JP6377849B2 - 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の制御方法 - Google Patents
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Description
”ステージ停止中”と判断してから実際にステージ13が停止するまでの時間が、”ステージ停止中”と判断してから画像転送部20,21やスキャンモードの切り換えを終了するまでの時間とほぼ同じであれば、ステージ状態の判定から画像転送部等の切り換えを終えるまでの待ち時間を解消できる。待ち時間を完全に解消できなくても、待ち時間が短縮されるだけでユーザの使い勝手は向上する。
Claims (19)
- ステージ上の試料へ荷電粒子線を照射する電子線源と、
前記ステージを駆動するステージ駆動部と、
前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器からの信号を画像データとして、第1画像転送プロトコルを用いて転送する第1画像転送部と、
前記検出器からの信号を画像データとして、第2画像転送プロトコルを用いて転送する第2画像転送部と、
前記ステージの状態に基づいて、前記第1画像転送部と前記第2画像転送部を切り換えて使用する切換部と、
前記第1画像転送部または前記第2画像転送部のいずれかから通信ネットワークを介して受信する画像データを表示する端末と、
を備える荷電粒子線装置。 - 前記第1画像転送プロトコルは前記第2画像転送プロトコルよりも信頼性の高いプロトコルであり、
前記切換部は、前記ステージの状態が停止中であると判定した場合、前記第1画像転送部を選択する、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記第2画像転送プロトコルは前記第1画像転送プロトコルよりも転送速度の速いプロトコルであり、
前記切換部は、前記ステージの状態が移動中であると判定した場合、前記第2画像転送部を選択する、
請求項2に記載の荷電粒子線装置。 - 前記切換部は、スキャンモードのスキャン速度が所定値以上の場合は、前記ステージの状態が停止中であっても、前記第2画像転送部を選択する、
請求項3に記載の荷電粒子線装置。 - 前記切換部は、前記第2画像転送部を選択している間に、前記端末からスキャン停止が指示された場合、前記第2画像転送部から前記第1画像転送部に切り換える、
請求項4に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態は、前記ステージの移動速度から判定される、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態は、前記ステージ駆動部へ入力されるステージ駆動指令に基づいて判定される、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態は、前記ステージ駆動部へ入力される前記ステージ駆動指令としての加速指令または減速指令の有無と、前記ステージの加速度とに基づいて判定される、
請求項7に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態は、前記端末からの指示に基づいて判定される、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態は、前記ステージ駆動部へ入力されるステージ駆動指令と、前記端末からの指示とに基づいて判定される、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記ステージの状態が停止中である場合は、前記端末から選択されたスキャンモードで動作し、
前記ステージの状態が移動中である場合は、予め用意されている所定のスキャンモードで動作する、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記所定のスキャンモードは、前記端末に表示される画像が観察者にとって動画として見える程度の間隔で更新されるモードである、
請求項11に記載の荷電粒子線装置。 - 前記第1画像転送プロトコルは、コネクション型のプロトコルである、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記第2画像転送プロトコルは、コネクションレス型のプロトコルである、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - ステージ上の試料へ荷電粒子線を照射し、当該試料から放出される荷電粒子を検出して画像を表示する荷電粒子線装置の制御方法であって、
切換部が、ステージの状態に基づいて、第1画像転送部と第2画像転送部を切り替え、
検出器から出力された画像データが、前記第1画像転送部または前記第2画像転送部のうち選択された画像転送部から通信ネットワークを介して端末へ転送される、
荷電粒子線装置の制御方法。 - 前記第1画像転送部の使用する第1画像転送プロトコルは、前記第2画像転送部の使用する第2画像転送プロトコルよりも信頼性の高いプロトコルであり、
前記ステージの状態が停止中であると判定された場合は、前記第1画像転送部が選択される、
請求項15に記載の荷電粒子線装置の制御方法。 - 前記第2画像転送部の使用する第2画像転送プロトコルは、前記第1画像転送プロトコルよりも転送速度の速いプロトコルであり、
前記ステージの状態が移動中であると判定された場合は、前記第2画像転送部が選択される、
請求項16に記載の荷電粒子線装置の制御方法。 - スキャンモードの更新頻度が所定値以上の場合は、前記ステージの状態が停止中であっても、前記第2画像転送部を選択する、
請求項17に記載の荷電粒子線装置の制御方法。 - 前記第2画像転送部を選択している間に、前記端末からスキャン停止が指示された場合は、前記第2画像転送部から前記第1画像転送部に切り換える、
請求項18に記載の荷電粒子線装置の制御方法。
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