマンド処理監視モジュール２４ｂは、ローカルな携帯電話１２に無線で接続され、制御ソフトウェア２２の制御可能なパラメータおよび条件を監視する。トリガ事象およびコマンド処理監視モジュール２４ｂは、関連するテキスト文字列および携帯電話番号をハードドライブ２６から検索し、テキスト文字列を含むＳＭＳメッセージを構成し、ローカルな携帯電話１２がＳＭＳメッセージを携帯電話番号に伝送するようにすることによって、トリガ事象に応答する。

トリガ事象およびコマンド処理監視モジュール２４ｂは、ローカルな携帯電話１２によって受取られたＳＭＳメッセージも監視し、ＳＭＳメッセージが受取られるたびに、制御ソフトウェアによって実行可能なコマンドに対応するテキスト文字列をＳＭＳメッセージが含むかどうかを判断するためにハードドライブ２６をサーチし、必要であれば、そのコマンドが受入れられる携帯電話からＳＭＳメッセージが受取られたかどうかを判断するためにハードドライブを調査し、もしそうであれば、制御ソフトウェアにコマンドを実施させる。

図３は、ＳＥＭ１０と、ローカルな携帯電話１２と、ＧＳＭ携帯電話ネットワーク１４と、第１、第２ならびに第３のリモートの携帯電話１６、１８および２０とを示す。

制御ソフトウェア２２およびインターフェイス２４に加えて、ＳＥＭ１０はコントローラ２８と、電子エミッタ３０と、引出電極３２と、制御（ウェーネルト）電極３４と、アノード３６と、磁気コイル４０を含むコンデンサレンズ３８と、磁気コイル４４を含む対物レンズ４２と、走査コイル４６と、標本ステージ４８と、電子検出器５０と、圧力センサ５２とを含む。

コントローラ２８は、電子エミッタ３０の電圧、ならびに電極３２、３４および３６の電圧を制御するように動作可能である。コントローラ２８は、コンデンサレンズコイル４０および対物レンズコイル４４の電流、ならびに走査コイル４６の電流も制御するように動作可能である。コントローラ２８は、走査コイル４６の電流を制御することによって電子ビームによって走査される標本ステージ４８上の標本の領域を決定できる。コントローラ２８はさらに、画像が発生される標本のその領域を選択するために、図３に示され、参照数字５４によって示される３つの互いに垂直な方向のうちのいずれかの方向に標本ステージ４８を移動させるためにアクチュエータを制御するように動作可能である。コントローラ２８は、電子検出器５０からの信号を用いて画像を発生させ、その信号は検出器５０によってコントローラに伝送される。

圧力センサ５２は、ＳＥＭの標本室（図示せず）における圧力を表わす信号をコントローラ２８に伝送し、コントローラ２８は、ＳＥＭの真空システムにおいて故障が生じた場合に制御ソフトウェアが標本室における圧力のトリガ値を検出できるようにその信号を制御ソフトウェアに伝送する。これは、このような故障が標本室における圧力の増加を引起すことになるという理由のためである。

したがって、制御ソフトウェア２２、インターフェイス２４およびコントローラ２８は、携帯電話を介してＳＥＭのユーザに、コントローラ２８によって監視される標本室の圧力および電子検出器の信号などのＳＥＭのパラメータの任意の選択された値を通知するように動作可能である。制御ソフトウェア２２、インターフェイス２４およびコントローラ２８はさらに、ユーザの携帯電話を用いて、ＳＥＭのユーザによってＳＥＭに伝送されたコマンドに応答して、電極の電圧、コイルの電流および標本ステージの位置などのパラメータのいずれも調整するように動作可能である。

上述の説明は本発明の１つの実施例のみに関連し、本発明は本発明の上述の記載によって規定される他の実施例を包含することが理解される。

本発明による走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を含む通信ネットワークのブロック図である。 図１のＳＥＭのコンピュータシステムの機能ブロック図である。 ＳＥＭをより詳細に示す、図１のＳＥＭおよび通信ネットワークの概略図である。

符号の説明

１０ 走査電子顕微鏡
１２ ローカルな携帯電話
１４ ＧＳＭ携帯電話ネットワーク
１６，１８，２０ リモートの携帯電話
２２ 制御ソフトウェア
２４ インターフェイス

Claims (18)

1. 荷電粒子ビーム装置を制御するために、前記装置のユーザによって入力されたコマンドに応答して動作可能なコンピュータを含む前記荷電粒子ビーム装置であって、前記装置は、前記コンピュータからのデータを携帯電話ネットワークを介してショートメッセージサービス（ＳＭＳ）および／またはマルチメディアメッセージサービス（ＭＭＳ）メッセージの形式でモバイル装置に伝送させるように動作可能なインターフェイスをさらに含む、装置。
2. 前記インターフェイスは、グローバル・システム・フォー・モバイル・コミュニケーションズ（ＧＳＭ）携帯電話ネットワークを介して前記データを前記モバイル装置に伝送させるように動作可能である、請求項１に記載の装置。
3. 前記インターフェイスは、前記携帯電話ネットワークからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取り、前記コンピュータに前記コマンドを実行させるように動作可能である、請求項１または２に記載の装置。
4. 前記インターフェイスは、前記携帯電話ネットワークを介して前記データを前記モバイル装置に伝送するように動作可能なデータトランシーバとの通信に適合される、請求項１から３のいずれかに記載の装置。
5. 前記インターフェイスは、前記データトランシーバからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取るようにさらに動作可能であって、前記コマンドは前記携帯電話ネットワークから前記データトランシーバによって受取られ、前記インターフェイスはさらに、前記コンピュータに前記コマンドを実行させるように動作可能である、請求項４に記載の装置。
6. 前記インターフェイスは、前記データトランシーバに接続することによる前記データトランシーバとの通信に適合される、請求項４または５に記載の装置。
7. 前記インターフェイスは、前記データトランシーバとの無線通信に適合される、請求項４または５に記載の装置。
8. 前記インターフェイスは、インターネットを利用するホストコンピュータとの通信に適合され、前記ホストコンピュータは、前記携帯電話ネットワークを介して前記データを前記モバイル装置に伝送するように動作可能である、請求項１から７のいずれかに記載の装置。
9. 前記インターフェイスは、前記ホストコンピュータからＳＭＳおよび／またはＭＭＳメッセージの形式でコマンドを受取るように動作可能であって、前記コマンドは前記携帯電話ネットワークから前記ホストコンピュータによって受取られ、前記インターフェイスはさらに、前記装置の前記コンピュータに前記コマンドを実行させるように動作可能である、請求項８に記載の装置。
10. 前記インターフェイスは、前記携帯電話ネットワークを介して、前記装置の前記コンピュータからのデータを複数のモバイル装置に伝送させるように動作可能である、請求項１から９のいずれかに記載の装置。
11. 前記インターフェイスは、前記コンピュータからのデータを、前記装置に関連する第１の事象の発生に応答して第１のモバイル装置に伝送させ、前記装置に関連する第２の事象
    の発生に応答して第２のモバイル装置に伝送させるように動作可能である、請求項１０に記載の装置。
12. 前記インターフェイスは、前記装置のユーザが、動作パラメータおよび／または条件のリストから前記装置の動作パラメータおよび／または条件を選択でき、前記インターフェイスがＳＭＳメッセージをモバイル装置に伝送することに応答して、各々の選択された動作パラメータまたは条件の値を設定でき、各々の選択された動作パラメータまたは条件について、前記ＳＭＳメッセージが伝送されることになる前記モバイル装置の識別を入力できるように動作可能なユーザインターフェイスを含む、請求項１から１１のいずれかに記載の装置。
13. 前記ユーザインターフェイスは、ウインドウ表示のダイアログシステムである、請求項１２に記載の装置。
14. 前記ユーザインターフェイスは、前記装置のユーザが、前記選択された動作パラメータまたは条件の各々についてテキスト文字列を入力できるように動作可能であって、前記テキスト文字列は、前記パラメータまたは条件に関連して識別される前記モバイル装置に送られる前記ＳＭＳメッセージに含まれることになる、請求項１２または１３に記載の装置。
15. 前記ユーザインターフェイスは、前記装置のユーザが、前記装置によって実行可能なコマンドのリストからコマンドを選択でき、各々の選択されたコマンドについて、前記コマンドに対応するテキスト文字列を入力できるように動作可能であって、前記インターフェイスは、前記テキスト文字列を含むＳＭＳメッセージの受取に応答して、対応するコマンドを前記コンピュータに実行させるようにさらに動作可能である、請求項１２から１４のいずれかに記載の装置。
16. 前記装置は、標本の画像を生成するように動作可能であって、前記装置によって実行可能な前記コマンドは、前記装置によって生成された前記標本の画像をＭＭＳメッセージに変換し、前記ＭＭＳメッセージをモバイル装置に伝送するコマンドを含む、請求項１５に記載の装置。
17. 前記装置は、標本を修正するように動作可能であって、前記インターフェイスは、ミリングパターンの画像を含むＭＭＳメッセージをモバイル装置から受取り、前記ミリングパターンを前記標本にミリングするために前記コンピュータに前記装置を制御させるように動作可能である、請求項３またはそこから従属する請求項のいずれかに記載の装置。
18. 前記装置は走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）である、請求項１から１７のいずれかに記載の装置。

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